JP2003144828A - 空気清浄化装置、空気清浄化方法、及び、空気清浄化装置用水質純化装置 - Google Patents
空気清浄化装置、空気清浄化方法、及び、空気清浄化装置用水質純化装置Info
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- JP2003144828A JP2003144828A JP2001348493A JP2001348493A JP2003144828A JP 2003144828 A JP2003144828 A JP 2003144828A JP 2001348493 A JP2001348493 A JP 2001348493A JP 2001348493 A JP2001348493 A JP 2001348493A JP 2003144828 A JP2003144828 A JP 2003144828A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ランニングコストの安価な空気清浄化装置や
方法を提供する。 【解決手段】 クリーンルームの排出空気を噴射水と接
触させて浄化するエアワッシャ−型の空気清浄化装置に
おいて、外気や排出空気と接触後凝縮させた回収水を、
強酸性カチオン交換樹脂を充填したカチオン交換樹脂と
弱塩基性アニオン交換樹脂からなるイオン交換樹脂で処
理して、空気中に含まれる不純物のうち、カチオン類、
及びＩＣ（無機炭酸）類以外のアニオン類を除去し回収
水を繰り返し噴射水として使用する。
方法を提供する。 【解決手段】 クリーンルームの排出空気を噴射水と接
触させて浄化するエアワッシャ−型の空気清浄化装置に
おいて、外気や排出空気と接触後凝縮させた回収水を、
強酸性カチオン交換樹脂を充填したカチオン交換樹脂と
弱塩基性アニオン交換樹脂からなるイオン交換樹脂で処
理して、空気中に含まれる不純物のうち、カチオン類、
及びＩＣ（無機炭酸）類以外のアニオン類を除去し回収
水を繰り返し噴射水として使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばクリーンル
ームや局所クリーントンネルやクリーンドラフトなどの
電子部品の製造工場で用いられる局所清浄化用の空気清
浄化方法、及び、空気清浄化装置および空気清浄化装置
用水質純化装置に係り、特にランニングコストが安価で
しかも汚染物質の除去能力は従来と同等の空気清浄化方
法、空気清浄化装置、及び空気清浄化装置用水質純化装
置に関する。
ームや局所クリーントンネルやクリーンドラフトなどの
電子部品の製造工場で用いられる局所清浄化用の空気清
浄化方法、及び、空気清浄化装置および空気清浄化装置
用水質純化装置に係り、特にランニングコストが安価で
しかも汚染物質の除去能力は従来と同等の空気清浄化方
法、空気清浄化装置、及び空気清浄化装置用水質純化装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】空気中の微量不純物を除去する装置とし
てエアーワッシャー方式の空気清浄化装置が知られてい
る。また、エアーワッシャー方式の空気清浄化装置にお
いて、エアーワッシャーに使用する水に純水を用いると
空気中の不純物が効果的に除去可能なことも知られてい
る［平成１０年４月１６日、１７日開催、第１６回空気
清浄とコンタミネーションコントロール大会、（Ａ−
２）エアーワッシャーの無機成分除去性能の実態調査、
（Ａ−３）エアーワッシャーによる大気中汚染物質の除
去（その２）除去効果におよぼす水質の影響等］。
てエアーワッシャー方式の空気清浄化装置が知られてい
る。また、エアーワッシャー方式の空気清浄化装置にお
いて、エアーワッシャーに使用する水に純水を用いると
空気中の不純物が効果的に除去可能なことも知られてい
る［平成１０年４月１６日、１７日開催、第１６回空気
清浄とコンタミネーションコントロール大会、（Ａ−
２）エアーワッシャーの無機成分除去性能の実態調査、
（Ａ−３）エアーワッシャーによる大気中汚染物質の除
去（その２）除去効果におよぼす水質の影響等］。
【０００３】例えば、特許第３１７２１４５号明細書に
は、クリーンルームの空気循環系にエアワッシャ−方式
の水質純化装置を組み込んだ空気清浄化装置が開示され
ている。このエアーワッシャー方式の空気清浄化装置で
は、空気流中に噴射された水滴は主として噴射による慣
性運動を主体とした動きにより空気中の不純物を捕捉
し、衝突などにより分裂された超微細水滴はブラウン運
動を主体とした動きにより空気中の不純物、特にイオン
性のガスを捕捉する。
は、クリーンルームの空気循環系にエアワッシャ−方式
の水質純化装置を組み込んだ空気清浄化装置が開示され
ている。このエアーワッシャー方式の空気清浄化装置で
は、空気流中に噴射された水滴は主として噴射による慣
性運動を主体とした動きにより空気中の不純物を捕捉
し、衝突などにより分裂された超微細水滴はブラウン運
動を主体とした動きにより空気中の不純物、特にイオン
性のガスを捕捉する。
【０００４】このようにして空気中の塵埃やガス状の汚
染物質を取り込んだ超微細水滴は冷却手段により凝縮除
去され、塵埃や汚染物質の除かれた空気が送り出され
る。冷却手段により凝縮された水は水再循環システムに
より回収され、途中に組み込まれた電気式脱イオン装置
に通されて浄化され、水噴射ノズルの供給水として再び
供給される。
染物質を取り込んだ超微細水滴は冷却手段により凝縮除
去され、塵埃や汚染物質の除かれた空気が送り出され
る。冷却手段により凝縮された水は水再循環システムに
より回収され、途中に組み込まれた電気式脱イオン装置
に通されて浄化され、水噴射ノズルの供給水として再び
供給される。
【０００５】しかし、この発明の装置では、回収水の汚
染物除去に電気式脱イオン化装置を使用するため、装置
コストが高くなるという問題がある。
染物除去に電気式脱イオン化装置を使用するため、装置
コストが高くなるという問題がある。
【０００６】特許第３１７２１４５号明細書には、従来
技術として、回収水の浄化にイオン交換樹脂を用いた装
置も紹介されているが、そこには、イオン交換樹脂を使
用する従来装置では非常に多量のイオン交換樹脂を必要
とするため装置の大型化は避けられず、非再生型のイオ
ン交換ボンベを用いると大量のボンベを頻繁に交換する
必要があり、ランニングコストが非常に高くなる、と記
載されている。
