JP2016134188A - 半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】救済解析回路の規模を抑えつつ、メモリのテスト時間を短縮する半導体集積回路を提供する。
【解決手段】半導体集積回路1は、複数のメモリ11と、各メモリの出力値と期待値とをそれぞれ比較する複数の比較回路12と、各比較回路の比較結果データをそれぞれ格納する複数の第1レジスタ13と、複数のメモリのテストを制御し、期待値を生成するBIST(Built In Self Test)回路20とを具備する。BIST回路は、複数の第1レジスタから転送された比較結果データを格納する第2レジスタ23と、第2レジスタに格納された比較結果データに基づいて、メモリの不良の有無及び故障位置を示す救済データを生成する救済データ生成器24と、救済データを格納し、複数のメモリの数より少ない数の第3レジスタ25と、救済データの総数が第3レジスタの数より大きくなった場合に救済不可信号を出力する判定回路27とを具備する。
【選択図】図4
【解決手段】半導体集積回路1は、複数のメモリ11と、各メモリの出力値と期待値とをそれぞれ比較する複数の比較回路12と、各比較回路の比較結果データをそれぞれ格納する複数の第1レジスタ13と、複数のメモリのテストを制御し、期待値を生成するBIST(Built In Self Test)回路20とを具備する。BIST回路は、複数の第1レジスタから転送された比較結果データを格納する第2レジスタ23と、第2レジスタに格納された比較結果データに基づいて、メモリの不良の有無及び故障位置を示す救済データを生成する救済データ生成器24と、救済データを格納し、複数のメモリの数より少ない数の第3レジスタ25と、救済データの総数が第3レジスタの数より大きくなった場合に救済不可信号を出力する判定回路27とを具備する。
【選択図】図4
Description
本実施形態は、メモリの自己テスト回路が組み込まれた半導体集積回路に関する。
半導体集積回路にメモリの自己テスト回路を組み込み、製造テストにおいて故障を検出する方法が知られている。このような組み込み自己テスト回路は、BIST(Built In Self Test)回路と呼ばれている。また、BIST回路と併用され、オンチップで解析及び冗長割り付けを行う組み込み冗長救済回路として、BIRA(Built In Redundancy Allocation)回路が知られている。
BIST回路とBIRA回路との両方が搭載された半導体集積回路では、BIRA回路でメモリ出力と期待値との比較結果が分析及び加工され、救済データが生成される。そして、この救済データが、BIRA回路から外部のテスト装置へ出力される。このような半導体集積回路では、BIRA回路を搭載する分、回路規模が増大してしまう。
これに対し、BIRA回路を搭載せずにBIST回路のみが搭載される半導体集積回路が提案されている。この半導体集積回路では、BIRA回路を削減できるため、回路規模を縮小することができる。しかし、このような半導体集積回路では、メモリ出力と期待値との比較結果の圧縮されていないデータがテスト装置にシリアルに出力され、テスト装置で分析及び加工される。つまり、BIRA回路を搭載しない半導体集積回路が出力するデータ列は、BIRA回路が出力するデータ列よりも長く、さらに期待値との比較数も多くなる。このため、メモリのテスト時間が増大してしまう。
救済解析回路の規模を抑えつつ、メモリのテスト時間を短縮することが可能な半導体集積回路を提供する。
実施形態の半導体集積回路は、複数のメモリと、前記複数のメモリに対応してそれぞれ設けられ、各メモリの出力値と期待値とをそれぞれ比較する複数の比較回路と、前記複数のメモリに対応してそれぞれ設けられ、各比較回路の比較結果データをそれぞれ格納する複数の第1レジスタと、前記複数のメモリのテストを制御し、前記期待値を生成するBIST回路とを具備し、前記BIST回路は、前記複数の第1レジスタから転送された前記比較結果データを格納する第2レジスタと、前記第2レジスタに格納された前記比較結果データに基づいて、前記メモリの不良の有無及び故障位置を示す救済データを生成する救済データ生成器と、前記救済データを格納し、前記複数のメモリの数より少ない数の第3レジスタと、前記救済データの総数が前記第3レジスタの数より大きくなった場合に救済不可信号を出力する第1判定回路とを具備する。
