JP2016148404A - ゲートバルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャンバの1つの室壁2aに形成された螺子孔15に、ゲートバルブ3の弁板収容枠4の1つの枠壁4aに形成された螺子挿通孔17を通じて、固定螺子18を垂直に螺着し、該固定螺子18を締め込んで前記枠壁4aを前記室壁2aに押し付けて固定するとき、前記固定螺子18と前記螺子挿通孔17とに形成したカム機構19により、前記弁板収容枠4に前記固定螺子18の軸線L2と直交する方向の推進力を発生させ、該推進力で、前記弁板収容枠4の他の枠壁4bを、前記チャンバ1の他の室壁2bに押し付けて固定する。
【選択図】図1
Description
このようにすれば、メンテナンス時に、前記閉鎖組立体全体を真空チャンバから取り外すことにより、前記弁板やシール部材等の交換を容易に行うことができる。
この場合、前記カム面は、前記固定螺子に一体又は別体に設けられたカム部材に形成され、前記カム受け面は、前記螺子挿通孔の内側面に形成されていることが望ましい。
また、前記カム部材は、前記固定螺子と別体に形成されていて、該固定螺子に、該固定螺子の軸線を中心に相対的に回転自在ではあるが、該軸線方向の移動は規制された状態に取り付けられていることが望ましい。
この場合に好ましくは、前記カム部材が、正面視形状が非円形をなし、該カム部材の外側面に前記カム面が形成され、前記螺子挿通孔は、前記カム部材が非回転状態に嵌合するカム部材嵌合部を有し、該カム部材嵌合部の内側面に前記カム受け面が形成されていることである。
この場合に好ましくは、前記カム部材が円筒状をなしていて、該カム部材に前記円錐面状のカム面が形成され、前記螺子挿通孔は、径の異なる円形の大径孔部と小径孔部とを有し、該大径孔部と小径孔部との間に前記円錐面状のカム受け面が形成されていることである。
なお、前記第2の枠壁4bの前記弁シャフト9が挿通するシャフト孔12は、前記チャンバ1に連通しているが、前記操作機構部10の内部でベローズ等によって外気と遮断されている。
前記固定装置5は、前記第1の枠壁4aの前記連通開口6aから離れた位置、換言すれば、前記第2の枠壁4bに近い位置に、複数組設けられている。
前記カム部材嵌合部22の4つの内側面のうち、前記第2の枠壁4b寄りの位置にある1つの内側面には、平面状をした傾斜面からなる前記カム受け面21が形成され、該カム受け面21は、前記カム部材嵌合部22の開放端側に行くに従って次第に前記第2の枠壁4bに近づく方向に一様に傾斜している。
前記円柱部18bには、正面視形状が矩形をなすカム部材23が、係止リング24で螺子軸線L2方向の移動を規制された状態で、前記螺子軸線L2を中心に相対的に回転自在なるように取り付けられ、該カム部材23の4つの外側面のうち、前記カム部材嵌合部22の前記カム受け面21に対面する1つの外側面に、該カム受け面21に当接する前記カム面20が形成されている。このカム面20は、平面状をした傾斜面からなっていて、前記カム受け面21と同方向、即ち、前記固定螺子18の先端側に向けて次第に螺子軸L2に近づく方向に一様に傾斜している。このカム面20が前記螺子軸線L2との間になす角度は、前記カム受け面21が前記挿通孔軸線L1との間になす角度と同じ大きさであり、図示の例では25度である。
即ち、図9(a)、(b)に示す予備状態から、前記固定螺子18を、図10(a)、(b)に示すように、カム部材23の先端の押圧面23aがカム部材嵌合部22の底面の被押圧面22aに当接する中間締込位置までねじ込むことにより、前記カム機構19のカム面20がカム受け面21を押圧し、前記弁板収容枠4をチャンバ1の第1の室壁2a側に向けて変位させるため、第1の枠壁4aが第1のシール部材11aを圧縮して前記第1の室壁2aに押し付けられる。
この第2実施形態においては、前記弁板収容枠4の第1の枠壁4aは、前記第1の室壁2aに対する接触面積を少なくするため、第1のシール部材11aを取り囲む部分が該第1の室壁2aに当接し、その他の部分は該第1の室壁2aに対して非接触となるように形成されている。
即ち、図12は、前記固定螺子33の螺子部33aの先端の一部を螺子挿通孔32の螺子孔31にねじ込んで仮止めした、予備状態を示すものである。この予備状態では、前記固定螺子33の大径部33b1が螺子挿通孔32の大径孔部32b内に嵌合していて、カム面35の一部がカム受け面36の一部に当接しているがまだ該カム受け面36を押圧していないため、前記弁板収容枠4の第1の枠壁4a及び第2の枠壁4bは、チャンバ1の第1の室壁2a及び第2の室壁2bから離れている。従って、前記螺子挿通孔32の挿通孔軸線L1と固定螺子33の螺子軸線L2とは互いにずれた位置にある。