技術として、回収水の浄化にイオン交換樹脂を用いた装
置も紹介されているが、そこには、イオン交換樹脂を使
用する従来装置では非常に多量のイオン交換樹脂を必要
とするため装置の大型化は避けられず、非再生型のイオ
ン交換ボンベを用いると大量のボンベを頻繁に交換する
必要があり、ランニングコストが非常に高くなる、と記
載されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のエアーワッシャー方式の空気清浄化方法のうち、回収
水の汚染物除去に電気式脱イオン化装置を使用する方法
では、装置コストが高くなるという問題があった。ま
た、回収水の浄化にイオン交換樹脂を用いる方法では、
非常に多量のイオン交換樹脂を必要とするため装置の大
型化は避けられないという問題があり、非再生型のイオ
ン交換ボンベを用いたとしても大量のボンベを頻繁に交
換する必要があって、ランニングコストが非常に高くな
るという問題があった。
のエアーワッシャー方式の空気清浄化方法のうち、回収
水の汚染物除去に電気式脱イオン化装置を使用する方法
では、装置コストが高くなるという問題があった。ま
た、回収水の浄化にイオン交換樹脂を用いる方法では、
非常に多量のイオン交換樹脂を必要とするため装置の大
型化は避けられないという問題があり、非再生型のイオ
ン交換ボンベを用いたとしても大量のボンベを頻繁に交
換する必要があって、ランニングコストが非常に高くな
るという問題があった。
【０００８】本発明は、かかる従来のも課題を解決すべ
くなされたもので、装置を安価に構成することができ、
かつランニングコストを可及的に低く抑えることのでき
る空気浄化装置及びその空気浄化方法を提供することを
目的とする。
くなされたもので、装置を安価に構成することができ、
かつランニングコストを可及的に低く抑えることのでき
る空気浄化装置及びその空気浄化方法を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上述した問
題を解決すべく、前述した回収水の水質純化装置を用い
たエアーワッシャー方式の空気清浄化装置のうち、装置
コストの低いイオン交換樹脂を用いた空気浄化装置のラ
ンニングコストを低減すべく鋭意研究をすすめたとこ
ろ、多量のイオン交換樹脂を必要とする原因が回収水中
の二酸化炭素にあることを突き止めた。
題を解決すべく、前述した回収水の水質純化装置を用い
たエアーワッシャー方式の空気清浄化装置のうち、装置
コストの低いイオン交換樹脂を用いた空気浄化装置のラ
ンニングコストを低減すべく鋭意研究をすすめたとこ
ろ、多量のイオン交換樹脂を必要とする原因が回収水中
の二酸化炭素にあることを突き止めた。
【００１０】すなわち、空気流中に噴射された水滴は他
のイオン性ガスとともに空気中の炭酸ガスを吸収する
が、この炭酸ガスは水中で次のように反応してアニオン
である重炭酸イオン（ＨＣＯ3 - ）を生成する。 ＣＯ2 ＋Ｈ2 Ｏ → Ｈ+ ＋ ＨＣＯ3 -
のイオン性ガスとともに空気中の炭酸ガスを吸収する
が、この炭酸ガスは水中で次のように反応してアニオン
である重炭酸イオン（ＨＣＯ3 - ）を生成する。 ＣＯ2 ＋Ｈ2 Ｏ → Ｈ+ ＋ ＨＣＯ3 -
【００１１】従来の装置では、回収水中の重炭酸イオン
は、他のアニオンとともにイオン交換樹脂装置のアニオ
ン交換樹脂として用いられる強塩基性アニオン交換樹脂
に吸着除去され、浄化された回収水は再び空気流中に噴
射される。そして、噴射された微小水滴中には、再び他
のイオン性ガスとともに炭酸ガスが吸収され、この水滴
中に生成した重炭酸イオンは再び回収されて同様にして
強塩基性アニオン交換樹脂に吸着され、このサイクルに
より重炭酸イオンは急速にイオン交換樹脂に吸着されて
短期間でイオン交換樹脂の再生が必要になってしまう。
は、他のアニオンとともにイオン交換樹脂装置のアニオ
ン交換樹脂として用いられる強塩基性アニオン交換樹脂
に吸着除去され、浄化された回収水は再び空気流中に噴
射される。そして、噴射された微小水滴中には、再び他
のイオン性ガスとともに炭酸ガスが吸収され、この水滴
中に生成した重炭酸イオンは再び回収されて同様にして
強塩基性アニオン交換樹脂に吸着され、このサイクルに
より重炭酸イオンは急速にイオン交換樹脂に吸着されて
短期間でイオン交換樹脂の再生が必要になってしまう。
【００１２】このように、二酸化炭素はイオン性ガスと
比較すると非常に多量に空気中に存在するため他のイオ
ン性ガスに比べて多量に水滴中に吸収されて強塩基性ア
ニオン交換樹脂にとって非常に大きい負荷となり、結果
として多量のイオン交換樹脂を必要としていたのであ
る。このような重炭酸イオンによる負荷の問題は、アニ
オン交換樹脂として、重炭酸イオンを吸着しない弱塩基
性アニオン交換樹脂を用いることにより解決可能であ
る。そして、弱塩基性アニオン交換樹脂は、クリーンル
ームへの供給空気から除去しなければならない反応性の
酸の残基である塩素イオン、硫酸イオン、硝酸イオン、
フッ素イオン、リン酸イオン等は吸着除去するから、回
収水を浄化するイオン交換樹脂のアニオン交換樹脂とし
て用いても水質純化装置の性能が劣るようなこともな
い。
比較すると非常に多量に空気中に存在するため他のイオ
ン性ガスに比べて多量に水滴中に吸収されて強塩基性ア
ニオン交換樹脂にとって非常に大きい負荷となり、結果
として多量のイオン交換樹脂を必要としていたのであ
る。このような重炭酸イオンによる負荷の問題は、アニ
オン交換樹脂として、重炭酸イオンを吸着しない弱塩基
性アニオン交換樹脂を用いることにより解決可能であ
る。そして、弱塩基性アニオン交換樹脂は、クリーンル
ームへの供給空気から除去しなければならない反応性の
酸の残基である塩素イオン、硫酸イオン、硝酸イオン、
フッ素イオン、リン酸イオン等は吸着除去するから、回
収水を浄化するイオン交換樹脂のアニオン交換樹脂とし
て用いても水質純化装置の性能が劣るようなこともな
い。
【００１３】一方、本発明者が、外気中の不純物濃度と
空気清浄化装置を通過したクリーンルーム内の不純物濃
度とを測定したところ、表１のような結果が得られた。
空気清浄化装置を通過したクリーンルーム内の不純物濃
度とを測定したところ、表１のような結果が得られた。
【００１４】
【表１】
【００１５】この表から、外気中には反応性のガスであ
るアンモニアに由来するＮＨ4 + が他のイオン成分と比
べて非常に高い濃度で含まれていることがわかる。ＮＨ