以下、実施形態について、図面を参照して説明する。尚、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、共通する参照符号を付し、重複説明は必要な場合に行う。
[1]第1実施形態
第1実施形態の半導体集積回路1は、BIRA回路を搭載せずに、BIST回路にBIRA回路の機能を持たせている。
[1−1]構成
図1を用いて、第1実施形態に係る半導体集積回路1の構成について説明する。
[1]第1実施形態
第1実施形態の半導体集積回路1は、BIRA回路を搭載せずに、BIST回路にBIRA回路の機能を持たせている。
[1−1]構成
図1を用いて、第1実施形態に係る半導体集積回路1の構成について説明する。
図1に示すように、第1実施形態の半導体集積回路1は、複数のメモリグループMGP(MGP−1、MGP−2、…、MGP−m)と複数のBIST回路20(20−1、20−2、…20−m)とを含んでいる。半導体集積回路1は、外部のテスト装置2に接続されている。
メモリグループMGPは、複数のメモリカラー10(10−1、10−2、…、10−n)を有している。メモリカラー10は、メモリ11、比較回路12及びレジスタ13を含んでいる。
メモリ11は、任意のビット幅とワード数で所定のデータを記憶し、BIST回路20によってテスト用の書き込み及び読み出し動作が行われる。尚、複数のメモリ11は、それぞれ任意のビット幅でデータを記憶してもよいし、同一のビット幅でデータを記憶してもよい。メモリ11は、スペアセル(図示せず)を有し、不良セルを救済する冗長救済機能を有している。
比較回路12は、メモリ11の出力(メモリ出力)とBIST回路20から出力された期待値とを比較し、メモリ出力の不良を検出する。ここで、メモリ出力と期待値との比較は、複数のカラムを含むビット毎(IO単位)で行われる。但し、この比較は、ビット毎に限定されず、例えば、カラム毎で行われてもよい。
レジスタ13は、比較回路12による比較結果を保持する。レジスタ13は、メモリ11毎にそれぞれ対応して設けられている。レジスタ13は、例えば、メモリ11の最大ビット幅と同じビット幅を有している。
BIST回路20は、複数のメモリカラー10を有するメモリグループMGP毎に設けられ、メモリグループMGPと同じ数だけ設けられている。BIST回路20は、BIST制御回路21、シフト制御回路22、レジスタ23、救済データ生成器24及びレジスタ25(25−1、25−2、…、25−n)を含んでいる。BIST回路20は、n個のメモリカラー10(10−1、10−2、…、10−n)で共有され、各メモリ11の自己テストを実行する。複数のBIST回路20は、シリアルに接続されている。
BIST制御回路21は、BIST回路20全体の制御を行う。例えば、BIST制御回路21は、シフト制御回路22のシフト転送を制御する。BIST制御回路21は、メモリカラー10のメモリ11に対し、必要なテストが行えるように、データ、アドレス(ロウアドレス、カラムアドレス)及び制御信号の生成を制御する。BIST制御回路21は、n個のメモリカラー10のうち、テストの対象となるメモリ11を選択するためのメモリ選択信号の生成を制御する。
シフト制御回路22は、メモリグループMGPに属するメモリカラー10内の各レジスタ13に保持された比較結果をレジスタ13間でシフト転送するように制御する。尚、シフト制御回路22は、メモリ11の比較結果が全てオールパス(不良なし)であれば、シフト転送は行わずにテスト動作を終了させてもよい。
レジスタ23は、メモリグループMGP内の各レジスタ13をシフト転送された比較結果を保持する。レジスタ23は、例えば、メモリ11の最大ビット幅と同じビット幅を有している。
救済データ生成器24は、比較結果に基づいてメモリ不良を解析し、救済可能である場合には、比較結果を加工して救済データAを生成する。
レジスタ25(25−1、25−2、…、25−n)は、救済データ生成器24により生成された救済データAを記憶する。レジスタ25は、メモリ11と同数設けられ、各メモリ11の救済データAをそれぞれ記憶する。救済データAは、比較回路12による比較結果のデータが圧縮されたものであるため、レジスタ25が保持できるビット幅は、レジスタ13が保持できるビット幅より小さくてもよい。
