CH710724B1 - Schieberventil. - Google Patents

Abstract

Es ist Aufgabe ein Schieberventil derart zu schaffen, dass zwei zusammenhängende und senkrecht zueinander stehende Flächen eines Ventilplatten-Gehäuserahmens mit zwei senkrecht zueinander stehenden Seitenwänden einer Kammer verbunden werden können, und in einer solchen Weise, dass die verbundenen Oberflächen mit den Seitenflächen in Kontakt stehen. Lösung: Beim Einschrauben einer Befestigungsschraube (18) senkrecht durch ein Schraubeneinführungsloch in eine Rahmenwand (4a) eines Ventilplatten-Gehäuserahmens (4) eines Schieberventils (3) in ein Schraubenloch (15), welches in einer Kammerwand (2a) einer Kammer (1) ausgebildet ist, und beim Festschrauben der Befestigungsschraube (18), um die Rahmenwand (4a) gegen die und an der ersten Kammerwand (2a) zu pressen und zu befestigen, wird mittels eines Mitnehmermechanismus (19), welcher an der Befestigungsschraube (18) und im Schraubeneinführungsloch ausgebildet ist, eine Schubkraft in einer Richtung senkrecht zur Schraubenachse der Befestigungsschraube (18) auf den Ventilplatten-Gehäuserahmen (4) erzeugt, wodurch die andere Rahmenwand (4b) des Ventilplatten-Gehäuserahmens (4) durch die Schubkraft gegen die andere Kammerwand (2b) der Kammer (1) gepresst und befestigt wird.

Description

[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schieberventil, welches an einer Kammerwand einer Vakuumkammer in einer Halbleiterbearbeitungsvorrichtung befestigbar ist und eine Öffnung, welche in der Kammerwand ausgebildet ist, mittels einer Ventilplatte öffnen und schliessen kann.

[0002] In einer Halbleiterbearbeitungsvorrichtung wird ein Absperrventil zum Öffnen und Schliessen einer Öffnung, welche mit einer Vakuumkammer kommuniziert, verwendet. Diese Halbleiterbearbeitungsvorrichtung ist sehr teuer, weshalb Akkuratesse bei der Bearbeitung erforderlich und Wartung unabdingbar ist. Bei der Wartung werden Arbeiten, wie das Entfernen des Schieberventils aus einer Vakuumkammer und das Ersetzen eines abgenutzten Schieberventils und eines abgenutzten Dichtungselementes und dergleichen, durchgeführt. Der Teil der Vakuumkammer, an welchem der Schieber befestigt ist, und dessen Umgebung sind sehr kompliziert. Daher wurde in den letzten Jahren ein Schieberventil mit einem, wie in Patentliteratur 1 beschriebenen Aufbau verwendet, so dass das Entfernen und Wiederanbringen des Schieberventils, der Ersatz einer Ventilplatte und dergleichen so einfach und schnell wie möglich durchgeführt werden kann.

[0003] Dieses bekannte Absperrventil ist derart ausgebildet, dass eine Schliessanordnung durch das Zusammenbringen einer Ventilplatte (Verschlussplatte), welche die Öffnung (Durchgangsloch) eines Ventilplatten-Gehäuserahmens (gehäuseartiges Element), welcher die Ventilplatte beherbergt, über einen Ventilschaft (Kolbenstange), welcher mit der Ventilplatte verbunden ist und mittels eines Antriebsmechanismus-Teilstückes (Zylinder-Einheit), welches das Öffnen und Schliessen der Ventilplatte über den Ventilschaft antreibt, öffnet und schliesst, wobei die Schliessanordnung durch das Befestigen des Ventilplatten-Gehäuserahmens an einer Seitenwand der Kammer mit einer Befestigungsschraube, lösbar mit der Vakuumkammer verbunden ist, und die Öffnung, welche mit dem Ventilplatten-Gehäuserahmen kommuniziert, mittels der Ventilplatte geöffnet und geschlossen wird. So kann durch das Entfernen der gesamten Schliessanordnung von der Vakuumkammer während der Wartung, der Austausch der Ventilplatte und der Dichtungselemente und dergleichen, leicht ausgeführt werden.

[0004] PTL 1: Japanisches Patent No.: 4210391

[0005] Bei den bekannten Schieberventilen ist es notwendig, bei der Befestigung des Ventilplatten-Gehäuserahmens an einer Seitenwand einer Kammer mittels einer Befestigungsschraube, zwei zusammenhängende und senkrecht zueinander stehende Flächen des Ventilplatten-Gehäuserahmens in Kontakt mit zwei senkrecht zueinander stehenden Seitenwänden der Kammer zu bringen. Aus diesem Grund sind bei diesem Schieberventil Schraubenbefestigungslöcher, zum Befestigen der Befestigungsschraube, in einer der zusammenhängenden Flächen des Ventilplatten-Gehäuserahmens und in einer der Seitenwände der Kammer, ausgebildet, derart dass diese in Bezug zu sowohl der einen zusammenhängenden Fläche als auch der einen Seitenwand um 45 Grad geneigt ist, wobei die Befestigungsschraube in das geneigte Befestigungsloch geschraubt wird, und die zwei zusammenhängenden Flächen des Ventilplatten-Gehäuserahmens dadurch in Kontakt mit den beiden Seitenwänden der Kammer gebracht werden.

[0006] Jedoch erweist sich ein solches Verfahren, bei welchem der Ventilplatten-Gehäuserahmen an einer Seitenwand der Kammer mit schrägen Befestigungsöffnungen befestigt wird, als problematisch, weil es schwierig ist, bei der Fertigung der Befestigungslöcher die gewünschte Positionsgenauigkeit zu erzielen, weil für die Fertigung eine Multifunktions-Bearbeitungsmaschine verwendet werden muss, und dabei Werkstücke angewinkelt befestigt werden müssen, was Nachteile mit sich bringt, wie schlechte Bearbeitbarkeit und Kostspieligkeit.

[0007] Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Schieberventil zu schaffen, bei welchem ein Ventilplatten-Gehäuse desselben, ohne eine geneigte Befestigungsschraube, mit einer Seitenwand einer Kammer verbunden werden kann, wobei zwei senkrecht zueinander liegende Flächen des Ventilplatten-Gehäuserahmens in Kontakt mit zwei senkrecht zueinander liegenden Seitenwänden der Kammer liegen, und welches einen einfachen und vernünftigen Anordnungs-Aufbau aufweist.

