TWI673449B

TWI673449B - 閘閥

Info

Publication number: TWI673449B
Application number: TW105102344A
Authority: TW
Inventors: 石垣恒雄; 下田洋己; 長尾格
Original assignee: 日商Ｓｍｃ股份有限公司
Priority date: 2015-02-12
Filing date: 2016-01-26
Publication date: 2019-10-01
Also published as: JP6485689B2; JP2016148404A; CH710724A2; KR20160099486A; US20160238150A1; CN105889622A; US10253889B2; KR102493588B1; DE102016102206A1; CN105889622B; CH710724B1; TW201641855A

Abstract

本發明的課題為提供一種閘閥，可在成為腔室的直角的兩個側壁分別以抵接的狀態連結成為閥板收容框的直角的兩個連結面。

其解決手段是將固定螺絲(18)通過形成在閘閥(3)的閥板收容框(4)的一個框壁(4a)的螺絲插穿孔(17)，垂直栓鎖於形成在腔室的一個室壁(2a)的螺孔(15)，在栓鎖該固定螺絲(18)將上述框壁(4a)朝著上述室壁(2a)推壓而固定時，藉形成於上述固定螺絲(18)與上述螺絲插穿孔(17)的凸輪機構(19)，在上述閥板收容框(4)產生與上述固定螺絲(18)的軸線(L2)正交方向的推進力，以該推進力將上述閥板收容框(4)的其他的框壁(4b)朝上述腔室(1)的其他的室壁(2b)推壓。

Description

閘閥

本發明是關於安裝在半導體處理裝置的真空腔室的室壁，以閥板開合形成於該室壁之開口的閘閥。

半導體處理裝置是將閘閥使用於通過真空腔室之開口的開合。該半導體處理裝置為非常昂貴，處理上要求精密性，在維護上為不可欠缺。其維護是將上述閘閥從真空腔室卸下，進行劣化的閥板或密封構件等更換的作業，但上述真空腔室的安裝閘閥的部份或其附近會成為非常複雜的狀態，因此為了儘可能地簡單且迅速進行上述閘閥的卸下或再安裝、閥板的更換等，近年來，使用專利文獻1記載的構造的閘閥。

該習知的閘閥是將上述開口(貫穿口)開合用的閥板(封閉板)；收容該閥板的閥板收容框(殼體狀構件)；連結於上述閥板的閥軸(活塞桿)；及透過該閥軸進行上述閥板開合操作的操作機構部(汽缸單元)，藉一體構造化形成封閉組裝體，以安裝螺絲將上述閥板收容框固定在上述腔室的側壁，藉此將上述封閉組裝體可自由拆裝地安裝於上述真空腔室，形成以上述閥板開合與上述閥板收容框連結的上述開口。

如此一來，在維護時，將上述封閉組裝體整體從真空腔室卸下，可容易進行上述閥板與密封構件等的更換。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特許第4210391號公報

[發明概要]

上述習知的閘閥在以安裝螺絲將上述閥板收容框固定於腔室的側壁的場合，有將成為上述閥板收容框的直角的兩個連結面，分別抵接在成為上述腔室的直角的兩個側壁的必要。為此，上述閘閥中，在上述閥板收容框一方的連結面與上述腔室一方的側壁，相對於上述連結面及側壁的雙方傾斜45度形成安裝上述安裝螺絲用的螺絲安裝孔，在該傾斜的安裝孔栓鎖上述安裝螺絲，藉此將上述閥板收容框的兩個連結面分別抵接於上述腔室的兩個側壁。

但是，如上述，以在上述腔室的側壁呈斜向的螺絲安裝孔固定上述閥板收容框的方法在該螺絲安裝孔的加工時的定位精度困難，會有在其加工必須使用多功能加工機，或將被加工物成斜向固定的繁雜性，因此具有加工性不良，並耗費成本的缺點。

為此，本發明的目的是提供一種簡單且具合理性設計構造的閘閥，不需使用斜向的安裝螺絲，可以使得成為該閥板收容框的直角的兩個連結面分別抵接於成為腔室的直角的兩個側壁的狀態，將上述閥板收容框連結於腔室的側壁。

