JP2016076588A - 炭酸ガス溶解水供給システム、炭酸ガス溶解水供給方法、およびイオン交換装置 - Google Patents
炭酸ガス溶解水供給システム、炭酸ガス溶解水供給方法、およびイオン交換装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】純水または超純水に炭酸ガスを溶解させた炭酸ガス溶解水をユースポイント2に供給する炭酸ガス溶解水供給システム1は、炭酸ガス溶解水を生成する炭酸ガス溶解装置3と、炭酸ガス溶解水に含まれるイオン性不純物を除去するイオン交換装置4であって、重炭酸イオン形と炭酸イオン形とが混在するアニオン交換体が充填されたイオン交換装置4と、を有している。
【選択図】図1
Description
まず、本発明の第1の実施形態による炭酸ガス溶解水供給システムの構成について説明する。図1は、本実施形態の炭酸ガス溶解水供給システムの概略構成図である。
次に、本発明の第2の実施形態による炭酸ガス溶解水供給システムの構成について説明する。図2は、本実施形態の炭酸ガス溶解水供給システムの概略構成図である。以下、第1の実施形態と同様の構成については、図面に同じ符号を付してその説明を省略し、第1の実施形態と異なる構成のみ説明する。
次に、本発明の第3の実施形態による炭酸ガス溶解水供給システムの構成について説明する。図3は、本実施形態の炭酸ガス溶解水供給システムの概略構成図である。
次に、本発明の第4の実施形態による炭酸ガス溶解水供給システムの構成について説明する。図4は、本実施形態の炭酸ガス溶解水供給システムの概略構成図である。
次に、本発明の第5の実施形態による炭酸ガス溶解水供給システムの構成について説明する。図5は、本実施形態の炭酸ガス溶解水供給システムの概略構成図である。
次に、本発明の第6の実施形態による炭酸ガス溶解水供給システムの構成について説明する。図6は、本実施形態の炭酸ガス溶解水供給システムの概略構成図である。
2 ユースポイント
3 炭酸ガス溶解装置
4 イオン交換装置
5 溶存炭酸ガス計
6 制御部
7 精密ろ過膜装置
11 循環ライン
11a 循環停止弁
11b 補給弁
12 貯留タンク
13 循環ポンプ
14 供給ライン
14a 供給弁
15a,15b 純水または超純水補給ライン
16 還流ライン
20 洗浄装置
21 洗浄チャンバ
22 半導体ウエハ
23 薬液ノズル
24 リンス液ノズル
25,27 カップ
25a 切換弁
25b 廃液排出ライン
26 薬液供給装置
26a 薬液供給弁
26b 薬液供給ライン
28 合流ライン
30 脱気装置
31 水素ガス溶解装置
32 触媒反応装置
41 熱交換器
42 紫外線酸化装置
51 窒素ガス溶解装置
Claims (12)
- 純水または超純水に炭酸ガスを溶解させた炭酸ガス溶解水をユースポイントに供給する炭酸ガス溶解水供給システムであって、
前記炭酸ガス溶解水を生成する炭酸ガス溶解装置と、
前記炭酸ガス溶解水に含まれるイオン性不純物を除去するイオン交換装置であって、重炭酸イオン形と炭酸イオン形とが混在するアニオン交換体が充填されたイオン交換装置と、
を有する炭酸ガス溶解水供給システム。 - 前記炭酸ガス溶解装置と前記イオン交換装置とを含む循環経路に沿って前記炭酸ガス溶解水を循環させる循環手段と、
前記循環経路に沿って循環する前記炭酸ガス溶解水の一部を前記ユースポイントに供給する供給手段と、
を有する、請求項1に記載の炭酸ガス溶解水供給システム。 - 前記循環経路に設けられ、前記炭酸ガス溶解水中の溶存酸素を除去する脱気装置をさらに有する、請求項2に記載の炭酸ガス溶解水供給システム。
- 前記脱気装置が、前記炭酸ガス溶解水に水素を溶解させる水素ガス溶解装置と、前記水素が溶解した前記炭酸ガス溶解水と接触することで該炭酸ガス溶解水から前記溶存酸素を除去する白金族金属担持触媒を備えた触媒反応装置と、を有する、請求項3に記載の炭酸ガス溶解水供給システム。
- 前記白金族金属担持触媒が、白金族金属と、該白金族金属が担持されたアニオン交換体とから構成され、
前記アニオン交換体が、重炭酸イオン形のアニオン交換体、または、重炭酸イオン形と炭酸イオン形とが混在するアニオン交換体である、
請求項4に記載の炭酸ガス溶解水供給システム。 - 前記脱気装置が膜脱気装置である、請求項3に記載の炭酸ガス溶解水供給システム。
- 前記炭酸ガス溶解水に窒素を溶解させる窒素ガス溶解装置をさらに有する、請求項2から6のいずれか1項に記載の炭酸ガス溶解水供給システム。
- 前記ユースポイントに供給された前記炭酸ガス溶解水を前記循環経路に還流させる還流手段をさらに有する、請求項2から7のいずれか1項に記載の炭酸ガス溶解水供給システム。
- 前記イオン交換装置に充填された前記アニオン交換体の総イオン交換容量に対する、重炭酸イオン形のアニオン交換体のイオン交換容量の割合が、化学当量基準で、70当量%以上である、請求項1から8のいずれか1項に記載の炭酸ガス溶解水供給システム。
- 前記炭酸ガス溶解水の炭酸ガス濃度を測定する濃度測定手段と、
前記濃度測定手段により測定された前記炭酸ガス濃度に基づいて、前記炭酸ガス溶解装置の炭酸ガス溶解量を調整する制御手段と、
を有する、請求項1から9のいずれか1項に記載の炭酸ガス溶解水供給システム。 - 純水または超純水に炭酸ガスを溶解させた炭酸ガス溶解水をユースポイントに供給する炭酸ガス溶解水供給方法であって、
前記炭酸ガス溶解水を生成する工程と、
重炭酸イオン形と炭酸イオン形とが混在するアニオン交換体によるイオン交換処理により、前記炭酸ガス溶解水に含まれるイオン性不純物を除去する工程と、
を含む炭酸ガス溶解水供給方法。 - 純水または超純水に炭酸ガスを溶解させた炭酸ガス溶解水をユースポイントに供給する炭酸ガス溶解水供給システムに使用され、前記炭酸ガス溶解水に含まれるイオン性不純物を除去するイオン交換装置であって、重炭酸イオン形と炭酸イオン形とが混在するアニオン交換体が充填されたイオン交換装置。
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