JP6259263B2 - 樹脂モールド金型および樹脂モールド成形方法 - Google Patents
樹脂モールド金型および樹脂モールド成形方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6259263B2 JP6259263B2 JP2013232973A JP2013232973A JP6259263B2 JP 6259263 B2 JP6259263 B2 JP 6259263B2 JP 2013232973 A JP2013232973 A JP 2013232973A JP 2013232973 A JP2013232973 A JP 2013232973A JP 6259263 B2 JP6259263 B2 JP 6259263B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- cavity
- resin
- chamber
- internal pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 209
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 209
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims description 16
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 28
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 24
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 8
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229920000840 ethylene tetrafluoroethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920009441 perflouroethylene propylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000012858 resilient material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000003826 tablet Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Description
まず、本実施形態における樹脂モールド成形方法に用いられる樹脂モールド金型10およびこれを備えた樹脂モールド装置100について、図1を参照して説明する。図1は、樹脂モールド装置100の要部である樹脂モールド金型10の断面図である。なお、樹脂モールド金型10は、図1中の一点鎖線を中心として左右対称の構成となっており、図1では、左側の構成を示している。
前記実施形態1では、上型11と下型12との間で中間型20を介してワークWをクランプしてモールドアンダーフィルを行う樹脂モールド金型10に適用した場合について説明した。これに限らず、図3に示すように、中間型を用いずに、上型11と下型12との間でBGAタイプのワークWをクランプして行う樹脂モールド金型10Aにも適用することができる。図3は、本発明の実施形態における樹脂モールド装置100の要部である樹脂モールド金型10Aの断面図である。
前記実施形態2では、上型キャビティブロック32を上型クランパブロック31に対して相対的に可動させてキャビティ16の容量を変化させる場合について説明した。これに限らず、図4に示すように、キャビティ16の容積を固定させて、上型11と下型12との間でBGAタイプのワークWをクランプして行う樹脂モールド金型10Bにも適用することができる。図4は、本発明の実施形態における樹脂モールド装置100の要部である樹脂モールド金型10Bの断面図である。
前記実施形態1では、トランスファ方式の樹脂モールド金型10に適用した場合について説明した。これに限らず、図5に示すように、トランスファ方式と圧縮方式とを掛け合わせたTCM(Transfer Compression Mold)方式の樹脂モールド金型10Cにも適用することができる。図5は、本発明の実施形態における樹脂モールド装置100の要部である樹脂モールド金型10Cの断面図である。
前記実施形態1では、トランスファ方式の樹脂モールド金型10に適用した場合について説明した。これに限らず、図6に示すように、圧縮方式の樹脂モールド金型10Dにも適用することができる。図6は、本発明の実施形態における樹脂モールド装置100の要部である樹脂モールド金型10Dの断面図である。なお、樹脂モールド金型10Dは、図6中の一点鎖線を中心として左右対称の構成となっており、図6では、右側が型開きした状態、左側が型閉じした状態を示している。
11 上型
12 下型
16 キャビティ
70 チャンバ
74 チャンバ内圧調節部
81 キャビティ内圧調節部
R 樹脂
W ワーク
Claims (7)
- 上型および下型を型閉じすることによってワークがクランプされると共にキャビティが形成されて、該キャビティ内に充填された樹脂が加熱・硬化される一対の金型と、
前記一対の金型を内包するチャンバと、
前記キャビティ内のエアを排出する機能を有し、前記キャビティと連通して、前記キャビティの内圧を調節するキャビティ内圧調節部と、
前記チャンバ内のエアを排出する機能を有し、前記チャンバの内圧を調節するチャンバ内圧調節部と、
前記上型と前記下型との間に設けられ、型閉じの際に前記キャビティ内を気密するキャビティシール部と、を備え、
前記チャンバは、上型ベースおよび下型ベースが対向して空間部を有する一対のベースを備え、
前記一対のベースは、前記上型ベースに前記上型が組み付けられ、前記下型ベースに前記下型が組み付けられ、
前記上型ベースの開口縁部と前記下型ベースの開口縁部との間に設けられ、型閉じの際に前記チャンバ内を気密するベースシール部と、をさらに備えることを特徴とする樹脂モールド金型。 - 請求項1記載の樹脂モールド金型において、
前記上型または前記下型のパーティング面に張設されるフィルムを備えることを特徴とする樹脂モールド金型。 - 請求項1または2記載の樹脂モールド金型において、
前記一対の金型には、前記キャビティに連通するエアベントが形成されており、
前記キャビティ内圧調節部は、前記エアベントを介して前記キャビティと連通しており、
前記エアベントの中途部に進退動可能なシャットオフピンを備えることを特徴とする樹脂モールド金型。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の樹脂モールド金型において、
前記キャビティ内圧調節部は、前記キャビティ内へ圧縮空気を送入する機能を有することを特徴とする樹脂モールド金型。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の樹脂モールド金型において、
前記チャンバを内包する別のチャンバを備えることを特徴とする樹脂モールド金型。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の樹脂モールド金型を用いる樹脂モールド成形方法において、
前記一対の金型に設けられたポットに樹脂を供給して前記ワークをクランプした状態で、前記キャビティ内圧調節部および前記チャンバ内圧調節部を作動させて前記キャビティの内圧および前記チャンバの内圧を減圧しながら、前記ポットから前記一対の金型に設けられたカルに連通するランナゲートを通じて前記キャビティまで前記樹脂を圧送し、前記キャビティ内で充填された樹脂を加熱・硬化することを特徴とする樹脂モールド成形方法。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の樹脂モールド金型を用いる樹脂モールド成形方法において、