4 +は、弱酸性カチオン交換樹脂には吸着されず強酸性
カチオン交換樹脂にのみ吸着されるから、カチオン交換
樹脂としては、ＮＨ4 + を吸着できる強酸性カチオン交
換樹脂を用いることが望ましい。
るアンモニアに由来するＮＨ4 + が他のイオン成分と比
べて非常に高い濃度で含まれていることがわかる。ＮＨ
4 +は、弱酸性カチオン交換樹脂には吸着されず強酸性
カチオン交換樹脂にのみ吸着されるから、カチオン交換
樹脂としては、ＮＨ4 + を吸着できる強酸性カチオン交
換樹脂を用いることが望ましい。
【００１６】本発明は、これらの知見に基いてなされた
もので、エアーワッシャー方式の空気清浄化装置の回収
水の水質純化装置として、強酸性カチオン交換樹脂と弱
塩基性アニオン交換樹脂とを組み合わせたイオン交換樹
脂を用いることにより前述した従来の問題を解消したも
のである。
もので、エアーワッシャー方式の空気清浄化装置の回収
水の水質純化装置として、強酸性カチオン交換樹脂と弱
塩基性アニオン交換樹脂とを組み合わせたイオン交換樹
脂を用いることにより前述した従来の問題を解消したも
のである。
【００１７】上記目的を達成するため、本発明に係る空
気清浄化方法は、空気中に噴射された水滴に不純物を捕
捉させ、不純物を捕捉した前記水滴を冷却して凝縮水と
して回収し噴射水として再利用するエアーワッシャー方
式の空気清浄化方法において、前記凝縮水を、強酸性カ
チオン交換樹脂と弱塩基性アニオン交換樹脂とを具備し
た水質純化装置で処理して、前記凝縮水中に溶存する汚
染物質を除去してから噴射水として再利用することを特
徴とする。
気清浄化方法は、空気中に噴射された水滴に不純物を捕
捉させ、不純物を捕捉した前記水滴を冷却して凝縮水と
して回収し噴射水として再利用するエアーワッシャー方
式の空気清浄化方法において、前記凝縮水を、強酸性カ
チオン交換樹脂と弱塩基性アニオン交換樹脂とを具備し
た水質純化装置で処理して、前記凝縮水中に溶存する汚
染物質を除去してから噴射水として再利用することを特
徴とする。
【００１８】本発明による空気清浄装置は、クリーンル
ームと、前記クリーンルームからの空気を排出させ、前
記クリーンルーム内に清浄化空気を送る空気供給系と、
前記空気供給系の途中に配設され、前記クリーンルーム
に供給される空気と噴射された水滴とを接触させて前記
空気中の汚染物質を除去する水洗浄系と、前記水洗浄系
で前記クリーンルームに供給される空気と接触した処理
水を強酸性カチオン交換樹脂、及び、弱塩基性アニオン
交換樹脂と接触させることによりイオン成分を除去する
水質純化ユニットとを具備することを特徴とする。
ームと、前記クリーンルームからの空気を排出させ、前
記クリーンルーム内に清浄化空気を送る空気供給系と、
前記空気供給系の途中に配設され、前記クリーンルーム
に供給される空気と噴射された水滴とを接触させて前記
空気中の汚染物質を除去する水洗浄系と、前記水洗浄系
で前記クリーンルームに供給される空気と接触した処理
水を強酸性カチオン交換樹脂、及び、弱塩基性アニオン
交換樹脂と接触させることによりイオン成分を除去する
水質純化ユニットとを具備することを特徴とする。
【００１９】上記空気清浄化装置において、前記水質純
化ユニットの例として、前記強酸性カチオン交換樹脂を
含むカチオン交換樹脂カラムと、前記カチオン交換樹脂
カラムの処理水移動方向下流側に配設された前記アニオ
ン交換樹脂を含む弱塩基性アニオン交換樹脂カラムとを
含む装置を挙げることができる。
化ユニットの例として、前記強酸性カチオン交換樹脂を
含むカチオン交換樹脂カラムと、前記カチオン交換樹脂
カラムの処理水移動方向下流側に配設された前記アニオ
ン交換樹脂を含む弱塩基性アニオン交換樹脂カラムとを
含む装置を挙げることができる。
【００２０】上記空気清浄化装置において、前記水質純
化ユニットの他の例として、前記弱塩基性アニオン交換
樹脂を含む弱塩基性アニオン交換樹脂カラムと、前記ア
ニオン交換樹脂カラムの処理水移動方向下流側に配設さ
れた前記強酸性カチオン交換樹脂を含むカチオン交換樹
脂カラムとを含む装置を挙げることができる。
化ユニットの他の例として、前記弱塩基性アニオン交換
樹脂を含む弱塩基性アニオン交換樹脂カラムと、前記ア
ニオン交換樹脂カラムの処理水移動方向下流側に配設さ
れた前記強酸性カチオン交換樹脂を含むカチオン交換樹
脂カラムとを含む装置を挙げることができる。
【００２１】上記空気清浄化装置において、前記水質純
化ユニットの更に他の例として、前記カチオン交換樹
脂、及び、前記弱塩基性アニオン交換樹脂を含む混床カ
ラムを備えたものを挙げることができる。
化ユニットの更に他の例として、前記カチオン交換樹
脂、及び、前記弱塩基性アニオン交換樹脂を含む混床カ
ラムを備えたものを挙げることができる。
【００２２】上記空気清浄化装置において、前記弱塩基
性アニオン交換樹脂の例として、Ｎａ2 ＣＯ3 再生型の
アニオン交換樹脂を挙げることができる。
性アニオン交換樹脂の例として、Ｎａ2 ＣＯ3 再生型の
アニオン交換樹脂を挙げることができる。
【００２３】本発明の空気清浄化装置用水質純化装置
は、イオン交換樹脂を収容する第１の容器と、前記第１
の容器内に処理水を通すための第１の処理水流路と、前
記第１の容器内に収容された強酸性カチオン交換樹脂
と、前記第１の容器の処理水移動方向下流側に配設され
た、イオン交換樹脂を収容する第２の容器と、前記第２
の容器内に処理水を通すための第２の処理水流路と、前
記第２の容器内に収容された弱塩基性アニオン交換樹脂
と、前記第１の処理水流路と前記第２の処理水流路とを
繋ぐ配管と、を含むことを特徴とする。
は、イオン交換樹脂を収容する第１の容器と、前記第１
の容器内に処理水を通すための第１の処理水流路と、前
記第１の容器内に収容された強酸性カチオン交換樹脂
と、前記第１の容器の処理水移動方向下流側に配設され
た、イオン交換樹脂を収容する第２の容器と、前記第２
の容器内に処理水を通すための第２の処理水流路と、前
記第２の容器内に収容された弱塩基性アニオン交換樹脂
と、前記第１の処理水流路と前記第２の処理水流路とを
繋ぐ配管と、を含むことを特徴とする。
【００２４】本発明の他の空気清浄化装置用水質純化装
置は、イオン交換樹脂を収容する第１の容器と、前記第
１の容器内に処理水を通すための第１の処理水流路と、
前記第１の容器内に収容された弱塩基性アニオン交換樹
脂と、前記第１の容器の処理水移動方向下流側に配設さ