Lösung für Problem

[0008] Um die obige Aufgabe zu lösen, schafft die vorliegende Erfindung ein Schieber-Ventil, welches derart befestigt ist, dass dieses eine erste und eine zweite Kammerwand einer Kammer, welche Kammerwände senkrecht zueinander stehen, verbindet, und welches mittels einer Ventilplatte eine in der ersten Kammerwand angebrachten Öffnung öffnet und schliesst, wobei das Schieberventil einen Ventilplatten-Gehäuserahmen umfasst, welcher eine erste Rahmenwand aufweist, welche gegen die erste Kammerwand gepresst wird, und eine zweite Rahmenwand aufweist, welche gegen die zweite Kammerwand gepresst wird, wobei eine kommunizierende Öffnung derart in der ersten Rahmenwand angebracht ist, dass diese mit der Öffnung der Kammerwand kommuniziert, wobei die Ventilplatte im Ventilplatten-Gehäuserahmen verschiebbar ist, und dadurch die kommunizierende Öffnung öffnet und schliesst, wobei das Schieberventil ein Antriebsmechanismus-Teilstück aufweist, welche das Öffnen und Schliessen der Ventilplatte bewirkt, und eine Befestigungsvorrichtung aufweist zur Befestigung des Ventilplatten-Gehäuserahmens an der ersten oder zweiten Kammerwand, wobei die Befestigungsvorrichtung eine Befestigungsschraube umfasst, welche in ein Schraubenloch eingeschraubt ist, welches senkrecht in der ersten oder zweiten Kammerwand angebracht ist, und welches ein Schraubeneinführungsloch aufweist, welches senkrecht in einer der ersten oder zweiten Kammerwand und der dazu korrespondierenden Rahmenwand des Ventilplatten-Gehäuserahmens ausgebildet ist und durch welches die Befestigungsschraube geführt ist, wobei ein Mitnehmermechanismus, welcher an der Befestigungsschraube und in dem Schraubeneinführungsloch ausgebildet ist, beim Festziehen der Befestigungsschraube eine Schubkraft auf den Ventilplatten-Gehäuserahmen, in einer Richtung senkrecht zur Achse der Befestigungsschraube, erzeugt, um die eine der Rahmenwände gegen die eine Kammerwand zu pressen und an dieser zu befestigen, während die andere Rahmenwand des Ventilplatten-Gehäuserahmens durch die Schubkraft an die andere Kammerwand der Kammer gepresst wird.

[0009] Gemäss einer besonderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist der Mitnehmermechanismus eine Mitnehmerfläche auf, welche als eine an der Befestigungsschraube angeordnete, gleichförmig geneigte Oberfläche ausgebildet ist, und eine Mitnehmerauflauffläche, welche als eine gleichförmige Schrägfläche in das Schraubeneinführungsloch ausgebildet ist, wobei die Neigungsrichtung und der Neigungswinkel der Mitnehmerfläche und die Neigungsrichtung und der Neigungswinkels der Mitnehmerauflauffläche, jeweils gleich zueinander liegen. In diesem Fall ist die auf einem Mitnehmerelement liegende Mitnehmerfläche vorzugsweise integral mit oder separat von der Befestigungsschraube angeordnet, und ist die Mitnehmerauflauffläche an der Innenfläche des Schraubeneinführungsloches angeordnet. Vorzugsweise ist das Mitnehmerelement separat von der Befestigungsschraube ausgebildet und ist an der Befestigungsschraube in der Weise befestigt, dass das Mitnehmerelement relativ zur Achse der Befestigungsschraube drehbar ist, jedoch an einer Bewegung in Richtung der Achse gehindert ist.

[0010] Gemäss einer spezifischen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind sowohl die Mitnehmerfläche als auch die Mitnehmerauflauffläche planar. In diesem Fall weist das Mitnehmerelement vorzugsweise eine nichtkreisförmige Vorderansicht auf, wobei die Mitnehmerfläche auf der Aussenfläche des Mitnehmerelements ausgebildet ist, wobei das Schraubeneinführungsloch eine Mitnehmer-Einfüge-Aussparung aufweist, in welcher das Mitnehmerelement nicht-drehbar angebracht ist, und die Mitnehmerauflauffläche an der Innenfläche der Mitnehmer-Einfüge-Aussparung ausgebildet ist.

[0011] Gemäss einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, weisen die Mitnehmerfläche und die Mitnehmerauflauffläche beide konischen Oberflächenformen auf, und der Aussendurchmesser des weitesten Teils der konischen Oberfläche, welche die Mitnehmerfläche bildet, kleiner ist als der Innendurchmesser des schmälsten Teils der konischen Fläche, welche die Mitnehmerauflauffläche bildet. In diesem Fall ist es bevorzugt, dass das Mitnehmerelement zylindrisch ist, wobei die konische Mitnehmerfläche an dem Mitnehmerelement ausgebildet ist, wobei das Schraubeneinführungsloch einen Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser und einen Lochabschnitt mit grossem Durchmesser aufweist, welche Lochabschnitte kreisförmig sind und unterschiedliche Durchmesser aufweisen, und wobei die konische Mitnehmerauflauffläche zwischen dem Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser und dem Lochabschnitt mit grossem Durchmesser liegt.

[0012] Gemäss der vorliegenden Erfindung kann durch die Kombination einer Befestigungsschraube, die senkrecht zu einer Rahmenwand eines Ventilplatten-Gehäuserahmens und einer Kammerwand einer Kammer steht, mit einem Mitnehmermechanismus, der Ventilplatten-Gehäuserahmen an der Kammerwand der Kammer befestigt werden, wobei zwei zueinander senkrecht stehende Rahmenwände des Gehäuserahmens der Ventilplatte gegen zwei zueinander senkrecht stehende Kammerwände der Kammer gepresst werden.

[0013] Fig. 1 stellt eine Teilschnittansicht einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar und zeigt einen Zustand, bei welchem eine erste Rahmenwand eines Ventilplatten-Gehäuserahmens eines Schieberventils mittels Befestigungsvorrichtungen an einer ersten Kammerwand einer Kammer befestigt ist. Fig. 2 zeigt eine Seitenansicht der Fig. 1 von rechts. Fig. 3A zeigt eine vergrösserte Teilansicht aus Fig. 1 und Fig. 3B zeigt eine Seitenansicht der Fig. 3A von rechts. Fig. 4A zeigt eine Schnittansicht eines vorläufigen Zustands vor dem Festziehen der Befestigungsschraube gemäss Fig. 3A und Fig. 4B zeigt eine Seitenansicht der Fig. 4A von rechts. Fig. 5A zeigt eine Schnittansicht, die einen Zustand darstellt, bei welchem die Befestigungsschraube aus dem vorläufigen Zustand gemäss Fig. 4A in eine Zwischenfestziehposition geschraubt ist und Fig. 5B zeigt eine Seitenansicht der Fig. 5A von rechts. Fig. 6 zeigt eine Teilschnittansicht einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in einem Zustand, bei welchem eine zweite Rahmenwand eines Ventilplatten-Gehäuserahmens eines Schieberventils mittels Befestigungsvorrichtungen an einer zweiten Kammerwand einer Kammer befestigt ist. Fig. 7 zeigt eine Seitenansicht der Fig. 6 von rechts. Fig. 8A zeigt eine vergrösserte Teilansicht aus Fig. 6 und Fig. 8B zeigt eine Draufsicht auf Fig. 8A. Fig. 9A zeigt eine Schnittansicht eines vorläufigen Zustands vor dem Festziehen der Befestigungsschraube gemäss Fig. 8A und Fig. 9B zeigt eine Draufsicht auf Fig. 9A. Fig. 10A zeigt eine Schnittansicht, welche einen Zustand zeigt, bei welchem die Befestigungsschraube aus dem vorläufigen Zustand gemäss Fig. 9A in eine Zwischenfestziehposition geschraubt ist und Fig. 10B zeigt eine Draufsicht auf Fig. 10A. Fig. 11 zeigt eine Modifikation der Befestigungsvorrichtung nach einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und zeigt eine Teilschnittansicht eines Zustands, bei welchem mittels der Befestigungsvorrichtung eine erste Rahmenwand eines Ventilplatten-Gehäuserahmens eines Schieberventils mit einer ersten Kammerwand einer Kammer befestigt ist. Fig. 12 zeigt eine Teilschnittansicht eines vorläufigen Zustands vor dem in Fig. 11 dargestellten Festziehen der Befestigungsschraube. Fig. 13 zeigt eine Teilschnittansicht, die einen Zustand darstellt, bei welchem die Befestigungsschraube aus dem vorläufigen Zustand gemäss Fig. 12 in eine Zwischenfestziehposition geschraubt ist. Fig. 14 zeigt eine Schnittansicht einer weiteren Modifikation der Befestigungsvorrichtung gemäss einer dritten Ausführungsform.

[0014] Fig. 1 und Fig. 2 zeigen eine erste Ausführungsform eines Schieberventils gemäss der vorliegenden Erfindung. In den Figuren bezeichnet das Bezugszeichen 1 eine Vakuumkammer (im Folgenden einfach als „Kammer“ bezeichnet) für die Bearbeitung eines Halbleiters. Das Bezugszeichen 2 bezeichnet eine Kammerwand, welche die Kammer 1 umgibt. Das Bezugszeichen 3 bezeichnet ein Schieberventil, welches an der Kammerwand 2 der Kammer 1, über einen dazwischen liegenden Ventilplatten-Gehäuserahmen 4, angebracht ist. Das Bezugszeichen 5 bezeichnet Befestigungsvorrichtungen zur Befestigung des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 an der Kammerwand 2.

[0015] Die Kammer 1 ist eine rechtwinklige parallelepipedförmige Kammer, welche von der Kammerwand 2 umgeben ist, weist eine Längsrichtung und eine Querrichtung auf, und ermöglicht im evakuierten Innern verschiedene Halbleiter-Bearbeitungsprozesse. Eine an einem Längsende der Kammer 1 liegende erste Kammerwand 2a der Kammerwand 2 weist eine horizontale längliche Öffnung 6 auf, um den Halbleiter in die und aus der Kammer 1 zu transferieren, und eine zweite Kammerwand (Bodenwand) 2b, welche senkrecht mit dem unteren Ende der ersten Kammerwand 2a verbunden ist, weist ein Ventil-Einbauloch 7 auf, in welches ein Teil des Schieberventils 3 eingesetzt ist. Eine dritter Kammerwand (obere Wand) 2c, welche der zweiten Kammerwand 2b gegenüberliegt, bildet ein zu öffnendes und zu schliessendes Deckelteil. Bei geöffneter dritter Kammerwand 2c wird das Schieberventil 3 in die Kammer 1 eingeführt und wird das Schieberventils 3 mittels den Befestigungsvorrichtungen 5 über den dazwischen liegenden Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 an der ersten Kammerwand 2a befestigt.

[0016] Das Schieberventil 3 umfasst den Ventilplatten-Gehäuserahmen 4, eine Verbindungsöffnung 6a, welche in einer ersten Rahmenwand 4a des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 ausgebildet ist, um mit der Öffnung 6 zu kommunizieren, eine Ventilplatte 8, welche in dem Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 verschiebbar ist, um die Verbindungsöffnung 6a zu öffnen und zu schliessen und dadurch die Öffnung 6 öffnet und schliesst, ein Antriebsmechanismus-Teilstück 10, welches das Öffnen und Schliessen der Ventilplatte 8 über einen Ventilschaft 9 antreibt, und die Befestigungsvorrichtungen 5, welche den Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 an der Kammerwand 2 der Kammer 1 befestigen. Der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4, die Ventilplatte 8, der Ventilschaft 9 und das Antriebsmechanismus-Teilstück 10 sind integral als eine Struktur aufgebaut.

[0017] Der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 umfasst die erste Rahmenwand 4a, welche parallel zur ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 liegt, und eine mit der ersten Rahmenwand 4a senkrecht verbundene zweite Rahmenwand 4b. Wenn der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 an der Kammerwand 2 der Kammer 1 befestigt ist, wird die erste Rahmenwand 4a gegen die Innenfläche der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1, mit einem dazwischen angeordneten ersten Dichtungselement 11a, welches die dazwischen liegende Öffnung 6 umgibt, gepresst, und wird die zweite Rahmenwand 4b gegen die Innenfläche der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1 gepresst, mit einem zweiten Dichtungselement 11b, welches das dazwischenliegende Ventilbauloch 7 umgibt. Das erste Dichtungselement 11a ist an der ersten Rahmenwand 4a befestigt, und das zweite Dichtungselement 11b ist an der zweiten Rahmenwand 4b befestigt.

[0018] Die zweite Rahmenwand 4b des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 ist über eine Verbindungsvorrichtung (nicht gezeigt) mit dem oberen Ende des Antriebsmechanismus-Teilstücks 10 verbunden. Ein Schaftloch 12 in der zweiten Rahmenwand 4b, durch welches der Ventilschaft 9 ragt, kommuniziert mit der Kammer 1, und ist durch einen im Antriebsmechanismus-Teilstück 10 angeordneten Faltenbalg oder dergleichen von der Atmosphäre abgetrennt.

[0019] Wie aus den Figuren 3A, 3B, 4A und 4B klar ersichtlich, umfassen die Befestigungsvorrichtungen 5 jeweils ein Schraubenloch 15 und ein Führungsloch 16, welche in der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 senkrecht in der Kammerwand 2a liegen, ein Schraubeneinführungsloch 17, welches in der ersten Rahmenwand 4a des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 senkrecht zur Rahmenwand 4a liegt, eine Befestigungsschraube 18, welche durch das Schraubeneinführungsloch 17 in das Schraubenloch 15 geschraubt ist, und einen Mitnehmermechanismus 19, welcher aus einer Mitnehmerfläche 20 und einer Mitnehmerauflauffläche 21 besteht, welche an der Befestigungsschraube 18 und in dem Schraubeneinführungsloch 17 ausgebildet sind. Eine Mehrzahl der Befestigungsvorrichtungen 5 sind an Positionen ausgebildet, welche von der Verbindungsöffnung 6a der ersten Rahmenwand 4a entfernt liegen, d.h. an Positionen nahe der zweiten Rahmenwand 4b.