尚、BIST回路20は、図示する回路構成に限定されず、一般的なBIST回路と同様に、例えば、データ生成部、アドレス生成部、制御信号生成部等を有している。
つまり、BIST回路20のデータ生成部は、n個のメモリ11に対して必要なテストが行えるように、テスト用の書き込みデータを生成してn個のメモリ11へ出力する。また、BIST回路20のデータ生成部は、書き込みデータに対応するn個のメモリ11の出力期待値を生成して、比較回路12に出力する。尚、データ生成部は、例えば、メモリ11の最大ビット幅に合わせて出力期待値を生成する。
BIST回路20のアドレス生成部は、データ生成部によって生成された書き込みデータの書き込み先となり、また書き込まれたデータの読み出し元となるn個のメモリ11のアドレス(以下、「書き込みアドレス」という)を生成して、n個のメモリ11に出力する。
BIST回路20の制御信号生成部は、n個のメモリ11で書き込み動作及び読み出し動作を行うための制御信号を生成して、n個のメモリ11に出力する。
テスト装置2は、BIST回路20の入力信号の制御及び出力信号の観測を行うとともに、半導体集積回路1から出力された救済データAの読み出しを行う外部装置である。
尚、半導体集積回路1内の複数のメモリカラー10は、複数のメモリグループMGPに分けずに、複数のメモリカラー10で1つのBIST回路20を共有することも可能である。
[1−2]テストフロー
図1及び図2を用いて、第1実施形態に係る半導体集積回路1のメモリのテストフローについて説明する。尚、半導体集積回路1内には複数のメモリグループMGPが存在するが、ここでは、1つのメモリグループMGPのテストに着目する。
[1−2]テストフロー
図1及び図2を用いて、第1実施形態に係る半導体集積回路1のメモリのテストフローについて説明する。尚、半導体集積回路1内には複数のメモリグループMGPが存在するが、ここでは、1つのメモリグループMGPのテストに着目する。
まず、BIST回路20は、メモリ11毎の期待値と書き込みデータとを生成する(ST1)。メモリ11の期待値は、例えば、メモリ11の最大ビット幅を有している。
次に、BIST制御回路21により、メモリ11は、書き込みデータの書き込み及び読み出しが行われる(ST2)。
比較回路12は、メモリ11の出力データと期待値とを例えばビット毎に比較する(ST3)。この際、比較回路12は、期待値の不要ビットをマスクして必要ビットのみを選択し、出力データと期待値の必要ビットとを比較する。また、比較回路12は、比較結果に基づいて、メモリ11の良否判定を行う。例えば、メモリ不良がない場合は“0”、メモリ不良がある場合は“1”とする場合、比較回路12は、比較結果に少なくとも1つの“1”が含まれている場合には、「不良」と判定する。
比較回路21による比較結果は、BIST制御回路21により、レジスタ13に保持される(ST4)。
このようなステップST2〜ST4までのテスト動作は、メモリグループMGP内の全てのメモリ11でパラレルに実行される。
次に、シフト制御回路22は、レジスタ13に保持された比較結果を、メモリカラー10−1、10−2、…、10−n間をシフトパスさせながらBIST回路20へ転送させ(ST5)、BIST回路20内のレジスタ23に記憶させる(ST6)。
救済データ生成器24は、レジスタ23に記憶された比較結果を解析し、救済可能である場合には比較結果を加工して救済データAを生成する(ST7)。救済データAは、例えば、不良の有無を示すイネーブルビットと故障位置を示すビットとを有しており、レジスタ13に保持された比較結果よりもデータ列は短くなっている。
BIST制御回路21は、救済データAをレジスタ25に記憶させる(ST8)。ここで、メモリ11毎の救済データAは、メモリ11に対応したレジスタ25にそれぞれ記憶される。
次に、レジスタ25に保持された救済データAは、BIST制御回路21により、半導体集積回路1から外部のテスト装置2へ読み出される(ST9)。この際、複数のBIST回路20内のレジスタ25はシリアルに接続されているため、救済データAは、複数のレジスタ25をシリアルに転送され、テスト装置2へ読み出される。読み出された救済データAは、テスト装置2でその後の工程に利用される。
次に、図1及び図3を用いて、複数のメモリグループMGP間のテスト動作の関係について説明する。