為達成上述目的，根據本發明，提供一種閘閥，安裝跨連結成腔室的直角的第1室壁與第2室壁的狀態，以閥板開合形成於上述第1室壁的開口的閘閥，其特徵為：上述閘閥，具有：閥板收容框，具有推壓上述第1室壁的第1框壁，及推壓上述第2室壁的第2框壁；連通開口，形成在上述第1框壁而與上述開口連通；上述閥板，在上述閥板收容框內藉位移來開合上述連通開口；操作機構部，進行該閥板的開合操作；及固定裝置，用於將上述閥板收容框固定在上述第1室壁或第2室壁，上述固定裝置，具有：固定螺絲，用於栓鎖在垂直形成於上述第1室壁或第2室壁的一方的螺孔，及螺絲插穿孔，垂直形成於上述閥板收容框的第1框壁及第2框壁之中，對應上述一方室壁的一方框壁，插穿著上述固定螺絲，在上述固定螺絲與該螺絲插穿孔，形成有栓鎖該固定螺絲將上述一方框壁朝上述一方的室壁推壓固定時，在上述閥板收容框產生與上述固定螺絲的軸線正交的方向之推進力的凸輪機構，構成以上述推進力將上述閥板收容框的另一方的框壁朝向上述腔室的另一方的室壁推壓。

根據本發明的具體構成樣態，上述凸輪機構，具有：形成於上述固定螺絲側的均勻傾斜面所構成的凸輪面，及形成於上述螺絲插穿孔側的均勻傾斜面所構成的凸輪支承面，上述凸輪面的傾斜方向及傾斜角度與上述凸輪支承面的傾斜方向及傾斜角度是分別彼此相等所形成。

又，上述螺絲插穿孔的內徑是形成當上述推進力藉著上述凸輪機構向閥板收容框作用時，可以使該閥板收容框相對於上述固定螺絲朝上述推進力的方向移動的大小。

此時，上述凸輪面是形成為與上述固定螺絲一體或另體設置的凸輪構件，上述凸輪支承面是以形成在上述螺絲插穿孔的內側面為佳。

又，上述凸輪構件是與上述固定螺絲另體形成，在該固定螺絲雖是以該固定螺絲的軸線為中心相對地自由旋轉，但以安裝成限制該軸線方向的移動的狀態為佳。

根據本發明之一具體構成樣態，上述凸輪面及凸輪支承面皆為平面狀。

此時較理想是上述凸輪構件為形成非圓形的前面顯示形狀，在該凸輪構件的外側面形成有上述凸輪面，上述螺絲插穿孔具有上述凸輪構件為非旋轉狀態嵌合的凸輪構件嵌合部，在該凸輪構件嵌合部的內側面形成有上述凸輪支承面。

根據本發明的其他具體構成樣態，上述凸輪面及凸輪支承面皆為圓錐面狀，形成上述凸輪面的圓錐面之最大部的外徑是比形成上述凸輪支承面的圓錐面之最小部的內徑更為小徑。

此時較理想是上述凸輪構件是呈圓筒狀，在該凸輪構件形成有上述圓錐面狀的凸輪面，上述螺絲插穿孔具有不同直徑的圓形的大徑孔部與小徑孔部，在該大徑孔部與小徑孔部之間形成有上述圓錐面狀的凸輪支承面。

根據本發明，藉相對於閥板收容框的框壁及腔室的室壁成垂直安裝的安裝螺絲與凸輪機構的組合，可以朝著成為腔室的直角的兩個室壁分別推壓成為該閥板收容框的直角的兩個框壁的狀態，將上述閥板收容框固定於上述腔室的室壁。

