JP2000167416A - ドラフト装置及びドラフト装置排気処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 排気処理の必要な薬品を多く含む空気の排気
量を最小限とし、かつ、これ以外の排気をリサイクルし
て再利用できるドラフト装置やドラフト装置排気処理方
法を提供する。 【解決手段】 処理ユニット２背後に設けた排気処理ユ
ニット３から処理室１１に送るクリーンエアを処理室１
１から直接空気回収ダクト２２に回収される大部分を占
める流れと、薬品取り扱い室１３Ａ内まで流入する流れ
とに分け、薬品取り扱い室１３Ａ内まで流入して薬品取
り扱い室１３Ａ内の有害物質を含んだ空気はドラフト装
置１外に直接排気するとともに前記回収された空気は排
気処理ユニット３で純水と接触して浄化と乾燥の後、再
び処理室１１に送られる。処理室１１に供給される空気
の約８０％が回収されて再使用されるので排気量が従来
の１／５程度まで減少する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、揮発性の薬品や有
害物質が発生する虞れのある薬品を取り扱ったり、これ
らの薬品を用いて各種処理を施すためのドラフト装置及
びこのようなドラフト装置から排出される排気の処理方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より揮発性の高い薬品や有害成分が
揮発する虞れのある薬品類を取り扱うには処理部に負圧
が作用する構造を備えたドラフト装置が用いられてい
る。図４は従来の代表的なドラフト装置の構造を模式的
に示した図である。

【０００３】図４に示すように、従来のドラフト装置１
００では、装置前面の開口部１０１を一部開けた状態で
処理室１０２に作業者が腕を入れ、この処理室１０２内
で薬品類を取り扱うようになっている。このとき、処理
室１０２内には図中矢印で示したような空気の流れが形
成されており、この流れにより処理室１０２には負圧が
作用するので、処理室内に薬品類が揮発して飛散しても
処理室外に漏れることはなく、作業者の安全が確保され
るようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような開
放型、即ち揮発性薬品を取り扱う部分を他の処理を行う
部分と区画していない構造のドラフト装置では、有害成
分を含む薬品の瓶などから揮発した有害成分がそのまま
上昇して処理部内に流入してしまうため、処理室内の空
気全体を絶えず入れ替えなければならない。そのため、
清浄空気を製造する設備や排気する設備が大型化してド
ラフト装置の設備には大型の吸排気設備を必要とし、多
大な費用が必要であった。

【０００５】その一方、有害成分を含む薬品類の揮発量
は一般的に僅かであり、実際には薬品の瓶周辺付近の空
気さえ入れ替えれば十分であり、処理室全体の空気を入
れ替える必要は必ずしもないため、効率の悪いものであ
った。

【０００６】そのため、ドラフト装置の改良型として処
理室の一部に薬品取り扱い室を設け、この薬品取り扱い
室の開口部に着脱自在のフードを設け、有害成分を含む
空気だけを集中的に排気する構造のドラフト装置が提案
されている。例えば、特開平３−１２２３８号公報には
その一例が記載されている。

【０００７】この改良型のドラフト装置では、確かに有
害成分を含む空気のみを集中的に排気するので、ある程
度排気効率は改良される。

【０００８】しかるに、このドラフト装置では薬品取り
扱い室以外の処理室を通る空気の浄化はケミカルフィル
タと呼ばれる特殊な濾過装置を用いて空気の浄化を行う
ため、大きなケミカルフィルタが必要となる。また、こ
のケミカルフィルタはいわゆる使い捨て型のものや、業
者に依頼して洗浄する方式のものが大半であるため、ケ
ミカルフィルタの購入費用や浄化費用がかさむという経
済性の問題や、フィルタの交換を頻繁に行う必要がある
ため保守管理が繁雑であるという保守管理上の問題があ
る。また、ケミカルフィルタは吸着したい有害成分に適
合した特定の種類のものを用いる必要があるため、取り
扱う薬品の種類によってケミカルフィルタの種類を交換
したり、処理対象薬品の異なる複数種類のケミカルフィ
ルタを組み合わせて使用しなければならないなど、使用
上の繁雑さの問題があった。

【０００９】本発明は以上の問題を解決するためになさ
れたものである。

【００１０】即ち、本発明の目的は、排気処理の必要な
薬品を多く含む空気の排気量を最小限とし、なおかつこ
れ以外の排気をリサイクルして再利用できるドラフト装
置や、ドラフト装置排気処理方法を提供することにあ
る。

