JP2016184616A - 太陽電池および太陽電池モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の太陽電池は、導電型単結晶シリコン基板を含む光電変換部と、光電変換部の第一主面上に第一透明電極層と、第一集電極と、をこの順に有する。光電変換部は、第一主面側の表面に凹凸構造を有し、かつ、前記凹凸構造の凹部の曲率半径rがr<5nmを満たす。第一透明電極層は、厚みd11が1nm<d11≦50nmを満たし、第一透明電極層上の第一集電極が形成されていない第一集電極非形成領域のほぼ全面に第一絶縁層が設けられている。第一絶縁層の厚みd12が5nm<d12<150nmを満たし、前記第一透明電極層および第一絶縁層の屈折率を各々n11およびn12としたとき、1.6≦n12≦2.0およびn12<n11を満たし、前記第一集電極がめっき層を含む。
【選択図】図2
Description
この微細なゴーストプレーティングは、上述のように無機物や有機物のパーティクルが主な原因と考えられており、洗浄により抑制可能であると考えられてきたものの、本発明者らが検討した結果、基板洗浄によるゴーストプレーティング抑制はほとんど効果がなかった。そこで作製した太陽電池セルを分析した結果、凹部における透明電極層に生じうるクラックやボイドが原因ということがわかった。
本発明は以下に関する。
本発明の太陽電池セルとしては、例えば、図2,3のように導電型単結晶シリコン基板10の表面に、単結晶シリコンとはバンドギャップの異なるシリコン系層を有することで、拡散電位が形成された結晶系太陽電池(ヘテロ接合結晶シリコン太陽電池)を用いることが好ましい。太陽電池セルは、光電変換部として、導電型単結晶シリコン基板10の第一主面(受光面側の面)に一導電型シリコン系層31を有するものを用い、当該光電変換部の第一主面上に第一透明電極層51と第一集電極をこの順に有するものを用いる。
本発明においては、光電変換部の第一主面上に第一透明電極層を有する。また光電変換部の第二主面上に第二透明電極層も有することが好ましい。本明細書において「透明電極層」とは、第一透明電極層または第二透明電極層のうちのいずれかを意味する。
本実施形態においては、第一集電極70は第一下地層71とめっき層(第一めっき層72)から形成されている。また第一下地層71と第一めっき層72の間には開口部を有する第一絶縁層61が形成されている。
第一下地層71は、インクジェット法、スクリーン印刷法、導線接着法、スプレー法、真空蒸着法、スパッタ法等の公知技術によって作製できる。第一下地層71は、櫛形等の所定形状にパターン化されていることが好ましい。パターン化された第一集電極下地層71の形成には、生産性の観点からスクリーン印刷法が適している。スクリーン印刷法では、導電性材料を含む印刷ペースト、および集電極のパターン形状に対応した開口パターンを有するスクリーン版を用いて、集電極パターンを印刷する方法が好ましく用いられる。
本発明においては、光電変換部の第一主面において、第一集電極が形成されていない領域のほぼ全面が第一絶縁層で覆われている。第一絶縁層は、厚みd12が5nm<d12<150nmを満たす。この範囲を満たすことで、第一透明電極層の保護及び反射防止膜としての機能が期待できる。中でも10nm<d12<120nmを満たすものを用いることが好ましく、20nm<d12<80nmを満たすことがより好ましい。
上記のように、開口部を有する絶縁層61が形成された後、めっき法により第一めっき層72が形成される。この際、第一めっき層72として析出させる金属は、めっき法で形成できる材料であれば特に限定されず、例えば、銅、ニッケル、錫、アルミニウム、クロム、銀、金、亜鉛、鉛、パラジウム等、あるいはこれらの混合物を用いることができる。より低コストでより低抵抗化が期待できる観点から、銅を用いることが好ましい。また、めっき層としては複数層を用いても良く、例えば銅めっき層を形成後に銅の酸化を防止するために錫めっき層等により保護層を形成してもよい。第一集電極と第二集電極の材料は、同じであっても異なっていても良いが、材料を一元化したコスト低減効果や、第一主面と第二主面側の応力や熱膨張を均一化する点で同一の材料を用いることが好ましい。
ヘテロ接合太陽電池は、主としてセルに透明電極を含む点、耐熱温度が200℃程度である点において、通常の太陽電池モジュールと異なっている。透明電極は水分と反応して特性が悪化してしまうので、透明電極よりも外側の構造物における水蒸気バリア性は、モジュールの信頼性を確保する上で重要な要素となる。
実施例1では、以下の方法により、図1に模式的に示す結晶シリコン系太陽電池を作製した。
比較例1では、実施例1と同様のテクスチャを基板表面に形成した。その後50重量%のHF水溶液と60重量%の硝酸水溶液とを体積比で1:20の割合で混合した水溶液を準備し、上記基板を、25℃に保持された上記混合水溶液に30秒間浸漬した。その後、実施例1と同様に、オゾン処理及びフッ酸処理を行った。実施例1と同様の方法により、テクスチャの凹部の曲率半径rAを求めたところ、200nmであった。
続いて、実施例1で説明した方法と同様にシリコン系層31,32までを製膜したサンプルに対して、実施例1と同様の方法で、第一透明電極層51としてITOを30nm製膜し、第二透明電極層52としてITOを50nm製膜した。第二透明電極層52上には第二集電極として銀を500nm製膜した。製膜はスパッタ法によって行われた。第一透明電極層51上には、第一下地層71として銀ペーストがスクリーン印刷された。その後、銀ペースト中の溶剤を揮発させるため、140℃の大気下にて20分間仮焼成が行われた。続けて第一絶縁層61として、SiNが110nm製膜された。製膜はCVD法を用いて行われ、製膜条件は、基板温度:150℃、圧力50Pa、SiH4/NH3流量比:1/3、投入パワー密度:0.04W/cm2であった。
第一透明電極層51の膜厚を40nmとしたこと以外は、実施例2と同様にして太陽電池を作製した。
第一絶縁層61の膜厚を30nmとしたこと以外は、実施例2と同様にして太陽電池を作製した。
第一絶縁層61の膜厚を30nmとしたこと以外は、実施例3と同様にして太陽電池を作製した。
第一透明電極層51の膜厚を80nmとしたこと以外は、実施例2と同様にして太陽電池を作成した。
第一透明電極層51の膜厚を120nmとしたこと以外は、比較例2と同様にして太陽電池を作製した。