1‧‧‧腔室

2‧‧‧室壁

2a‧‧‧第1室壁

2b‧‧‧第2室壁

3‧‧‧閘閥

4‧‧‧閥板收容框

5、5A、5B‧‧‧固定裝置

6‧‧‧開口

6a‧‧‧連通開口

7‧‧‧閥嵌合孔

8‧‧‧閥板

10‧‧‧操作機構部

11a‧‧‧第1密封構件

11b‧‧‧第2密封構件

15‧‧‧螺孔

17‧‧‧螺絲插穿孔

18‧‧‧固定螺絲

18a‧‧‧螺紋部

18b‧‧‧圓柱部

18c‧‧‧螺絲頭

19‧‧‧凸輪機構

20‧‧‧凸輪面

21‧‧‧凸輪支承面

22‧‧‧凸輪構件嵌合部

23‧‧‧凸輪構件

31‧‧‧螺孔

32‧‧‧螺絲插穿孔

32a‧‧‧小徑孔部

32b‧‧‧大徑孔部

33‧‧‧固定螺絲

33a‧‧‧螺紋部

33b‧‧‧圓柱部

33b1‧‧‧大徑部

33b2‧‧‧小徑部

33c‧‧‧螺絲頭

34‧‧‧凸輪機構

35‧‧‧凸輪面

36‧‧‧凸輪支承面

37‧‧‧凸輪構件

第1圖為表示本發明的第1實施形態的主要部剖視圖，表示以固定裝置將閘閥的閥板收容框的第1框壁連結於腔室的第1室壁的狀態。

第2圖為第1圖的右側視圖。

第3(a)圖為第1圖的主要部放大圖，第3(b)圖為第3(a)圖的右側視圖。

第4(a)圖為第3(a)圖中栓鎖固定螺絲前的預備狀態的剖視圖，第4(b)圖為第4(a)圖的右側視圖。

第5(a)圖是將固定螺絲從第4(a)圖的預備狀態栓鎖至中間栓鎖位置為止的狀態的剖視圖，第5(b)圖為第5(a)圖的右側視圖。

第6圖為表示本發明的第2實施形態的主要部剖視圖，表示以固定裝置將閘閥的閥板收容框的第2框壁連結於腔室的第2室壁的狀態。

第7圖為第6圖的右側視圖。

第8(a)圖為第6圖的主要部放大圖，第8(b)圖為第8(a)圖的上視圖。

第9(a)圖為第8(a)圖中栓鎖固定螺絲前的預備狀態的剖視圖，第9(b)圖為第9(a)圖的上視圖。

第10(a)圖是將固定螺絲從第9(a)圖的預備狀態栓鎖至中間栓鎖位置為止的狀態的剖視圖，第10(b)圖為第10(a)圖的上視圖。

第11圖是作為本發明的第3實施形態，表示固定裝置的變形例，表示將閘閥的閥板收容框的第1框壁以上述固定裝置固定於腔室之第1室壁的狀態的主要部剖視圖。

第12圖為第11圖中栓鎖固定螺絲前的預備狀態的主要部剖視圖。

第13圖是將固定螺絲從第12圖的預備狀態栓鎖至中間栓鎖位置為止的狀態的主要部剖視圖。

第14圖是表示第3實施形態之固定裝置的另一變形例的剖視圖。

第1圖及第2圖是表示本發明相關之閘閥的第1實施形態，圖中的符號1是表示處理半導體用的真空腔室(以下，簡稱「腔室」)，符號2是表示包圍上述腔室1的室壁，符號3是表示透過閥板收容框4安裝於上述腔室1的室壁2的閘閥，符號5是表示將上述閥板收容框4固定於上述室壁2用的固定裝置。

上述腔室1是在周圍以上述室壁2包圍的長方體形的房間，具有長方向與短方向，以內部真空吸引的狀態對上述半導體施以各種處理。上述室壁2之中，在位於上述腔室1的長方向的一端側的第1室壁2a，形成有上述半導體進出於該腔室1之內部用的橫細長的開口6，在與上述第1室壁2a的下端部成直角連接的第2室壁(底壁)2b，形成有上述閘閥3的一部份嵌合的閥嵌合孔7。又，與上述第2室壁2b相對的第3室壁(頂壁)2c是成為自由開合的蓋，在開放該第3室壁2c的狀態下，將上述閘閥3插入上述腔室1內，透過該閥板收容框4以上述固定裝置5將該閘閥3固定在上述第1室壁2a。

上述閘閥3，具有：上述閥板收容框4；在該閥板收容框4的第1框壁4a形成有與上述開口6連通的連通開口6a；藉著在上述閥板收容框4的內部位移來開合該連通開口6a以使得上述開口6開合的閥板8；透過閥軸9進行上述閥板8開合操作的操作機構部10；及將上述閥板收容框4固定在上述腔室1的室壁2的上述固定裝置5，上述閥板收容框4、閥板8、閥軸9及操作機構10為一體組裝成一個構造體。

上述閥板收容框4具有與上述腔室1的第1室壁2a平行的上述第1框壁4a，及與該第1框壁4a成直角連接的第2框壁4b，在安裝於上述腔室1的室壁2時，上述第1框壁4a是透過包圍上述開口6的第1密封構件11a被推壓於上述腔室1的第1室壁2a的內面，並且上述第2框壁4b是透過包圍上述閥嵌合孔7的第2密封構件11b被推壓於上述腔室1的第2室壁2b的內面。上述第1密封構件11a是被安裝在上述第1框壁4a，上述第2密封構件11b是被安裝在上述第2框壁4b。