図1及び図3に示すように、半導体集積回路1内のBIST回路20のそれぞれにおいて、メモリ11のテスト動作が実行される(ST11)。このテスト動作は、例えば、図2のステップST1〜ST4までの工程である。
次に、半導体集積回路1内の全てのBIST回路20のテスト動作が終了した後、シフト制御回路22は、各メモリグループMGPに属するメモリカラー10内のレジスタ13に記憶された比較結果を、メモリ11ごとに順次、メモリグループMGPに対応したBIST回路20内のレジスタ23にシフト転送させる(ST12)。
次に、半導体集積回路1内の各メモリグループMGPに属するひとつのレジスタ13のシフト動作が終了した後、各BIST回路20内の救済データ生成器24で、該当メモリ11に対する救済データAが生成され、レジスタ25に記憶させる(ST13)。
次に、半導体集積回路1内の全てのBIST回路20で、メモリグループMGPに属する全てのメモリ11に対して救済データAの生成が終了した後、救済データAをシフト転送させ、外部のテスト装置2への読み出しが行われる(ST14)
尚、図3のシフト動作(ST12)及び救済データ生成(ST13)は、半導体集積回路1内の全てのBIST回路20で動作が完了した後に同時に開始されることに限定されず、BIST回路20で個別に開始してもよい。
[1−3]第1実施形態の効果
上記第1実施形態によれば、半導体集積回路1にBIRA回路を搭載せずに、BIST回路20にBIRA回路の機能を持たせている。つまり、第1実施形態のBIST回路20は、シフト制御回路22、救済データ生成器24、レジスタ23及び25を有している。これにより、メモリ出力と期待値との比較結果は、シフト制御回路22によりメモリカラー10間をシフト転送してBIST回路20のレジスタ23に保持される。そして、レジスタ23に保持されたデータは、救済データ生成器24によって分析され、救済が可能な場合は、救済データAが生成される。この救済データAは、レジスタ25に保持され、テスト装置2に読み出される。
尚、図3のシフト動作(ST12)及び救済データ生成(ST13)は、半導体集積回路1内の全てのBIST回路20で動作が完了した後に同時に開始されることに限定されず、BIST回路20で個別に開始してもよい。
[1−3]第1実施形態の効果
上記第1実施形態によれば、半導体集積回路1にBIRA回路を搭載せずに、BIST回路20にBIRA回路の機能を持たせている。つまり、第1実施形態のBIST回路20は、シフト制御回路22、救済データ生成器24、レジスタ23及び25を有している。これにより、メモリ出力と期待値との比較結果は、シフト制御回路22によりメモリカラー10間をシフト転送してBIST回路20のレジスタ23に保持される。そして、レジスタ23に保持されたデータは、救済データ生成器24によって分析され、救済が可能な場合は、救済データAが生成される。この救済データAは、レジスタ25に保持され、テスト装置2に読み出される。
このような第1実施形態では、テスト装置2に読み出される救済データAは、BIST回路20内の救済データ生成器24によって加工(圧縮)されたデータである。つまり、救済データAは、メモリ11の全ビット幅分のデータではなく、メモリカラー10内のレジスタ13が保持するデータよりも短く、従来のBIRA搭載の半導体集積回路と同じ救済データ(BIRAデータ)幅+α(イネーブルビット)となっている。従って、テスト装置2に読み出されるデータ列を短くすることができるため、テスト装置2のフェイルメモリの消費を抑制できる。これにより、救済解析回路の規模を抑えつつ、メモリ11のテスト時間を短縮することができる。
また、救済データ生成器24による救済データAの生成は、全てのBIST回路20でパラレルに実行することができるため、テスト時間の増加を抑制することができる。
また、第1実施形態では、テスト動作時にBIST回路20が有している情報(例えば、メモリ11のビット幅等の情報)を使用するため、オーバーヘッドを小さく抑えることができる。
また、第1実施形態では、メモリカラー10内に、メモリ11毎にレジスタ13が設けられている。このため、比較回路12による比較結果をレジスタ13に一旦保持させることができる。これにより、BIST回路20に設けたシフト制御回路22、救済データ生成器24、レジスタ23及び25は、低速動作でよいため、設計負荷を低く抑えることができる。
[2]第2実施形態
