JP2016127702A - サーボモータ制御装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、ＰＷＭ制御中、つまりサーボモータ動作中に周期的に動力遮断回路のテストを行なうことが可能なサーボモータ制御装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明のサーボモータ制御装置は、サーボモータを駆動する逆変換回路と、逆変換回路にＰＷＭ信号を出力するＰＷＭ回路と、安全信号とＰＷＭ信号が入力され、安全信号がオンの時はＰＷＭ信号を逆変換回路に出力し、安全信号がオフの時は出力しない遮断回路と、安全信号を遮断回路に出力し、遮断回路から出力されるモニタ信号が入力されるサーボモータ制御回路と、を有し、サーボモータ制御回路は、サーボモータ駆動中に、ＰＷＭ信号がオフしている遮断回路に入力される安全信号を、ＰＷＭ信号の１周期時間内オフし、モニタ信号によりオフを検出できない場合、異常を検出する、ことを特徴とする。【選択図】図２

Description

本発明は、サーボモータ制御装置に関し、特にサーボモータ動作中に周期的に動力遮断回路のテストを行なうことが可能にするサーボモータ制御装置に関する。

サーボモータ制御装置に設けられる非常停止回路には、安全性を高めるため２重化した回路が用いられる（例えば、特許文献１）。しかしながら、２重化した回路であっても、長時間の連続運転においては、単一故障が発生し、その後さらに多重故障化する危険性がある。特に、半導体素子で構成された非常停止回路は、一時的な過電圧や短絡等の事故、または偶発的な部品不良により出力の短絡故障が発生する可能性が高いため、短期間における周期的な非常停止回路の検査が必要となる。

そのため、半導体素子で構成された非常停止回路においては、２重化した上に、更にテストパルスを用いて非常停止回路が正常に動作していることを、短期間に周期的に確認する手法が使用される。この場合、非常停止回路の単一故障を早期に検出でき、多重故障化する前に、故障していない方の回路を用いて安全に停止することが可能となる。

一方、サーボアンプのモータ動力信号用の半導体素子を用いて、サーボアンプの動力遮断を安全に行う方法が考案されている。図１に従来の動力遮断回路を示す。従来の動力遮断回路は、安全信号Ａを出力する第１フォトカプラｐａと、安全信号Ｂを出力する第２フォトカプラｐｂと、モニタ信号を受信する第３フォトカプラｐｍと、第３フォトカプラｐｍにモニタ信号を送信するＣＰＵ１００１と、安全信号Ａ及びＢを受信するＬＳＩ１００２と、第１スイッチＳＷ１と、第２スイッチＳＷ２と、サーボモータ２００を駆動する逆変換回路１０１０と、逆変換回路１０１０の上段の半導体素子１０１１を制御するための第４フォトカプラｐ１と、逆変換回路１０１０の下段の半導体素子１０１２を制御するための第５フォトカプラｐ２と、を備えている。１００３〜１００６は抵抗である。また、各フォトカプラおいて、ｐａ１、ｐｍ１、ｐｂ１、ｐ１１、ｐ２１は、それぞれ発光素子であり、ｐａ２、ｐｍ２、ｐｂ２、ｐ１３、ｐ２３は、それぞれ受光素子である。また、第４フォトカプラｐ１及び第５フォトカプラｐ２は、それぞれダイオードｐ１２、ｐ２２を備えている。

この方法では、安全信号Ａ及びＢはパルス信号ではなく、またＰＷＭ（パルス幅変調）制御とは非同期の外部信号として入力されるため、動力遮断はＰＷＭ制御をオフした状態、つまりサーボモータ２００が停止中に行なわれる必要がある。

サーボモータ動作中に動力遮断回路のテストが可能になると、動力遮断回路の故障検出が早期に可能となり、多重故障化するリスクが低減し、半導体素子で構成される動力遮断回路の信頼性が向上する。

