JP2016128222A - 樹脂成形装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】樹脂成形装置(10)は、キャビティ凹部(12)を有する型開閉可能な一対の金型(14)と、キャビティ凹部(12)を含む金型内部(20)の圧力を調節する圧調節部(22)とを備える。一対の金型(14)は、金型外部と金型内部(20)とを連通する複数の連通路(34)を有する。複数の連通路(34)は、金型内部側の一端部がキャビティ凹部(12)の開口部の周りに開口し、金型外部側の他端部が圧調節部(22)と接続される。圧調節部(22)は、複数の連通路(34)を介して型閉じした金型内部(20)の気体を吸引して金型内部(20)を減圧する減圧部(36)と、複数の連通路(34)のそれぞれの気体流量を調節する流量調節部(38)とを有する。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態1に係る圧縮成形を行う樹脂成形装置10について、図1〜図6を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る樹脂成形装置10を説明するための図である。図2〜図4は、図1に示す動作中の樹脂成形装置10の要部模式的断面図であり、キャビティ凹部12(成形時のキャビティ)の縁付近のみ(紙面右側が中央側に相当する)を抜き出して示している。図5および図6は、図1に示す樹脂成形装置10の作用効果を説明するための図である。本実施形態では、ワークWに樹脂成形部(樹脂R)を成形して、WLP(Wafer Level Package;ウエハレベルパッケージ)製品を製造する樹脂成形装置10(製造装置)として説明する。成形前のワークW(被成形品)は、平面視円形状の基板S(例えば、配線基板)と、基板S上にマトリクス配置に実装された複数の電子部品P(例えば、半導体チップ)とを有する(図2および図5参照)。成形後のワークW(成形品)は、更に複数の電子部品Pを封止する樹脂成形部(樹脂R)を有する(図4参照)。
前記実施形態1では、平面視円形状のワークWに対応して、開口部が平面視円形状となるキャビティ凹部12を用いた場合について説明した。本実施形態では、平面視矩形状のワークWに対応して、開口部が平面視矩形状となるキャビティ凹部12を有する一対の金型14を備えて圧縮成形を行う樹脂成形装置10について、図7〜図9を参照して説明する。図7は、本実施形態に係る樹脂成形装置10を説明するための図である。図8および図9は、図7に示す樹脂成形装置10の作用効果を説明するための図である。本実施形態に係る樹脂成形装置10も前記実施形態1と同様に、一対の金型14と、圧調節部22と、制御部24と、入力部25と、表示部26とを備える。また、樹脂成形装置10は、図1を参照して説明した圧力計測部23を備えてもよい。なお、本実施形態についての以下の説明において、前記実施形態1と同様の構成は基本的に省略し、相違する点を主に説明する。
前記実施形態では、圧縮成形を行う一対の金型14における密閉空間を減圧する場合について説明した。本実施形態では、成形部14Aを囲むチャンバ部14Bで形成される金型内部20に連通する複数の連通路34の気体流量を調節する圧調節部22を備える樹脂成形装置10Aについて、図10〜図14を参照して説明する。図10は、本実施形態に係る樹脂成形装置10Aを説明するための図である。図11〜図14は、図10に示す動作中の樹脂成形装置10Aの要部模式的断面図であり、樹脂成形装置10Aがポット84(プランジャ86)の軸に対して左右対称であるため、左側のキャビティ凹部12を抜き出して示している。
前記実施形態3では、プランジャ86を挟んでワークWを配置する場合について説明した。本実施形態では、キャビティ凹部12の開口部の周りに複数の連通路34の一端部およびポット84が設けられる樹脂成形装置10Bについて、図15〜図16を参照して説明する。図15は、本実施形態に係る樹脂成形装置10Bを説明するための図である。図16は、動作中の樹脂成形装置10Bの要部模式的平面図であり、(A)、(B)、(C)、(D)、(E)、(F)の順に、ポット84からプランジャ86で圧送される樹脂Rがキャビティ凹部12内のワークW上を流れていく様子を示す。
12 キャビティ凹部
14 一対の金型
20 金型内部
22 圧調節部
34 連通路
36 減圧部
38 流量調節部
Claims (9)
- キャビティ凹部を有する型開閉可能な一対の金型と、
前記キャビティ凹部を含む金型内部の圧力を調節する圧調節部と
を備え、
前記一対の金型は、金型外部と前記金型内部とを連通する複数の連通路を有し、
前記複数の連通路は、前記金型内部側の一端部が前記キャビティ凹部の開口部の周りに開口し、前記金型外部側の他端部が前記圧調節部と接続され、
前記圧調節部は、前記複数の連通路を介して型閉じした前記金型内部の気体を吸引して前記金型内部を減圧する減圧部と、前記複数の連通路のそれぞれの気体流量を調節する流量調節部とを有することを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1記載の樹脂成形装置において、
前記圧調節部は、前記複数の連通路を介して前記金型内部へ気体を圧入して前記金型内部を加圧する加圧部と、前記複数の連通路のそれぞれで前記減圧部と前記加圧部との接続切り替えを行う切替部とを有することを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1または2記載の樹脂成形装置において、
前記圧調節部は、前記複数の連通路のそれぞれの流量を計測する流量計測部を有することを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の樹脂成形装置において、
前記連通路の前記一端部に隣接する前記金型内部の圧力を計測する圧力計測部を備えることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の樹脂成形装置において、
前記一対の金型は、前記キャビティ凹部を含み、該キャビティ凹部に充填された樹脂を熱硬化させる成形部と、前記成形部を囲むように設けられ、前記金型外部と前記金型内部とを仕切るチャンバ部とを有し、
前記チャンバ部において前記キャビティ凹部の開口部の周りに前記複数の連通路の前記一端部が設けられることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の樹脂成形装置において、
前記一対の金型は、ポットと、前記ポットと連通する複数の前記キャビティ凹部とを有し、
前記複数の連通路の前記一端部は、前記ポットおよび前記複数のキャビティ凹部を一括りとした全体の周りに開口していることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の樹脂成形装置において、
前記一対の金型は、ポットと、前記ポットと連通する前記キャビティ凹部とを有し、