又，上述閥板收容框4的上述第2框壁4b是以未圖示的連結裝置連結在上述操作機構部10的上端部。

並且，上述第2框壁4b的上述閥軸19插穿的軸孔12雖是與腔室1連通，但是在上述操作機構部10的內部藉著波紋管等與外氣阻斷。

上述固定裝置5是如第3(a)、(b)圖及第4(a)、(b)圖明確顯示，在上述腔室1的第1室壁2a，具有：垂直於該室壁2a所形成的螺孔15及導孔16；在上述閥板收容框4的第1框壁4a，相對於該框壁4a垂直形成的螺絲插穿孔17；通過該螺絲插穿孔17栓鎖於上述螺孔15的固定螺絲18；及形成在該固定螺絲18及上述螺絲插穿孔17的凸輪面20及凸輪支承面21所構成的凸輪機構19。

上述固定裝置5被複數組設置在從上述第1框壁4a的上述連通開口6a遠離的位置，換言之，接近上述第2框壁4b的位置。

上述螺絲插穿孔17是朝著上述第1框壁4a的高度方向形成細長延伸的長孔狀，在該螺絲插穿孔17朝上述腔室1內開放側的端部，具有矩形的凸輪構件嵌合部22。因此該凸輪構件嵌合部22為上述螺絲插穿孔17的一部份。但是，以下的說明是為說明的方便起見，稱形成上述長孔形的部份為「螺絲插穿孔17」，稱形成上述矩形的部份為「凸輪構件嵌合部22」。

上述凸輪構件嵌合部22的四個內側面之中，在位於近上述第2框壁4b的位置的一個內側面上，形成有呈平面狀的傾斜面構成的上述凸輪支承面21，該凸輪支承面21是在隨著朝上述凸輪構件嵌合部22的開放端側逐漸接近上述第2框壁4b的方向形成一樣的傾斜。

上述凸輪支承面21與上述螺絲插穿孔17的中心軸線的插穿孔軸線L1之間所成的角度是以45度以下為佳，其更佳的角度為20-30度左右。圖示的例為形成25度。

另一方面，上述固定螺絲18是沿其中心軸線的螺絲軸線L2從前端側朝向基端側依序具有：在外圍形成有外螺紋的螺紋部18a；在外圍未形成有外螺紋的圓柱部18b；及形成有旋轉操作用的六角孔18d的圓形的螺絲頭部18c。

在上述圓柱部18b，藉著卡止環24限制螺絲軸線L2方向的移動的狀態，以上述螺絲軸線L2為中心可相對自由旋轉地安裝有前面方向顯示為矩形的凸輪構件23，該凸輪構件23的四個外側面之中，在與上述凸輪構件嵌合部22的前面凸輪支承面21對面的一個外側面上，形成有抵接於該凸輪支承面21的上述凸輪面20。該凸輪面20是由呈平面狀的傾斜面所構成，朝著與上述凸輪面21相同方向，即向上述固定螺絲18的前端側依序朝接近螺絲軸線L2的方向呈一樣的傾斜。該凸輪面20與上述螺絲軸線L2之間所成的角度是與上述凸輪支承面21及上述插穿孔軸線L1之間所成的角度的大小相同，圖示的例為25度。

並且，藉著以上述凸輪面20與凸輪支承面21形成的上述凸輪機構19，栓鎖上述固定螺絲18將第1框壁4a固定於第1室壁2a時，在上述閥板收容框4產生與上述固定螺絲18的螺絲軸線L2正交方向的推進力，藉著該推進力將上述閥板收容框4的第2框壁4b向上述腔室1的第2室壁2b推壓所構成。

