JP2016166782A - 磁気センサ装置 - Google Patents

磁気センサ装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2016166782A
JP2016166782A JP2015046303A JP2015046303A JP2016166782A JP 2016166782 A JP2016166782 A JP 2016166782A JP 2015046303 A JP2015046303 A JP 2015046303A JP 2015046303 A JP2015046303 A JP 2015046303A JP 2016166782 A JP2016166782 A JP 2016166782A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
voltage
path
hall element
magnetic sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015046303A
Other languages
English (en)
Inventor
嵩裕 井東
Takahiro Ito
嵩裕 井東
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ablic Inc
Original Assignee
Ablic Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ablic Inc filed Critical Ablic Inc
Priority to JP2015046303A priority Critical patent/JP2016166782A/ja
Priority to TW105106419A priority patent/TW201643460A/zh
Priority to KR1020160027057A priority patent/KR20160110147A/ko
Priority to US15/062,645 priority patent/US20160266215A1/en
Priority to CN201610132979.7A priority patent/CN105954691A/zh
Publication of JP2016166782A publication Critical patent/JP2016166782A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/07Hall effect devices
    • G01R33/072Constructional adaptation of the sensor to specific applications
    • G01R33/075Hall devices configured for spinning current measurements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/07Hall effect devices

Abstract

【課題】ホール素子を用いた磁気センサであり、スピニングカレント方式を用いた磁気オフセットを低減する回路における、磁気オフセットを低減する。
【解決手段】ホール素子の各端子に接続された第一の電流経路と第二の電流経路とに切り替える電流経路切替え用スイッチと、ホール素子の各端子に接続されたホール電圧を出力する経路を第一の出力経路と第二の出力経路とを切り替える出力経路切替え用スイッチと、第一の出力経路の出力電圧と第二の出力経路の出力電圧の差分を出力する減算器と、を備え、第一の出力経路と第二の出力経路の配線抵抗値を同じに構成した磁気センサ装置。
【選択図】図1