第2実施形態は、半導体集積回路1全体に対するヒューズ数の上限が設定されている場合、BIST回路20毎の救済データ格納用のレジスタ25の数を調整する。尚、第2実施形態では、第1実施形態と異なる点について主に説明する。
[2−1]構成
図4を用いて、第2実施形態に係る半導体集積回路1の構成について説明する。
[2]第2実施形態
第2実施形態は、半導体集積回路1全体に対するヒューズ数の上限が設定されている場合、BIST回路20毎の救済データ格納用のレジスタ25の数を調整する。尚、第2実施形態では、第1実施形態と異なる点について主に説明する。
[2−1]構成
図4を用いて、第2実施形態に係る半導体集積回路1の構成について説明する。
図4に示すように、第2実施形態において、第1実施形態と異なる構成は、BIST回路20がカウンタ26及び救済可否判定回路27をさらに有し、BIST回路20の救済データBを格納するレジスタ25(25−1、25−2、…、25−i:i<n)の数が、メモリ11の数より少なくなっていることである。
カウンタ26は、救済データ生成器24で救済データBが生成された不良メモリ数(救済が必要なメモリ数)をカウントする。救済可否判定回路27は、不良メモリ数がレジスタ25の数を超えた場合、救済データBを格納するレジスタ25が足りないため、リペア不可フラグ(救済不可信号)を出力する。レジスタ25に格納された救済データBには、第1実施形態における救済データAに対して、救済データBのメモリ11を識別する情報が付与されている。
[2−2]テストフロー
図4を用いて、第2実施形態に係る半導体集積回路1のメモリのテストフローについて説明する。
[2−2]テストフロー
図4を用いて、第2実施形態に係る半導体集積回路1のメモリのテストフローについて説明する。
第2実施形態においても、第1実施形態と同様、BIST回路20に比較回路12による比較結果がシフト転送される。そして、BIST回路20の救済データ生成器24で、メモリ11の識別情報が付与された救済データBが生成される。この際、カウンタ26で、救済データBが生成された不良メモリ数がカウントされる。救済可否判定回路27は、不良メモリ数(救済データ生成器24で生成された救済データBの総数)がレジスタ25の数を超えた場合、リペア不可フラグをテスト装置2に出力する。そして、テスト装置2は、テスト終了と判断する。
尚、半導体集積回路1内の複数のBIST回路20のうち、少なくとも1つのBIST回路20からリペア不可フラグが出力されたら、テスト装置2はチップ不良と判断する。また、リペア不可フラグが出力された半導体集積回路1に対しては、テスト装置2への救済データBの読み出し動作を行わなくてもよい。
[2−3]第2実施形態の効果
上記第2実施形態によれば、第1実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、次のような効果も得ることができる。
[2−3]第2実施形態の効果
上記第2実施形態によれば、第1実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、次のような効果も得ることができる。
第2実施形態では、ヒューズデータ数の上限が設定されている場合、BIST回路20毎の救済データ格納用のレジスタ25の数をメモリ11の数よりも少なくしている。これにより、回路規模の増加を抑制することができる。
また、第2実施形態では、救済可否判定回路27が、不良メモリ数がレジスタ25の数を超えた場合にリペア不可フラグを出力することで、テストが終了する。このため、テスト時間の増加を抑制することができる。
[3]第3実施形態
第3実施形態は、外部のテスト装置に接続せずに、半導体集積回路1にオンチップ解析及び圧縮回路を搭載し、組み込み自己修復(BISR:Built In Self Repair)回路と接続できるようにする。尚、第3実施形態では、第1及び第2実施形態と異なる点について主に説明する。
[3−1]構成
図5を用いて、第3実施形態に係る半導体集積回路1の構成について説明する。
[3]第3実施形態
第3実施形態は、外部のテスト装置に接続せずに、半導体集積回路1にオンチップ解析及び圧縮回路を搭載し、組み込み自己修復(BISR:Built In Self Repair)回路と接続できるようにする。尚、第3実施形態では、第1及び第2実施形態と異なる点について主に説明する。
[3−1]構成
図5を用いて、第3実施形態に係る半導体集積回路1の構成について説明する。