【００１１】これにより、工場全体の排気処理設備を小
形化でき、なおかつ、排気のリサイルに用いる水洗浄化
部の水を水純化装置によって、水もリサイクルするた
め、排水もなく、保守管理が容易でランニングコストが
安く、排気が減少した分、同量の外気導入量を減らすこ
とができ、工場全体のランニングコストを飛躍的に減少
させることができるドラフト装置や、ドラフト装置排気
処理方法を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載のドラフト装置は、密閉可能な処理室
と、前記処理室内に配設され、前記処理室と空気出入り
可能に区画された薬品取り扱い室と、前記処理室に清浄
な空気を吹き出す吹出口と、前記処理室内を通過した汚
染度の低い空気を回収する第１排気口と、前記薬品取り
扱い室内の汚染度の高い空気を装置外に排出する第２排
気口と、前記吹出口と前記第１排気口とを繋ぐダクト
と、前記ダクト内の空気を前記第１排気口から前記吹出
口に向けて流す手段と、前記回収した汚染度の低い空気
を水洗浄化する水洗浄化部と、を具備する。

【００１３】請求項２記載のドラフト装置は、請求項１
に記載のドラフト装置であって、前記薬品取り扱い室
は、前記処理室の下側に隣設され、前記処理室と連通す
る開口部と、この開口部の下側の周囲を包囲する側壁
と、前記開口部と対向する底面と、前記開口部に着脱自
在に配設され、中央に貫通孔を備えたフードとから形成
される小室であり、前記吹出口は処理室の上部に配設さ
れ、耐薬品性フィルタを備えた開口であり、前記第１排
気口は前記処理室の下部に配設された開口であり、前記
第２排気口は前記薬品取り扱い室の側壁に配設された開
口であることを特徴とする。

【００１４】請求項３記載のドラフト装置は、請求項１
又は２に記載のドラフト装置であって、前記水洗浄化部
が、供給水から微細な水滴を発生させ、空気中に微細水
滴が飛散した微細水滴層を形成させる微細水滴発生装置
と、前記回収した空気を前記微細水滴層に通して前記微
細水滴に前記空気を接触させて回収空気中の不純物を捕
捉する気流発生装置と、前記微細水滴発生装置から送り
出された空気中の微細水滴を除去して多湿の空気を送出
する気液分離装置と、前記微細水滴発生装置へ給水する
水を純化する水純化装置と、を具備することを特徴とす
る。

【００１５】請求項４記載のドラフト装置排気処理方法
は、ドラフト装置の処理室に送られる清浄な空気を処理
室内の薬品取り扱い室の開口部に送る第１の空気と、そ
れ以外の第２の空気に分ける工程と、前記開口部を通過
した前記第１の空気を装置外に排出するとともに処理室
を通過した前記第２の空気を回収する工程と、前記回収
した第２の空気を水と接触して洗浄する工程と、洗浄後
の空気を再び前記処理部に送る工程と、を具備する。

【００１６】請求項１記載のドラフト装置において、電
気式脱イオン装置、限外ろ過膜、逆浸透膜、活性炭、フ
ィルタ等、一般に純水製造装置によく用いられる装置を
一つ又は二つ以上を更に備えていても良い。その場合に
は水の浄化効率が向上したり、空気中のイオン以外の有
機物などの不純物除去性能が向上したり、水純化装置の
メンテナンス周期が延長できるという効果が得られるの
で好ましい。

【００１７】また、請求項１記載のドラフト装置では、
処理室内に供給した空気のうち、薬品取り扱い室近傍の
汚染度の高い空気を排気する一方、処理室から回収した
汚染度の低い空気を水洗浄化する水洗浄化部を備えてい
るので、排気量を少なくでき、それに伴い、工場全体の
排気処理設備を小形化できる。また、排気のリサイクル
に用いる水洗浄化部の水を水純化装置によって、水もリ
サイクルするため、排水もなく、保守管理が容易でラン
ニングコストを低減できる。

