JP2016166782A - 磁気センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ホール素子を用いた磁気センサであり、スピニングカレント方式を用いた磁気オフセットを低減する回路における、磁気オフセットを低減する。
【解決手段】ホール素子の各端子に接続された第一の電流経路と第二の電流経路とに切り替える電流経路切替え用スイッチと、ホール素子の各端子に接続されたホール電圧を出力する経路を第一の出力経路と第二の出力経路とを切り替える出力経路切替え用スイッチと、第一の出力経路の出力電圧と第二の出力経路の出力電圧の差分を出力する減算器と、を備え、第一の出力経路と第二の出力経路の配線抵抗値を同じに構成した磁気センサ装置。
【選択図】図1
【解決手段】ホール素子の各端子に接続された第一の電流経路と第二の電流経路とに切り替える電流経路切替え用スイッチと、ホール素子の各端子に接続されたホール電圧を出力する経路を第一の出力経路と第二の出力経路とを切り替える出力経路切替え用スイッチと、第一の出力経路の出力電圧と第二の出力経路の出力電圧の差分を出力する減算器と、を備え、第一の出力経路と第二の出力経路の配線抵抗値を同じに構成した磁気センサ装置。
【選択図】図1
Description
本発明は、ホール素子を用いた磁気センサ装置に関し、より詳しくはスピニングカレント方式の磁気センサ装置の磁気オフセットを低減する技術に関する。
ホール素子から出力されるホール電圧は、印加された磁場の信号成分だけでなく、磁気オフセット成分も含まれている。磁気オフセットとは、ホール素子を製造する際の製造バラツキやホール素子にかかる応力など、様々な要因によって生じる誤差成分のことである。磁気オフセットは、誤差成分であるため、磁気センサの精度低下に大きく影響する。
特許文献1は、スピニングカレント方式を用いて磁気オフセッ成分を低減する回路を開示している。スピニングカレント方式は、ホール素子に対して電流を第一の方向に流し、そのときに電流を流していない2つの端子から得られるホール電圧と、電流を第一の方向と直交する第二の方向に流し、そのときに電流を流していない2つの端子から得られるホール電圧の差分を出力する。従って、第一の方向と第二の方向の信号成分のみが加算されるので、磁気オフセット成分は相殺される。
しかしながら、スピニングカレント方式を用いても、レイアウトパターンによる寄生抵抗の影響によって、新たなノイズ成分が発生してしまう問題が存在する。
図5は、従来の磁気センサ装置の配置配線図である。
ここでは、SW3からSW4へ第一の方向に電流を流している。ホール素子を用いた磁気センサでスピニングカレント方式の磁気オフセット低減回路においては、出力電圧切り替え用Nチャネル型電界効果トランジスタSW5及び、SW6のN+ソースとP型基板間にPN接合ダイオードD1〜D4が存在しており、リーク電流がわずかながら流れる。そのため、ホール素子の端子H1〜H4から、出力電圧切り替え用Nチャネル型電界効果トランジスタSW5及び、SW6のN+ソースまでの配線抵抗が同じ値でないと、ホール素子から同じホール電圧が出力されていたとしても、PN接合ダイオードによる電圧降下に差が生じ、第一の方向と第二の方向で信号レベルに差が生じてしまい、スピニングカレント方式のオフセット低減回路を用いてもノイズ成分が残ってしまう。
ここでは、SW3からSW4へ第一の方向に電流を流している。ホール素子を用いた磁気センサでスピニングカレント方式の磁気オフセット低減回路においては、出力電圧切り替え用Nチャネル型電界効果トランジスタSW5及び、SW6のN+ソースとP型基板間にPN接合ダイオードD1〜D4が存在しており、リーク電流がわずかながら流れる。そのため、ホール素子の端子H1〜H4から、出力電圧切り替え用Nチャネル型電界効果トランジスタSW5及び、SW6のN+ソースまでの配線抵抗が同じ値でないと、ホール素子から同じホール電圧が出力されていたとしても、PN接合ダイオードによる電圧降下に差が生じ、第一の方向と第二の方向で信号レベルに差が生じてしまい、スピニングカレント方式のオフセット低減回路を用いてもノイズ成分が残ってしまう。
本発明は、こうした問題を鑑みてなされたものであり、ホール素子を用いた磁気センサで、磁気オフセット低減のためのスピニングカレント方式の回路に関して、レイアウトパターンによって、磁気オフセットを低減することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明の磁気センサ装置は以下の構成とした。
ホール素子の各端子に接続された第一の電流経路と第二の電流経路とに切り替える電流経路切替え用スイッチと、ホール素子の各端子に接続されたホール電圧を出力する経路を第一の出力経路と第二の出力経路とを切り替える出力経路切替え用スイッチと、第一の出力経路の出力電圧と第二の出力経路の出力電圧の差分を出力する減算器と、を備え、第一の出力経路と第二の出力経路の配線抵抗値を同じに構成した磁気センサ装置。