特開２００４−２３７４１６号公報

本発明は、ＰＷＭ制御中、つまりサーボモータ動作中に周期的に動力遮断回路のテストを行なうことが可能なサーボモータ制御装置を提供することを目的とする。

本発明の一実施例に係るサーボモータ制御装置は、直流を交流に変換し、変換した交流をサーボモータに供給することによって、サーボモータを駆動する逆変換回路と、逆変換回路に対して、パルス幅変調信号を出力するパルス幅変調回路と、安全信号とパルス幅変調信号が入力され、安全信号がオンしている時は、パルス幅変調信号を逆変換回路に出力し、安全信号がオフしている時は、パルス幅変調信号を逆変換回路に出力しない遮断回路と、安全信号を遮断回路に出力し、遮断回路から出力されるモニタ信号が入力されるサーボモータ制御回路と、を有し、サーボモータ制御回路は、サーボモータ駆動中に、パルス幅変調信号がオフしている遮断回路に入力される安全信号を、パルス幅変調信号の１周期時間内オフし、モニタ信号によりオフを検出できない場合、異常を検出する、ことを特徴とする。

本発明の一実施例に係るサーボモータ制御装置によれば、ＰＷＭ制御中、つまりサーボモータ動作中に周期的に動力遮断回路のテストを行なうことが可能なサーボモータ制御装置を提供することができる。

従来の動力遮断回路の構成図である。 本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置の構成図である。 本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置に用いられる逆変換回路の構成図、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の電圧波形、及び逆変換回路のパワー素子の動作を説明するための図である。 本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置において、正常時におけるテストシーケンスを表す図である。 本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置において、故障時におけるテストシーケンスを表す図である。 本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置において、非常停止シーケンスを表す図である。 本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置の構成図である。 本発明の実施例３に係るサーボモータ制御装置の構成図である。 本発明の実施例４に係るサーボモータ制御装置の構成図である。

以下、図面を参照して、本発明に係るサーボモータ制御装置について説明する。

［実施例１］
まず、本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置について説明する。図２は、本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置の構成図である。本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置１０１は、直流を交流に変換し、変換した交流をサーボモータ２００に供給することによって、サーボモータを駆動する逆変換回路１と、逆変換回路１に対して、パルス幅変調信号を出力するパルス幅変調回路２ａ，２ｂと、安全信号とパルス幅変調信号が入力され、安全信号がオンしている時は、パルス幅変調信号を逆変換回路１に出力し、安全信号がオフしている時は、パルス幅変調信号を逆変換回路１に出力しない遮断回路３ａ，３ｂと、安全信号を遮断回路に出力し、遮断回路から出力されるモニタ信号が入力されるサーボモータ制御回路４と、を有し、サーボモータ制御回路４は、サーボモータ２００の駆動中に、パルス幅変調信号がオフしている遮断回路に入力される安全信号を、パルス幅変調信号の１周期時間内オフし、モニタ信号によりオフを検出できない場合、異常を検出する、ことを特徴とする。

さらに、遮断回路３ａ，３ｂを複数有し、複数の遮断回路にそれぞれ入力される複数の安全信号と、複数の遮断回路にそれぞれ入力される複数のパルス幅変調信号と、複数の遮断回路からそれぞれ出力される複数のモニタ信号と、を有し、サーボモータ制御回路４が異常を検出した場合、全ての遮断回路３ａ，３ｂへの安全信号の出力をオフすることによって、サーボモータ２００を停止するようにしてもよい。

逆変換回路１は、Ｕ相上アーム半導体素子Ｔｕ１、Ｕ相下アーム半導体素子Ｔｕ２、Ｖ相上アーム半導体素子Ｔｖ１、Ｖ相下アーム半導体素子Ｔｖ２、Ｗ相上アーム半導体素子Ｔｗ１、Ｗ相下アーム半導体素子Ｔｗ２、を備えている。

第１遮断回路３ａには、逆変換回路１の上段（上アーム）の半導体素子Ｔｕ１，Ｔｖ１，Ｔｗ１が正常に動作しているか否かを検出するためのフォトカプラＰｕ１、Ｐｖ１，Ｐｗ１が設けられている。また、各フォトカプラには、発光素子Ｄｐｕ１，Ｄｐｖ１，Ｄｐｗ１が設けられている。さらに、第１遮断回路３ａには、半導体素子３１２、３１７と、アンプ３１１，３１３，３１６と、抵抗３１４，３１５が設けられている。

第２遮断回路３ｂには、逆変換回路１の下段（下アーム）の半導体素子Ｔｕ２，Ｔｖ２，Ｔｗ２が正常に動作しているか否かを検出するためのフォトカプラＰｕ２、Ｐｖ２，Ｐｗ２が設けられている。また、各フォトカプラには、発光素子Ｄｐｕ２，Ｄｐｖ２，Ｄｐｗ２が設けられている。さらに、第２遮断回路３ｂには、半導体素子３２２、３２７と、アンプ３２１，３２３，３２６と、抵抗３２４，３２５が設けられている。

