JP2008070166A - 突起の高さ測定方法、突起の高さ測定装置、プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象となる突起を含むワーク表面上の領域を仰角の方向から撮像し、撮像された画像中の輝度値に基づいて画像中の領域を明部領域、暗部領域、中間部領域に分ける。明部領域と暗部領域によって構成された領域を突起に対応する突起領域、中間部領域によって構成された領域をワークに対応するワーク領域とみなし、突起領域を画像から抽出する。抽出された突起領域の底面直径部分に対応する直径対応部の長さと、突起領域の母線部分に対応する母線対応部の長さを測定し、測定された直径対応部の長さが、記憶された直径対応部の規定値に対して定められた範囲内でないと判定された場合には、記憶された直径対応部の規定値を突起の高さを演算する際に用いる演算値と決定し、演算値と母線対応部の長さと仰角とに基づいて突起の高さを演算する。
【選択図】図1
Description
を有することを特徴とする。
まず、本実施形態に係る突起の高さ測定装置について、図1を用いて概念的に説明する。
次に、図1乃至図2を参照して、本実施形態に係る突起の高さ測定装置を構成する各部の構造及び機能について説明する。図2は、突起の高さ測定装置の制御処理部における概要構成を示すブロック図である。
まず、画像取得部2について説明する。画像取得部2は、測定対象となる突起11を含むワーク12表面上の所定領域を撮像する部分である。
次に、制御処理部3について説明する。制御処理部3は、画像取得部2の動作を管理しており、画像取得部2によって取得された画像を用いて突起11の高さを演算する部分である。
次に、図3のフローチャートを用いて、突起の高さ測定装置における突起の高さ測定処理について説明する。
図3は、突起の高さ測定装置における突起の高さ測定処理を示すフローチャートである。
2…画像取得部
3…制御処理部
11…突起
12…ワーク
21…カメラ
22…照明
23…X軸ステージ
24…Y軸ステージ
25…移動ステージ
31…入力部
32…表示部
33…記憶部
34…外部機器接続部
35…制御部
41…突起領域
42…ワーク領域
43…突起領域の頂部
44…突起領域の頂部を除いた部分
51…母線対応部
52…直径対応部
C1〜C3…輪郭線
D…直径対応部の長さ
E…視野領域
h…突起の高さ
L…母線対応部の長さ
P1〜P2…幾何学上の点
Q0〜Q4…突起領域上の点
r…半径
θ…仰角
Claims (11)
- ワーク表面に形成された円錐形状の突起の高さを測定する突起の高さ測定方法であって、
測定対象となる前記突起を含む前記ワーク表面上の領域を仰角の方向から撮像する撮像工程と、
前記撮像工程により撮像された画像中の輝度値に基づいて、前記画像中の領域を明部領域、暗部領域、中間部領域に分け、前記明部領域、前記暗部領域、前記中間部領域のうち、前記明部領域と前記暗部領域によって構成された領域を前記突起に対応する突起領域とみなし、前記中間部領域によって構成された領域を前記ワークに対応するワーク領域とみなすことにより、前記突起領域を前記画像から抽出する突起領域抽出工程と、
前記突起領域抽出工程により抽出された前記突起領域の底面直径部分に対応する直径対応部の長さと、前記突起領域の母線部分に対応する母線対応部の長さと、を測定する直径母線測定工程と、
前記直径対応部の長さと、前記母線対応部の長さと、前記仰角と、に基づいて、前記突起の高さを演算する高さ演算工程と、
を有することを特徴とする突起の高さ測定方法。 - 請求項1に記載の突起の高さ測定方法において、
前記突起領域抽出工程は、前記明部領域と前記暗部領域によって構成された領域を前記突起に対応する突起領域とみなし、前記中間部領域によって構成された領域を前記ワークに対応するワーク領域とみなした後に、前記突起領域に対して膨張処理、及び収縮処理を行うことにより、前記突起領域を前記画像から抽出することを特徴とする突起の高さ測定方法。 - ワーク表面に形成された円錐形状の突起の高さを測定する突起の高さ測定方法であって、
測定対象となる前記突起を含む前記ワーク表面上の所定領域を仰角の方向から撮像する撮像工程と、
前記撮像工程により撮像された画像中の輝度値に基づいて、前記画像中の領域を明部領域、暗部領域に分け、前記明部領域、前記暗部領域のうち、前記暗部領域によって構成された領域を前記突起に対応する突起領域とみなし、前記明部領域によって構成された領域を前記ワークに対応するワーク領域とみなすことにより、前記突起領域を抽出する突起領域抽出工程と、
前記突起領域抽出工程により抽出された前記突起領域の底面直径部分に対応する直径対応部の長さと、前記突起領域の母線部分に対応する母線対応部の長さと、を測定する直径母線測定工程と、
前記直径対応部の規定値を予め記憶する記憶工程と、
前記直径母線測定工程により測定された直径対応部の長さが、前記記憶された直径対応部の既定値に対して、予め定められた範囲内であるか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程により、前記測定された直径対応部の長さが前記予め定められた範囲内でないと判定された場合には、前記記憶された直径対応部の既定値を前記突起の高さを演算する際に用いる演算値と決定する決定工程と、
前記決定工程により決定された演算値と、前記母線対応部の長さと、前記仰角と、に基づいて、前記突起の高さを演算する高さ演算工程と、
を有することを特徴とする突起の高さ測定方法。 - ワーク表面に形成された円錐形状の突起の高さを測定する突起の高さ測定方法であって、
測定対象となる前記突起を含む前記ワーク表面上の領域を仰角の方向から撮像する撮像工程と、