Description

本発明は、ホール素子を用いた磁気センサ装置に関し、より詳しくはスピニングカレント方式の磁気センサ装置の磁気オフセットを低減する技術に関する。
ホール素子から出力されるホール電圧は、印加された磁場の信号成分だけでなく、磁気オフセット成分も含まれている。磁気オフセットとは、ホール素子を製造する際の製造バラツキやホール素子にかかる応力など、様々な要因によって生じる誤差成分のことである。磁気オフセットは、誤差成分であるため、磁気センサの精度低下に大きく影響する。
特許文献1は、スピニングカレント方式を用いて磁気オフセッ成分を低減する回路を開示している。スピニングカレント方式は、ホール素子に対して電流を第一の方向に流し、そのときに電流を流していない2つの端子から得られるホール電圧と、電流を第一の方向と直交する第二の方向に流し、そのときに電流を流していない2つの端子から得られるホール電圧の差分を出力する。従って、第一の方向と第二の方向の信号成分のみが加算されるので、磁気オフセット成分は相殺される。
特開2001−337147号公報
しかしながら、スピニングカレント方式を用いても、レイアウトパターンによる寄生抵抗の影響によって、新たなノイズ成分が発生してしまう問題が存在する。
図5は、従来の磁気センサ装置の配置配線図である。
ここでは、SW3からSW4へ第一の方向に電流を流している。ホール素子を用いた磁気センサでスピニングカレント方式の磁気オフセット低減回路においては、出力電圧切り替え用Nチャネル型電界効果トランジスタSW5及び、SW6のN+ソースとP型基板間にPN接合ダイオードD1〜D4が存在しており、リーク電流がわずかながら流れる。そのため、ホール素子の端子H1〜H4から、出力電圧切り替え用Nチャネル型電界効果トランジスタSW5及び、SW6のN+ソースまでの配線抵抗が同じ値でないと、ホール素子から同じホール電圧が出力されていたとしても、PN接合ダイオードによる電圧降下に差が生じ、第一の方向と第二の方向で信号レベルに差が生じてしまい、スピニングカレント方式のオフセット低減回路を用いてもノイズ成分が残ってしまう。
本発明は、こうした問題を鑑みてなされたものであり、ホール素子を用いた磁気センサで、磁気オフセット低減のためのスピニングカレント方式の回路に関して、レイアウトパターンによって、磁気オフセットを低減することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明の磁気センサ装置は以下の構成とした。
ホール素子の各端子に接続された第一の電流経路と第二の電流経路とに切り替える電流経路切替え用スイッチと、ホール素子の各端子に接続されたホール電圧を出力する経路を第一の出力経路と第二の出力経路とを切り替える出力経路切替え用スイッチと、第一の出力経路の出力電圧と第二の出力経路の出力電圧の差分を出力する減算器と、を備え、第一の出力経路と第二の出力経路の配線抵抗値を同じに構成した磁気センサ装置。
本発明の磁気センサ装置によれば、ホール素子の出力端子から出力電圧切り替え用スイッチまでの配線抵抗値を同じ値にすることで、磁気オフセットを低減することが出来る。
本実施形態の磁気センサ装置の配置配線図の一例である。 本実施形態の磁気センサ装置のホール電圧の成分内訳を示す図である。 本実施形態の磁気センサ装置の配置配線図の他の例である。 本実施形態の磁気センサ装置のホール電圧の成分内訳を示す図である。 従来の磁気センサ装置の配置配線図である。
以下、図面を参照して本実施形態の実施形態について説明する。
図1は、本実施形態の磁気センサ装置の配置配線図の一例である。
ホール素子の原点に対して、SW5及び、SW6がX軸及びY軸対称に配置されている。各配線の単位配線抵抗値が同じならば、図1のように配線の長さを等しくすることで、配線L1〜L4の配線抵抗値は等しくなる。
図2は、図1の実施形態の磁気センサ装置のホール電圧の成分内訳を示す図である。
端子H3から端子H4に向けて第一の方向に電流を流したときの状態をφ1とし、端子H1から端子H2に向けて第二の方向に電流を流したときの状態をφ2とする。また、出力電圧切り替え用スイッチSW5の出力電圧をV1とし、出力電圧切り替え用スイッチSW6の出力電圧をV2とする。状態φ1の時の電圧V1をV1φ1、状態φ1の時の電圧V2をV2φ1、状態φ2の時の電圧V1をV1φ2、状態φ2の時の電圧V2をV2φ2とする。今後の説明ではすべて、磁気センサに対して上部から磁場が印加されているものとする。
磁場が印加されたときの状態φ1での電圧V1φ1と電圧V2φ1は、
V1φ1=―ΔR+Bos−γ (1)
V2φ1=+ΔR―Bos−γ (2)
また、状態φ2での電圧V1φ2と電圧V2φ2は、
V1φ2=+ΔR+Bos−γ (3)
V2φ2=―ΔR―Bos−γ (4)
となり、減算器2で(1)―(2)を実施した結果を電圧Vφ1とし、(3)―(4)を実施した結果を電圧Vφ2とし計算すると以下の(5)と(6)式になる。
Vφ1=(―ΔR+Bos−γ)−(+ΔR―Bos−γ)=―2ΔR+2Bos (5)
Vφ2=(+ΔR+Bos−γ)−(―ΔR―Bos−γ)=+2ΔR+2Bos (6)
さらに減算器2でVφ2―Vφ1を行なうと、減算器2の出力電圧は、
(+2ΔR+2Bos)―(―2ΔR+2Bos)=+4ΔR (7)
となり、磁場信号成分のみが加算されて、磁気オフセット成分及び、配線L1〜L4による電圧降下γは打ち消され、減算器2から出力されない。
なお、配線L1〜L4の配線抵抗値が同じならば、SW5及びSW6のホール素子1までの距離などの配置場所は限定しない。
図3は、本実施形態の磁気センサ装置の配置配線図の他の例である。
ホール素子の原点に対して、SW5及び、SW6が片側に配置されている。配線L1及び配線L3の配線抵抗値が同じで、かつ、配線L2及び配線L4の配線抵抗値が同じであれば、SW5及びSW6を切替えたときのホール素子1と減算器2の間の配線抵抗値は等しくなる。
図4は、図3の実施形態の磁気センサ装置のホール電圧の成分内訳を示す図である。
端子H3から端子H4に向けて第一の方向に電流を流したときの状態をφ1とし、端子H1から端子H2に向けて第二の方向に電流を流したときの状態をφ2とする。また、出力電圧切り替え用スイッチSW5の出力電圧をV1とし、出力電圧切り替え用スイッチSW6の出力電圧をV2とする。状態φ1の時の電圧V1をV1φ1、状態φ1の時の電圧V2をV2φ1、状態φ2の時の電圧V1をV1φ2、状態φ2の時の電圧V2をV2φ2とする。
磁場が印加されているときの状態φ1での電圧V1φ1と電圧V2φ1は、
V1φ1=―ΔR+Bos−α (8)
V2φ1=+ΔR―Bos−β (9)
また、状態φ2での電圧V1φ2と電圧V2φ2は、
V1φ2=+ΔR+Bos−α (10)
V2φ2=―ΔR―Bos−β (11)
となり、減算器2で(1)―(2)を実施した結果を電圧Vφ1とし、(3)―(4)を実施した結果を電圧Vφ2とし計算すると以下の(5)と(6)式になる。
Vφ1=(―ΔR+Bos−α)−(+ΔR―Bos−β)=―2ΔR+2Bos−α+β (12)
Vφ2=(+ΔR+Bos−α)−(―ΔR―Bos−β)=+2ΔR+2Bos−α+β (13)
さらに減算器2でVφ2―Vφ1を行なうと、減算器2の出力電圧は、
(+2ΔR+2Bos−α+β)―(―2ΔR+2Bos−α+β)=+4ΔR (14)
となり、信号のみが加算されて、磁気オフセット成分及び、配線L1、配線L3による電圧降下α、及び配線L2、配線L4による電圧降下βは打ち消され、減算器2から出力されない。
なお、配線L1及び配線L3の配線抵抗値が同じであること、かつ、配線L2及び配線L4の配線抵抗値が同じであれば、SW5及びSW6のホール素子からの距離など配置場所は限定しない。
1 ホール素子
2 減算器
SW5〜SW6 スイッチ素子