以上述固定機構裝置5將上述閘閥3相對於腔室1的室壁2的固定操作是如以下進行。

第4(a)、(b)圖是表示以固定裝置5將收容於上述腔室1內的閘閥3的閥收容框4固定在該腔室1的第1室壁2a之前的預備狀態。該預備狀態是將上述固定螺絲18的螺紋部18a的前端的一部份鎖入螺孔15，並將圓柱部18b的前端嵌合於上述導孔16，藉此以穩定狀態暫時固定該固定螺絲18，仍未栓鎖於上述第1室壁2a的狀態。此時，由於上述第1密封構件11a及第2密封構件11b仍未被壓縮，因此上述閥板收容框4的第1框壁4a及第2框壁4b的壁面4c是從腔室1的第1室壁2a及第2室壁2b的內面分離。又，上述凸輪構件23的凸輪面20是在上述凸輪構件嵌合部22的凸輪支承面21以該凸輪構件嵌合部22的開放端側的位置抵接，上述固定螺絲18的圓柱部18b是在上述螺絲插穿孔17的長軸方向的兩端部之中，位於接近上述第2框壁4b的端部的第1孔端17a側。

將上述固定螺絲18從第4(a)圖的預備狀態鎖入時，使得該固定螺絲18一邊旋轉並前進，但是上述凸輪構件23是在上述凸輪構件嵌合部22的內部以非旋轉狀態前進，如第5(a)、(b)圖表示，上述凸輪構件23前端的推壓面23a到達與上述凸輪構件嵌合部22底面之被推壓面22a的中間栓鎖位置。此時，上述凸輪構件23的凸輪面20沿著凸輪支承面21一邊滑動並推壓該凸輪支承面21，因此在上述閥板收容框4有著與螺絲軸線L2正交方向的垂直分力為推進力而作用，藉此推進力將上述閥板收容框4朝著腔室1的第2室壁2b側推壓移動，使得第2框壁4b壓縮第2密封構件11b成為推壓於上述第2室壁2b的狀態。此時，上述第2框壁4b的壁面4c雖可與上述第2室壁2b的內面接觸，但是與該內面以透過些微的間隙從上述第2室壁2b分離為佳。

藉上述閥板收容框4的移動，上述固定螺絲18的圓柱部18b是位在與上述螺絲插穿孔17的上述第1孔端17a相反側的第2孔端17b側。

另一方面，在上述閥板收容框4也有與上述螺絲軸線L2平行方向的分力為推進力作用，藉此平行分力將該閥板收容框4也朝著上述第1室壁2a方向推壓，但此平行分力比上述垂直分力小，因此上述閥板收容框4只是稍微壓縮第1密封構件11a使其朝著上述第1室壁2a方向稍微位移的程度。

接著，將上述固定螺絲18從第5(a)圖的中間栓鎖位置進一步地鎖入，栓鎖至第3(a)、(b)圖表示的最終栓鎖位置時，上述閥板收容框4是在腔室1的上述第1室壁2a方向位移，使得上述第1框壁4a壓縮第1密封構件11a成為被推壓於上述第1室壁2a的狀態。此時，上述第2框壁4b是在上述第2室壁2b壓縮第2密封構件11b成為被推壓的狀態，但以此狀態下沿著該第2室壁2b位移。因此，為了防止黏著於上述第2室壁2b而產生粉塵，以預先對上述第2密封構件11b施以非黏著處理為佳。

上述第1框壁4a的壁面4c，雖可抵接於上述第1室壁2a的內面也可以保持些微間隙地分離，但是為藉著以上述閥板8封閉連通開口6a時的推壓力來防止上述第1框壁4a位移，以將上述第1框壁4a抵接於上述第1室壁2a為佳。此時，盡可能地抑制因金屬接觸之粉塵的產生，因此僅使得上述第1框壁4a的壁面4c的一部份抵接於上述第1室壁2a，其他的壁面部份則是以形成凹狀相對於上述第1室壁2a成非接觸為佳。此時，抵接於上述第1室壁2a的壁面部份是以上述第1框壁4a之上端側的較上述第1密封構件11a外側的部份及上述螺絲插穿孔17周邊的部份為佳。

因此，栓鎖所有之固定裝置5的固定螺絲18，藉此完成相對於腔室1的室壁2之上述閥板收容框4的固定，即相對於上述腔室1之閘閥3的安裝。

為進行上述閘閥3的維護等從上述腔室1卸下的場合，只需依上述安裝時之順序相反的順序進行即可。此時，安裝在上述固定螺絲18的上述凸輪構件23是以卡止環24卡止於該固定螺絲18，因此在卸下該固定螺絲18時，與該固定螺絲18一起從上述凸輪構件嵌合部22抽除。

第6圖及第7圖是表示本發明的第2實施形態，該第2實施形態與上述第1實施形態不同的點是將閥板收容框4的第2框壁4b，以複數個固定裝置5A固定在腔室1的第2室壁2b的點。因此圖示的例是在形成於上述第2室壁2b的閥嵌合孔7的長方向的兩外側位置，分別設有各一組的上述固定裝置5A。