サーボモータ制御回路４は、第１サーボモータ制御回路４ａと、第２サーボモータ制御回路４ｂとを備える。第１サーボモータ制御回路４ａは、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の第１安全信号Ｕ１＿ＤＯ、Ｖ１＿ＤＯ、Ｗ１＿ＤＯを第１遮断回路３ａに送信し、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の第１モニタ信号Ｕ１＿ＤＩ、Ｖ１＿ＤＩ、Ｗ１＿ＤＩを第１遮断回路３ａから受信する。第２サーボモータ制御回路４ｂは、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の第２安全信号Ｕ２＿ＤＯ、Ｖ２＿ＤＯ、Ｗ２＿ＤＯを第２遮断回路３ｂに送信し、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の第２モニタ信号Ｕ２＿ＤＩ、Ｖ２＿ＤＩ、Ｗ２＿ＤＩを第２遮断回路３ｂから受信する。

第１ＰＷＭ回路２ａは第１遮断回路３ａにＰＷＭ信号を送信し、第２ＰＷＭ回路２ｂは第２遮断回路３ｂにＰＷＭ信号を送信する。

サーボアンプ（サーボモータ制御装置）は、逆変換回路１によりサーボモータ２００への動力を供給する。つまり、逆変換回路１を遮断することにより、サーボモータ２００の動力遮断が実現できる。

逆変換回路１の動作を図３にて説明する。図３（ａ）は、本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置に用いられる逆変換回路の構成図、図３（ｂ）はＵ相、Ｖ相、Ｗ相の電圧波形、図３（ｃ）は、逆変換回路の半導体素子の動作を説明するための図である。逆変換回路１は、直流電源部に直列接続された２個の半導体素子（Ｔｕ１及びＴｕ２、Ｔｖ１及びＴｖ２、Ｔｗ１及びＴｗ２）が３組並列接続され、この２個の半導体素子の接続部分がサーボモータへの動力信号の供給源となり、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の３相分の出力信号が存在する。また、各半導体素子にはダイオードＤｕ１，Ｄｕ２，Ｄｖ１，Ｄｖ２，Ｄｗ１，Ｄｗ２が接続されている。

図３（ｃ）のように、上側の半導体素子Ｔｕ１（Ｕ１），Ｔｖ１（Ｖ１），Ｔｗ１（Ｗ１）がオンしているときは、下側の半導体素子Ｔｕ２（Ｕ２），Ｔｖ２（Ｖ２），Ｔｗ２（Ｗ２）は必ずオフし、下側の半導体素子がオンすれば、上側の半導体素子は必ずオフする。上下同時にオンすると、直流電源部が短絡するため、上下の半導体素子が同時にオンすることは無い。つまり、逆変換回路はＰＷＭ周期単位で考えると、必ずオフしている半導体素子が複数存在している。このオフしている半導体素子に対して、半導体素子の遮断回路のテストを行なう。

図４に正常時におけるテストシーケンスを示す。図４にはＵ１＿ＰＷＭからＷ２＿ＰＷＭまで６個のＰＷＭ信号が示されている。Ｕ１＿ＰＷＭ，Ｖ１＿ＰＷＭ，Ｗ１＿ＰＷＭは第１ＰＷＭ回路２ａから出力され、Ｕ２＿ＰＷＭ，Ｖ２＿ＰＷＭ，Ｗ２＿ＰＷＭは第２ＰＷＭ回路２ｂから出力される。この内、「○」を付けた部分がテストされる半導体素子を示す。例えば、「Ｖ１ ｔｅｓｔ」は、Ｖ相上アーム半導体素子Ｔｖ１がテストされることを示している。テストは、Ｕ１＿ＤＯからＷ２＿ＤＯまでの６個の安全信号のうち、ＰＷＭ信号がＯＮしていない半導体素子１個に対して、ＰＷＭの１周期時間以内の幅の短いテストパルスを出力し、Ｕ１＿ＤＩからＷ２＿ＤＩまでのモニタ信号において、テストパルスが正しく読めるか否かにより検査される。

