JP7336294B2 - ボンディングワイヤの検査装置、ボンディングワイヤの検査方法、及びボンディングワイヤの検査プログラム - Google Patents
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Description
2画像作成手段
3プロファイルライン位置決め手段
4高さプロファイル生成手段
5プロファイル許容範囲設定手段
6プロファイル異常検出手段
12距離画像
13プロファイル許容範囲設定用データ格納部
20 ワーク
W ワイヤ
Claims (10)
- 接続面にボンディングされた複数のワイヤを検査するボンディングワイヤの検査装置であって、
ボンディングされたワイヤと相対的に接近及び離間して、焦点の異なるワイヤの画像を複数撮像するとともに、ワイヤがボンディングされた領域の高さ情報を取得する撮像手段と、
ワイヤが撮像された画像において、検査対象となる全てのワイヤと交差するプロファイルラインを設定するプロファイルライン設定手段と、
前記接近又は離間方向であるワイヤの高さ方向において、前記プロファイルラインに沿った全領域での位置情報及び高さ情報からなる高さプロファイルを作成する高さプロファイル生成手段と、
前記高さプロファイルにおいて、プロファイルライン上における高さ情報の分布として許容される範囲であり、高さの最小値として許容される波形と、高さの最大値として許容される波形との間の領域を示す許容範囲を設定するプロファイル許容範囲設定手段と、
前記高さプロファイルにおける高さ情報が前記許容範囲から外れている場合に、その位置において異常があると判定するプロファイル異常検出手段とを備えたことを特徴とするボンディングワイヤの検査装置。 - ボンディングされたワイヤを備えたワークに対して、プロファイルラインを位置決めするプロファイルライン位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載のボンディングワイヤの検査装置。
- プロファイル許容範囲設定用データ格納部を備え、前記プロファイル許容範囲設定手段は、前記プロファイル許容範囲設定用データ格納部に格納されたデータに基づいて、最小値から最大値までを示す許容範囲を生成することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のボンディングワイヤの検査装置。
- 前記プロファイル許容範囲設定手段に設定された最大値及び最小値は、任意に変更することが可能であることを特徴とする請求項1~請求項3のいずれか1項に記載のボンディングワイヤの検査装置。
- 前記プロファイルラインと、検査対象となるワイヤとの交差位置を、ワイヤの高さを検査する検査位置とすることを特徴とする請求項1~請求項4のいずれか1項に記載のボンディングワイヤの検査装置。
- 前記プロファイルラインと、検査対象となるワイヤとの交差位置以外の位置を、ワイヤの高さを検査する検査位置とすることを特徴とする請求項1~請求項4のいずれか1項に記載のボンディングワイヤの検査装置。
- 接続面にボンディングされた複数のワイヤを検査するボンディングワイヤの検査方法であって、
焦点の異なるワイヤの画像を複数撮像するとともに、ワイヤがボンディングされた領域の高さ情報を取得し、
ワイヤが撮像された画像において、検査対象となる全てのワイヤと交差するプロファイルラインを設定し、
ワイヤの高さ方向において、前記プロファイルラインに沿った全領域での位置情報及び高さ情報からなる高さ情報となる高さプロファイルを作成し、
前記高さプロファイルにおいて、プロファイルライン上における高さ情報の分布として許容される範囲であり、高さの最小値として許容される波形と、高さの最大値として許容される波形との間の領域を示す許容範囲を設定し、
前記高さプロファイルにおける高さ情報が前記許容範囲から外れている場合に、その位置において異常があると判定することを特徴とするボンディングワイヤの検査方法。 - ボンディングされたワイヤを備えたワークに対して、プロファイルラインを位置決めすることを特徴とする請求項7に記載のボンディングワイヤの検査方法。
- 設定された最大値及び最小値は、任意に変更することが可能であることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載のボンディングワイヤの検査方法。
- 接続面にボンディングされた複数のワイヤの検査を実行させるボンディングワイヤの検査プログラムであって、
焦点の異なるワイヤの画像を複数撮像するとともに、ワイヤがボンディングされた領域の高さ情報を取得するステップと、
ワイヤが撮像された画像において、検査対象となる全てのワイヤと交差するプロファイルラインを設定するステップと、
ワイヤの高さ方向において、前記プロファイルラインに沿った全領域での位置情報及び高さ情報からなる高さ情報となる高さプロファイルを作成するステップと、
前記高さプロファイルにおいて、プロファイルライン上における高さ情報の分布として許容される範囲であり、高さの最小値として許容される波形と、高さの最大値として許容される波形との間の領域を示す許容範囲を設定するステップと、
前記高さプロファイルにおける高さ情報が前記許容範囲から外れている場合に、その位置において異常があると判定するステップとを備えたことを特徴とするボンディングワイヤの検査プログラム。
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