Claims (2)

  1. 電源の高電位側と低電位側にそれぞれ二つの端子を持つホール素子と、
    前記ホール素子の各端子に接続された、前記ホール素子に流す電流の経路を第一の電流経路と第二の電流経路とに切り替える電流経路切替え用スイッチと、
    前記ホール素子の各端子に接続された、前記ホール素子のホール電圧を出力する経路を第一の出力経路と第二の出力経路とを切り替える出力経路切替え用スイッチと、
    前記第一の出力経路の出力電圧と前記第二の出力経路の出力電圧の差分を出力する減算器と、を備え
    前記第一の出力経路と前記第二の出力経路の配線抵抗値が同じであることを特徴とする磁気センサ装置。
  2. 前記電流経路切替え用スイッチと前記出力経路切り替え用スイッチとが、前記ホール素子に対してX軸及びY軸対称に配置されている
    ことを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ装置。
JP2015046303A 2015-03-09 2015-03-09 磁気センサ装置 Pending JP2016166782A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015046303A JP2016166782A (ja) 2015-03-09 2015-03-09 磁気センサ装置
TW105106419A TW201643460A (zh) 2015-03-09 2016-03-03 磁感測器裝置
KR1020160027057A KR20160110147A (ko) 2015-03-09 2016-03-07 자기 센서 장치
US15/062,645 US20160266215A1 (en) 2015-03-09 2016-03-07 Magnetic sensor device
CN201610132979.7A CN105954691A (zh) 2015-03-09 2016-03-09 磁传感器装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015046303A JP2016166782A (ja) 2015-03-09 2015-03-09 磁気センサ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2016166782A true JP2016166782A (ja) 2016-09-15

Family

ID=56887659

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015046303A Pending JP2016166782A (ja) 2015-03-09 2015-03-09 磁気センサ装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20160266215A1 (ja)
JP (1) JP2016166782A (ja)
KR (1) KR20160110147A (ja)
CN (1) CN105954691A (ja)
TW (1) TW201643460A (ja)

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4037150A (en) * 1973-05-30 1977-07-19 Sergei Glebovich Taranov Method of and apparatus for eliminating the effect of non-equipotentiality voltage on the hall voltage
JPS5472989A (en) * 1977-11-22 1979-06-11 Nippon Kuringeeji Kk Hall element residual voltage control circuit
JPS5491634U (ja) * 1977-12-12 1979-06-28
JPH09196699A (ja) * 1995-12-08 1997-07-31 Allegro Microsyst Inc チョップサンプルアンドホールド回路
WO2000008695A1 (fr) * 1998-08-07 2000-02-17 Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha Capteur magnetique et son procede de production
JP2000138403A (ja) * 1998-08-28 2000-05-16 Asahi Chem Ind Co Ltd 薄膜磁気センサ―
JP2004037221A (ja) * 2002-07-03 2004-02-05 Toko Inc センサ回路
JP2005283271A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Ricoh Co Ltd Icチップ、miセンサ、およびmiセンサを備えた電子装置
JP2010197079A (ja) * 2009-02-23 2010-09-09 Seiko Instruments Inc 磁気検出回路
JP2011047929A (ja) * 2009-07-29 2011-03-10 Tdk Corp 磁気センサ
JP2011117909A (ja) * 2009-12-07 2011-06-16 Seiko Instruments Inc 物理量センサ
JP2013167578A (ja) * 2012-02-16 2013-08-29 Seiko Instruments Inc 磁気センサ装置
JP2014163702A (ja) * 2013-02-21 2014-09-08 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 磁気センサ装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3315397B2 (ja) 2000-03-23 2002-08-19 松下電器産業株式会社 磁界センサおよび磁界検出方法
US20020175679A1 (en) * 2000-12-04 2002-11-28 Hoon Kim Apparatus and method for measuring Hall effect
CN101274674B (zh) * 2007-03-29 2012-01-04 北京石油化工学院 恒流式无触点加磁排钉包装方法及设备
JP5283075B2 (ja) * 2008-12-26 2013-09-04 学校法人慶應義塾 電子回路
JP5225938B2 (ja) * 2009-06-08 2013-07-03 セイコーインスツル株式会社 磁気センサ装置
JP2014163691A (ja) * 2013-02-21 2014-09-08 Seiko Instruments Inc 磁気センサ装置