Ｕ１＿ＤＯ，Ｖ１＿ＤＯ，Ｗ１＿ＤＯの第１安全信号と、Ｕ１＿ＤＩ，Ｖ１＿ＤＩ，Ｗ１＿ＤＩの第１モニタ信号は第１サーボモータ制御回路４ａに送受信され、Ｕ２＿ＤＯ，Ｖ２＿ＤＯ，Ｗ２＿ＤＯの安全信号２と、Ｕ２＿ＤＩ，Ｖ２＿ＤＩ，Ｗ２＿ＤＩの第２モニタ信号は第２サーボモータ制御回路４ｂに送受信される（図２）。

図４のテストシーケンスでは、第１サーボモータ制御回路４ａと第２サーボモータ制御回路４ｂが交互にテストを行なっているが、必ずしも交互に行なう必要はない。図４では、テストは１サイクルにおいて１個の半導体素子のテストが行なわれているが、同一周期に２個以上の半導体素子のテストを行なうことも可能である。サーボモータ制御回路４はＰＷＭ回路からＰＷＭ情報を入手し、周期単位でＯＮしない半導体素子を特定し、テスト可能な半導体素子を選択する。

図５は、故障時におけるテストシーケンスを示す。モニタ信号において、テストパルスが検出できない場合は（図５）、遮断回路の異常と判断され、直ちに全ての安全信号、ＰＷＭ信号をオフし、アラーム停止する。

このようにサーボモータ制御回路４は、第１サーボモータ制御回路４ａと、第２サーボモータ制御回路４ｂとを有し、第１サーボモータ制御回路が出力した第１安全信号と、第２サーボモータ制御回路が出力した第２安全信号とが、パルス幅変調信号の１周期時間以上一致していないと判定したときに、全ての遮断回路への第１安全信号及び第２安全信号の出力をオフすることによってサーボモータを停止する。

図６は、非常停止時のサーボモータの動力遮断のシーケンスを表す。図５のアラーム発生時と同様に非常停止時は、全てのＰＷＭ信号、安全信号を遮断する。

以上説明したように、本発明の実施例１に係るサーボモータ制御装置によれば、サーボモータ動作中に動力遮断回路のテストが可能になり、動力遮断回路の故障検出が早期に可能となり、多重故障化するリスクが低減し、半導体素子で構成される動力遮断回路の信頼性を向上させることができる。

［実施例２］
次に本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置について説明する。図７に本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置の構成図を示す。本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置１０２は、交流を直流に変換し、変換した直流を逆変換回路１−１，・・・，１−ｎに供給する順変換器５と、順変換器５に交流を供給する電源１００と順変換器との間の接続を遮断する、主接点に機械的に連動する補助接点を備えた電磁接触器６を有し、サーボモータ制御回路４は、補助接点の状態を検出して電磁接触器６が正常であるか否かを判定し、遮断回路３ａ，３ｂまたは、電磁接触器６に異常を検出した場合、全ての遮断回路３ａ，３ｂへの安全信号の出力をオフし、かつ電磁接触器６を遮断する点を特徴とする。実施例２に係るサーボ制御装置１０２のその他の構成は、実施例１に係るサーボ制御装置１０１の構成と同様であるので詳細な説明は省略する。

図７に示した構成図では、実施例２に係るサーボアンプ（サーボモータ制御装置）１０２は、ｎ（ｎ＞１）台のサーボモータ２００−１〜２００−ｎを制御する例を示している。また、順変換器５には平滑コンデンサ５１が設けられている。サーボモータ制御回路４には、第１サーボモータ制御回路（第１ＣＰＵ）４ａと第２サーボモータ制御回路（第２ＣＰＵ）４ｂが設けられている。また、実施例１では２つに分けていたＰＷＭ回路を１つのＰＷＭ回路２に一体化した例を示している。

第１サーボモータ２００−１は第１逆変換回路１−１により制御される。第１逆変換回路１−１は、第（１−１）遮断回路３ａ−１と第（２−１）遮断回路３ｂ−１を備えている。第（１−１）遮断回路３ａ−１は第１ＣＰＵ４ａに第１安全信号を送受信し、ＰＷＭ回路２との間でＰＷＭ信号を送受信する。第（２−１）遮断回路３ｂ−１は第２ＣＰＵ４ｂに第２安全信号を送受信し、ＰＷＭ回路２との間でＰＷＭ信号を送受信する。