図5に示すように、第3実施形態では、半導体集積回路1にテスト装置の機能を持たせている。つまり、半導体集積回路1にオンチップ解析及び圧縮回路30が搭載され、このオンチップ解析及び圧縮回路30にBISRコントローラ40が接続されている。
オンチップ解析及び圧縮回路30は、解析回路(判定回路)32、レジスタ31及び33(33−1、33−2、…、33−h)を有している。オンチップ解析及び圧縮回路30は、複数のBIST回路20で共有されている。
レジスタ31は、BIST回路20間をシリアル転送されてきた救済データ(メモリ11の識別情報を含む)Bを格納する。レジスタ31が保持できるビット幅は、レジスタ13が保持できるビット幅より小さくてもよい。
解析回路32は、レジスタ31に保持された救済データBの各メモリ11の識別情報を、チップレベルの識別情報に変換し、救済データCを生成する。つまり、救済データCは、各メモリ11のチップレベルの識別情報を含んでいる。チップレベルの識別情報とは、どのメモリグループMGPのメモリ11であるかが分かるような情報を示している。解析回路32は、有効な救済データCの総数が、チップ全体の救済可能なメモリ11の数を超える場合に、チップレベルのリペア不可フラグ(救済不可信号)を出力する。
レジスタ33は、救済データCを格納する。レジスタ33は、半導体集積回路1内での最大救済可能なメモリ数と同数である。レジスタ33が保持できるビット幅は、レジスタ13が保持できるビット幅より小さくてもよい。
BISRコントローラ40は、不良メモリの救済を行うために、救済データCを用いて、ヒューズデバイス41へのデータ書き込みを制御する。
ヒューズデバイス41は、解析回路32で生成された救済データCをプログラムする。ヒューズデバイス41は、例えば、1回に限りプログラム可能な電気的ヒューズを用いてもよい。ヒューズデバイス41の代わりに、フラッシュメモリ等のプログラム可能な他のデバイスを用いてもよい。
ヒューズラッチ42は、ヒューズデバイス41にプログラムされたデータをメモリ11へ転送する。このデータは、メモリ11をアクセスするためのアドレスをスペアメモリ(冗長部)内のアドレスに変換するためのものである。これにより、メモリ11を救済後の状態、すなわちスペアセルを用いて、メモリ11に見かけ上故障ビットが存在しない状態とすることができる。
[3−2]テストフロー
図5を用いて、第3実施形態に係る半導体集積回路1のメモリのテストフローについて説明する。
[3−2]テストフロー
図5を用いて、第3実施形態に係る半導体集積回路1のメモリのテストフローについて説明する。
第3実施形態においても、第2実施形態と同様、BIST回路20の救済データ生成器24で救済データBが生成される。この際、カウンタ26で、救済データBが生成された不良メモリ数がカウントされる。救済可否判定回路27は、不良メモリ数がレジスタ25の数を超えた場合、リペア不可フラグをオンチップ解析及び圧縮回路30に出力する。
オンチップ解析及び圧縮回路30では、BIST回路20間をシリアル転送された救済データBをレジスタ31に格納する。この救済データBの各メモリ11の識別情報は、解析回路32で、チップレベルの識別情報に変換され、救済データCが生成される。この救済データCは、レジスタ33に格納される。
また、解析回路32は、有効な救済データCの総数が、半導体集積回路1全体の救済可能なメモリ11の数を超える場合に、チップレベルのリペア不可フラグ(救済不可信号)をBISRコントローラ40に出力する。
レジスタ33に格納された救済データCは、BISRコントローラ40に読み出される。BISRコントローラ40は、救済データCに基づいて、ヒューズデバイス41への書き込みを制御する。ヒューズデバイス41に書き込まれたデータは、ヒューズラッチ42により、メモリ11へ転送される。
[3−3]第3実施形態の効果
上記第3実施形態によれば、第1及び第2実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、次のような効果も得ることができる。
[3−3]第3実施形態の効果
上記第3実施形態によれば、第1及び第2実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、次のような効果も得ることができる。