[0020] Das Schraubeneinführungsloch 17 weist eine langlochähnliche Form auf, welche sich in Höhenrichtung der ersten Rahmenwand 4a erstreckt, und weist an seinem Ende, welches in die Kammer 1 mündet, eine rechteckige Mitnehmer-Einfüge-Aussparung 22 auf. Somit ist die Mitnehmer-Einfüge-Aussparung 22 ein Teil des Schraubeneinführungsloches 17. In der folgenden Beschreibung wird zur Vereinfachung der Beschreibung der langlochähnliche Teil als „Schraubeneinführungsloch 17“ bezeichnet, und der rechteckige Teil wird als „Mitnehmer-Einfüge-Aussparung 22“ bezeichnet. Die Mitnehmerauflauffläche 21, welche als ebene Schrägfläche ausgebildet ist, liegt an derjenigen der vier inneren Seitenflächen der Mitnehmer-Einfüge-Aussparung 22, welche der zweiten Rahmenwand 4b am nächsten liegt. Die Mitnehmerauflauffläche 21 ist gleichmässig geneigt, derart dass sie sich gegen das offenen Ende der Mitnehmer-Einfüge-Aussparung 22 allmählich der zweiten Rahmenwand 4b nähert.

[0021] Der zwischen der Mitnehmerauflauffläche 21 und einer Einführungsloch-Achse L1, welche die Mittelachse des Schraubeneinführungsloches 17 bildet, gebildete Winkel beträgt vorzugsweise 45 Grad oder weniger und insbesondere etwa 20 bis 30 Grad. Der Winkel im dargestellten Beispiel beträgt 25 Grad.

[0022] Die Befestigungsschraube 18 weist, in der Reihenfolge vom distalen zum proximalen Ende, entlang einer Schraubenachse L2, welche die zentrale Achse dieser ist, einen Gewindeabschnitt 18a, an dem ein Aussengewinde ausgebildet ist, einen zylindrischen Abschnitt 18b, an dem kein Aussengewinde ausgebildet ist, und einen runden Schraubenkopf 18c, in dem ein Innensechskant 18d für das Drehen der Schraube vorgesehen ist. Ein Mitnehmerelement 23, welches in Frontansicht eine rechteckige Form aufweist, ist mit dem zylindrischen Abschnitt 18b um die Schraubenachse L2 drehbar verbunden, wobei seine Bewegung entlang der Schraubenachse L2 durch einen Sicherungsring 24 begrenzt ist. Die Mitnehmerfläche 20, welche mit der Mitnehmerauflauffläche 21 in Kontakt steht, liegt auf derjenigen der vier äusseren Seitenflächen des Mitnehmerelementes 23, welche der Mitnehmerauflauffläche 21 der Mitnehmereinfügeaussparung 22 gegenüberliegt. Diese Mitnehmerfläche 20 ist eine ebene geneigte Fläche, und in der gleichen Richtung, wie die Mitnehmerauflauffläche 21 gleichmässig geneigt, das heisst, dass sie sich der Schraubenachse L2 allmählich nähert, je weiter es in Richtung des distalen Endes der Befestigungsschraube 18 geht. Der zwischen der Mitnehmerfläche 20 und der Schraubenachse L2 gebildete Winkel ist derselbe, wie der Winkel, der zwischen der Mitnehmerauflauffläche 21 und der Einführungslochachse L1 gebildet ist, und beträgt in dem hier dargestellten Beispiel 25 Grad.

[0023] Aufgrund des Mitnehmermechanismus 19, welcher durch die Mitnehmerfläche 20 und die Mitnehmerauflauffläche 21 gebildet wird, wird beim Festschrauben der Befestigungsschraube 18, um die erste Rahmenwand 4a an der ersten Kammerwand 2a zu befestigen, im Ventilplatten-Gehäuserahmen 4, eine Schubkraft, in eine Richtung senkrecht zur Schraubenachse L2 der Befestigungsschraube 18, erzeugt, und wird die zweite Rahmenwand 4b des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 von dieser Schubkraft gegen die zweite Kammerwand 2b der Kammer 1 gedrückt.

[0024] Der Vorgang, um das Schieberventil 3 an der Kammerwand 2 der Kammer 1 mittels den Befestigungsvorrichtungen 5 zu befestigen, wird wie folgt ausgeführt.

[0025] Fig. 4A und 4B zeigen einen vorläufigen Zustand, vor der Befestigung des in der Kammer 1 liegenden Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 des Schieberventils 3 an die erste Kammerwand 2a der Kammer 1 mittels der Befestigungsvorrichtungen 5. Dieser vorläufige Zustand ist ein Zustand, bei welchem ein Teil des distalen Endes des Gewindeabschnittes 18a der Befestigungsschraube 18 in das Schraubenloch 15 eingeschraubt ist, wobei das distale Ende des zylindrischen Abschnittes 18b in das Führungsloch 16 eingepasst ist, und die Befestigungsschraube 18 dadurch vorübergehend an der ersten Kammerwand 2a stabil, aber noch nicht fest angezogen, befestigt ist. Zu diesem Zeitpunkt sind das erste Dichtungselement 11a und das zweite Dichtungselement 11b noch nicht zusammengedrückt, und daher stehen die Wandflächen 4c der ersten Rahmenwand 4a und der zweiten Rahmenwand 4b des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 ausser Kontakt mit den Innenflächen der ersten Kammerwand 2a und der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1. Die Mitnehmerfläche 20 des Mitnehmerelementes 23 steht in Kontakt mit der Mitnehmerauflauffläche 21 der Mitnehmereinfügeaussparung 22 und in einer Position nahe dem offenen Ende der Mitnehmereinfügeaussparung 22, wobei der zylindrische Abschnitt 18b der Befestigungsschraube 18 in der Nähe eines ersten Lochendes liegt, welches in Längsachsenrichtung dasjenige der beiden Enden des Schraubeneinführungsloches 17 ist, welches näher an der zweiten Rahmenwand 4b liegt.

[0026] Wenn die Befestigungsschraube 18 aus dem vorläufigen Zustand gemäss Fig 4A weiter eingeschraubt wird, bewegt sich die Befestigungsschraube 18 beim Drehen nach vorne, während sich das Mitnehmerelement 23 nach vorne bewegt ohne sich in der Mitnehmereinfügeaussparung 22 zu drehen, und kommt die Befestigungsschraube 18, wie in den Fig. 5A und 5B dargestellt, in eine Zwischenfestziehposition, bei welcher eine Anpressfläche 23a am distalen Ende des Mitnehmerelementes 23 in Kontakt mit einer Druckfläche 22a an der Unterseite der Mitnehmereinfügeaussparung 22 kommt. In dieser Situation presst die Mitnehmerfläche 20 des Mitnehmerelementes 23, beim Gleiten entlang der Mitnehmerauflauffläche 21, die Mitnehmerauflauffläche 21, und deshalb wirkt eine vertikale Kraftkomponente in eine Richtung, welche senkrecht zur Schraubenachse L2 steht als Schubkraft auf den Ventilplatten-Gehäuserahmen 4. Durch diese Schubkraft wird der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 gegen die zweite Kammerwand 2b der Kammer 1 gedrückt, und wird die zweite Rahmenwand 4b gegen die zweite Kammerwand 2b gedrückt, während das zweite Dichtungselement 11b zusammengedrückt wird. In dieser Situation kann die Wandfläche 4c der zweiten Rahmenwand 4b in Kontakt mit der Innenfläche der zweiten Kammerwand 2b stehen, ist jedoch vorzugsweise von der zweiten Kammerwand 2b mit einem kleinen Spalt zwischen sich und der inneren Oberfläche getrennt.