第１逆変換回路１−１は、Ｕ相用の２個の半導体素子Ｔｕ−１、Ｖ相用の２個の半導体素子Ｔｖ−１、Ｗ相用の２個の半導体素子Ｔｗ−１を備えている。

第ｎサーボモータ２００−ｎは第ｎ逆変換回路１−ｎにより制御される。第ｎ逆変換回路１−ｎは、第（１−ｎ）遮断回路３ａ−ｎと第（２−ｎ）遮断回路３ｂ−ｎを備えている。第（１−ｎ）遮断回路３ａ−ｎは第１ＣＰＵ４ａに第１安全信号を送受信し、ＰＷＭ回路２との間でＰＷＭ信号を送受信する。第（２−ｎ）遮断回路３ｂ−ｎは第２ＣＰＵ４ｂに第２安全信号を送受信し、ＰＷＭ回路２との間でＰＷＭ信号を送受信する。

第１逆変換回路１−ｎは、Ｕ相用の２個の半導体素子Ｔｕ−ｎ、Ｖ相用の２個の半導体素子Ｔｖ−ｎ、Ｗ相用の２個の半導体素子Ｔｗ−ｎを備えている。

電源１００と順変換器５との間には電磁接触器６が設けられている。

本発明の実施例２に係るサーボモータ制御装置によれば、電源供給元に、電磁接触器６を設けることにより、アラーム検出時にこれらも同時に遮断することにより、信頼性をさらに向上させることができる。

［実施例３］
次に本発明の実施例３に係るサーボモータ制御装置について説明する。図８に本発明の実施例３に係るサーボモータ制御装置の構成図を示す。本発明の実施例３に係るサーボモータ制御装置１０３は、交流を直流に変換し、変換した直流を逆変換回路に供給する順変換器５と、順変換器に交流を供給する電源１００と順変換器との間の接続を遮断する電源遮断回路７を有し、サーボモータ制御回路４は、順変換器５の出力電圧を検出し、検出結果に基づいて、電源遮断回路７が正常であるか否かを判定し、遮断回路３ａ，３ｂまたは、電源遮断回路７に異常を検出した場合、全ての遮断回路３ａ，３ｂへの安全信号の出力をオフし、かつ電源遮断回路７を遮断する点を特徴とする。実施例３に係るサーボ制御装置のその他の構成は、実施例１に係るサーボ制御装置の構成と同様であるので詳細な説明は省略する。

実施例３に係るサーボモータ制御装置１０３においては、実施例２に係るサーボモータ制御装置１０２における電磁接触器６の代わりに電源遮断回路７を設けている。

本発明の実施例３に係るサーボモータ制御装置によれば、電源供給元に、電源遮断回路７を設けることにより、アラーム検出時にこれらも同時に遮断することにより、信頼性をさらに向上させることができる。

［実施例４］
次に、本発明の実施例４に係るサーボモータ制御装置について説明する。図９に本発明の実施例４に係るサーボモータ制御装置の構成図を示す。本発明の実施例４に係るサーボモータ制御装置１０４は、サーボモータ（２００−１，・・・，２００−ｎ）を停止する回生ブレーキ（８−１，・・・，８−ｎ）又は電磁ブレーキ９を制御するブレーキ制御回路１０を更に有し、サーボモータ制御回路４は、全ての遮断回路への安全信号の出力をオフした場合、回生ブレーキ（８−１，・・・，８−ｎ）又は電磁ブレーキ９を有効にすることによって、サーボモータ（２００−１，・・・，２００−ｎ）を停止する点を特徴とする。実施例４に係るサーボ制御装置のその他の構成は、実施例１に係るサーボ制御装置の構成と同様であるので詳細な説明は省略する。

第１逆変換回路１−１の第１出力には第１回生ブレーキ回路８−１が設けられており、第１ＣＰＵ４ａまたは第２ＣＰＵ４ｂからの信号により制御される。

第ｎ逆変換回路１−ｎの第ｎ出力には第ｎ回生ブレーキ回路８−ｎが設けられており、第１ＣＰＵ４ａまたは第２ＣＰＵ４ｂからの信号により制御される。

第１サーボモータ２００−１〜第ｎサーボモータ２００−ｎには電磁ブレーキ回路９が接続されており、第１ＣＰＵ４ａまたは第２ＣＰＵ４ｂからの信号により制御される。

本発明の実施例４に係るサーボモータ制御装置によれば、アラーム停止において、全ての逆変換回路１−１，・・・，１−ｎの出力をオフし、回生ブレーキ８−１，・・・，８−ｎや電磁ブレーキ９を有効にすることにより、サーボモータ２００−１，・・・，２００−ｎを安全に停止することができる。