第3実施形態では、半導体集積回路1にオンチップ解析及び圧縮回路30が搭載されている。このため、救済データを外部へ読み出すことが不要となり、半導体集積回路1内でBISR手法により不良メモリの修復を行うことができる。
尚、第3実施形態は、第2実施形態に適用したが、第1実施形態に適用することも可能である。
[4]第4実施形態
第4実施形態は、ビット幅が異なる複数のメモリ11に対してテストを行う例である。尚、第4実施形態では、第1及び第2実施形態と異なる点について主に説明する。
[4−1]テストフロー
図6を用いて、第4実施形態に係る半導体集積回路1のメモリのテストフローについて説明する。
[4]第4実施形態
第4実施形態は、ビット幅が異なる複数のメモリ11に対してテストを行う例である。尚、第4実施形態では、第1及び第2実施形態と異なる点について主に説明する。
[4−1]テストフロー
図6を用いて、第4実施形態に係る半導体集積回路1のメモリのテストフローについて説明する。
第4実施形態では、BIST制御回路21は、各メモリ11のビット幅と、テスト対象のメモリ11のインデックス情報(アドレス情報)とを有している。BIST制御回路21は、シフト制御回路22に、各メモリ11のビット幅と、現在のテスト対象のメモリ11のインデックス情報とを与える。そして、テスト対象となっているメモリ11の比較結果をシフト転送するために、シフト制御回路22は、必要なビット幅をメモリ11毎に認識して、必要なシフト段数のシフト動作を各メモリ11に対して行う。
尚、レジスタ23は、メモリ11の最大ビット幅を有している。このため、テスト対象のメモリ11のビット幅が最大ビット幅より小さい場合、レジスタ23に保持されるデータは、不良有無情報を示す最上位ビット(イネーブルビット)を“0”(メモリ不良なし)とすることで、最大ビット数で、故障がないデータとして扱うことができる。これにより、ビット幅が異なるメモリ11の各レジスタ13の内容を順次シフトして救済解析を行うことができ、また一部のメモリ11のみを対象として救済解析を行うこともできるという効果がある。
[4−2]第4実施形態の効果
上記第4実施形態によれば、第1及び第2実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、次のような効果も得ることができる。
[4−2]第4実施形態の効果
上記第4実施形態によれば、第1及び第2実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、次のような効果も得ることができる。
第4実施形態では、BIST制御回路21は各メモリ11のビット幅とテスト対象のメモリ11のアドレスとを格納し、各メモリ11に対応して必要ビット幅分のみシフト動作を行い、救済データ生成器24に順次入力する。これにより、ビット幅が異なるメモリ11の各レジスタ13の内容を順次シフトして、救済解析を行うことができる。また、ビット幅が異なる複数のメモリ11の中の任意のメモリ11をテストすることが可能となる。
尚、第4実施形態は、第2実施形態に適用したが、第1実施形態に適用することも可能である。また、第4実施形態の半導体集積回路1に、第3実施形態のオンチップ解析及び圧縮回路30を搭載することも可能である。
[5]第5実施形態
第5実施形態は、スペアビットのパス/フェイル情報を用いる例である。尚、第5実施形態では、第1及び第2実施形態と異なる点について主に説明する。
[5−1]テストフロー
図7を用いて、第5実施形態に係る半導体集積回路1のメモリのテストフローについて説明する。
[5]第5実施形態
第5実施形態は、スペアビットのパス/フェイル情報を用いる例である。尚、第5実施形態では、第1及び第2実施形態と異なる点について主に説明する。
[5−1]テストフロー
図7を用いて、第5実施形態に係る半導体集積回路1のメモリのテストフローについて説明する。
第5実施形態では、各実施形態と同様に、比較回路12により、メモリ11の出力データと期待値とがビット毎に比較され、この比較結果がレジスタ13に格納される。ここで、第5実施形態では、比較結果のデータは、スペアビットの不良情報(パス/フェイル情報)を含み、このスペアビットに対する不良情報を含む比較結果のデータをレジスタ13が格納している。そして、スペアビットに対する不良情報を含む比較結果のデータは、レジスタ13間をシリアルに転送され、救済データ生成器24で救済データDが生成される。この救済データDは、スペアフラグ(パス/フェイル)情報が含まれている。このスペアフラグ情報を用いて、救済可否判定回路27によって、対象メモリ11が救済可能かどうかの判定が行われる。すなわち、メモリ出力の1ビットに不良が検出された場合、スペアビットに不良がなければメモリ11は救済可能で、救済データを作成することができる。一方、スペアビットにも不良が存在する場合は救済を行うことができず、救済可否判定回路27は救済不可信号を出力する。