【００１８】更に、排気量が減少した分、同量の外気導
入量を減らすことができ、工場全体のランニングコスト
を飛躍的に減少させることができる。

【００１９】請求項２記載のドラフト装置では、薬品取
り扱い室と処理室との境界部分に着脱自在のフードを設
けるので薬品取り扱い室から処理室へ汚染度の高い空気
が流れ込むのが防止される。そのため前記処理室を通過
する空気の汚染度は低く抑えられ、その後の水洗浄化に
より容易に清浄な空気として再生される。

【００２０】請求項３記載のドラフト装置では、微細な
水滴と回収空気とを接触させて浄化するので、浄化効率
が高く、設備が小型でランニングコストを安価に抑える
ことができる。また、噴射水に用いる水を純化する水純
化装置を備えているため、洗浄効果を安定に保つことと
水のリサイクルとが可能となる。

【００２１】請求項４記載のドラフト装置排気処理方法
では、処理室内に供給した空気のうち、薬品取り扱い室
近傍の空気を排気する一方、処理室から回収した空気を
水洗浄化するので、排気量が少なくなり、排気設備を小
形化できる。また、回収した空気を水洗浄化するのでケ
ミカルフィルタは不要であり、保守管理が容易で装置の
ランニングコストを安価に抑えることができる。更に、
排気量が減少するので環境汚染性も低い。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図を
参照しながら説明する。

【００２３】図１は本発明の一実施形態に係るドラフト
装置１の一部を破断した全体斜視図であり、図２は同ド
ラフト装置１の概略構成を示した垂直断面図である。

【００２４】図１に示したように、このドラフト装置１
では、実際に被処理物に対して処理が行われる処理部１
１を備えた処理ユニット２と、この処理ユニット２の背
面側に排気処理ユニット３が隣接された構造となってい
る。この排気処理ユニット３は処理ユニット２から排出
された排気の大半を浄化処理して再び処理ユニット２内
に戻す機能を果たすユニットである。

【００２５】図１に示したように、処理ユニット２前面
の処理室１１には被処理物を載置するための処理台１３
Ｂや１３Ｃが設けられている。これら処理台１３Ｂと処
理台１３Ｃとの間には薬品取り扱い室１３Ａが設けられ
ている。

【００２６】この薬品取り扱い室１３Ａは特に毒性の高
い薬品を扱うための槽であり、後述するように薬品取り
扱い室１３Ａの正面奥の側面には薬品取り扱い室１３Ａ
内の空気を吸い込んでドラフト装置１外に排気するため
の吸気口１３１が設けられている。

【００２７】処理室１１は、背部隔壁１４Ａとその一部
に透明板１４Ｃが設けられた側部隔壁１４Ｂとによって
囲まれる。この処理室１１に向けて天井からクリーンエ
アＣＡを供給する手段は、プレフィルタ（図示省略）を
備えたファン１５Ａおよび処理ユニット２の天井部に設
けられた耐薬品性フィルタ１５Ｂから構成される。また
処理ユニット２の前面には作業のための開口１１Ｃが設
けられる。クリーンエアＣＡは、処理室１１を通過する
とき、塵埃を捕捉して回収エアＲＡとなり、プレフィル
タを介して背部隔壁１４Ａと処理ユニット２の背面板
（図示省略）との隙間１１Ｂを通り、前記フィルタ１５
Ｂで濾過されて再びクリーンエアＣＡとなる。

【００２８】処理室１１の処理台１３Ｂや１３Ｃでは、
例えばウエハの洗浄を行なったり、処理台１３Ｃでは主
に薬品を入れる容器（図示省略）などの洗浄を行うので
有害物質が発生することがない。一方、薬品取り扱い室
１３Ａでは、例えば槽１２Ａ内でのホトエッチング処理
や酸処理を行うので、有害物質Ｐが発生する。この有害
物質Ｐが、前記回収エアＲＡに混入されて再びクリーン
エアＣＡとなってリサイクルされたり、あるいは前記開
口１１Ｃからドラフト装置１の外部に漏洩してはならな
い。

【００２９】そのため、このドラフト装置１では、処理
室１１の処理台１３Ｂと処理台１３Ｃとの間に、有害物
質を扱うための薬品取り扱い室１３Ａを設けている。

【００３０】図１に示すように、この薬品取り扱い室１
３Ａは左右両側にそれぞれ隣接する処理台１３Ｂ及び１
３Ｃより一段低くなった処理槽であり、図２に示すよう
に上部に開口部１３２を備えた構造となっている。

