JP2016099629A5 - - Google Patents

Claims (2)

1. ゲートラインにゲート信号を提供し、発光ラインに発光制御信号を提供する走査駆動部と、
   データラインにデータ信号を提供するデータ駆動部と、
   複数の画素を含む有機発光表示パネルと、を含み、
   前記画素の各々は、有機発光素子及び前記有機発光素子を制御する回路部を含み、
   前記回路部は、前記ゲートラインのうちで対応するゲートラインに印加されたゲート信号に応答して、前記データラインのうちで対応するデータラインに印加されたデータ信号を出力する第１トランジスタ、及び、前記有機発光素子に流れる駆動電流を制御する第２トランジスタを含み、
   前記第２トランジスタは、
   ベース基板上に配置され、チャンネル領域、及び、前記チャンネル領域を挟み込むように配置された、第１イオンドーピング領域及び第２イオンドーピング領域を含むポリシリコン層と、
   前記チャンネル領域上に、絶縁されるように重畳する第１ゲート電極と、
   前記第１ゲート電極から絶縁され、前記チャンネル領域に重畳する第２ゲート電極と、
   前記第２ゲート電極上に配置される層間絶縁層と、
   前記層間絶縁層上に配置され前記第１イオンドーピング領域に連結されたソース電極と、
   前記層間絶縁層上に配置され前記第２イオンドーピング領域に連結されたドレーン電極と、を含み、
   前記チャンネル領域は、前記第１イオンドーピング領域及び前記第２イオンドーピング領域より大きさが大きいグレイン（Ｇｒａｉｎ）を有する有機発光表示装置。
2. ベース基板の一面上に非晶質シリコン層、前記非晶質シリコン層に絶縁されるように重畳する第１ゲート電極、及び前記第１ゲート電極に絶縁されるように重畳する第２ゲート電極を形成する段階と、
   前記ベース基板の他面から前記非晶質シリコンにレーザーを照射して前記非晶質シリコン層からポリシリコン層を形成する段階と、
   前記第２ゲート電極上に層間絶縁層を形成する段階と、
   前記第２ゲート電極をマスクとして利用して前記ポリシリコン層の一部分をイオンドーピングして第１イオンドーピング領域及び第２イオンドーピング領域を形成する段階と、
   前記第１イオンドーピング領域に連結されたソース電極及び前記第２イオンドーピング領域に連結されたドレーン電極を形成する段階と、
   前記ドレーン電極に連結された有機発光素子を形成する段階と、を含む有機発光表示装置製造方法。