上述固定裝置5A是如第8(a)、(b)圖及第9(a)、(b)圖可明確得知，具有與上述第1實施形態的固定裝置5實質相同的構成。亦即，該固定裝置5A，具有：在上述腔室1的第2室壁2b，垂直形成於該室壁2b的螺孔15及導孔16；在上述閥板收容框4的第2框壁4b，垂直形成於該框壁4b的螺絲插穿孔17；通過該螺絲插穿孔17栓鎖於上述螺孔15的固定螺絲18；及形成在該固定螺絲18與上述螺絲插穿孔17的凸輪機構19。

上述凸輪機構19是以形成於安裝在上述固定螺絲18的凸輪構件23之一個外側面的凸輪面20及形成於上述螺絲插穿孔17的凸輪構件嵌合部22的一個內側面的的凸輪支承面21所形成，上述凸輪面20及上述凸輪支承面21是形成在上述凸輪構件23及凸輪構件嵌合部22之位於第1框壁4a側的側面。

該第2實施形態中，以上述固定裝置5A將閥板收容框4的第2框壁4b固定在腔室1的第2室壁2b的順序是實質上與上述第1實施形態的場合相同。

亦即，從第9(a)、(b)圖表示的預備狀態，將上述固定螺絲18如第10(a)、(b)圖表示，鎖入至凸輪構件23的前端的推壓面23a抵接於凸輪構件嵌合部22的底面的被推壓面22a的中間栓鎖位置為止，藉以使上述凸輪機構19的凸輪面20推壓凸輪支承面21，使上述閥板收容框4朝向腔室1的第1室壁2a側位移，因此第1框壁4a壓縮第1密封構件11a被推壓於上述第1室壁2a。

接著，將上述固定螺絲18從第10(a)、(b)圖的中間栓鎖位置進一步地鎖入，栓鎖至第8(a)、(b)圖表示的最終栓鎖位置，藉以使上述閥板收容框4在腔室1的第2室壁2b方向位移，成為第2框壁4b壓縮第2密封構件11b被推壓於上述第2室壁2b的狀態。此時，成為被推壓於上述第1室壁2a的狀態的上述第1框壁4a是維持著其狀態沿著該第1室壁2a位移。

如上述栓鎖兩個固定裝置5A的固定螺絲18，藉此完成相對於腔室1的室壁2之上述閥板收容框4的固定，即對於上述腔室1之閘閥3的安裝。

該第2實施形態中，上述閥板收容框4的第1框壁4a相對於上述第1室壁2a的接觸面積變少，因此包圍第1密封構件11a的部份抵接於該第1室壁2a，其他的部份形成相對於該第1室壁2a成為非接觸。

第11圖-第13圖是作為本發明的第3實施形態，針對固定裝置的變形例部份地表示。該固定裝置5B是在形成凸輪機構34的凸輪面35及凸輪支承面36的傾斜面皆成為圓錐面狀的點是與上述第1實施形態及第2實施形態的固定裝置5、5A不同。

以下，與第1圖及第2圖表示的第1實施形態的場合同樣地，針對以該固定裝置5B將閥板收容框4的第1框壁4a固定於腔室1之第1室壁2a的場合說明該第3實施形態的固定裝置5B的構成。此時，針對上述固定裝置5B以外的第11圖-第13圖所未記載的腔室1及閥板收容框4的構成可根據需要參閱第1圖及第2圖。

上述固定裝置5B，具有：在上述腔室1的第1室壁2a，垂直形成於該室壁2a的螺孔31；在上述閥板收容框4的第1框壁4a，垂直形成於該框壁4a的螺絲插穿孔32；插穿該螺絲插穿孔32內栓鎖於上述螺孔31的固定螺絲33；及形成在該固定螺絲33與上述螺絲插穿孔32的凸輪機構34。

上述螺絲插穿孔32為圓形的孔，沿著插穿孔軸線L1從該螺絲插穿孔32的前端側朝基端側依序具有：小徑孔部32a；孔徑比該小徑孔部大的大徑孔部32b；及孔徑比該大徑孔部32b更大的螺絲頭嵌合部32c，在上述小徑孔部32a與大徑孔部32b之間，形成有呈圓錐面狀的上述凸輪支承面36，在上述螺絲頭嵌合部32c的底部，形成有上述固定螺絲33的螺絲頭33c抵接的座部32d。

