JP2016114784A - 紫外線照射装置、紫外線照射方法、基板処理装置、及び基板処理装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
この構成によれば、保持部材に基板が良好に保持される。
この構成によれば、吸着口が密に配置されるので、安定して基板を保持することができる。
この構成によれば、第二方向に沿う一辺が開口されているので、例えば、保持部材に対する基板の受け渡しを行う受渡装置と保持部材との接触を回避することができる。よって、受渡装置と保持部材との接触を考慮することなく、保持部材および受渡装置を駆動させることができるので、基板の受け渡し動作を短時間で行うことができる。
この構成によれば、櫛歯部の各歯によって基板の外周縁部を複数個所で保持するので、基板を良好に保持することができる。
この構成によれば、搬送用コロを昇降させた場合でも、該搬送用コロと保持部材との接触が回避されたものとなる。よって、搬送用コロ櫛歯部に対して昇降させることで保持部材に対する基板の受け渡しを行うことができる。
この構成によれば、紫外線照射による基板の発熱を抑えることができる。
図1は本実施形態に係る基板処理装置SPAを示す平面図である。
基板処理装置SPAは、例えばX方向に一列に配置されたローダ・アンローダLU、塗布現像処理部CD、インターフェース部IF及び制御部CONTを備えている。基板処理装置SPAは、塗布現像処理部CDがローダ・アンローダLUとインターフェース部IFによって挟まれて配置された構成になっている。制御部CONTは、基板処理装置SPAの各部を統括的に処理する。
ローダ・アンローダLUは、複数の基板Gを収容するカセットCの搬入及び搬出を行う部分である。ローダ・アンローダLUは、カセット待機部10及び搬送機構11を有している。本実施形態においては、基板Gとして、例えばガラス基板を用いている。
塗布現像処理部CDは、基板Gにレジスト塗布及び現像を含む一連の処理を施す部分である。塗布現像処理部CDは、スクラバユニットSR、脱水ベークユニットDH、塗布ユニットCT、プリベークユニットPR、インターフェース部IF、現像ユニットDV、紫外線処理ユニットUV及びポストベークユニットPBを有している。
図2(a)は、紫外線処理ユニットUVを−Y方向に見たときの構成を示す図であり、図2(b)は紫外線処理ユニットUVを+Z方向から見た平面図である。図2(a)、(b)に示すように、紫外線処理ユニットUVは、チャンバ80、照射部81、第一基板支持部材82、基板移動部(基板移動機構)83、第二基板支持部材84、気体供給部85、排気部86、および冷却部89を有している。なお、紫外線処理ユニットUVは、照射部81が第一基板支持部材82、第二基板支持部材84、およびチャンバ80から隔離された構造であってもよい。
図3(a)に示されるように、基板移動機構83は、基板Gを保持する保持部材183と、該保持部材183をX方向に沿って移動させる移動装置181と、を有する。
上記基板処理装置SPAは、基板Gの搬送ラインの側方から紫外線処理ユニットUVを接続させることにより、容易に製造することができる。この場合、チャンバ80の接続部80cを現像ユニットDV側に接続することで、紫外線処理ユニットUVと現像ユニットDV側との間を物理的に、かつ、電気的に接続することが可能となる。
続いて、上述のように構成された基板処理装置SPAを用いる基板処理方法を説明する。
まず、基板Gが収容されたカセットCをローダ・アンローダLUのカセット待機部10にロードする。カセットC内の基板Gは、搬送機構11を介してスクラバユニットSRへ搬送される。
チャンバ80の内部において、支持ピン82aの+Z側の先端が基板Gの底面(−Z側の面)を受けるように第一基板支持部材82が+Z方向に移動するとともに、ロボットアームは基板搬入口80aよりチャンバ80内から退避する。このとき、支持ピン82aは、保持部材183の開口部183Aを挿通するため、基板Gは、図4(a)に示すように、支持ピン82aに受け渡される。また、気体供給部85はチャンバ80内に気体を供給させると共に、排気部86は気体を排気させることでチャンバ80内に気体を循環させる。
このとき、図5(b)に示すように、第二基板支持部材84は、支持ピン84aの+Z側の先端が基板Gの底面(−Z側の面)を受けるように+Z方向に移動する。なお、吸着部186は、第二基板支持部材84の動作に先立ち、吸引装置186bの作動を停止し、載置面183aに形成された複数の貫通孔186aによる基板Gの吸着を解除する。
これにより、保持部材183による基板Gの保持状態が解除されるので、支持ピン84aは+Z側の先端が保持部材183の開口部183Aを挿通することで基板Gを持ち上げて保持部材183から離間させることができる。
次に、本発明の第二実施形態を説明する。なお、上記実施形態と共通の構成および部材については同じ符号を付し、その詳細な説明については省略する。
図6は、本実施形態に係る紫外線処理ユニットUV1の構成を示す図である。
図6に示すように、紫外線処理ユニットUV1は、チャンバ80、照射部81、第一ステージ182、基板移動機構283、第二ステージ184、気体供給部85、排気部86、および冷却部89を有している。
同様に、第二ステージ184は、Z方向に移動可能に設けられており、複数のコロ184aと、該コロ184aを駆動する駆動部184bとを含む。コロ184aは、X方向に沿って、例えば三列に並んで配置されている。
紫外線処理ユニットUV1は、まず基板Gを保持したロボットアームを基板搬入口80aからチャンバ80の内部に搬入させる。このとき、基板移動機構283の保持部材383は、基板搬入位置(第一ステージ182と平面視で対向する位置)に移動している。
チャンバ80の内部において、第一ステージ182は、駆動部182bにより、複数のコロ182aを基板Gの受け取り位置に移動する。このとき、図8(a)に示すように、第一列L1および第二列L2に沿って並んだ複数のコロ182aは上方に移動することで保持部材383の載置面383aが構成する櫛歯部385の隙間385bを通り抜ける。また、同様に、第二列L2に沿って並んだ複数のコロ182aは上方に移動することで保持部材383の内側を通り抜ける。また、コロ182aの移動に伴って+Z方向に移動した駆動部182bは、保持部材383の内側を通り抜ける。