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4037150A (en) * 1973-05-30 1977-07-19 Sergei Glebovich Taranov Method of and apparatus for eliminating the effect of non-equipotentiality voltage on the hall voltage
JPS5472989A (en) * 1977-11-22 1979-06-11 Nippon Kuringeeji Kk Hall element residual voltage control circuit
JPS5491634U (ja) * 1977-12-12 1979-06-28
JPH09196699A (ja) * 1995-12-08 1997-07-31 Allegro Microsyst Inc チョップサンプルアンドホールド回路
WO2000008695A1 (fr) * 1998-08-07 2000-02-17 Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha Capteur magnetique et son procede de production
JP2000138403A (ja) * 1998-08-28 2000-05-16 Asahi Chem Ind Co Ltd 薄膜磁気センサ―
JP2004037221A (ja) * 2002-07-03 2004-02-05 Toko Inc センサ回路
JP2005283271A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Ricoh Co Ltd Icチップ、miセンサ、およびmiセンサを備えた電子装置
JP2010197079A (ja) * 2009-02-23 2010-09-09 Seiko Instruments Inc 磁気検出回路
JP2011047929A (ja) * 2009-07-29 2011-03-10 Tdk Corp 磁気センサ
JP2011117909A (ja) * 2009-12-07 2011-06-16 Seiko Instruments Inc 物理量センサ
JP2013167578A (ja) * 2012-02-16 2013-08-29 Seiko Instruments Inc 磁気センサ装置
JP2014163702A (ja) * 2013-02-21 2014-09-08 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 磁気センサ装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201643460A (zh) 2016-12-16
CN105954691A (zh) 2016-09-21
US20160266215A1 (en) 2016-09-15
KR20160110147A (ko) 2016-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6238534B2 (ja) リーク電流保護回路が備えられたパワーモジュール
US6794921B2 (en) Clamp circuit
WO2017164197A1 (ja) レギュレータ回路
JP4923442B2 (ja) 差動信号伝送回路および差動信号伝送装置
JP2018125588A (ja) リーク電流補償回路及び半導体装置
JP5987619B2 (ja) 出力回路
US9841440B2 (en) Current detection circuit and magnetic detection device provided with same
US10725489B2 (en) Semiconductor device
JP6399938B2 (ja) 差動出力バッファ
KR102072876B1 (ko) 레벨 시프트 회로 및 방법
JP6588229B2 (ja) 過熱保護回路並びにこれを用いた半導体集積回路装置及び車両
JP2016166782A (ja) 磁気センサ装置
US9191006B1 (en) Current-limited level shift circuit
US11409317B2 (en) Piecewise correction of errors over temperature without using on-chip temperature sensor/comparators
JP2011258827A (ja) 可変抵抗回路を備えた半導体集積回路
JP2010074587A (ja) 電圧比較器
JP2017225049A (ja) 半導体物理量センサ装置
JP4876254B2 (ja) 回路装置
JP2021141443A (ja) 半導体集積回路装置および電流検出回路
JP2008072234A (ja) ドライバ回路
US10425043B1 (en) Operational amplifier with constant transconductance bias circuit and method using the same
JP6119413B2 (ja) 半導体回路及び電圧測定システム
JP2010016052A (ja) 電流供給回路および電圧比較回路
JP2010021712A (ja) レベルシフト回路
JP5755397B2 (ja) バイアス電流供給回路

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180111

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20181024

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181106

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20190507