[5−2]第5実施形態の効果
上記第5実施形態によれば、第1及び第2実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、次のような効果も得ることができる。
[5−2]第5実施形態の効果
上記第5実施形態によれば、第1及び第2実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、次のような効果も得ることができる。
第5実施形態では、不良メモリの救済を行う前のテスト段階で、スペアビットの不良情報を有している。これにより、不良メモリの救済を行った後で、スペアビットに故障が見つかることがなくなるため、効率良くメモリ救済を図ることができる。
尚、第5実施形態は、第2実施形態に適用したが、第1実施形態に適用することも可能である。また、第5実施形態の半導体集積回路1は、第3実施形態のオンチップ解析及び圧縮回路30を搭載することも可能であるし、第4実施形態を組み合わせることも可能である。
尚、本発明の実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…半導体集積回路、2…テスト装置、10…メモリカラー、11…メモリ、12…比較回路、13、23、25、31、33…レジスタ、20…BIST回路、21…BIST制御回路、22…シフト制御回路、24…データ生成器、26…カウンタ、27…救済可否判定回路、30…オンチップ解析及び圧縮回路、32…解析回路、40…BISRコントローラ、41…ヒューズデバイス、42…ヒューズラッチ、MGP…メモリグループ。
Claims (7)
- 複数のメモリと、
前記複数のメモリに対応してそれぞれ設けられ、各メモリの出力値と期待値とをそれぞれ比較する複数の比較回路と、
前記複数のメモリに対応してそれぞれ設けられ、各比較回路の比較結果データをそれぞれ格納する複数の第1レジスタと、
前記複数のメモリのテストを制御し、前記期待値を生成するBIST回路と
を具備し、
前記BIST回路は、
前記複数の第1レジスタから転送された前記比較結果データを格納する第2レジスタと、
前記第2レジスタに格納された前記比較結果データに基づいて、前記メモリの不良の有無及び故障位置を示す救済データを生成する救済データ生成器と、
前記救済データを格納し、前記複数のメモリの数より少ない数の第3レジスタと、
前記救済データの総数が前記第3レジスタの数より大きくなった場合に救済不可信号を出力する第1判定回路と
を具備する半導体集積回路。 - 前記救済データは、前記救済データが生成された前記メモリの識別情報を含む、請求項1記載の半導体集積回路。
- 前記BIST回路は、複数設けられ、
前記複数のBIST回路は、互いにシリアルに接続されており、
前記救済データは、前記複数のBIST回路に対してシリアルに転送されて外部に出力される、請求項1記載の半導体集積回路。 - 前記救済データの総数が前記半導体集積回路全体の救済可能なメモリの数を超える場合に救済不可信号を出力する第2判定回路をさらに具備する、請求項1記載の半導体集積回路。
- 前記救済データを用いて不良メモリの救済を行う組み込み自己修復回路をさらに具備する、請求項4記載の半導体集積回路。
- 前記BIST回路内に設けられ、各メモリのビット幅とテスト対象のメモリのアドレス情報とを用いて前記テスト対象の前記メモリにおける前記比較結果データを前記複数の第1レジスタ間でシフト転送させるシフト制御回路をさらに具備する、請求項1記載の半導体集積回路。
- 前記複数の第1レジスタは、スペアビットの不良情報を含む前記比較結果データをそれぞれ格納し、
前記第1判定回路は、前記スペアビットの不良情報をもとに不良メモリの救済可否を判定する、請求項1記載の半導体集積回路。
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