ホール素子の各端子に接続された第一の電流経路と第二の電流経路とに切り替える電流経路切替え用スイッチと、ホール素子の各端子に接続されたホール電圧を出力する経路を第一の出力経路と第二の出力経路とを切り替える出力経路切替え用スイッチと、第一の出力経路の出力電圧と第二の出力経路の出力電圧の差分を出力する減算器と、を備え、第一の出力経路と第二の出力経路の配線抵抗値を同じに構成した磁気センサ装置。
本発明の磁気センサ装置によれば、ホール素子の出力端子から出力電圧切り替え用スイッチまでの配線抵抗値を同じ値にすることで、磁気オフセットを低減することが出来る。
以下、図面を参照して本実施形態の実施形態について説明する。
図1は、本実施形態の磁気センサ装置の配置配線図の一例である。
ホール素子の原点に対して、SW5及び、SW6がX軸及びY軸対称に配置されている。各配線の単位配線抵抗値が同じならば、図1のように配線の長さを等しくすることで、配線L1〜L4の配線抵抗値は等しくなる。
図1は、本実施形態の磁気センサ装置の配置配線図の一例である。
ホール素子の原点に対して、SW5及び、SW6がX軸及びY軸対称に配置されている。各配線の単位配線抵抗値が同じならば、図1のように配線の長さを等しくすることで、配線L1〜L4の配線抵抗値は等しくなる。
図2は、図1の実施形態の磁気センサ装置のホール電圧の成分内訳を示す図である。
端子H3から端子H4に向けて第一の方向に電流を流したときの状態をφ1とし、端子H1から端子H2に向けて第二の方向に電流を流したときの状態をφ2とする。また、出力電圧切り替え用スイッチSW5の出力電圧をV1とし、出力電圧切り替え用スイッチSW6の出力電圧をV2とする。状態φ1の時の電圧V1をV1φ1、状態φ1の時の電圧V2をV2φ1、状態φ2の時の電圧V1をV1φ2、状態φ2の時の電圧V2をV2φ2とする。今後の説明ではすべて、磁気センサに対して上部から磁場が印加されているものとする。
端子H3から端子H4に向けて第一の方向に電流を流したときの状態をφ1とし、端子H1から端子H2に向けて第二の方向に電流を流したときの状態をφ2とする。また、出力電圧切り替え用スイッチSW5の出力電圧をV1とし、出力電圧切り替え用スイッチSW6の出力電圧をV2とする。状態φ1の時の電圧V1をV1φ1、状態φ1の時の電圧V2をV2φ1、状態φ2の時の電圧V1をV1φ2、状態φ2の時の電圧V2をV2φ2とする。今後の説明ではすべて、磁気センサに対して上部から磁場が印加されているものとする。
磁場が印加されたときの状態φ1での電圧V1φ1と電圧V2φ1は、
V1φ1=―ΔR+Bos−γ (1)
V2φ1=+ΔR―Bos−γ (2)
また、状態φ2での電圧V1φ2と電圧V2φ2は、
V1φ2=+ΔR+Bos−γ (3)
V2φ2=―ΔR―Bos−γ (4)
となり、減算器2で(1)―(2)を実施した結果を電圧Vφ1とし、(3)―(4)を実施した結果を電圧Vφ2とし計算すると以下の(5)と(6)式になる。
V1φ1=―ΔR+Bos−γ (1)
V2φ1=+ΔR―Bos−γ (2)
また、状態φ2での電圧V1φ2と電圧V2φ2は、
V1φ2=+ΔR+Bos−γ (3)
V2φ2=―ΔR―Bos−γ (4)
となり、減算器2で(1)―(2)を実施した結果を電圧Vφ1とし、(3)―(4)を実施した結果を電圧Vφ2とし計算すると以下の(5)と(6)式になる。
Vφ1=(―ΔR+Bos−γ)−(+ΔR―Bos−γ)=―2ΔR+2Bos (5)
Vφ2=(+ΔR+Bos−γ)−(―ΔR―Bos−γ)=+2ΔR+2Bos (6)
さらに減算器2でVφ2―Vφ1を行なうと、減算器2の出力電圧は、
(+2ΔR+2Bos)―(―2ΔR+2Bos)=+4ΔR (7)
となり、磁場信号成分のみが加算されて、磁気オフセット成分及び、配線L1〜L4による電圧降下γは打ち消され、減算器2から出力されない。
なお、配線L1〜L4の配線抵抗値が同じならば、SW5及びSW6のホール素子1までの距離などの配置場所は限定しない。
Vφ2=(+ΔR+Bos−γ)−(―ΔR―Bos−γ)=+2ΔR+2Bos (6)
さらに減算器2でVφ2―Vφ1を行なうと、減算器2の出力電圧は、
(+2ΔR+2Bos)―(―2ΔR+2Bos)=+4ΔR (7)
となり、磁場信号成分のみが加算されて、磁気オフセット成分及び、配線L1〜L4による電圧降下γは打ち消され、減算器2から出力されない。
なお、配線L1〜L4の配線抵抗値が同じならば、SW5及びSW6のホール素子1までの距離などの配置場所は限定しない。
図3は、本実施形態の磁気センサ装置の配置配線図の他の例である。