[0027] Aufgrund der Bewegung des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 wird der zylindrische Abschnitt 18b der Befestigungsschraube 18 in die Nähe eines zweiten, dem ersten Lochende 17a des Schraubeneinführungsloches 17 gegenüber liegenden, Lochendes 17b bewegt.

[0028] Auf den Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 wirkt auch eine Kraftkomponente in einer Richtung parallel zur Schraubenachse L2. Durch diese parallele Kraftkomponente wird der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 auch in Richtung der ersten Kammerwand 2a gepresst. Diese parallele Kraftkomponente ist kleiner als die vertikale Kraftkomponente, und daher wird der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 nur leicht zur ersten Kammerwand 2a verschoben, während das erste Dichtungselement 11a leicht komprimiert wird.

[0029] Als nächstes, wenn die Befestigungsschraube 18 weiter eingeschraubt wird, und von der Zwischenfestziehposition gemäss Fig. 5A und in eine endgültige Festziehposition, wie dargestellt in den Fig. 3A und 3B, festgezogen wird, wird der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 in Richtung der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 verschoben, und wird die erste Rahmenwand 4a gegen die erste Kammerwand 2a gepresst, während das erste Dichtungselements 11a komprimiert wird. In dieser Situation wird die zweite Rahmenwand 4b gegen die zweite Kammerwand 2b gepresst, während das zweite Dichtungselement 11b komprimiert wird, und wird in diesem Zustand entlang der zweiten Kammerwand 2b verschoben. Daher wird bevorzugt das zweite Dichtungselement 11b einer Antihaftbehandlung unterworfen, um zu vermeiden, dass das zweite Dichtungselement 11b an der zweiten Kammerwand 2b haftet und/oder Abrieb erzeugt.

[0030] Die Wandfläche 4c der ersten Rahmenwand 4a kann in Kontakt mit der Innenfläche der ersten Kammerwand 2a stehen oder kann von der Innenfläche der ersten Kammerwand 2a durch einen kleinen dazwischen liegenden Spalt getrennt sein. Trotzdem, und um zu vermeiden, dass die erste Rahmenwand 4a durch die Presskraft verschoben wird, wenn die Verbindungsöffnung 6a von der Ventilplatte 8 verschlossen wird, steht die erste Rahmenwand 4a vorzugsweise in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a. In diesem Fall, und um die Erzeugung von Abrieb aufgrund von Metallberührung zu minimieren, stehen vorteilhafterweise nur Teile der Wandfläche 4c der ersten Rahmenwand 4a in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a und ist der andere Wandflächenteil in Form einer Vertiefung geformt, um dadurch ausser Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a zu stehen. In diesem Fall sind die in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a stehenden Wandflächenteile vorzugsweise ein Teil des oberen Endes der ersten Rahmenwand 4a, welche an der Aussenseite des ersten Dichtungselements 11a liegt, und die Teile um die Schraubeneinsatzlöcher 17.

[0031] Damit wird, durch das Festziehen der Befestigungsschrauben 18 aller Befestigungsvorrichtungen 5, die Befestigung des Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 an der Kammerwand 2 der Kammer 1, das heisst, das Befestigen des Schieberventils 3 in der Kammer 1, abgeschlossen.

[0032] Die Entfernung des Schieberventils 3 aus der Kammer 1 für die Instandhaltung oder dergleichen kann in einer umgekehrten Reihenfolge zu dem oben beschriebenen Befestigungsvorgang durchgeführt werden. In diesem Fall, weil das Mitnehmerelement 23, welches an der Befestigungsschraube 18 befestigt ist und durch den Sicherungsring 24 an der Befestigungsschraube 18 festgehalten ist, wird beim Entfernen der Befestigungsschraube 18 das Mitnehmerelement 23 aus der Mitnehmereinfügeaussparung 22 zusammen mit der Befestigungsschraube 18 entfernt.

[0033] Fig. 6 und Fig. 7 zeigen eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die zweite Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass eine zweite Rahmenwand 4b des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 mit einer zweiten Kammerwand 2b einer Kammer 1 mittels einer Vielzahl von Befestigungsvorrichtungen 5A befestigbar ist. Aus diesem Grund wird in dem gezeigten Beispiel eine Befestigungsvorrichtung 5A in der Längsrichtung und an jeder Aussenseite eines in der zweiten Kammerwand 2b gebildeten Ventil-Einbauloches 7 versehen.

[0034] Wie aus den Figuren 8A, 8B, 9A und 9B klar ersichtlich wird, weisen die Befestigungsvorrichtungen 5A im Wesentlichen denselben Aufbau auf, wie die Befestigungsvorrichtungen 5 der ersten Ausführungsform. Das heisst, die Befestigungsvorrichtungen 5A umfassen jeweils ein Schraubenloch 15 und ein Führungsloch 16, welche in der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1 und senkrecht zur Kammerwand 2b ausgebildet sind, ein Schraubeneinführungsloch 17, welches senkrecht zur Rahmenwand 4b in der zweiten Rahmenwand 4b des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 ausgebildet ist, eine Befestigungsschraube 18, welche durch das Schraubeneinführungsloch 17 in das Schraubenloch 15 geschraubt ist, und einen Mitnehmermechanismus 19, welcher an der Befestigungsschraube 18 befestigt ist und im Schraubeneinführungsloch 17 liegt.

[0035] Der Mitnehmermechanismus 19 wird durch eine Mitnehmerfläche 20 gebildet, welche an einer der äusseren Seitenflächen eines Mitnehmerelementes 23, welches an der Befestigungsschraube 18 befestigt ist, ausgebildet ist, und eine Mitnehmer-Auflauf-Fläche 21, welche an einer der inneren Seitenflächen der Mitnehmer-Einfüge-Aussparung 22 im Schraubeneinführungsloch 17 ausgebildet ist. Die Mitnehmerfläche 20 und die Mitnehmerauflauffläche 21 sind an den Seitenflächen je des Mitnehmerelementes 23 und der Mitnehmereinfügeaussparung 22, welche der ersten Rahmenwand 4a am nächsten liegen, ausgebildet.

[0036] Bei der zweiten Ausführungsform ist das Verfahren zum Befestigen der zweiten Rahmenwand 4b des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 an die zweite Kammerwand 2b der Kammer 1 mittels der Befestigungsvorrichtungen 5A im Wesentlichen dasselbe, wie dasjenige in dem Fall der ersten Ausführungsform. Das heisst, die Befestigungsschraube 18 wird aus dem vorläufigen Zustand, wie er in den Figuren 9A und 9B dargestellt ist, in eine Zwischenfestziehposition geschraubt, bei welcher die Anpressfläche 23a des Mitnehmerelementes 23 in Kontakt mit der Druckfläche 22a an der Unterseite der Mitnehmereinfügeaussparung 22 steht, wie in den Fig. 10A und 10B dargestellt, und wobei die Mitnehmerfläche 20 des Mitnehmermechanismus 19 auf die Mitnehmerauflauffläche 21 drückt, um den Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 in Richtung der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 zu verschieben. Damit wird die erste Rahmenwand 4a an die erste Kammerwand 2a gepresst, wobei das erste Dichtungselement 11a zusammengedrückt wird.

