JP2016076506A - ワイヤ剥離検査方法及びワイヤ剥離検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェッジボンディングにて接合されたワイヤ先端部が、ボンディング面から剥離しているか否かを3次元的に検査する。ワイヤ先端部及びボンディング面の全焦点画像22及び距離画像25及び3次元画像24を作成し、全焦点画像22において、平面領域をボンディング面領域21として抽出して、ワイヤ先端部の3次元形状から、ワイヤ先端部のつぶれ領域20を抽出して、つぶれ領域内で測定領域23を抽出し、距離画像25において、測定領域内で、ボンディング面領域21から最も高い位置のワイヤ高さを測定し、ワイヤ高さが、閾値以上であれば、ワイヤ先端部がボンディング面から剥離していると判別する。
【選択図】図1
Description
2 全焦点画像作成手段
3 距離画像作成手段
4 3次元画像作成手段
5 ボンディング面領域抽出手段
6 補正手段
7 測定領域抽出手段
8 高さ測定手段
9 判別手段
12 第1抽出部
13 第2抽出部
20 つぶれ領域
21 ボンディング面領域
22 全焦点画像
23、26 測定領域
24 3次元画像
25 距離画像
30 ワイヤ先端部
31 ボンディング面
H ワイヤ高さ
Claims (9)
- ボンディング面とワイヤ先端部とがウェッジボンディングにて接合され、前記ワイヤ先端部がボンディング面から剥離しているか否かを3次元的に検査するワイヤ剥離検査方法であって、
前記ワイヤ先端部及びボンディング面の焦点の異なる画像を複数撮像し、
撮像した画像から、前記ワイヤ先端部及びボンディング面の全焦点画像及び距離画像及び3次元画像を作成し、
前記全焦点画像からボンディング面領域を抽出して、
前記3次元画像において、前記ボンディング面領域に相当する領域を抽出して、
前記3次元画像から、前記ワイヤ先端部のうち、ボンディング面に対してつぶされたつぶれ領域を抽出して、このつぶれ領域内の全部又は一部において、前記ボンディング面領域からの高さを測定すべき測定領域を抽出し、
前記距離画像において、前記測定領域に相当する領域を抽出して、
前記距離画像において、前記測定領域内で、前記ボンディング面領域から最も離れたワイヤの、ボンディング面領域からのワイヤ高さを測定し、
このワイヤ高さが、予め設定された閾値以上であれば、ワイヤ先端部にボンディング面から剥離している剥離部位を有すると判別することを特徴とするワイヤ剥離検査方法。 - 前記つぶれ領域のうち、少なくともワイヤ先端部の先端縁から所定の領域を除外した領域を測定領域とすることを特徴とする請求項1に記載のワイヤ剥離検査方法。
- 前記つぶれ領域のうち、少なくともワイヤ先端部の先端縁から所定の領域を除外し、さらに、つぶれ領域の中央部を除外した領域を測定領域とすることを特徴とする請求項1に記載のワイヤ剥離検査方法。
- 前記つぶれ領域は、3次元画像においてボンディング面領域よりも突出している領域、又はボンディング面領域から立ち上がるワイヤにつながった領域とすることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のワイヤ剥離検査方法。
- 前記ボンディング面領域が水平方向に対して傾斜している場合は、ボンディング面領域が水平になるように、少なくとも距離画像を補正することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のワイヤ剥離検査方法。
- ボンディング面とワイヤ先端部とがウェッジボンディングにて接合され、前記ワイヤ先端部がボンディング面から剥離しているか否かを3次元的に検査するワイヤ剥離検査装置であって、
前記ワイヤ先端部及びボンディング面の画像を撮像する撮像手段と、
焦点の異なる複数の画像から、全焦点画像を作成する全焦点作成手段と、距離画像を作成する距離画像作成手段と、3次元画像を作成する3次元画像作成手段と、
前記全焦点画像からボンディング面領域を抽出するボンディング面領域抽出手段と、
前記3次元画像から、前記ワイヤ先端部のうち、ボンディング面に対してつぶされたつぶれ領域を抽出して、このつぶれ領域内の全部又は一部において、前記ボンディング面領域からの高さを測定すべき測定領域を抽出する測定領域抽出手段と、
前記距離画像において、前記測定領域内で、前記ボンディング面領域から最も離れたワイヤの、ボンディング面領域からのワイヤ高さを測定する高さ測定手段と、
このワイヤ高さが、予め設定された閾値以上であれば、ワイヤ先端部にボンディング面から剥離している剥離部位を有すると判別する判別手段とを備えたことを特徴とするワイヤ剥離検査装置。 - 前記測定領域抽出手段は、前記ワイヤ先端部のうち、ワイヤがつぶれたつぶれ領域を抽出する第1抽出部と、
前記つぶれ領域のうち、少なくともワイヤ先端部の先端縁から所定の領域を除外した領域を抽出する第2抽出部とを備えたことを特徴とする請求項6に記載のワイヤ剥離検査装置。 - 前記測定領域抽出手段は、前記ワイヤ先端部のうち、ワイヤがつぶれたつぶれ領域を抽出する第1抽出部と、
前記つぶれ領域のうち、少なくともワイヤ先端部の先端縁から所定の領域を除外した領域を抽出し、さらに、つぶれ領域の中央部を除外した領域を抽出する第2抽出部とを備えたことを特徴とする請求項6に記載のワイヤ剥離検査装置。 - 前記ボンディング面領域が水平方向に対して傾斜している場合は、ボンディング面領域が水平になるように、少なくとも距離画像を補正する補正手段を備えたことを特徴とする請求項6〜請求項8のいずれか1項に記載のワイヤ剥離検査装置。
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JP2019186275A (ja) * | 2018-04-03 | 2019-10-24 | キヤノンマシナリー株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
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JPH0582599A (ja) * | 1991-09-18 | 1993-04-02 | Hitachi Ltd | ボンデイング装置およびボンデイング部検査装置 |
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