れた、イオン交換樹脂を収容する第２の容器と、前記第
２の容器内に処理水を通すための第２の処理水流路と、
前記第２の容器内に収容された強酸性カチオン交換樹脂
と、前記第１の処理水流路と前記第２の処理水流路とを
繋ぐ配管と、を含むことを特徴とする。
置は、イオン交換樹脂を収容する第１の容器と、前記第
１の容器内に処理水を通すための第１の処理水流路と、
前記第１の容器内に収容された弱塩基性アニオン交換樹
脂と、前記第１の容器の処理水移動方向下流側に配設さ
れた、イオン交換樹脂を収容する第２の容器と、前記第
２の容器内に処理水を通すための第２の処理水流路と、
前記第２の容器内に収容された強酸性カチオン交換樹脂
と、前記第１の処理水流路と前記第２の処理水流路とを
繋ぐ配管と、を含むことを特徴とする。
【００２５】本発明の更に他の空気清浄化装置用水質純
化装置は、イオン交換樹脂を収容する容器と、前記容器
内に処理水を通すための処理水流路と、前記容器内に収
容された強酸性カチオン交換樹脂と、前記容器内に収容
された弱塩基性アニオン交換樹脂と、を含むことを特徴
とする。
化装置は、イオン交換樹脂を収容する容器と、前記容器
内に処理水を通すための処理水流路と、前記容器内に収
容された強酸性カチオン交換樹脂と、前記容器内に収容
された弱塩基性アニオン交換樹脂と、を含むことを特徴
とする。
【００２６】上記空気清浄化装置において、前記水質純
化装置のイオン交換樹脂の劣化度を管理する管理モニタ
を更に具備していてもよい。
化装置のイオン交換樹脂の劣化度を管理する管理モニタ
を更に具備していてもよい。
【００２７】（作用）本発明においては、エアーワッシ
ャー方式により、噴射された噴射水は、空気流中で、不
純物である微小粒子を捕捉するとともに反応性ガスや二
酸化炭素を溶解させて回収される。回収水中のＮ
Ｈ４ + 、Ｎａ+ 、Ｋ+ 、Ｃａ++等のカチオンは全て強酸
性カチオン交換樹脂に吸着され、このとき強酸性カチオ
ン交換樹脂から放出されるＨ+ の影響でｐＨは５〜６程
度の弱酸性となり、二酸化炭素は重炭酸イオンにまで解
離する。ｐＨは５〜６程度の弱酸性下では、二酸化炭素
の重炭酸イオンへの解離はｐＨ７のときの１／１０程度
にまで、低下する。
ャー方式により、噴射された噴射水は、空気流中で、不
純物である微小粒子を捕捉するとともに反応性ガスや二
酸化炭素を溶解させて回収される。回収水中のＮ
Ｈ４ + 、Ｎａ+ 、Ｋ+ 、Ｃａ++等のカチオンは全て強酸
性カチオン交換樹脂に吸着され、このとき強酸性カチオ
ン交換樹脂から放出されるＨ+ の影響でｐＨは５〜６程
度の弱酸性となり、二酸化炭素は重炭酸イオンにまで解
離する。ｐＨは５〜６程度の弱酸性下では、二酸化炭素
の重炭酸イオンへの解離はｐＨ７のときの１／１０程度
にまで、低下する。
【００２８】一方、Ｃｌ− 、ＳＯ４ −、ＮＯ３ −等の
アニオンは弱塩基性アニオン交換樹脂に吸着除去される
が重炭酸イオンは弱塩基性アニオン交換樹脂に吸着され
ないので弱塩基性アニオン交換樹脂の負荷とはならず、
回収水中にアニオンとしてそのまま残留する。このとき
噴射水中には平衡量の二酸化炭素も溶解している。
アニオンは弱塩基性アニオン交換樹脂に吸着除去される
が重炭酸イオンは弱塩基性アニオン交換樹脂に吸着され
ないので弱塩基性アニオン交換樹脂の負荷とはならず、
回収水中にアニオンとしてそのまま残留する。このとき
噴射水中には平衡量の二酸化炭素も溶解している。
【００２９】重炭酸イオンと二酸化炭素を含む浄化水
は、噴射水として噴射ノズルから再び空気流中に噴射さ
れて空気流中のイオン成分を溶解するが、空気中の炭酸
ガスは噴射水中にすでに炭酸ガスと重炭酸イオンが溶解
しているので、吸収量は少なくなり、空気中の二酸化炭
素濃度と噴射水中の二酸化炭素濃度、重炭酸イオン濃度
が平衡に達したところで空気中の二酸化炭素は噴射水中
へ溶解しなくなる。
は、噴射水として噴射ノズルから再び空気流中に噴射さ
れて空気流中のイオン成分を溶解するが、空気中の炭酸
ガスは噴射水中にすでに炭酸ガスと重炭酸イオンが溶解
しているので、吸収量は少なくなり、空気中の二酸化炭
素濃度と噴射水中の二酸化炭素濃度、重炭酸イオン濃度
が平衡に達したところで空気中の二酸化炭素は噴射水中
へ溶解しなくなる。
【００３０】したがって、本発明の水質純化装置では、
二酸化炭素はイオン交換樹脂の負荷とはならず、イオン
交換樹脂の使用量を大幅に削減できるとともに再生のサ
イクルを長くすることができ、ランニングコストを従来
品の十分の一以下程度にまで低く抑えることができる。
二酸化炭素はイオン交換樹脂の負荷とはならず、イオン
交換樹脂の使用量を大幅に削減できるとともに再生のサ
イクルを長くすることができ、ランニングコストを従来
品の十分の一以下程度にまで低く抑えることができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。本発明は、その要旨を
逸脱しない限度内において本実施の形態に限定されるも
のではない。
の実施の形態について説明する。本発明は、その要旨を
逸脱しない限度内において本実施の形態に限定されるも
のではない。
【００３２】図１は、本発明の空気清浄化システムの一
実施形態を概略的に示す図である。
実施形態を概略的に示す図である。
【００３３】空気清浄化装置１の空気ダクト２の空気取
入口近傍には除塵のためのプレフィルタ３が装着され、
その下流にエアーワッシャー４が配置されている。エア
ーワッシャー４は、噴射ノズル４ａを多数の噴射口を上
流側に向けて配置するとともに、この噴射ノズル４ａの
噴射口に対向してミスト衝突板からなるミストトラップ
４ｂを配置して構成されている。
入口近傍には除塵のためのプレフィルタ３が装着され、
その下流にエアーワッシャー４が配置されている。エア
ーワッシャー４は、噴射ノズル４ａを多数の噴射口を上
流側に向けて配置するとともに、この噴射ノズル４ａの
噴射口に対向してミスト衝突板からなるミストトラップ
４ｂを配置して構成されている。
【００３４】エアーワッシャー４の下流には、ほぼ１０
０％ＲＨの空気を冷却して除湿するエリミネータ５が設
置されている。さらにその下流の出口近傍には、空気ダ
クト２内に例えば５ｍ／秒以上の空気流を生じさせる送
気ファン６が設置されている。エアーワッシャー４とエ
リミネータ５の下方には、凝縮水を受けるバッファタン
ク７が設置されている。
０％ＲＨの空気を冷却して除湿するエリミネータ５が設