第一絶縁層61の膜厚を30nmとしたこと以外は、比較例2と同様にして太陽電池を作成した。
第一絶縁層61の膜厚を30nmとしたこと以外は、比較例3と同様にして太陽電池を作製した。
なお、表2におけるゴーストの評価は、ゴーストめっきの析出状況を目視観察することにより、5点満点で評価したものである。集電極非形成領域における絶縁層上に、殆ど銅の析出が見られなかったものを3点、粒径数百μm程度の銅の析出が一部あるものが2点、全面に渡ってゴーストめっきが目視確認できる程度に銅が析出したものを1点とした。
まず2〜5μmのランダムなテクスチャ構造を有する厚さ200μmの結晶シリコン基板10を考えた。結晶シリコン基板の両面に真性シリコン系層21,22を5nmを堆積させ、第一主面、第二主面にそれぞれp型シリコン系層7nm、n型シリコン系層5nmを堆積させた。
第一透明電極層51の膜厚が20nmであることを除いて、実施例4と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一透明電極層51の膜厚が40nmであることを除いて、実施例4と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の膜厚が70nmであることを除いて、実施例4と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の膜厚が70nmであることを除いて、実施例5と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の膜厚が70nmであることを除いて、実施例6と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の膜厚が110nmであることを除いて、実施例4と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の膜厚が110nmであることを除いて、実施例5と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の膜厚が110nmであることを除いて、実施例6と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の屈折率が1.5であることを除いて、実施例4と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の屈折率が1.5であることを除いて、実施例5と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の屈折率が1.5であることを除いて、実施例6と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の屈折率が1.5であることを除いて、実施例7と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の屈折率が1.5であることを除いて、実施例8と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の屈折率が1.5であることを除いて、実施例9と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の屈折率が1.5であることを除いて、実施例10と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の屈折率が1.5であることを除いて、実施例11と同様の構成でシミュレーションを実施した。
第一絶縁層61の屈折率が1.5であることを除いて、実施例12と同様の構成でシミュレーションを実施した。
21、真性シリコン層
22、真性シリコン層
31、一導電型シリコン系層
32、逆導電型シリコン系層
40、光電変換部
50、透明電極層
51、第一透明電極層
52、第二透明電極層
61、第一絶縁層
62、第二絶縁層
70、第一集電極
71、第一下地層
72、第一めっき層
80、第二集電極
81、第二下地層
82、第二めっき層
100、ヘテロ接合太陽電池
200、太陽電池モジュール
201、封止材
202、第一保護材
203、第二保護材
204、配線材
300、AM1.5の入射光
Claims (7)
- 導電型単結晶シリコン基板を含む光電変換部と、前記光電変換部の第一主面上に第一透明電極層と、第一集電極と、をこの順に設けた太陽電池であって、
前記光電変換部は、第一主面側の表面にテクスチャにより形成された凹凸構造を有し、かつ、前記凹凸構造の凹部の曲率半径rがr<5nmを満たし、
前記第一透明電極層は、厚みd11が1nm<d11≦50nmを満たし、
前記第一透明電極層上の第一集電極が形成されていない第一集電極非形成領域のほぼ全面に第一絶縁層が設けられ、
前記第一絶縁層の厚みd12が5nm<d12<150nmを満たし、
前記第一透明電極層および第一絶縁層の屈折率を各々n11およびn12としたとき、1.6≦n12≦2.0およびn12<n11を満たし、
前記第一集電極がめっき層を含む、太陽電池。 - 前記第一透明電極層は、結晶質である、請求項1に記載の太陽電池。
- 前記第一透明電極層は、酸化インジウムを主成分とし、さらに金属ドーパントとして、Sn,W,Ce,Zn,As,Al,Si,S,Tiのうちいずれか一つ以上を含む、請求項1または2に記載の太陽電池。
- 前記光電変換部の第二主面上に第二透明電極層と、第二集電極と、をこの順に有し、
前記第二透明電極層上の第二集電極が形成されていない第二集電極非形成領域のほぼ全面に第二絶縁層が設けられ、
前記第二透明電極層および第二絶縁層の厚みを各々d21およびd22としたとき、0.9<d21/d11<1.1および0.9<d22/d12<1.1を満たす、請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の太陽電池と、封止材と、を有する太陽電池モジュールであって、
前記封止材は、前記第一絶縁層上に第一封止材を有し、
第一封止材の屈折率をn13としたとき、1.8<n11<2.3、1.6<n12<2.0、1.4<n13<1.6およびn13<n12<n11を満たす、太陽電池モジュール。 - 前記第一封止材が、架橋性オレフィンを有する、請求項5に記載の太陽電池モジュール。