【００３１】薬品取り扱い室１３Ａの開口部１３２の下
側には側壁１３３が開口部１３２の下側の周囲を包囲す
るように配設され、更に開口部１３２に対向する下面側
には底面１３４が配設され、これら側壁１３３と底面１
３４とで小室、即ち薬品取り扱い室１３Ａが形成されて
いる。

【００３２】薬品取り扱い室１３Ａ上部の開口部１３２
には着脱自在のフード１６が配設されている。このフー
ド１６の中央部には貫通孔１６ａが穿設されており、こ
の貫通孔１６ａを介して処理室１１側から空気が薬品取
り扱い室１３Ａ内部に流入する。

【００３３】一方、薬品取り扱い室１３Ａの正面奥側、
即ち図２中右側の側壁１３３には吸気口１３１が配設さ
れている。この吸気口１３１の先はドラフト装置１の外
へつながった排気ダクト１８と接続されている。また、
この排気ダクト１８の途中には排気ファン１９が配設さ
れており、この排気ファン１９を作動することにより薬
品取り扱い室１３Ａ内の空気を吸気口１３１から吸引
し、排気ダクト１８を通してドラフト装置１外に排出す
るようになっている。

【００３４】図３は、本発明の水洗浄化装置２０の一例
を概略的に示す図である。

【００３５】図３中、再循環ダクト（ダクト）２１の処
理ユニット２に連結した空気取入口の下流に噴射ノズル
２３が多数の噴射口を下流側に向けて配置されている。

【００３６】噴射ノズル２３の下方にはバッファタンク
２５が配置され、噴射ノズル２３から噴射され、各種不
純物と接触して結露した水やそのまま降下してバッファ
タンク２５に収容した水をポンプＰにより再び噴射ノズ
ル２３から噴射するようになっている。

【００３７】さらに、水洗浄化装置２０より空気移動方
向下流側には冷媒を循環させる冷却コイルを内蔵し、微
細ミストを冷却し凝縮して除去するミストセパレータ
（気液分離装置）２８が配設されている。このミストセ
パレータ２８の表面で凝縮した水は、バッファタンク２
５に導かれて再び噴射ノズル２３から噴射される。

【００３８】ミストセパレータ２８の空気移動方向下流
側の再循環ダクト２１内に３ｍ／秒以上の空気流を生じ
させるファン１５Ａが設置されている。

【００３９】この実施の形態の装置では、ファン１５Ａ
を駆動させると再循環ダクト２１内に３ｍ／秒以上の流
速の空気流が形成される。

【００４０】この状態で、図３に模式的に示すように、
噴射ノズル２３から噴射圧０．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ²
Ｇ、流量０．５〜０．７ ｌ／ｍ³ で粒子径１０〜１０
０μｍの水滴を噴射させると、この水滴は塵埃等の微粒
子と衝突してこれらを取り込みつつ凝縮して流下する。

【００４１】したがって、排気中のガス状のケミカル物
質は微細水滴中に溶け込んで除去されることになる。ガ
ス状のケミカル物質を取り込んだ微細水滴は、ミストセ
パレータ２８に到達し、ここで冷却されて凝集し、大さ
な水滴となって前記タンク２５内に落下し、再び微細水
滴の生成に供される。

【００４２】このようにして塵埃やガス状のケミカル物
質の除去された空気は、再循環ダクト２１を経由して送
られ、再び処理室１１に送られる。

【００４３】本発明のドラフト装置１では、排気処理ユ
ニット３に水純化装置４が接続されている。この水純化
装置４は前記水洗浄化装置２０で回収後の空気と接触し
て有害物質を捕集し汚れた、バッファタンク２５内の洗
浄水を処理して純水を製造し、これを再び前記水洗浄化
装置２０に送って排気の水洗浄化処理に供するものであ
る。

【００４４】この水純化装置４は図２に示したように、
イオン交換樹脂ＭＢと紫外線殺菌装置ＵＶと、これらイ
オン交換樹脂ＭＢ、紫外線殺菌装置ＵＶ、前記バッファ
タンク２５及び水洗浄化装置２０の各装置間を繋ぐ配管
と、配管の途中に設けられたポンプＰとから構成されて
いる。