置されている。さらにその下流の出口近傍には、空気ダ
クト２内に例えば５ｍ／秒以上の空気流を生じさせる送
気ファン６が設置されている。エアーワッシャー４とエ
リミネータ５の下方には、凝縮水を受けるバッファタン
ク７が設置されている。
【００３５】バッファタンク７には、バッファタンク７
内の凝縮水を循環しつつ清浄化する純水供給ライン８
と、エアーワッシャー４の水噴霧ノズル４ａの給水管９
に噴射水を供給する噴射水給水ライン１０が設けられて
いる。
内の凝縮水を循環しつつ清浄化する純水供給ライン８
と、エアーワッシャー４の水噴霧ノズル４ａの給水管９
に噴射水を供給する噴射水給水ライン１０が設けられて
いる。
【００３６】空気清浄化装置１のエアーワッシャー４と
エリミネータ５の下方に設置された、バッファタンク７
には、純水供給ライン８と、エアーワッシャー４の水噴
霧ノズル４ａの給水管９に噴射水を供給する噴射水給水
ライン１０が設けられている。
エリミネータ５の下方に設置された、バッファタンク７
には、純水供給ライン８と、エアーワッシャー４の水噴
霧ノズル４ａの給水管９に噴射水を供給する噴射水給水
ライン１０が設けられている。
【００３７】本実施形態においては、純水供給ライン８
は、ポンプ１１、フィルタ１６、水質純化ユニット３
０、これらの構成機器を連結する配管１７から構成され
ている。純水供給ライン８は、ポンプ１１、紫外線殺菌
装置１４、水質純化ユニット３０、フィルタ１６及びこ
れらの構成機器を連結する配管１７から構成されてい
る。
は、ポンプ１１、フィルタ１６、水質純化ユニット３
０、これらの構成機器を連結する配管１７から構成され
ている。純水供給ライン８は、ポンプ１１、紫外線殺菌
装置１４、水質純化ユニット３０、フィルタ１６及びこ
れらの構成機器を連結する配管１７から構成されてい
る。
【００３８】噴射水給水ライン１０は、ポンプ１８、冷
却器１９及びこれらを連結するとともに給水管９に連結
する配管２０から構成されている。
却器１９及びこれらを連結するとともに給水管９に連結
する配管２０から構成されている。
【００３９】次に本実施形態に係る水質純化ユニット３
０について説明する。図２は本実施形態に係る水質純化
ユニット３０の構造を模式的に示した図である。図２に
示したように本実施形態に係る水質純化ユニット３０で
は、配管３１に三本のボンベ状のカラム３２ａ〜３２ｃ
が直列に接続された構造となっている。
０について説明する。図２は本実施形態に係る水質純化
ユニット３０の構造を模式的に示した図である。図２に
示したように本実施形態に係る水質純化ユニット３０で
は、配管３１に三本のボンベ状のカラム３２ａ〜３２ｃ
が直列に接続された構造となっている。
【００４０】それぞれのカラム３２は活性炭カラム３２
ａ、カチオン交換樹脂カラム３２ｂ、及びアニオン交換
樹脂カラム３２ｃである。なお活性炭カラム３２ａは省
略してもよい。
ａ、カチオン交換樹脂カラム３２ｂ、及びアニオン交換
樹脂カラム３２ｃである。なお活性炭カラム３２ａは省
略してもよい。
【００４１】カチオン交換樹脂カラム３２ｂには強酸性
カチオン交換樹脂が充填されている。このカチオン交換
樹脂カラム３２ｂ内の強酸性カチオン交換樹脂は、凝縮
水中に含まれるＮＨ4 +、Ｃａ2+、Ｎａ+、Ｆｅ3+、Ｍｇ
+ などのカチオン類、特にアンモニアに由来するＮＨ4 +
を除去する。
カチオン交換樹脂が充填されている。このカチオン交換
樹脂カラム３２ｂ内の強酸性カチオン交換樹脂は、凝縮
水中に含まれるＮＨ4 +、Ｃａ2+、Ｎａ+、Ｆｅ3+、Ｍｇ
+ などのカチオン類、特にアンモニアに由来するＮＨ4 +
を除去する。
【００４２】一方、アニオン交換樹脂カラム３２ｃ内に
は弱塩基性アニオン交換樹脂が充填されている。弱塩基
性アニオン交換樹脂は、処理水中の重炭酸イオンを除去
しないで、それ以外の反応性の無機酸イオン、即ちフッ
素イオン、塩素イオン、硫酸イオン、燐酸イオン等を吸
着除去する。
は弱塩基性アニオン交換樹脂が充填されている。弱塩基
性アニオン交換樹脂は、処理水中の重炭酸イオンを除去
しないで、それ以外の反応性の無機酸イオン、即ちフッ
素イオン、塩素イオン、硫酸イオン、燐酸イオン等を吸
着除去する。
【００４３】それぞれのカラム３２内には長手方向中心
部に導水管３３が配設されており、この導水管３３の回
りに活性炭粒子やビーズ状のイオン交換樹脂粒子が充填
された構造となっている。
部に導水管３３が配設されており、この導水管３３の回
りに活性炭粒子やビーズ状のイオン交換樹脂粒子が充填
された構造となっている。
【００４４】各カラム３２では前記導水管３３により一
旦カラム３２の底部に処理水が送られ、この処理水が水
圧により押し上げられる際に導水管３３とカラム内壁と
の間に充填された活性炭粒子やイオン交換樹脂粒子と接
触して処理水中の汚染物類が除去され、カラム外へ導出
される構造となっている。
旦カラム３２の底部に処理水が送られ、この処理水が水
圧により押し上げられる際に導水管３３とカラム内壁と
の間に充填された活性炭粒子やイオン交換樹脂粒子と接
触して処理水中の汚染物類が除去され、カラム外へ導出
される構造となっている。
【００４５】また、アニオン交換樹脂カラム３２ｃと接
続された配管３１のうち、下流側の配管３１にはｐＨモ
ニタ３４が配設されている。カチオン交換樹脂カラム３
２ｂやアニオン交換樹脂カラム３２ｃのイオン交換樹脂
のイオン交換能力が低下すると、このアニオン交換樹脂
カラム３２ｃの下流側に流出する処理水のｐＨが変化す
る。この原理を応用して、アニオン交換樹脂カラム３２
ｃでイオン交換された処理水のｐＨ値を監視することに
より、アニオン交換樹脂カラム３２ｃのイオン交換能力
の低下やカラム３２の交換時期を高精度にモニタリング
できるようになっている。
続された配管３１のうち、下流側の配管３１にはｐＨモ
ニタ３４が配設されている。カチオン交換樹脂カラム３
２ｂやアニオン交換樹脂カラム３２ｃのイオン交換樹脂
のイオン交換能力が低下すると、このアニオン交換樹脂
カラム３２ｃの下流側に流出する処理水のｐＨが変化す
る。この原理を応用して、アニオン交換樹脂カラム３２
ｃでイオン交換された処理水のｐＨ値を監視することに
より、アニオン交換樹脂カラム３２ｃのイオン交換能力
の低下やカラム３２の交換時期を高精度にモニタリング
できるようになっている。
【００４６】次に処理水の流れについて説明する。エア
ーワッシャー４の噴射ノズル４ａから空気中に噴射され