前記キャビティに樹脂を供給した後、前記ワークをクランプした状態で、前記キャビティ内圧調節部および前記チャンバ内圧調節部を作動させて前記キャビティの内圧および前記チャンバの内圧を減圧しながら、前記キャビティ内で充填された樹脂を加熱・硬化することを特徴とする樹脂モールド成形方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013232973A JP6259263B2 (ja) | 2013-11-11 | 2013-11-11 | 樹脂モールド金型および樹脂モールド成形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013232973A JP6259263B2 (ja) | 2013-11-11 | 2013-11-11 | 樹脂モールド金型および樹脂モールド成形方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015093398A JP2015093398A (ja) | 2015-05-18 |
JP6259263B2 true JP6259263B2 (ja) | 2018-01-10 |
Family
ID=53196149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013232973A Active JP6259263B2 (ja) | 2013-11-11 | 2013-11-11 | 樹脂モールド金型および樹脂モールド成形方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6259263B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6320172B2 (ja) * | 2014-05-29 | 2018-05-09 | Towa株式会社 | 電子部品の樹脂封止方法及び樹脂封止装置 |
JP6901604B2 (ja) * | 2016-04-19 | 2021-07-14 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 |
JP6546879B2 (ja) * | 2016-05-26 | 2019-07-17 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂成形金型および樹脂成形方法 |
JP6981935B2 (ja) * | 2018-08-23 | 2021-12-17 | アピックヤマダ株式会社 | モールド金型及びそれを備えた樹脂モールド装置 |
WO2023144856A1 (ja) * | 2022-01-25 | 2023-08-03 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂封止装置、封止金型、及び樹脂封止方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0167742U (ja) * | 1987-10-26 | 1989-05-01 | ||
JP3498693B2 (ja) * | 2000-09-08 | 2004-02-16 | 松下電器産業株式会社 | チップの実装方法及びチップの実装体 |
JP4215593B2 (ja) * | 2003-08-06 | 2009-01-28 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド装置 |
JP4164506B2 (ja) * | 2005-07-12 | 2008-10-15 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド装置および樹脂モールド方法 |
-
2013
- 2013-11-11 JP JP2013232973A patent/JP6259263B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015093398A (ja) | 2015-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6259263B2 (ja) | 樹脂モールド金型および樹脂モールド成形方法 | |
US5603879A (en) | Method of molding resin to seal electronic parts using two evacuation steps | |
JP5824765B2 (ja) | 樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置並びに供給ハンドラ | |
TWI634627B (zh) | 樹脂成型裝置、樹脂成型方法以及樹脂成型模具 | |
KR101832597B1 (ko) | 수지 밀봉 장치 및 수지 밀봉 방법 | |
US5435953A (en) | Method of molding resin for sealing an electronic device | |
JP2006027098A (ja) | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 | |
TWI603403B (zh) | 模具 | |
JP5799422B2 (ja) | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 | |
JP2013010216A (ja) | モールド金型及びこれを備えた樹脂モールド装置 | |
JP6779209B2 (ja) | 電子部品を有するキャリアのオーバーモールド制御用の金型、成形装置および方法ならびに成形品 | |
JP5958505B2 (ja) | 樹脂封止装置およびその封止方法 | |
JP2015214140A (ja) | 成形金型 | |
JP6438772B2 (ja) | 樹脂成形装置 | |
WO2018139631A1 (ja) | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 | |
JP6721412B2 (ja) | 樹脂セット方法および樹脂成形方法 | |
JPH11297731A (ja) | モールド方法およびモールド装置ならびに半導体装置の製造方法 | |
KR102071561B1 (ko) | 반도체 패키지용 몰딩 장치 | |
TW201712764A (zh) | 電子零件密封裝置及使用該裝置的電子零件密封方法 | |
JP6353890B2 (ja) | 樹脂モールド装置および樹脂モールド方法 | |
JP2639858B2 (ja) | 電子部品の樹脂封止成形方法 | |
JP2694293B2 (ja) | 高圧縮成形樹脂タブレットの成形方法 | |
JPH0280215A (ja) | 電子部品の樹脂封止成形方法及びこれに用いられる樹脂タブレット | |
JP2007288110A (ja) | 樹脂封止型及び樹脂封止方法 | |
JP2014212184A (ja) | 電子部品の圧縮樹脂封止方法及び圧縮樹脂封止装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160822 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170418 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170609 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6259263 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |