JP2016180178A5 - 酸化物の作製方法 - Google Patents
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Claims (5)
- スパッタリング装置を用いた酸化物の作製方法であって、
前記酸化物の成膜中に、プラズマ密度が高密度の第１の期間と、プラズマ密度が低密度の第２の期間とを、繰り返すことを特徴とする酸化物の作製方法。 - ターゲットと、バッキングプレートと、マグネットユニットと、電源と、を有し、
前記ターゲットは、前記バッキングプレートに固定され、
前記マグネットユニットは、前記バッキングプレートを介して前記ターゲットの背面側に配置され、
前記電源は、前記バッキングプレートと電気的に接続されるスパッタリング装置を用いた酸化物の作製方法であって、
前記酸化物の成膜中に、前記電源から前記バッキングプレートに供給する電位を高くしたり、低くしたりすることで、プラズマ密度が高密度の第１の期間と、プラズマ密度が低密度の第２の期間とを繰り返すことを特徴とする酸化物の作製方法。 - ターゲットと、バッキングプレートと、マグネットユニットと、電源と、を有し、
前記ターゲットは、前記バッキングプレートに固定され、
前記マグネットユニットは、前記バッキングプレートを介して前記ターゲットの背面側に配置され、
前記電源は、前記バッキングプレートと電気的に接続されるスパッタリング装置を用いた酸化物の作製方法であって、
前記酸化物の成膜中に、前記マグネットユニットの磁束密度を変化させることで、プラズマ密度が高密度の第１の期間と、プラズマ密度が低密度の第２の期間とを繰り返すことを特徴とする酸化物の作製方法。 - ターゲットと、バッキングプレートと、マグネットユニットと、電源と、を有し、
前記ターゲットは、前記バッキングプレートに固定され、
前記マグネットユニットは、前記バッキングプレートを介して前記ターゲットの背面側に配置され、
前記電源は、前記バッキングプレートと電気的に接続されるスパッタリング装置を用いた酸化物の作製方法であって、
前記酸化物の成膜中に、前記ターゲットホルダを揺動させることで、前記酸化物の近傍ではプラズマ密度が高密度の第１の期間と、プラズマ密度が低密度の第２の期間とを繰り返すことを特徴とする酸化物の作製方法。 - 請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第１の期間は、１秒以上３０秒以下であり、
前記第２の期間は、１ミリ秒以上５０秒以下であることを特徴とする酸化物の作製方法。
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