この動作により、基板Gが保持部材383上に載置される。
このとき、図9(b)に示すように、第二ステージ184は、駆動部184bにより、複数のコロ184aを基板Gの受け渡し位置に移動させる。第一列L1および第二列L2に沿って並んだ複数のコロ184aは、上方に移動して保持部材383(櫛歯部385)の隙間385bを通り抜ける。また、第二列L2に沿って並んだ複数のコロ184aは、上方に移動して保持部材383の内側を通り抜ける。なお、吸着部386は、第二ステージ184の動作に先立ち、吸引装置386bの作動を停止し、載置面383aに形成された複数の貫通孔386aによる基板Gの吸着を解除する。
本実施形態において、保持部材383は、+X側の辺が開放されているため、保持部材383は駆動部182bと接触することなく、コロ182aの直下に戻ることが可能である。
例えば、上記実施形態では、照射部81が基板Gの下面側にのみ配置される場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば、照射部81が基板Gの上面側にも配置されていてもよい。これにより、基板Gの両面側から紫外線が照射されるので、基板Gに塗布されるレジストの状態を更に良好にすることができる。
また、上記実施形態では、基板Gの上面側のみにレジスト膜が塗布される場合を例に挙げたが、基板Gの両面にレジスト膜が形成されていても良く、上述のようい基板Gの両面側から紫外線が照射することで紫外線照射処理を良好に行うことができる。
また、紫外線処理ユニットUVは、現像ユニットDVの上面のみならず、例えば、例えば、塗布ユニットCTやポストベークユニット等といった他のユニット(関連装置)の上面に配置されていてもよい。
このように紫外線処理ユニットUVが現像ユニットDVあるいは他のユニットの上面に配置された基板処理装置は、既存のラインを有する装置のうち現像ユニットDVあるいは他のユニットの上面に、チャンバ80を含む紫外線処理ユニットUVを接続させることにより、容易に製造することができる。この場合、チャンバ80の接続部80cを現像ユニットDVあるいは他のユニット側に接続することで、紫外線処理ユニットUVと現像ユニットDVあるいは他のユニット側との間を物理的に、かつ、電気的に接続することができる。
Claims (10)
- 矩形状の基板を保持した状態で第一方向に移動する基板移動機構と、
前記基板移動機構によって前記第一方向に移動する前記基板の下面に紫外線を照射する照射部と、を備え、
前記基板移動機構は、前記基板の下面における外周縁部の少なくとも三辺を保持する枠状の保持部材を有する
ことを特徴とする紫外線照射装置。 - 前記保持部材は、前記基板を吸着保持する
ことを特徴とする請求項1に記載の紫外線照射装置。 - 前記保持部材は、千鳥状に配置された複数の吸着口を有する
ことを特徴とする請求項2に記載の紫外線照射装置。 - 前記保持部材は、前記第一方向と交差する第二方向に沿う一辺が開口された枠状からなる
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。 - 前記保持部材は、前記第一方向に沿った前記基板の前記外周縁部を保持する櫛歯部を有する
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。 - 前記櫛歯部は、前記保持部材に対して前記基板を受け渡す搬送用コロを、各歯の隙間に挿通可能である
ことを特徴とする請求項5に記載の紫外線照射装置。 - 前記紫外線が照射される前記基板の下部に気体を噴射するスリット状の気体噴出口をさらに備える
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。 - 矩形状の基板を保持した状態で第一方向に移動する前記基板の下面に紫外線を照射する紫外線照射ステップを備え、
前記紫外線照射ステップでは、請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載の紫外線照射装置が用いられる
ことを特徴とする紫外線照射方法。 - 基板に処理膜の塗布処理を行う塗布装置と、
前記基板に塗布された前記処理膜の現像処理を行う現像装置と、
前記塗布処理、前記現像処理及び紫外線照射処理の関連処理を行う関連装置と、を備え、前記塗布装置、前記現像装置及び前記関連装置の間で直列的に前記基板を搬送する基板搬送ラインが形成された基板処理装置であって、
前記現像装置よりも下流側に配置される前記関連装置の一部に前記基板搬送ラインの側方から接続され、現像後の前記処理膜に紫外線照射処理を行う紫外線処理装置と、
前記基板搬送ラインと前記紫外線処理装置との間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送装置と
をさらに備え、
前記紫外線処理装置として、請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載の紫外線照射装置が用いられている
ことを特徴とする基板処理装置。 - 基板に処理膜の塗布処理を行う塗布装置と、
前記基板に塗布された前記処理膜の現像処理を行う現像装置と、
前記塗布処理、前記現像処理及び紫外線照射処理の関連処理を行う関連装置と、を備え、前記塗布装置、前記現像装置及び前記関連装置の間で直列的に前記基板を搬送する基板搬送ラインが形成された基板処理装置の製造方法であって、
現像後の前記処理膜に紫外線照射処理を行う紫外線処理装置を、前記現像装置よりも下流側に配置される前記関連装置の一部に前記基板搬送ラインの側方から接続する工程を有し、
前記紫外線処理装置として、請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載の紫外線照射装置を用いる
ことを特徴とする基板処理装置の製造方法。
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