[0037] Als nächstes wird die Befestigungsschraube 18 aus der Zwischenfestziehposition gemäss Fig. 10A und 10B weiter eingeschraubt und wird in eine endgültige Festziehposition festgezogen, wie in den Fig. 8A und 8B dargestellt, wobei der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 dadurch in Richtung der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1 verschoben wird, und die zweite Rahmenwand 4b gegen die zweite Kammerwand 2b gepresst wird, während dem das zweite Dichtungselement 11b zusammengedrückt wird. In dieser Situation wird die erste Rahmenwand 4a, welche gegen die erste Kammerwand 2a gedrückt wird, in diesem Zustand entlang der ersten Kammerwand 2a verschoben.

[0038] Somit wird durch das Festziehen der Befestigungsschrauben 18 der beiden Befestigungsvorrichtungen 5A, die Befestigung des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 an der Kammerwand 2 der Kammer 1, das heisst, das Anbringen des Schieberventils 3 in der Kammer 1, abgeschlossen. In der zweiten Ausführungsform wird, um die Kontaktfläche mit der ersten Kammerwand 2a zu reduzieren, die erste Rahmenwand 4a des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 derart ausgebildet, dass ein Teil rund um das erste Dichtungselement 11a in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a steht und der andere Teil nicht in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a steht.

[0039] Fig. 11 bis Fig. 13 zeigen teilweise eine Modifikation einer Befestigungsvorrichtung für eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Diese Befestigungsvorrichtung 5B unterscheidet sich von den Befestigungsvorrichtungen 5 und 5a der ersten und der zweiten Ausführungsform darin, dass schräge Flächen ausgebildet sind, welche eine Mitnehmerfläche 35 und eine Mitnehmerauflauffläche 36 eines Mitnehmermechanismus 34 bilden und beide konische Oberflächenformen aufweisen.

[0040] Die Anordnung der Befestigungsvorrichtung 5B der dritten Ausführungsform, in einem Fall, bei welchem, wie im Fall der ersten Ausführungsform gemäss Fig. 1 und Fig. 2, eine erste Rahmenwand 4a eines Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 an einer ersten Kammerwand 2a einer Kammer 1 mittels der Befestigungsvorrichtung 5B befestigt wird, soll nachstehend beschrieben werden. Für diesem Fall wird für die Anordnungen der Komponenten, welche nicht die Befestigungsvorrichtung 5B betreffen, wie die in den Fig. 11 bis Fig. 13 nicht beschriebenen Anordnungen der Kammer 1 und des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4, nach Bedarf auf die Fig. 1 und Fig. 2 Bezug genommen.

[0041] Die Befestigungsvorrichtung 5B umfasst ein Schraubenloch 31, welches senkrecht zur Kammerwand 2a in der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 vorgesehen ist, ein Schraubeneinführungsloch 32, welches senkrecht zur Rahmenwand 4a in der ersten Rahmenwand 4a des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 ausgebildet ist, eine Befestigungsschraube 33, welche durch das Schraubeneinführungsloch 32 ragt und in das Schraubenloch 31 eingeschraubt ist, und einen Mitnehmermechanismus 34, welcher an der Befestigungsschraube 33 und in dem Schraubeneinführungsloch 32 ausgebildet ist.

[0042] Das Schraubeneinführungsloch 32 ist hier ein kreisförmiges Loch und umfasst entlang der Einführungslochachse L1 und in der Reihenfolge vom distalen zum proximalen Ende des Schraubeneinführungsloches 32, einen Lochabschnitt 32a mit kleinem Durchmesser, einen Lochabschnitt 32b mit grossem Durchmesser, welcher einen grösseren Lochdurchmesser aufweist als der des Lochabschnittes mit kleinem Durchmesser, und einen Schraubenkopf-Aufnahme-Abschnitt 32c, mit einem grösseren Lochdurchmesser, als der des Lochabschnitts 32b mit grossem Durchmesser. Die Mitnehmerauflauffläche 36, welche eine konische Flächenform aufweist, liegt zwischen dem Lochabschnitt 32a mit kleinem Durchmesser und dem Lochabschnitt 32b mit grossem Durchmesser. Eine Sitzfläche 32d, mit welcher der Schraubenkopf 33c der Befestigungsschraube 33 in Kontakt kommt, ist am Boden des Schraubenkopf-Aufnahme-Abschnittes 32c ausgebildet.

[0043] Die Befestigungsschraube 33 weist entlang der Schraubenachse L2 in der Reihenfolge vom distalen zum proximalen Ende, einen Gewindeabschnitt 33a auf, an welchem ein Aussengewinde ausgebildet ist, einen zylindrischen Abschnitt 33b, auf welchem kein Aussengewinde ausgebildet ist, und der runde Schraubenkopf 33c mit einem Innensechskant. In dem zylindrischen Abschnitt 33b sind an der proximalen Seite (Seite des Schraubenkopfs 33c) ein Abschnitt mit grossem Durchmessers 33b1 und an der distalen Seite (Seite des Gewindeabschnitts 33a) ein Abschnitt mit kleinem Durchmessers 33b2 ausgebildet, welche unterschiedliche Aussendurchmesser haben. Die Mitnehmerfläche 35 mit einer konischen Oberflächenform ist zwischen dem Abschnitt mit grossem Durchmesser 33b1 und dem Abschnitt mit kleinem Durchmesser 33b2 ausgebildet.

[0044] Der Aussendurchmesser des Abschnittes mit grossem Durchmesser 33b1 der Befestigungsschraube 33 ist kleiner als der Innendurchmesser des Lochabschnittes mit grossem Durchmesser 32b des Schraubeneinführungsloches 32 und ist geringfügig kleiner als der Innendurchmesser des Lochabschnittes mit kleinem Durchmesser 32a, so dass der Abschnitt mit grossem Durchmesser 33b1 bündig in den Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser 32a und ohne zu lottern (wackeln) eingesetzt werden kann. Daher ist der Aussendurchmesser des weitesten Teils der konischen Oberfläche, welche die Mitnehmerfläche 35 bildet, kleiner als der Innendurchmesser des schmalsten Teils der konischen Oberfläche, welche die Mitnehmer-Auflauffläche 36 bildet.