なお、前記第3実施形態の固定装置5Bは、前記固定螺子33の円柱部33bと前記カム部材37とが一体構造をしていると見ることができる。
2 室壁
2a 第1の室壁
2b 第2の室壁
3 ゲートバルブ
4 弁板収容枠
5,5A,5B 固定装置
6 開口
6a 連通開口
7 バルブ嵌合孔
8 弁板
10 操作機構部
11a 第1のシール部材
11b 第2のシール部材
15 螺子孔
17 螺子挿通孔
18 固定螺子
18a 螺子部
18b 円柱部
18c 螺子頭
19 カム機構
20 カム面
21 カム受け面
22 カム部材嵌合部
23 カム部材
31 螺子孔
32 螺子挿通孔
32a 小径孔部
32b 大径孔部
33 固定螺子
33a 螺子部
33b 円柱部
33b1 大径部
33b2 小径部
33c 螺子頭
34 カム機構
35 カム面
36 カム受け面
37 カム部材
Claims (8)
- チャンバの直角に連なる第1の室壁と第2の室壁とに跨った状態に取り付けられ、前記第1の室壁に形成された開口を弁板で開閉するゲートバルブであって、
前記ゲートバルブは、前記第1の室壁に押し付けられる第1の枠壁、及び、前記第2の室壁に押し付けられる第2の枠壁、を有する弁板収容枠と、前記第1の枠壁に前記開口に連通するように形成された連通開口と、前記弁板収容枠内で変位することによって前記連通開口を開閉する前記弁板と、該弁板を開閉操作する操作機構部と、前記弁板収容枠を前記第1の室壁又は第2の室壁に固定するための固定装置とを有し、
前記固定装置は、前記第1の室壁及び第2の室壁の一方に垂直に形成された螺子孔に螺着するための固定螺子と、前記弁板収容枠の第1の枠壁及び第2の枠壁のうち、前記一方の室壁に対応する一方の枠壁に垂直に形成され、前記固定螺子が挿通される螺子挿通孔とを有し、前記固定螺子と該螺子挿通孔とに、該固定螺子を締め込んで前記一方の枠壁を前記一方の室壁に押し付けて固定するとき、前記弁板収容枠に前記固定螺子の軸線と直交する方向の推進力を発生させるカム機構が形成され、前記推進力で前記弁板収容枠の他方の枠壁が前記チャンバの他方の室壁に押し付けられるように構成された、
ことを特徴とするゲートバルブ。 - 前記カム機構は、前記固定螺子側に形成された一様な傾斜面からなるカム面と、前記螺子挿通孔側に形成された一様な傾斜面からなるカム受け面とを有し、前記カム面の傾斜方向及び傾斜角度と、前記カム受け面の傾斜方向及び傾斜角度とは、それぞれ互いに等しいことを特徴とする請求項1に記載されたゲートバルブ。
- 前記カム面は、前記固定螺子に一体又は別体に設けられたカム部材に形成され、前記カム受け面は、前記螺子挿通孔の内側面に形成されていることを特徴とする請求項2に記載されたゲートバルブ。
- 前記カム部材は、前記固定螺子と別体に形成されていて、該固定螺子に、該固定螺子の軸線を中心に相対的に回転自在ではあるが、該軸線方向の移動は規制された状態に取り付けられていることを特徴とする請求項3に記載されたゲートバルブ。
- 前記カム面及びカム受け面は、何れも平面状をしていることを特徴とする請求項2から4の何れかに記載されたゲートバルブ。
- 前記カム部材は、正面視形状が非円形をなし、該カム部材の外側面に前記カム面が形成され、前記螺子挿通孔は、前記カム部材が非回転状態に嵌合するカム部材嵌合部を有し、該カム部材嵌合部の内側面に前記カム受け面が形成されていることを特徴とする請求項4に従属する請求項5に記載されたゲートバルブ。
- 前記カム面及びカム受け面は、何れも円錐面状をしていて、前記カム面を形成する円錐面の最大部の外径は、前記カム受け面を形成する円錐面の最小部の内径より小径であることを特徴とする請求項2から4の何れかに記載されたゲートバルブ。
- 前記カム部材は円筒状をなしていて、該カム部材に前記円錐面状のカム面が形成され、前記螺子挿通孔は、径の異なる円形の大径孔部と小径孔部とを有し、該大径孔部と小径孔部との間に前記円錐面状のカム受け面が形成されていることを特徴とする請求項3又は4に従属する請求項7に記載されたゲートバルブ。
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