JP2014220408A5 - - Google Patents

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チャンバ３０の下部には排気管４６が接続され、排気管４６の末端には真空ポンプが取り付けられている。これにより、エッチングにより生成した反応生成物などが排気管４６を通して外部の排ガス処理装置に排気されるようになっている。チャンバ３０の近傍の排気管４６にはＡＰＣバルブ４８（自動圧力コントロールバルブ）が設けられており、チャンバ３０内が設定圧力になるようにＡＰＣバルブ４８の開度が自動調整される。
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