た超純水は微細化されてミストＭとなり、この状態で空
気中の塵埃やガス状の汚染物質を取り込む。ミストＭ
は、凝縮してバッファタンク７中に流下する。
ーワッシャー４の噴射ノズル４ａから空気中に噴射され
た超純水は微細化されてミストＭとなり、この状態で空
気中の塵埃やガス状の汚染物質を取り込む。ミストＭ
は、凝縮してバッファタンク７中に流下する。
【００４７】塵埃やガス状の汚染物質の除去された空気
は、空気ダクト１の排気口から排出され、クリーンルー
ムに送られる。バッファタンク７内の凝縮水の一部は、
ポンプ１１で純水供給ライン８を循環して不純物濃度を
低下させられた後、バッファタンク７へ戻される。純水
供給ライン８に入った凝縮水は、フィルタ１６で微粒子
を除去されてから、水質純化ユニット３０に導入され
る。凝縮水中のカチオン成分は、まず強酸性カチオン交
換樹脂カラム３２ｂ内の強酸性カチオン交換樹脂層に捕
捉される。次いで、弱塩基性アニオン交換樹脂カラム３
２ｃ内に流入し、ここで凝縮水中の炭酸イオンや重炭酸
イオンなどのＩＣ（無機炭酸）以外のアニオン成分は弱
塩基性アニオン交換樹脂層に捕捉されて配管３１に達す
る。
は、空気ダクト１の排気口から排出され、クリーンルー
ムに送られる。バッファタンク７内の凝縮水の一部は、
ポンプ１１で純水供給ライン８を循環して不純物濃度を
低下させられた後、バッファタンク７へ戻される。純水
供給ライン８に入った凝縮水は、フィルタ１６で微粒子
を除去されてから、水質純化ユニット３０に導入され
る。凝縮水中のカチオン成分は、まず強酸性カチオン交
換樹脂カラム３２ｂ内の強酸性カチオン交換樹脂層に捕
捉される。次いで、弱塩基性アニオン交換樹脂カラム３
２ｃ内に流入し、ここで凝縮水中の炭酸イオンや重炭酸
イオンなどのＩＣ（無機炭酸）以外のアニオン成分は弱
塩基性アニオン交換樹脂層に捕捉されて配管３１に達す
る。
【００４８】このようにして、凝縮水は強酸性カチオン
交換樹脂カラム３２ｂと弱塩基性アニオン交換樹脂カラ
ム３２ｃを通過する間にイオン成分を取り除かれる。
交換樹脂カラム３２ｂと弱塩基性アニオン交換樹脂カラ
ム３２ｃを通過する間にイオン成分を取り除かれる。
【００４９】水質純化ユニット３０を通過して不純物濃
度を下げられた凝縮水は、配管１７を通ってバッファタ
ンク７へ戻され、再び噴射水給水ライン１０でエアーワ
ッシャー４の水噴霧ノズル４ａの給水管９に噴射水とし
て供給される。
度を下げられた凝縮水は、配管１７を通ってバッファタ
ンク７へ戻され、再び噴射水給水ライン１０でエアーワ
ッシャー４の水噴霧ノズル４ａの給水管９に噴射水とし
て供給される。
【００５０】（実施例１）以下、本発明に係る実施例に
ついて説明する。本実施例では、図１に示した空気清浄
化システムを用いて、外気を取り込み、この取り込んだ
外気からクリーンルーム用の空気を得る場合について実
験を行った。結果を表２に示す。
ついて説明する。本実施例では、図１に示した空気清浄
化システムを用いて、外気を取り込み、この取り込んだ
外気からクリーンルーム用の空気を得る場合について実
験を行った。結果を表２に示す。
【００５１】
【表２】
【００５２】この表３が示すように、本実施形態に係る
空気清浄化システムを用いて取り込んだ外気からクリー
ンルーム用のクリーンエアを得た場合、水質純化装置で
は、ＮＨ4 + 、Ｃａ2+、Ｎａ+ 、Ｆｅ3+、Ｍｇ+ などの
カチオン類はいずれも１％以下になるまで除去されてい
る。特にＮＨ4 + については大半が除去されている。
空気清浄化システムを用いて取り込んだ外気からクリー
ンルーム用のクリーンエアを得た場合、水質純化装置で
は、ＮＨ4 + 、Ｃａ2+、Ｎａ+ 、Ｆｅ3+、Ｍｇ+ などの
カチオン類はいずれも１％以下になるまで除去されてい
る。特にＮＨ4 + については大半が除去されている。
【００５３】一方、アニオン類については、塩素イオ
ン、硫酸イオン及び燐酸イオンはいずれも１％以下にな
るまで除去されており、硝酸イオンについても３．５％
になるまで除去されている。
ン、硫酸イオン及び燐酸イオンはいずれも１％以下にな
るまで除去されており、硝酸イオンについても３．５％
になるまで除去されている。
【００５４】その反面、炭酸イオンや重炭酸イオンなど
のＩＣ（無機炭酸）としては、含有量は殆ど減っておら
ず、本実施例に係る水質純化装置ではＩＣ（無機炭酸）
類は実質的に除去されていない。この表３の結果から、
本実施例に係る水質純化装置では所望の不純物だけが除
去されており、除去する必要のないＩＣ（無機炭酸）類
は実質的に除去されていないことが判明した。
のＩＣ（無機炭酸）としては、含有量は殆ど減っておら
ず、本実施例に係る水質純化装置ではＩＣ（無機炭酸）
類は実質的に除去されていない。この表３の結果から、
本実施例に係る水質純化装置では所望の不純物だけが除
去されており、除去する必要のないＩＣ（無機炭酸）類
は実質的に除去されていないことが判明した。
【００５５】（比較例）以下、本発明の比較例について
説明する。本比較例では、強酸性カチオン交換樹脂カラ
ム及び強アニオン交換樹脂カラムで水質純化する水質純
化ユニットを備えた従来型の空気清浄化装置を用いてク
リーンルーム用のクリーンエアを取り込んだ外気から生
成した。表３と表４に分析結果を示した。表３は外気中
に含まれる不純物濃度と、従来型の空気清浄化装置を用
いた場合のクリーンルーム内の空気中の不純物濃度とを
示した表である。表４は、上記従来型の水質純化ユニッ
トの入口と出口とでそれぞれサンプリングした試料水の
分析結果を示した表である。
説明する。本比較例では、強酸性カチオン交換樹脂カラ
ム及び強アニオン交換樹脂カラムで水質純化する水質純
化ユニットを備えた従来型の空気清浄化装置を用いてク
リーンルーム用のクリーンエアを取り込んだ外気から生
成した。表３と表４に分析結果を示した。表３は外気中
に含まれる不純物濃度と、従来型の空気清浄化装置を用
いた場合のクリーンルーム内の空気中の不純物濃度とを
示した表である。表４は、上記従来型の水質純化ユニッ
トの入口と出口とでそれぞれサンプリングした試料水の
分析結果を示した表である。
【００５６】
【表３】
【表４】
【００５７】これらの表３及び表４に示されたように、
従来型の水質純化ユニットでは除去する必要のないＩＣ
（無機炭酸）類まで他のイオンと同様に除去されてい
る。
従来型の水質純化ユニットでは除去する必要のないＩＣ
（無機炭酸）類まで他のイオンと同様に除去されてい