前記キャビティ凹部の開口部の周りに前記複数の連通路の前記一端部および前記ポットが設けられることを特徴とする樹脂成形装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の樹脂成形装置において、
前記キャビティ凹部を含む金型面に吸着保持されるリリースフィルムと、
前記リリースフィルムを吸引する第1吸引部および第2吸引部とを更に備え、
前記一対の金型は、前記金型外部と前記金型内部とを連通し、前記リリースフィルムを吸引する複数の第1フィルム連通路および複数の第2フィルム連通路を有し、
前記複数の第1フィルム連通路は、前記金型内部側の一端部が前記キャビティ凹部の開口部の周りであって前記金型面に開口し、前記金型外部側の他端部が前記第1吸引部と接続され、
前記複数の第2フィルム連通路は、前記金型内部側の一端部が前記キャビティ凹部のコーナー部と連通するように該キャビティ凹部の底部周りに開口し、前記金型外部側の他端部が前記第2吸引部と接続されることを特徴とする樹脂成形装置。 - キャビティ凹部を有する型開閉可能な一対の金型と、
前記キャビティ凹部を含む金型面に吸着保持されるリリースフィルムと、
前記リリースフィルムを吸引する第1吸引部および第2吸引部と
を備え、
前記一対の金型は、金型外部と金型内部とを連通し、前記リリースフィルムを吸引する複数の第1フィルム連通路および複数の第2フィルム連通路を有し、
前記複数の第1フィルム連通路は、前記金型内部側の一端部が前記キャビティ凹部の開口部の周りであって前記金型面に開口し、前記金型外部側の他端部が前記第1吸引部と接続され、
前記複数の第2フィルム連通路は、前記金型内部側の一端部が前記キャビティ凹部のコーナー部と連通するように該キャビティ凹部の底部周りに開口し、前記金型外部側の他端部が前記第2吸引部と接続されることを特徴とする樹脂成形装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6971780B2 (ja) * | 2017-10-27 | 2021-11-24 | 上村工業株式会社 | ワーク保持治具及びロードアンロード装置 |
SK500282019A3 (sk) * | 2019-05-28 | 2020-12-02 | Manz Slovakia S R O | Zariadenie na lisovanie tvarových prelisov, najmä do viacvrstvovej fólie |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07164473A (ja) * | 1993-12-15 | 1995-06-27 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体部品の樹脂封止方法、半導体封止装置および樹脂封止半導体部品 |
JP2000068305A (ja) * | 1998-08-25 | 2000-03-03 | Nec Kyushu Ltd | 樹脂封止成形方法 |
JP2003243435A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-29 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2008143186A (ja) * | 2008-01-08 | 2008-06-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 樹脂封止方法 |
JP2009083438A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Towa Corp | 電子部品の圧縮成形方法 |
JP2010179507A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Apic Yamada Corp | 圧縮成形方法 |
JP2012040843A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 圧縮成形用金型及び圧縮成形方法 |
JP2013123849A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Apic Yamada Corp | 樹脂封止装置および樹脂封止方法 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07164473A (ja) * | 1993-12-15 | 1995-06-27 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体部品の樹脂封止方法、半導体封止装置および樹脂封止半導体部品 |
JP2000068305A (ja) * | 1998-08-25 | 2000-03-03 | Nec Kyushu Ltd | 樹脂封止成形方法 |
JP2003243435A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-29 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2009083438A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Towa Corp | 電子部品の圧縮成形方法 |
JP2008143186A (ja) * | 2008-01-08 | 2008-06-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 樹脂封止方法 |
JP2010179507A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Apic Yamada Corp | 圧縮成形方法 |
JP2012040843A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 圧縮成形用金型及び圧縮成形方法 |
JP2013123849A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Apic Yamada Corp | 樹脂封止装置および樹脂封止方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018094855A (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂成形装置および樹脂成形方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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