【００４５】即ち、バッファタンク２５に溜まった処理
後の汚れた水はポンプＰで紫外線殺菌装置ＵＶに送ら
れ、ここで紫外線の照射を受け、更にイオン交換樹脂Ｍ
Ｂでイオン交換された後、水洗浄化装置２０に送られ、
再び排気の水洗浄化処理に供される。また一部の水は紫
外線殺菌装置ＵＶ、イオン交換樹脂ＭＢで処理された後
再びバッファタンク２５内に戻される。

【００４６】尚、このドラフト装置１の例では省略した
が、この水純化装置４は、上記紫外線殺菌装置ＵＶ、イ
オン交換樹脂ＭＢの他に、電気式脱イオン装置、限外ろ
過膜、逆浸透膜、活性炭、フィルタ等、一般に純水製造
装置によく用いられる装置を一つ、又は、二つ以上を更
に備えていても良い。その場合には、水の浄化効率が向
上したり、空気中のイオン以外の有機物などの不純物除
去性能が向上したり、水純化装置のメンテナンス周期が
延長できるという効果が得られるので好ましい。

【００４７】次に、本実施形態に係るドラフト装置１を
作動させた場合の動作状態について説明する。

【００４８】まず、ドラフト装置１前面の処理室１１に
て薬品を用いた処理を行うべく、ドラフト装置１前面に
設けたスイッチをオンにして電源を投入すると、ファン
１５Ａ、排気ファン１９が作動する。

【００４９】ファン１５Ａが作動すると空気の流れが起
きる。このファン１５Ａに供給される空気はファン１５
Ａより上流側に設けられた空気取り込み口２２ａ、及び
ミストセパレータ２８を通過してきた空気である。これ
らの空気がフィルタ１５Ｂを通ることにより清浄化さ
れ、これが処理室１１内を図中上から下に向って流され
る。このフィルタ１５Ｂから下向きに流されたクリーン
エアの大部分、およそクリーンエアの４／５は処理室１
１の背部隔壁１４Ａの下の方に設けられた空気回収ダク
ト２２に向って流れる。

【００５０】一方、フィルタ１５Ｂから下向きに流され
たクリーンエアＣＡのうちの一部、およそクリーンエア
ＣＡの１／５は薬品取り扱い室１３Ａの方まで流れ込
む。この流れは排気ファン１９の作動により生じた負圧
により惹起されたものである。即ち、排気ファン１９に
より薬品取り扱い室１３Ａの側壁の吸気口１３１には負
圧が作用するので、先に薬品取り扱い室１３Ａの上部開
口に図中上方から下向きに流れ込んだクリーンエアはこ
の負圧により吸引され、排気ファン１９、及びこの空気
移動方向下流側に接続された排気ダクト１８を経由して
ドラフト装置１外に排出される。

【００５１】このとき、薬品取り扱い室１３Ａの上部に
は着脱自在のフード１６が配設されているため、薬品取
り扱い室１３Ａ内の空気に有害成分が流れ出しても、こ
のような有害成分を含んだ空気は、着脱自在のフード１
６からその上部の処理室１１内に流れ出ることはほとん
どなく、排気ダクト１８を経由してドラフト装置１外に
排出される。

【００５２】また、仮に着脱自在のフード１６から上部
の処理室１１内に有害成分を含む微量の空気が漏れて
も、水洗浄化装置２０によって有害成分が除去される。

【００５３】一方、薬品取り扱い室１３Ａの上部開口よ
りも上の空間を通過して空気回収ダクト２２により回収
された空気は薬品取り扱い室１３Ａからの空気と混じら
ないので、有害物質を含まない、比較的汚染度の低い空
気である。この回収された空気は先のファン１５Ａの発
生する負圧により吸引され、水洗浄化装置２０内を通過
する。このとき、水洗浄化装置２０内には純水の微細水
滴が飛散した微細水滴層が形成されており、この微細水
滴層を空気が通過する際に空気と微細水滴とが接触す
る。このため空気中の不純物や塵や埃、水溶性の成分、
例えば、塩素、各種イオンなどは微細水滴に溶解する。
これにより空気は浄化され、きれいな空気、即ちクリー
ンエアＣＡが形成される。このクリーンエアＣＡは水洗
浄化装置２０下部のバッファタンク２５の上部を通過し
てミストセパレータ２８に送られる。