另一方面，上述固定螺絲33是沿著螺絲軸線L2從前端側朝基端側依序具有：外圍形成有螺紋的螺紋部33a；外圍未形成有螺紋的圓柱部33b；及具有六角孔的圓形的上述螺絲頭33c。在上述圓柱部33b形成有彼此的外徑不同的基端側(螺絲頭33c側)的大徑部33b1與前端側(螺紋部33a側)的小徑部33b2，在該等大徑部33b1與小徑部33b2之間，形成有呈圓錐面狀的上述凸輪面35。

上述固定螺絲33的大徑部33b1的外徑是比上述螺絲插穿孔32的大徑孔部32b的內徑小，並形成比上述小徑孔部32a的內徑略稍微地小，成為可在該小徑孔部32a的內部不致顫動的狀態正好可嵌入程度的大小。因此，形成上述凸輪面35的圓錐面之最大部的外徑是比形成上述凸輪支承面36的圓錐面的最小部的內徑更為小徑。

以具有上述構成的第3實施形態的固定裝置5B將閥板收容框4的第1框壁4a固定在腔室1的第1室壁2a的順序，實質上是與上述第1實施形態的場合相同。

亦即，第12圖是表示將上述固定螺絲33的螺紋部33a前端的一部份栓鎖於螺絲插穿孔32的螺孔31暫時固定的預備狀態。該預備狀態是將上述固定螺絲33的大徑部33b1嵌合於螺絲插穿孔32的大徑孔部32b內，使得凸輪面35的一部份抵接於凸輪支承面36的一部份而仍未推壓該凸輪支承面36，因此上述閥板收容框4的第1框壁4a及第2框壁4b是從腔室1的第1室壁2a及第2室壁2b分離。因此，上述螺絲插穿孔32的插穿孔軸線L1與固定螺絲33的螺絲軸線L2是在彼此偏離的位置。

從第12圖的預備狀態將上述固定螺絲33如第13圖表示，鎖入至螺絲頭33c抵接於螺絲頭嵌合部32c的座部32d的中間栓鎖位置為止時，圓錐面狀的上述凸輪面35的一部份抵接於圓錐面狀的上述凸輪支承面36的一部份，沿著該凸輪支承面36一邊滑動並推壓該凸輪支承面36，將大徑部33b1嵌合於小徑孔部32a內，因此閥板收容框4藉著與插穿孔軸線L1正交方向的推進力朝著第2室壁2b側推壓移動，使第2框壁4b成為被推壓於該第2室壁2b的狀態。並且，上述螺絲插穿孔32的插穿孔軸線L1與固定螺絲33的螺絲軸線L2成為一致的狀態。

接著將上述固定螺絲33栓鎖至第11圖表示的最終栓鎖位置為止時，上述閥板收容框4朝著腔室1的第1室壁2a方向位移，使第1框壁4a成為被推壓於該第1室壁2a的狀態，完成上述閥板收容框4的固定。

上述第3實施形態的固定裝置5B是與第6圖及第7圖表示的第2實施形態的固定裝置5A相同，也可以使用於將閥板收容框4的第2框壁4b固定在腔室1的第2室壁2b的場合。

又，上述第3實施形態的固定裝置5B中，雖是在上述固定螺絲33的圓柱部33b直接形成凸輪面35，但也可以如第14圖表示，在該圓柱部33b安裝圓筒狀的凸輪構件37，將此凸輪構件37的一部份，例如前端部形成為圓錐面狀，也可以形成上述凸輪面35。此時，上述凸輪構件37也可以相對於上述固定螺絲33，彼此固定或可相對地自由旋轉，但可自由旋轉的場合，在將固定螺絲33從螺絲插穿孔32卸下時，為防止上述凸輪構件37殘留於該螺絲插穿孔32內，以在限制螺絲軸線L2方向的移動的狀態安裝於上述固定螺絲33為佳。