１ 逆変換回路
２ａ 第１パルス幅変調回路
２ｂ 第２パルス幅変調回路
３ａ 第１遮断回路
３ｂ 第２遮断回路
４ サーボモータ制御回路
４ａ 第１サーボモータ制御回路
４ｂ 第２サーボモータ制御回路
５ 順変換器
６ 電磁接触器
７ 電源遮断回路
８−１，・・・，８−ｎ 回生ブレーキ
９ 電磁ブレーキ
１０ ブレーキ制御回路
１００ 電源
２００ サーボモータ

Claims (6)

1. 直流を交流に変換し、変換した交流をサーボモータに供給することによって、サーボモータを駆動する逆変換回路と、
   前記逆変換回路に対して、パルス幅変調信号を出力するパルス幅変調回路と、
   安全信号と前記パルス幅変調信号が入力され、前記安全信号がオンしている時は、前記パルス幅変調信号を前記逆変換回路に出力し、前記安全信号がオフしている時は、前記パルス幅変調信号を前記逆変換回路に出力しない遮断回路と、
   前記安全信号を前記遮断回路に出力し、前記遮断回路から出力されるモニタ信号が入力されるサーボモータ制御回路と、を有し、
   前記サーボモータ制御回路は、サーボモータ駆動中に、前記パルス幅変調信号がオフしている前記遮断回路に入力される前記安全信号を、前記パルス幅変調信号の１周期時間内オフし、前記モニタ信号によりオフを検出できない場合、異常を検出する、
   ことを特徴とするサーボモータ制御装置。
2. 前記遮断回路を複数有し、複数の前記遮断回路にそれぞれ入力される複数の前記安全信号と、複数の前記遮断回路にそれぞれ入力される複数の前記パルス幅変調信号と、複数の前記遮断回路からそれぞれ出力される複数のモニタ信号と、を有し、
   前記サーボモータ制御回路が前記異常を検出した場合、全ての前記遮断回路への前記安全信号の出力をオフすることによって、サーボモータを停止する、請求項１に記載のサーボモータ制御装置。
3. 前記サーボモータ制御回路は、第１サーボモータ制御回路と、第２サーボモータ制御回路とを有し、
   前記第１サーボモータ制御回路が出力した第１安全信号と、前記第２サーボモータ制御回路が出力した第２安全信号とが、前記パルス幅変調信号の１周期時間以上一致していないと判定したときに、全ての前記遮断回路への前記第１安全信号及び前記第２安全信号の出力をオフすることによってサーボモータを停止する、請求項１または２に記載のサーボモータ制御装置。
4. 交流を直流に変換し、変換した直流を前記逆変換回路に供給する順変換器と、
   前記順変換器に交流を供給する電源と前記順変換器との間の接続を遮断する、主接点に機械的に連動する補助接点を備えた電磁接触器を有し、
   前記サーボモータ制御回路は、前記補助接点の状態を検出して前記電磁接触器が正常であるか否かを判定し、前記遮断回路または、前記電磁接触器に異常を検出した場合、全ての前記遮断回路への前記安全信号の出力をオフし、かつ前記電磁接触器を遮断する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のサーボモータ制御装置。
5. 交流を直流に変換し、変換した直流を前記逆変換回路に供給する順変換器５と、
   前記順変換器に交流を供給する電源と前記順変換器との間の接続を遮断する電源遮断回路を有し、
   前記サーボモータ制御回路は、前記順変換器の出力電圧を検出し、検出結果に基づいて、前記電源遮断回路が正常であるか否かを判定し、前記遮断回路または、前記電源遮断回路に異常を検出した場合、全ての前記遮断回路への前記安全信号の出力をオフし、かつ前記電源遮断回路を遮断する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のサーボモータ制御装置。
6. 前記サーボモータを停止する回生ブレーキ又は電磁ブレーキを制御するブレーキ制御回路を更に有し、
   前記サーボモータ制御回路は、全ての前記遮断回路への前記安全信号の出力をオフした場合、前記回生ブレーキ又は前記電磁ブレーキを有効にすることによって、サーボモータを停止する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のサーボモータ制御装置。

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