【００５４】このミストセパレータ２８では内部の冷却
装置の働きで表面が冷却されているので、このミストセ
パレータ２８を通過する際に水分を含んだクリーンエア
中の水分は結露することにより除去され、乾燥したクリ
ーンエアＣＡが得られる。この乾燥したクリーンエアＣ
Ａはファン１５Ａの作る負圧により吸引され、このファ
ン１５Ａを通過し、再び処理ユニット２へと送られる。

【００５５】一方、水洗浄化装置２０内で噴霧され処理
ユニット２から回収された回収空気と接触した水滴には
各種の不純物が含まれている。これら不純物を含み汚れ
た水は一旦バッファタンク２５に集められる。そしてこ
のバッファタンク２５からは配管とポンプＰとを介して
まず紫外線殺菌装置ＵＶで殺菌され、更に配管を経由し
てイオン交換樹脂ＭＢに送られ、ここでイオン交換処理
され、或いは更に各種フィルタや分離膜などを通過する
ことにより不純物が取り除かれ、純水化され、再び水洗
浄化装置２０に送られる。そしてこの水洗浄化装置２０
内で噴霧されて微細水滴となって回収空気の浄化に供さ
れる。

【００５６】以上のように、本実施形態に係るドラフト
装置１では、処理ユニット２の背後に設けた排気処理ユ
ニット３から処理室１１に送るクリーンエアを処理室１
１から直接空気回収ダクト２２に回収される大部分を占
める流れと、薬品取り扱い室１３Ａの中まで流入する空
気の流れとに分ける。そしてこの薬品取り扱い室１３Ａ
の中まで流入する空気は薬品取り扱い室１３Ａ内の有害
物質と共にドラフト装置１外に直接排気される。それと
同時に、前記回収された空気は排気処理ユニット３で純
水と接触して洗浄され乾燥された後、フィルタ１５Ａを
経由して再びクリーンエアＣＡとして処理室１１に送ら
れる。このとき、回収される空気は供給されるクリーン
エアＣＡの約８０％程度を占めるので、クリーンエアＣ
Ａの大部分が再使用される。そのため、排気量が従来の
１／５程度まで減少させることができる。

【００５７】排気量自体が減少するので、排気に関連し
て工場棟外に設置する排気ダクトや脱硫装置、脱煙装置
などの排気設備を小型化することができ、設備費用を安
価に抑えることができる。

【００５８】更に、クリーンエアＣＡは純水と接触させ
て浄化して再使用するため、クリーンエアＣＡを製造す
る機構を小型化することができ、ドラフト装置の製造費
用を安価に抑えることができる。

【００５９】また、従来のドラフト装置のように空気の
浄化はケミカルフィルタのみに頼るのではなく、純水と
接触させて洗浄する水洗浄化部で浄化するので、ケミカ
ルフィルタは不要になる。

【００６０】更に、従来のドラフト装置のように頻繁に
ケミカルフィルタを交換する必要がなくなるので、ドラ
フト装置のランニングコストを従来のドラフト装置に比
べて約半分程度にまで低下させることができる。

【００６１】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１記載の発
明によれば、処理室内に供給した空気のうち、薬品取り
扱い室近傍の汚染度の高い空気を排気する一方、処理室
から回収した汚染度の低い空気を水洗浄化する水洗浄化
部を備えているので、排気量が少なくなり、排気設備を
小形化できる。また、回収した空気を水洗浄化するので
ケミカルフィルタは不要であり、そのため保守管理が容
易で装置のランニングコストを安価に抑えることができ
る。更に、排気量が減少するので環境汚染性も低い。

【００６２】請求項２記載の発明によれば、薬品取り扱
い室と処理室との境界部分に着脱自在のフードを設ける
ので薬品取り扱い室から処理室へ汚染度の高い空気が流
れ込むのが防止される。そのため前記処理室を通過する
空気の汚染度は低く抑えられ、その後の水洗浄化により
容易に清浄な空気として再生される。

【００６３】請求項３記載の発明によれば、微細な水滴
と回収空気とを接触させて浄化するので、浄化効率が高
く、設備が小型でランニングコストを安価に抑えること
ができる。また、噴射水に用いる水を純化する水純化装
置を備えているため洗浄効果を安定に保つことが可能と
なる。

