JP2013010216A - モールド金型及びこれを備えた樹脂モールド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上型チェイス5及び下型チェイス10と上型インサート7及び下型インサート11の少なくともいずれか一方にキャビティ凹部11bに近い側から冷却装置14と第二の加熱装置15がこの順に設けられ、キャビティ凹部11bの近傍に第二の温度センサ11cが設けられている。
【選択図】図1
Description
特に薄型パッケージ部を樹脂モールドする場合には、温度管理をきめ細かくしないと、半導体チップと接続端子との接合信頼性が低くなるおそれや、モールド樹脂を加熱硬化する温度範囲やタイミングが適切でないため成形品質が低下するおそれがある。また、特許文献1のように、分割されたブロック間及び側方にヒータが配置されているため、分割ブロック全体を加熱するようになっている。このように金型全体を加熱して温度管理を行う場合には、金型表面温度をきめ細かう管理することができない。また成形品に対してサブヒータと冷却チューブを同列に配置したのでは、金型表面の温度を素早くしかも所定温度範囲にコントロールすることが難しい。
即ち、第一の加熱装置と第一の温度センサを各々設けた上型ベース及び下型ベースと、前記上型ベースに支持された上型チェイス及び前記下型ベースに支持された下型チェイスと、前記上型チェイス及び下型チェイスに各々挿抜可能に支持され、少なくともいずれかにキャビティ凹部が形成された上型インサート及び下型インサートと、を備え、前記上型チェイス及び下型チェイスと前記上型インサート及び下型インサートの少なくともいずれか一方に前記キャビティ凹部に近い側から冷却装置と第二の加熱装置がこの順に設けられ、前記キャビティ凹部の近傍に第二の温度センサが設けられていることを特徴とする。
或いは、上型及び下型の金型表面間にモールド樹脂が充填されてクランプされたワークが封止されるモールド金型であって、上型と下型の少なくともいずれか一方において第一の加熱装置と第一の温度センサを有する第一の温度調整部と、前記第一の温度調整部と金型表面の間に、前記キャビティ凹部に近い側から冷却装置と第二の加熱装置がこの順に設けられると共に前記キャビティ凹部の近傍に第二の温度センサが設けられ、当該冷却装置と当該第二の加熱装置をオンオフ制御することにより、前記キャビティ凹部の金型クランプ面の温度を所望の温度範囲に調整して維持する第二の温度調節部と、を有することを特徴とする。
図1において、モールド金型1が型開き状態において、図示しない搬送装置によりワークWとモールド樹脂が搬入される。具体的には、上型2の上型インサート7にワークWが半導体チップを下向きになるように吸着保持され、下型インサート11のポット12aに樹脂タブレット16aが装填され、キャビティ凹部11bに顆粒樹脂16b(粉末樹脂、液状樹脂などであってもよい)が各々供給される。尚、樹脂充填性の高い製品においては、必ずしもポット12a及びキャビティ凹部11bに樹脂を供給しなくてもよくいずれか一方のみであってもよい。
先ず図6(a)において、モールド金型1へ樹脂を供給する際には、予め第二の加熱装置15を作動させて金型表面温度を成形温度(同図におけるTlに相当)より高温(同図におけるThに相当)となるように維持しておき、顆粒樹脂16bを供給して強制的に溶融させた後、第二の加熱装置15の加熱をオフして冷却装置14を作動させて金型表面温度を所定成形温度まで下げて安定させてから成形する。これにより、成形温度で溶融させるよりも顆粒樹脂16bの溶融に要する時間を短くすることができる。この際、第二の加熱装置15の加熱をオフしても第一の加熱装置4a、9aによって加熱されているため、温度が下がりすぎてしまうことはない。
また、モールド金型1は、上型2を固定型、下型3を可動型としたが、下型3を固定型、上型2を可動型としてもよく、双方を可動型としても良い。
1 モールド金型
2 上型
3 下型
4 上型ベース
4a,9a 第一の加熱装置(ベースヒータ)
4b,9b 第一の温度センサ
5 上型チェイス
6 上型センターインサート
7 上型インサート
8 シール材
9 下型ベース
10 下型チェイス
11 下型インサート
11a ランナゲート
11b キャビティ凹部
11c 第二の温度センサ
12 ポットインサート
12a ポット
12b 樹脂路
13 プランジャ
14 冷却装置
14a 冷却管
15 第二の加熱装置
16a 樹脂タブレット
16b 顆粒状樹脂
Claims (5)
- 第一の加熱装置と第一の温度センサを各々設けた上型ベース及び下型ベースと、
前記上型ベースに支持された上型チェイス及び前記下型ベースに支持された下型チェイスと、
前記上型チェイス及び下型チェイスに各々挿抜可能に支持され、少なくともいずれかにキャビティ凹部が形成された上型インサート及び下型インサートと、を備え、
前記上型チェイス及び下型チェイスと前記上型インサート及び下型インサートの少なくともいずれか一方に前記キャビティ凹部に近い側から冷却装置と第二の加熱装置がこの順に設けられ、前記キャビティ凹部の近傍に第二の温度センサが設けられていることを特徴とするモールド金型。 - 上型及び下型の金型表面間にモールド樹脂が充填されてクランプされたワークが封止されるモールド金型であって、
上型と下型の少なくともいずれか一方において第一の加熱装置と第一の温度センサを有する第一の温度調整部と、
前記第一の温度調整部と金型表面の間に、前記キャビティ凹部に近い側から冷却装置と第二の加熱装置がこの順に設けられると共に前記キャビティ凹部の近傍に第二の温度センサが設けられ、当該冷却装置と当該第二の加熱装置をオンオフ制御することにより、前記キャビティ凹部の金型クランプ面の温度を所望の温度範囲に調整して維持する第二の温度調節部と、
を有することを特徴とするモールド金型。 - 前記冷却装置と第二の加熱装置をオンオフ制御することにより、前記キャビティ凹部の金型表面温度を所望の温度範囲に調整して維持する請求項1又は請求項2記載のモールド金型。
- 前記冷却装置の冷媒が循環する冷却管は、金型手前側より流入し金型長手方向奥側でUターンして手前側より流出するように配管されている請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載のモールド金型。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のモールド金型を備えたことを特徴とする樹脂モールド装置。
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