る。
【００５８】表１〜３から明らかなように、本実施例の
空気清浄化システムによれば強酸性カチオン交換樹脂カ
ラム及び強アニオン交換樹脂カラムからなる水質純化ユ
ニットの代わりに強酸性カチオン交換樹脂カラム及び弱
塩基性アニオン交換樹脂カラムからなる水質純化ユニッ
ト３０を使用することで、イオン交換樹脂の寿命を大幅
に伸長させることができる。
空気清浄化システムによれば強酸性カチオン交換樹脂カ
ラム及び強アニオン交換樹脂カラムからなる水質純化ユ
ニットの代わりに強酸性カチオン交換樹脂カラム及び弱
塩基性アニオン交換樹脂カラムからなる水質純化ユニッ
ト３０を使用することで、イオン交換樹脂の寿命を大幅
に伸長させることができる。
【００５９】強アニオン交換樹脂を用いる従来型の空気
清浄化装置と比較すると、空気中の二酸化炭素に由来す
るＩＣ（無機炭酸）類をアニオンとしてイオン交換しな
いため、ＩＣ（無機炭酸）除去量が約１／４０と著しく
低下する。従ってイオン交換樹脂カラムの寿命が伸長
し、イオン交換樹脂カラムの交換費用に由来するランニ
ングコストを少なくとも約１／１０程度にまで低下させ
ることができる。
清浄化装置と比較すると、空気中の二酸化炭素に由来す
るＩＣ（無機炭酸）類をアニオンとしてイオン交換しな
いため、ＩＣ（無機炭酸）除去量が約１／４０と著しく
低下する。従ってイオン交換樹脂カラムの寿命が伸長
し、イオン交換樹脂カラムの交換費用に由来するランニ
ングコストを少なくとも約１／１０程度にまで低下させ
ることができる。
【００６０】（第２の実施形態）本実施形態に係る空気
清浄処理システムでは、活性炭（ＡＣ）ボンベ＋弱塩基
性アニオン交換樹脂（ＷＡ）ボンベ＋強酸性カチオン交
換樹脂（ＳＣ）ボンベと並び替えた構成とした。本実施
形態においても上記実施例１と同様の結果を得た。
清浄処理システムでは、活性炭（ＡＣ）ボンベ＋弱塩基
性アニオン交換樹脂（ＷＡ）ボンベ＋強酸性カチオン交
換樹脂（ＳＣ）ボンベと並び替えた構成とした。本実施
形態においても上記実施例１と同様の結果を得た。
【００６１】（第３の実施形態）本実施形態に係る空気
清浄処理システムでは、カチオン交換樹脂カラム３２ｂ
とアニオン交換樹脂カラム３２ｃの二本のセパレート型
カラムを用いる代わりに一本のカラム内に強酸性カチオ
ン交換樹脂と弱塩基性アニオン交換樹脂との両方が充填
された、いわゆる混床型カラムを用いた以外は上記第一
の実施形態と同様の構成とした。
清浄処理システムでは、カチオン交換樹脂カラム３２ｂ
とアニオン交換樹脂カラム３２ｃの二本のセパレート型
カラムを用いる代わりに一本のカラム内に強酸性カチオ
ン交換樹脂と弱塩基性アニオン交換樹脂との両方が充填
された、いわゆる混床型カラムを用いた以外は上記第一
の実施形態と同様の構成とした。
【００６２】本実施形態に係る空気清浄処理システム
は、水質純化ユニット３０内には活性炭カラム３２ａと
混床型カラム３２ｄの二本のカラムが配設された構造を
備えている。このように混床型カラム３２ｄを用いた場
合には空気清浄処理システム自体の大きさを小型化でき
るというスペース的なメリットが得られる。また、空気
浄化能力についても十分な処理能力を備えている。本実
施形態においても上記実施例１と同様の結果が得られ
た。
は、水質純化ユニット３０内には活性炭カラム３２ａと
混床型カラム３２ｄの二本のカラムが配設された構造を
備えている。このように混床型カラム３２ｄを用いた場
合には空気清浄処理システム自体の大きさを小型化でき
るというスペース的なメリットが得られる。また、空気
浄化能力についても十分な処理能力を備えている。本実
施形態においても上記実施例１と同様の結果が得られ
た。
【００６３】
【発明の効果】本発明によれば、エアーワッシャー方式
で空気清浄化するにあたり、水質純化装置として強酸性
カチオン交換樹脂と弱塩基性アニオン交換樹脂とを組み
合わせて用いて処理水の浄化を行うので、外気に多量に
存在するＮＨ4 + を完全に除去することができ、かつ負
荷となる二酸化炭素が吸着除去することがなくなる結
果、装置コストが安価で、しかもランニングコストを従
来型の空気清浄システムの約１／１０以下程度にまで低
下させることができる。
で空気清浄化するにあたり、水質純化装置として強酸性
カチオン交換樹脂と弱塩基性アニオン交換樹脂とを組み
合わせて用いて処理水の浄化を行うので、外気に多量に
存在するＮＨ4 + を完全に除去することができ、かつ負
荷となる二酸化炭素が吸着除去することがなくなる結
果、装置コストが安価で、しかもランニングコストを従
来型の空気清浄システムの約１／１０以下程度にまで低
下させることができる。
【図１】 第１の実施形態に係る空気清浄システムの全
体構成を示した模式図である。
体構成を示した模式図である。
【図２】 第１の実施形態に係る水質純化ユニットの構
造を模式的に示した図である。
造を模式的に示した図である。
【符号の説明】
１…空気清浄化装置、２…空気ダクト、３…プレフィル
タ、４…エアーワッシャ−、４ａ…噴射ノズル、４ｂ…
ミストトラップ、５…エリミネ−タ、７…バッファタン
ク、８…超純水供給ライン、９…給水管、１０…噴射水
供給ライン、１１…ポンプ、１６…ポンプ、１８…ポン
プ、１９…冷却器、２０…配管、３１…配管、３２ａ…
活性炭カラム、３２ｂ…カチオン交換樹脂カラム、３２
ｃ…アニオン交換樹脂カラム。
タ、４…エアーワッシャ−、４ａ…噴射ノズル、４ｂ…
ミストトラップ、５…エリミネ−タ、７…バッファタン
ク、８…超純水供給ライン、９…給水管、１０…噴射水
供給ライン、１１…ポンプ、１６…ポンプ、１８…ポン
プ、１９…冷却器、２０…配管、３１…配管、３２ａ…
活性炭カラム、３２ｂ…カチオン交換樹脂カラム、３２
ｃ…アニオン交換樹脂カラム。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｃ
(72)発明者 広瀬 多郁三
神奈川県厚木市岡田２丁目９番８号 野村
マイクロ・サイエンス株式会社内
(72)発明者 平野 誠
神奈川県厚木市岡田２丁目９番８号 野村
マイクロ・サイエンス株式会社内
Ｆターム(参考） 3L058 BF09
4D020 AA05 AA06 AA10 BA08 BB10
BC06 CB27 CC10 CC12 CC20
CD01 CD02 CD03
4D025 AA04 AA06 AB01 AB07 AB09
AB11 AB14 AB15 AB18 AB19