- 前記太陽電池の第一主面側に第一保護材と、第二主面側に第二保護材とを有し、前記第二保護材が金属箔を有さない、請求項5または6に記載の太陽電池モジュール。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111564112A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-08-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示装置、显示面板及其制造方法 |
WO2021221049A1 (ja) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 株式会社カネカ | 太陽電池の製造方法および太陽電池 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59104185A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-06-15 | エクソン・リサ−チ・アンド・エンジニアリング・カンパニ− | 反射体を隔設した光起電半導体装置 |
JP2001326374A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 太陽電池モジュ−ル |
JP2012009598A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Kaneka Corp | 結晶シリコン系太陽電池 |
WO2012020682A1 (ja) * | 2010-08-09 | 2012-02-16 | 株式会社カネカ | 結晶シリコン系太陽電池 |
WO2014064929A1 (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-01 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池 |
JP2014130943A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池およびその製造方法 |
JP2014229712A (ja) * | 2013-05-21 | 2014-12-08 | 株式会社カネカ | 太陽電池およびその製造方法、ならびに太陽電池モジュール |
JP2014229876A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 株式会社カネカ | 結晶シリコン系太陽電池およびその製造方法、ならびに太陽電池モジュール |
US20150075598A1 (en) * | 2013-09-19 | 2015-03-19 | International Business Machines Corporation | Selective self-aligned plating of heterojunction solar cells |
-
2015
- 2015-03-25 JP JP2015063295A patent/JP6502716B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59104185A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-06-15 | エクソン・リサ−チ・アンド・エンジニアリング・カンパニ− | 反射体を隔設した光起電半導体装置 |
JP2001326374A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 太陽電池モジュ−ル |
JP2012009598A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Kaneka Corp | 結晶シリコン系太陽電池 |
WO2012020682A1 (ja) * | 2010-08-09 | 2012-02-16 | 株式会社カネカ | 結晶シリコン系太陽電池 |
WO2014064929A1 (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-01 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池 |
JP2014130943A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池およびその製造方法 |
JP2014229712A (ja) * | 2013-05-21 | 2014-12-08 | 株式会社カネカ | 太陽電池およびその製造方法、ならびに太陽電池モジュール |
JP2014229876A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 株式会社カネカ | 結晶シリコン系太陽電池およびその製造方法、ならびに太陽電池モジュール |
US20150075598A1 (en) * | 2013-09-19 | 2015-03-19 | International Business Machines Corporation | Selective self-aligned plating of heterojunction solar cells |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021221049A1 (ja) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 株式会社カネカ | 太陽電池の製造方法および太陽電池 |
CN111564112A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-08-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示装置、显示面板及其制造方法 |
CN111564112B (zh) * | 2020-06-09 | 2022-09-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示装置、显示面板及其制造方法 |
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