並且，上述第3實施形態的固定裝置5B，也可顯示使上述固定螺絲33的圓柱部33b與上述凸輪構件37呈一體構造。

圖示的實施形態中，上述凸輪面20、35與螺絲軸線L2所成的角度，及上述凸輪支承面21、36與插穿孔軸線L1所成的角度皆是形成比45度小的角度(例如25度)，但其角度也可以是45度。如上述設上述凸輪面20、35及凸輪支承面21、36為45度，藉此在鎖入上述固定螺絲18、33以上述凸輪面20、35推壓凸輪支承面21、36時，可相對於該凸輪支承面21、36即上述閥板收容框4，以彼此相等的推進力作用於和螺絲軸線L2正交的方向及平行的方向的兩方向，其結果，可以使上述閥板收容框4位移使得第1框壁4a及第2框壁4b的雙方同時接近於腔室1的第1室壁2a及第2室壁2b的雙方，可簡單且平順地進行相對於上述腔室1的室壁2之該閥板收容框4的固定。

Claims

一種閘閥，係安裝跨連結成腔室的直角的第1室壁與第2室壁的狀態，以閥板開合形成於上述第1室壁的開口的閘閥，其特徵為：上述閘閥，具有：閥板收容框，具有推壓上述第1室壁的第1框壁，及推壓上述第2室壁的第2框壁；連通開口，形成在上述第1框壁而與上述開口連通；上述閥板，在上述閥板收容框內藉位移來開合上述連通開口；操作機構部，進行該閥板的開合操作；及固定裝置，用於將上述閥板收容框固定在上述第1室壁或第2室壁，上述固定裝置，具有：固定螺絲，用於栓鎖在垂直形成於上述第1室壁或第2室壁的一方的螺孔，及螺絲插穿孔，垂直形成於上述閥板收容框的第1框壁及第2框壁之中，對應上述一方室壁的一方框壁，插穿著上述固定螺絲，在上述固定螺絲與該螺絲插穿孔，形成有栓鎖該固定螺絲將上述一方框壁朝上述一方的室壁推壓固定時，在上述閥板收容框產生與上述固定螺絲的軸線正交的方向之推進力的凸輪機構，構成以上述推進力將上述閥板收容框的另一方的框壁朝向上述腔室的另一方的室壁推壓，上述凸輪機構，具有：形成於上述固定螺絲側所構成的凸輪面，及形成於上述螺絲插穿孔側所構成的凸輪支承面，上述凸輪面的傾斜方向及傾斜角度與上述凸輪支承面的傾斜方向及傾斜角度是分別彼此相等，上述螺絲插穿孔的內徑是形成當上述推進力藉著上述凸輪機構向閥板收容框作用時，可以使該閥板收容框相對於上述固定螺絲朝上述推進力的方向移動的大小。
如申請專利範圍第1項記載的閘閥，其中，上述凸輪面是形成為與上述固定螺絲一體或另體設置的凸輪構件，上述凸輪支承面是形成在上述螺絲插穿孔的內側面。
如申請專利範圍第2項記載的閘閥，其中，上述凸輪構件是與上述固定螺絲另體形成，在該固定螺絲雖是以該固定螺絲的軸線為中心相對地自由旋轉，但安裝成限制該軸線方向的移動的狀態。
如申請專利範圍第1項或第2項記載的閘閥，其中，上述凸輪面及凸輪支承面皆為平面狀。
如申請專利範圍第3項記載的閘閥，其中，上述凸輪面及凸輪支承面皆為平面狀。
如申請專利範圍第5項記載的閘閥，其中，上述凸輪構件為形成非圓形的前面顯示形狀，在該凸輪構件的外側面形成有上述凸輪面，上述螺絲插穿孔具有上述凸輪構件為非旋轉狀態嵌合的凸輪構件嵌合部，在該凸輪構件嵌合部的內側面形成有上述凸輪支承面。
如申請專利範圍第1項記載的閘閥，其中，上述凸輪面及凸輪支承面皆為圓錐面狀，形成上述凸輪面的圓錐面之最大部的外徑是比形成上述凸輪支承面的圓錐面之最小部的內徑更為小徑。
如申請專利範圍第2項或第3項記載的閘閥，其中，上述凸輪面及凸輪支承面皆為圓錐面狀，形成上述凸輪面的圓錐面之最大部的外徑是比形成上述凸輪支承面的圓錐面之最小部的內徑更為小徑。
如申請專利範圍第8項記載的閘閥，其中，上述凸輪構件是呈圓筒狀，在該凸輪構件形成有上述圓錐面狀的凸輪面，上述螺絲插穿孔具有不同直徑的圓形的大徑孔部與小徑孔部，在該大徑孔部與小徑孔部之間形成有上述圓錐面狀的凸輪支承面。