ホール素子の原点に対して、SW5及び、SW6が片側に配置されている。配線L1及び配線L3の配線抵抗値が同じで、かつ、配線L2及び配線L4の配線抵抗値が同じであれば、SW5及びSW6を切替えたときのホール素子1と減算器2の間の配線抵抗値は等しくなる。
ホール素子の原点に対して、SW5及び、SW6が片側に配置されている。配線L1及び配線L3の配線抵抗値が同じで、かつ、配線L2及び配線L4の配線抵抗値が同じであれば、SW5及びSW6を切替えたときのホール素子1と減算器2の間の配線抵抗値は等しくなる。
図4は、図3の実施形態の磁気センサ装置のホール電圧の成分内訳を示す図である。
端子H3から端子H4に向けて第一の方向に電流を流したときの状態をφ1とし、端子H1から端子H2に向けて第二の方向に電流を流したときの状態をφ2とする。また、出力電圧切り替え用スイッチSW5の出力電圧をV1とし、出力電圧切り替え用スイッチSW6の出力電圧をV2とする。状態φ1の時の電圧V1をV1φ1、状態φ1の時の電圧V2をV2φ1、状態φ2の時の電圧V1をV1φ2、状態φ2の時の電圧V2をV2φ2とする。
端子H3から端子H4に向けて第一の方向に電流を流したときの状態をφ1とし、端子H1から端子H2に向けて第二の方向に電流を流したときの状態をφ2とする。また、出力電圧切り替え用スイッチSW5の出力電圧をV1とし、出力電圧切り替え用スイッチSW6の出力電圧をV2とする。状態φ1の時の電圧V1をV1φ1、状態φ1の時の電圧V2をV2φ1、状態φ2の時の電圧V1をV1φ2、状態φ2の時の電圧V2をV2φ2とする。
磁場が印加されているときの状態φ1での電圧V1φ1と電圧V2φ1は、
V1φ1=―ΔR+Bos−α (8)
V2φ1=+ΔR―Bos−β (9)
また、状態φ2での電圧V1φ2と電圧V2φ2は、
V1φ2=+ΔR+Bos−α (10)
V2φ2=―ΔR―Bos−β (11)
となり、減算器2で(1)―(2)を実施した結果を電圧Vφ1とし、(3)―(4)を実施した結果を電圧Vφ2とし計算すると以下の(5)と(6)式になる。
V1φ1=―ΔR+Bos−α (8)
V2φ1=+ΔR―Bos−β (9)
また、状態φ2での電圧V1φ2と電圧V2φ2は、
V1φ2=+ΔR+Bos−α (10)
V2φ2=―ΔR―Bos−β (11)
となり、減算器2で(1)―(2)を実施した結果を電圧Vφ1とし、(3)―(4)を実施した結果を電圧Vφ2とし計算すると以下の(5)と(6)式になる。
Vφ1=(―ΔR+Bos−α)−(+ΔR―Bos−β)=―2ΔR+2Bos−α+β (12)
Vφ2=(+ΔR+Bos−α)−(―ΔR―Bos−β)=+2ΔR+2Bos−α+β (13)
さらに減算器2でVφ2―Vφ1を行なうと、減算器2の出力電圧は、
(+2ΔR+2Bos−α+β)―(―2ΔR+2Bos−α+β)=+4ΔR (14)
となり、信号のみが加算されて、磁気オフセット成分及び、配線L1、配線L3による電圧降下α、及び配線L2、配線L4による電圧降下βは打ち消され、減算器2から出力されない。
Vφ2=(+ΔR+Bos−α)−(―ΔR―Bos−β)=+2ΔR+2Bos−α+β (13)
さらに減算器2でVφ2―Vφ1を行なうと、減算器2の出力電圧は、
(+2ΔR+2Bos−α+β)―(―2ΔR+2Bos−α+β)=+4ΔR (14)
となり、信号のみが加算されて、磁気オフセット成分及び、配線L1、配線L3による電圧降下α、及び配線L2、配線L4による電圧降下βは打ち消され、減算器2から出力されない。
なお、配線L1及び配線L3の配線抵抗値が同じであること、かつ、配線L2及び配線L4の配線抵抗値が同じであれば、SW5及びSW6のホール素子からの距離など配置場所は限定しない。
1 ホール素子
2 減算器
SW5〜SW6 スイッチ素子
2 減算器
SW5〜SW6 スイッチ素子
Claims (2)
- 電源の高電位側と低電位側にそれぞれ二つの端子を持つホール素子と、
前記ホール素子の各端子に接続された、前記ホール素子に流す電流の経路を第一の電流経路と第二の電流経路とに切り替える電流経路切替え用スイッチと、
前記ホール素子の各端子に接続された、前記ホール素子のホール電圧を出力する経路を第一の出力経路と第二の出力経路とを切り替える出力経路切替え用スイッチと、
前記第一の出力経路の出力電圧と前記第二の出力経路の出力電圧の差分を出力する減算器と、を備え
前記第一の出力経路と前記第二の出力経路の配線抵抗値が同じであることを特徴とする磁気センサ装置。 - 前記電流経路切替え用スイッチと前記出力経路切り替え用スイッチとが、前記ホール素子に対してX軸及びY軸対称に配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ装置。
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