[0045] Das Verfahren zum Befestigen der ersten Rahmenwand 4a des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 an der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 mittels der Befestigungsvorrichtung 5B der dritten Ausführungsform mit der oben beschriebenen Anordnung, ist im Wesentlichen das gleiche, wie dasjenige im Fall der ersten Ausführungsform. Das heisst, Fig. 12 zeigt einen vorläufigen Zustand, bei welchem ein Teil des distalen Endes des Gewindeabschnitts 33a der Befestigungsschraube 33 in dem Schraubenloch 31 des Schraubeneinführungsloches 32 eingeschraubt und vorübergehend befestigt ist. In diesem vorläufigen Zustand liegt der Abschnitt mit grossem Durchmesser 33b1 der Befestigungsschraube 33 im Lochabschnitt mit grossem Durchmesser 32b des Schraubeneinführungsloches 32, und ein Teil der Mitnehmerfläche 35 steht in Kontakt mit einem Teil der Mitnehmerauflauffläche 36, presst jedoch noch nicht gegen die Mitnehmerauflauffläche 36. Deshalb stehen die erste Rahmenwand 4a und die zweite Rahmenwand 4b des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 nicht in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a und der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1. Deshalb fallen die Einführunslochachse L1 des Schraubeneinführungsloches 32 und die Schraubenachse L2 der Befestigungsschraube 33 nicht zusammen.

[0046] Wenn die Befestigungsschraube 33, wie in Fig. 13 dargestellt, vom vorläufigen Zustand gemäss Fig. 12 weiter in eine Zwischenfestziehposition, bei welcher der Schraubenkopf 33c auf der Sitzfläche 32d des Schrauben-Kopf-Abschnittes 32c aufliegt, eingeschraubt wird, kommt ein Teil der Mitnehmerfläche 35, welche eine konische Oberflächenform aufweist, in Kontakt mit einem Teil der Mitnehmerauflauffläche 36, welche eine konische Oberflächenform aufweist, und drückt gegen die Mitnehmer-Aufnahmefläche 36 beim Abgleiten entlang der Mitnehmer-Aufnahmefläche 36, und der Lochabschnitt mit dem grossem Durchmesser 33b1 wird in den Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser 32a eingepasst. Dadurch wird der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 in Richtung der zweiten Kammerwand 2b durch eine Schubkraft in einer Richtung senkrecht zur Einführungsloch-Achse L1 geschoben und wird die zweite Rahmenwand 4b gegen die zweite Kammerwand 2b gepresst. Die Einführungslochachse L1 des Schraubeneinführungsloches 32 und die Schraubenachse L2 der Befestigungsschraube 33 fallen zusammen (koinzidieren).

[0047] Als nächstes, wenn die Befestigungsschraube 33, wie in Fig. 11 dargestellt, in eine endgültige Festziehposition festgezogen wird, wird der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 in Richtung der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 verschoben, und wird die erste Rahmenwand 4a gegen die erste Kammerwand 2a gepresst, und ist die Befestigung des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 abgeschlossen.

[0048] Wie bei der Befestigungsvorrichtung 5A der zweiten Ausführungsform gemäss Fig. 6 und Fig. 7, kann die Befestigungsvorrichtung 5B der dritten Ausführungsform auch bei der Befestigung der zweiten Rahmenwand 4b des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 an der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1 verwendet werden.

[0049] Bei der Befestigungsvorrichtung 5B der dritten Ausführungsform ist eine Mitnehmerfläche 35 direkt am zylindrischen Abschnitt 33b der Befestigungsschraube 33 ausgebildet. Jedoch kann, wie in Fig. 14 dargestellt, die Mitnehmerfläche 35 durch das Anbringen eines zylindrischen Mitnehmerstückes 37 am zylindrischen Abschnitt 33b, und durch das in eine konische Oberflächenform Bringen eines Teiles desselben, beispielsweise des distalen Endes des Mitnehmerstückes 37, gebildet werden. In diesem Fall kann das Mitnehmerstück 37 an der Befestigungsschraube 33 fest oder relativ dazu drehbar befestigt sein. Wenn das Mitnehmerstück 37 drehbar ist, ist das Mitnehmerstück 37, vorzugsweise an der Befestigungsschraube 33, mit eingeschränkter Bewegung in Richtung der Schraubenachse L2, befestigt, um zu verhindern, dass das Mitnehmerstück 37 im Schraubeinführungsloch 32 hängen bleibt, wenn die Befestigungsschraube 33 aus dem Schraubeneinführungsloch 32 entfernt wird. Es kann gesagt werden, dass bei der Befestigungsvorrichtung 5B der dritten Ausführungsform der zylindrische Abschnitt 33b der Befestigungsschraube 33 mit dem Mitnehmerstück 37 einstückig ausgebildet ist.

[0050] In den gezeigten Ausführungsbeispielen weisen der Winkel, welcher zwischen der Mitnehmerfläche 20, 35 und der Schraubenachse L2 gebildet wird, und der Winkel, welcher zwischen der Mitnehmerauflauffläche 21, 36 und der Einführungslochachse L1 gebildete wird, beide einen Betrag von weniger als 45 Grad (zum Beispiel 25 Grad) auf, obwohl diese Winkel auch 45 Grad betragen können. Durch das Einstellen der Mitnehmerfläche 20, 35 und der Mitnehmerauflauffläche 21, 36 auf 45 Grad, können, wenn die Befestigungsschraube 18, 33 angezogen wird und die Mitnehmerfläche 20, 35 auf die Mitnehmerauflauffläche 21, 36 drückt, gleich starke Schubkräfte erzeugt werden, welche auf die Mitnehmerauflauffläche 21, 36, d.h. auf den Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 sowohl in einer Richtung senkrecht zur Schraubenachse L2 als auch in eine Richtung parallel zur Schraubenachse L2 wirken. Als Ergebnis davon kann der Ventilplatten-Gehäuserahmen 4 verschoben werden, so dass sich sowohl die erste Rahmenwand 4a als auch die zweite Rahmenwand 4b sowohl der ersten Kammerwand 2a als auch der zweite Kammerwand 2b der Kammer 1 gleichzeitig nähern. Damit kann die Befestigung des Ventilplatten-Gehäuserahmens 4 an der Kammerwand 2 der Kammer 1 leicht und problemlos durchgeführt werden.

Bezugszeichenliste

[0051] 1 Kammer 2 Kammerwand 2a erste Kammerwand 2b zweite Kammerwand 3 Schieberventil 4 Ventilplatten-Gehäuserahmen 4a erste Rahmenwand 4b zweite Rahmenwand 5 Befestigungsvorrichtungen 5A,5B Befestigungsvorrichtung 6 Öffnung 6a Verbindungsöffnung 7 Ventil-Einbauloch 8 Ventilplatte 9 Ventilschaft 10 Antriebsmechanismus-Teilstück 11a erstes Dichtungselement 11b zweites Dichtungselement 12 Schaftloch 15 Schraubenloch 16 Führungsloch 17 Schraubeneinführungsloch 18 Befestigungsschraube 18a Gewindeabschnitt 18b zylindrischer Abschnitt 18c Schraubenkopf 18d Innensechskant 19 Mitnehmermechanismus 20 Mitnehmerfläche 21 Mitnehmerauflauffläche 22 Mitnehmer-Einfüge-Aussparung 22a Druckfläche 23 Mitnehmerelement 23a Anpressfläche 24 Sicherungsring 31 Schraubenloch 32 Schraubeneinführungsloch 32a Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser 32b Lochabschnitt mit grossem Durchmesser 32c Schraubenkopf-Aufnahme-Abschnitt 32d Sitzfläche 33 Befestigungsschraube 33a Gewinde-Abschnitt 33b zylindrischen Abschnitt 33b1 Abschnitt mit grossen Durchmesser 33b2 Abschnitt mit kleinem Durchmesser 33c Schraubenkopf 34 Mitnehmermechanismus 35 Mitnehmerfläche 36 Mitnehmerauflauffläche 37 Mitnehmerstück L1 Einführungslochachse L2 Schraubenachse

