JP2016122795A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 真空処理室を有する真空処理装置の真空引き方法であって、
   前記真空処理室と排気装置とを接続するバルブを開き、該排気装置により第１の所定時間該真空処理室内を真空引きする第１の工程と、
   前記第１の工程の後に前記バルブを閉じ、第２の所定時間放置して真空処理室内の昇圧を促す第２の工程と、を有し、
   前記第２の工程により、前記真空処理室内の圧力が水の三重点の圧力を下回らないように、前記真空処理室内の圧力が６．７Ｐａ〜１３．３×１０^２Ｐａ（５Ｔｏｒｒ〜１０Ｔｏｒｒ）になるまで前記第１の工程と前記第２の工程とを交互に行い、前記真空処理室内の水分を凝固させることなく降圧する、
   真空引き方法。
2. 前記第１の工程と前記第２の工程とを繰り返し実行する、
   請求項１に記載の真空引き方法。
3. 前記第１の工程と前記第２の工程との実行により、前記真空処理室内を一分間に３３３３Ｐａ〜３３５９Ｐａ（２５．０Ｔｏｒｒ〜２５．２Ｔｏｒｒ）降圧する、
   請求項１又は２に記載の真空引き方法。
4. 前記第１の工程と前記第２の工程との実行により、前記真空処理室内の水分を凝固させることなく前記真空処理室内の圧力が大気圧から６．７Ｐａ〜１３．３×１０^２Ｐａ（５Ｔｏｒｒ〜１０Ｔｏｒｒ）になるまで降圧する、
   請求項１〜３のいずれか一項に記載の真空引き方法。
5. 真空処理室と制御部とを有する真空処理装置であって、
   前記制御部は、
   前記真空処理室と排気装置とを接続するバルブを開き、該排気装置に第１の所定時間該真空処理室内を真空引きさせる第１のステップと、
   前記第１のステップの後に前記バルブを閉じ、第２の所定時間放置して真空処理室内の昇圧を促す第２のステップとを制御し、
   前記第２のステップにより、前記真空処理室内の圧力が水の三重点の圧力を下回らないように、前記真空処理室内の圧力が６．７Ｐａ〜１３．３×１０^２Ｐａ（５Ｔｏｒｒ〜１０Ｔｏｒｒ）になるまで前記第１のステップと前記第２のステップとを交互に行い、前記真空処理室内の水分を凝固させることなく降圧するように制御する、
   真空処理装置。