【００６４】請求項４記載の発明によれば、処理室内に
供給した空気のうち、薬品取り扱い室近傍の空気を排気
する一方、処理室から回収した空気を水洗浄化するの
で、排気量が少なくなり、排気設備を小形化できる。ま
た、回収した空気を水洗浄化するのでケミカルフィルタ
は不要であり、保守管理が容易で装置のランニングコス
トを安価に抑えることができる。更に、排気量が減少す
るので環境汚染性も低い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るドラフト装置の一部を
破断した全体斜視図である。

【図２】本発明の実施形態に係るドラフト装置の概略構
成を示した垂直断面図である。

【図３】本発明の実施形態に係る水洗浄化装置の一例を
概略的に示す図である。

【図４】従来のドラフト装置の概略構成を模式的に示し
た図である。

【符号の説明】

１１ 処理室 １３Ａ 薬品取り扱い室 １３２ 開口部 １３３ 側壁 １３４ 底面 ２１ ダクト １５Ａ ファン（送気ファン） ２０ 水洗浄化装置（水洗浄化部） １５Ｂ フィルタ ２３ 水噴射ノズル（微細水滴発生装置） ２８ ミストセパレータ（気液分離装置）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柳 基典 神奈川県厚木市岡田２丁目９番８号 野村 マイクロ・サイエンス株式会社内 (72)発明者 長濱 千秋 東京都狛江市岩戸北３−12−16 ダン産業 株式会社内 (72)発明者 山田 彰夫 東京都狛江市岩戸北３−12−16 ダン産業 株式会社内 Ｆターム(参考） 3L058 BE02 BE08 BF03 BG03 4D020 AA10 BA23 BB03 BC06 BC10 CB25 CC05 CC12 CD01 CD02 CD03 DA01 DB01 DB05 4D032 AC08 BA05 BA06 CA10 4G057 AA02 AA03

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 密閉可能な処理室と、 前記処理室内に配設され、前記処理室と空気出入り可能
   に区画された薬品取り扱い室と、 前記処理室に清浄な空気を吹き出す吹出口と、 前記処理室内を通過した汚染度の低い空気を回収する第
   １排気口と、 前記薬品取り扱い室内の汚染度の高い空気を装置外に排
   出する第２排気口と、 前記吹出口と前記第１排気口とを繋ぐダクトと、 前記ダクト内の空気を前記第１排気口から前記吹出口に
   向けて流す手段と、 前記回収した汚染度の低い空気を水洗浄化する水洗浄化
   部と、 を具備することを特徴とするドラフト装置
2. 【請求項２】 請求項１に記載のドラフト装置であっ
   て、 前記薬品取り扱い室は、前記処理室の下側に隣設され、
   前記処理室と連通する開口部と、この開口部の下側の周
   囲を包囲する側壁と、前記開口部と対向する底面と、前
   記開口部に着脱自在に配設され、中央に貫通孔を備えた
   フードとから形成される小室であり、 前記吹出口は処理室の上部に配設され、耐薬品性フィル
   タを備えた開口であり、 前記第１排気口は前記処理室の下部に配設された開口で
   あり、 前記第２排気口は前記薬品取り扱い室の側壁に配設され
   た開口であることを特徴とするドラフト装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のドラフト装置で
   あって、 前記水洗浄化部が、 供給水から微細な水滴を発生させ、空気中に微細水滴が
   飛散した微細水滴層を形成させる微細水滴発生装置と、 前記回収した空気を前記微細水滴層に通して前記微細水
   滴に前記空気を接触させて回収空気中の不純物を捕捉す
   る気流発生装置と、 前記微細水滴発生装置から送り出された空気中の微細水
   滴を除去して、多湿の空気を送出する気液分離装置と、 前記微細水滴発生装置へ給水する水を純化する水純化装
   置と、 を具備することを特徴とするドラフト装置。
4. 【請求項４】 ドラフト装置の処理室に送られる清浄な
   空気を処理室内の薬品取り扱い室の開口部に送る第１の
   空気と、それ以外の第２の空気に分ける工程と、 前記開口部を通過した前記第１の空気を装置外に排出す
   るとともに処理室を通過した前記第２の空気を回収する
   工程と、 前記回収した第２の空気を水と接触して浄化する工程
   と、 浄化後の空気を再び前記処理室に送る工程と、を具備す
   ることを特徴とするドラフト装置排気処理方法。