Claims (8)

1. Schieberventil (3), welches derart befestigbar ist, dass es im befestigten Zustand eine erste Kammerwand (2a) und eine zweite Kammerwand (2b) einer Kammer (1), welche senkrecht miteinander verbunden sind, überspannen kann und im befestigten Zustand mittels einer zum Schieberventil (3) gehörenden Ventilplatte (8) eine in der ersten Kammerwand (2a) ausgebildete Öffnung (6) öffenbar und schliessbar ist, dabei umfasst das Schieberventil (3): einen Ventilplatten-Gehäuserahmen (4) mit einer ersten Rahmenwand (4a), welche gegen die erste Kammerwand (2a) anpressbar ist und eine zweite Rahmenwand (4b), welche gegen die zweite Kammerwand (2b) anpressbar ist; eine Verbindungsöffnung (6a), welche in der ersten Rahmenwand (4a) ausgebildet ist, um mit der Öffnung (6) zu kommunizieren; die Ventilplatte (8), welche im Ventilplatten-Gehäuserahmen (4) verschiebbar ist um die Verbindungsöffnung (6a) zu öffnen und zu schliessen; ein Antriebsmechanismus-Teilstück (10), um die Ventilplatte (8) für das Öffnen und Schliessen zu betätigen; sowie eine Befestigungsvorrichtung (5, 5A, 5B) zur Befestigung des Ventilplatten-Gehäuserahmens (4) an der ersten (2a) oder zweiten Kammerwand (2b), wobei die Befestigungsvorrichtung (5, 5A, 5B) eine Befestigungsschraube (18, 33) umfasst, welche im an den Kammerwänden (2a, 2b) befestigten Zustand des Schieberventils (3) in ein Schraubenloch (15, 31) eingeschraubt ist, welches senkrecht in einer der ersten Kammerwand (2a) oder zweiten Kammerwand (2b) angebracht ist, und ein Schraubeneinführungsloch (17, 32), welches senkrecht in einer (4a / 4b) der, der einen Kammerwand (2a / 2b) zugeordneten, ersten Rahmenwand (4a) oder zweiten Rahmenwand (4b) des Ventilplatten-Gehäuserahmens (4) angebracht ist, und durch welches die Befestigungsschraube (18, 33) hindurch ragt, sowie einen Mitnehmermechanismus (19, 34), welcher an der Befestigungsschraube (18, 33) und im Schraubeneinführungsloch (17, 32) ausgebildet ist, um beim Anschrauben der Befestigungsschraube (18, 33) eine Schubkraft auf den Ventilplatten-Gehäuserahmen (4) zu erzeugen, in eine Richtung, welche senkrecht zur Achse (L2) der Befestigungsschraube (18, 33) steht, und um die eine der Rahmenwände (4a / 4b) gegen die eine der Kammerwände (2a / 2b) zu pressen und daran zu befestigen, und die andere der Rahmenwände (4b / 4a) des Ventilplatten-Gehäuserahmens (4) durch die Schubkraft an die andere der Kammerwände (2b / 2a) der Kammer (1) zu pressen.

2. Schieberventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Mitnehmermechanismus (19, 34) eine Mitnehmerfläche (20, 35) umfasst, welche eine gleichförmig geneigte Schrägfläche ist, und eine Mitnehmerauflauffläche (21 , 36) umfasst, welche eine gleichförmig geneigte Schrägfläche ist, welche in dem Schraubeneinführungsloch (17, 32) ausgebildet ist, und wobei die Neigungsrichtung und der Neigungswinkel der Mitnehmerfläche (20, 35) und die Neigungsrichtung und der Neigungswinkel der Mitnehmerauflauffläche (21, 36) jeweils gleich zueinander liegen.

3. Schieberventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Mitnehmerfläche (20, 35) an einem Mitnehmerelement (23, 37) ausgebildet ist, welches integral mit der Befestigungsschraube (18, 33) ausgebildet ist, und wobei die Mitnehmerauflauffläche (21, 36) an der Innenfläche des Schraubeneinführungsloches (17, 32) ausgebildet ist.

4. Schieberventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Mitnehmerelement (23, 37) separat von der Befestigungsschraube (18, 33) ausgebildet ist, und an der Befestigungsschraube (18, 33) in einer solchen Weise angebracht ist, dass das Mitnehmerelement (23, 37) um die Schraubenachse (L2) der Befestigungsschraube (18, 33) relativ zu dieser drehbar ist, aber in seiner Bewegung in der Richtung der Schraubenachse (L2) eingeschränkt ist.

5. Schieberventil (3) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Mitnehmerfläche (20) und die Mitnehmerauflauffläche (21) beide planar sind.

6. Schieberventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Mitnehmerelement (23) aus der Vorderansicht nicht kreisförmig ist, und die Mitnehmerfläche (20) auf der Aussenfläche des Mitnehmerelements (23) ausgebildet ist, und das Einführungsloch (17) eine Mitnehmer-Einfüge-Aussparung (22) aufweist, in welchem das Mitnehmerelement (23) nicht verdrehbar eingefügt ist, und die Mitnehmerauflauffläche (21) an der Innenfläche der Mitnehmer-Einfüge-Aussparung (22) ausgebildet ist und Mitnehmerfläche (20) und die Mitnehmerauflauffläche (21) beide planar sind.

7. Schieberventil nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die Mitnehmerfläche (35) und die Mitnehmerauflauffläche (36) beide konische Oberflächenformen aufweisen, und wobei der Aussendurchmesser des weitesten Teils der kegelförmigen Oberfläche, welche die Mitnehmerfläche (35) bildet, kleiner ist als der Innendurchmesser des schmalsten Teils der konischen Oberfläche, welche die Mitnehmerauflauffläche (36) bildet.

8. Schieberventil nach einem der Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Mitnehmerelement (37) zylindrisch ist, wobei die konische Mitnehmerfläche (35) am Mitnehmerelement (37) ausgebildet ist, wobei das Schraubeneinführungsloch (32) einen Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser (32a) und einen Lochabschnitt mit grossem Durchmesser (32b) aufweist, welche beide kreisförmig sind und unterschiedliche Durchmesser aufweisen, und wobei die konische Mitnehmerauflauffläche (36) zwischen dem Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser (32a) und dem Lochabschnitt mit grossem Durchmesser (32b) ausgebildet ist, wobei der Aussendurchmesser des weitesten Teils der kegelförmigen Oberfläche, welche die Mitnehmerfläche (35) bildet, kleiner ist als der Innendurchmesser des schmalsten Teils der konischen Oberfläche, welche die Mitnehmerauflauffläche (36) bildet.