AB22 BA09 BA11 BA15 BB09
CA02 CA03 DA03 DA04 DA10
4D032 AC07 BA01 DA04
Claims (11)
- 【請求項１】 空気中に噴射された水滴に不純物を捕捉
させ、不純物を捕捉した前記水滴を冷却して凝縮水とし
て回収し噴射水として再利用するエアーワッシャー方式
の空気清浄化方法において、 前記凝縮水を、強酸性カチオン交換樹脂と弱塩基性アニ
オン交換樹脂とを具備した水質純化装置で処理して、前
記凝縮水中に溶存する汚染物質を除去してから噴射水と
して再利用することを特徴とする空気清浄化方法。 - 【請求項２】 クリーンルームと、 前記クリーンルームからの空気を排出させ、前記クリー
ンルーム内に清浄化空気を送る空気供給系と、 前記空気供給系の途中に配設され、前記クリーンルーム
に供給される空気と噴射された水滴とを接触させて前記
空気中の汚染物質を除去する水洗浄系と、 前記水洗浄系で前記クリーンルームに供給される空気と
接触した処理水を強酸性カチオン交換樹脂、及び、弱塩
基性アニオン交換樹脂と接触させることによりイオン成
分を除去する水質純化ユニットとを具備することを特徴
とする空気清浄化装置。 - 【請求項３】 前記水質純化ユニットが、前記強酸性カ
チオン交換樹脂を含むカチオン交換樹脂カラムと、前記
カチオン交換樹脂カラムの処理水移動方向下流側に配設
された前記アニオン交換樹脂を含む弱塩基性アニオン交
換樹脂カラムとを含む装置であることを特徴とする請求
項２記載の空気清浄化装置。 - 【請求項４】 前記水質純化装置が、前記弱塩基性アニ
オン交換樹脂を含む弱塩基性アニオン交換樹脂カラム
と、前記アニオン交換樹脂カラムの処理水移動方向下流
側に配設された前記強酸性カチオン交換樹脂を含むカチ
オン交換樹脂カラムとを含む装置であることを特徴とす
る請求項２記載の空気清浄化装置。 - 【請求項５】 前記水質純化装置が、前記カチオン交換
樹脂、及び、前記弱塩基性アニオン交換樹脂を含む混床
カラムを備えたことを特徴とする請求項２記載の空気清
浄化装置。 - 【請求項６】 前記弱塩基性アニオン交換樹脂が、Ｎａ
2 ＣＯ3 再生型のアニオン交換樹脂であることを特徴と
する請求項２乃至５のいずれか１項記載の空気清浄化装
置。 - 【請求項７】 前記水質純化装置のイオン交換樹脂の劣
化度を管理する管理モニタを更に具備することを特徴と
する請求項２乃至６のいずれか１項に記載の空気清浄化
装置。 - 【請求項８】 イオン交換樹脂を収容する第１の容器
と、 前記第１の容器内に処理水を通すための第１の処理水流
路と、 前記第１の容器内に収容された強酸性カチオン交換樹脂
と、 前記第１の容器の処理水移動方向下流側に配設された、
イオン交換樹脂を収容する第２の容器と、 前記第２の容器内に処理水を通すための第２の処理水流
路と、 前記第２の容器内に収容された弱塩基性アニオン交換樹
脂と、 前記第１の処理水流路と前記第２の処理水流路とを繋ぐ
配管と、 を含むことを特徴とする空気清浄化装置用水質純化装
置。 - 【請求項９】 イオン交換樹脂を収容する第１の容器
と、 前記第１の容器内に処理水を通すための第１の処理水流
路と、 前記第１の容器内に収容された弱塩基性アニオン交換樹
脂と、 前記第１の容器の処理水移動方向下流側に配設された、
イオン交換樹脂を収容する第２の容器と、 前記第２の容器内に処理水を通すための第２の処理水流
路と、 前記第２の容器内に収容された強酸性カチオン交換樹脂
と、 前記第１の処理水流路と前記第２の処理水流路とを繋ぐ
配管と、 を含むことを特徴とする空気清浄化装置用水質純化装
置。 - 【請求項１０】 イオン交換樹脂を収容する容器と、 前記容器内に処理水を通すための処理水流路と、 前記容器内に収容された強酸性カチオン交換樹脂と、 前記容器内に収容された弱塩基性アニオン交換樹脂と、 を含むことを特徴とする空気清浄化装置用水質純化装
置。 - 【請求項１１】 前記水質純化装置のイオン交換樹脂の
劣化度を管理する管理モニタを更に具備することを特徴
とする請求項８乃至１０のいずれか１項記載の空気清浄
化装置用水質純化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001348493A JP2003144828A (ja) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | 空気清浄化装置、空気清浄化方法、及び、空気清浄化装置用水質純化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001348493A JP2003144828A (ja) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | 空気清浄化装置、空気清浄化方法、及び、空気清浄化装置用水質純化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003144828A true JP2003144828A (ja) | 2003-05-20 |
Family
ID=19161310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001348493A Pending JP2003144828A (ja) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | 空気清浄化装置、空気清浄化方法、及び、空気清浄化装置用水質純化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003144828A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006118798A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Norihiro Amo | 加除湿・消臭装置 |
| JP2008190950A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Horiba Ltd | 試料中の酸化セレン除去方法と除去装置、およびこれを用いた石炭燃焼排気ガス中の水銀測定方法および測定装置 |
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