前記撮像工程により撮像された画像中の輝度値に基づいて、前記画像中の領域を明部領域、暗部領域、中間部領域に分け、前記明部領域、前記暗部領域、前記中間部領域のうち、前記明部領域と前記暗部領域によって構成された領域を前記突起に対応する突起領域とみなし、前記中間部領域によって構成された領域を前記ワークに対応するワーク領域とみなすことにより、前記突起領域を前記画像から抽出する突起領域抽出工程と、
前記突起領域抽出工程により抽出された前記突起領域の底面直径部分に対応する直径対応部の長さと、前記突起領域の母線部分に対応する母線対応部の長さと、を測定する直径母線測定工程と、
前記直径対応部の規定値を予め記憶する記憶工程と、
前記直径母線測定工程により測定された直径対応部の長さが、前記記憶された直径対応部の規定値に対して、予め定められた範囲内であるか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程により、前記測定された直径対応部の長さが前記予め定められた範囲内でないと判定された場合には、前記記憶された直径対応部の規定値を前記突起の高さを演算する際に用いる演算値と決定する決定工程と、
前記決定工程により決定された演算値と、前記母線対応部の長さと、前記仰角と、に基づいて、前記突起の高さを演算する高さ演算工程と、
を有することを特徴とする突起の高さ測定方法。 - 請求項3又は請求項4に記載の突起の高さ測定方法において、
前記決定工程は、前記判定手段により前記測定された直径対応部の長さが前記予め定められた範囲内であると判定された場合には、前記測定された直径対応部の長さを前記突起の高さを演算する際に用いる演算値と決定することを特徴とする突起の高さ測定方法。 - ワーク表面に形成された円錐形状の突起の高さを測定する突起の高さ測定装置であって、
測定対象となる前記突起を含む前記ワーク表面上の領域を仰角の方向から撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像中の輝度値に基づいて、前記画像中の領域を明部領域、暗部領域、中間部領域に分け、前記明部領域、前記暗部領域、前記中間部領域のうち、前記明部領域と前記暗部領域によって構成された領域を前記突起に対応する突起領域とみなし、前記中間部領域によって構成された領域を前記ワークに対応するワーク領域とみなすことにより、前記突起領域を前記画像から抽出する突起領域抽出手段と、
前記突起領域抽出手段により抽出された前記突起領域の底面直径部分に対応する直径対応部の長さと、前記突起領域の母線部分に対応する母線対応部の長さと、を測定する直径母線測定手段と、
前記直径対応部の長さと、前記母線対応部の長さと、前記仰角と、に基づいて、前記突起の高さを演算する高さ演算手段と、
を有することを特徴とする突起の高さ測定装置。 - 請求項6に記載の突起の高さ測定装置において、
前記突起領域抽出手段は、前記明部領域と前記暗部領域によって構成された領域を前記突起に対応する突起領域とみなし、前記中間部領域によって構成された領域を前記ワークに対応するワーク領域とみなした後に、前記突起領域に対して膨張処理、及び収縮処理を行うことにより、前記突起領域を前記画像から抽出することを特徴とする突起の高さ測定装置。 - ワーク表面に形成された円錐形状の突起の高さを測定する突起の高さ測定装置であって、
測定対象となる前記突起を含む前記ワーク表面上の所定領域を仰角の方向から撮像する撮像段階と、
前記撮像手段により撮像された画像中の輝度値に基づいて、前記画像中の領域を明部領域、暗部領域に分け、前記明部領域、前記暗部領域のうち、前記暗部領域によって構成された領域を前記突起に対応する突起領域とみなし、前記明部領域によって構成された領域を前記ワークに対応するワーク領域とみなすことにより、前記突起領域を抽出する突起領域抽出手段と、
前記突起領域抽出手段により抽出された前記突起領域の底面直径部分に対応する直径対応部の長さと、前記突起領域の母線部分に対応する母線対応部の長さと、を測定する直径母線測定手段と、
前記直径対応部の規定値を予め記憶する記憶手段と、
前記直径母線測定手段により測定された直径対応部の長さが、前記記憶手段に記憶された直径対応部の既定値に対して、予め定められた範囲内であるか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段により、前記測定された直径対応部の長さが前記予め定められた範囲内でないと判定された場合には、前記記憶手段に記憶された直径対応部の既定値を前記突起の高さを演算する際に用いる演算値と決定する決定手段と、
前記決定手段により決定された演算値と、前記母線対応部の長さと、前記仰角と、に基づいて、前記突起の高さを演算する高さ演算手段と、
を有することを特徴とする突起の高さ測定装置。 - ワーク表面に形成された円錐形状の突起の高さを測定する突起の高さ測定装置であって、
測定対象となる前記突起を含む前記ワーク表面上の領域を仰角の方向から撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像中の輝度値に基づいて、前記画像中の領域を明部領域、暗部領域、中間部領域に分け、前記明部領域、前記暗部領域、前記中間部領域のうち、前記明部領域と前記暗部領域によって構成された領域を前記突起に対応する突起領域とみなし、前記中間部領域によって構成された領域を前記ワークに対応するワーク領域とみなすことにより、前記突起領域を前記画像から抽出する突起領域抽出手段と、
前記突起領域抽出手段により抽出された前記突起領域の底面直径部分に対応する直径対応部の長さと、前記突起領域の母線部分に対応する母線対応部の長さと、を測定する直径母線測定手段と、
前記直径対応部の規定値を予め記憶する記憶手段と、
前記直径母線測定手段により測定された直径対応部の長さが、前記記憶手段に記憶された直径対応部の規定値に対して、予め定められた範囲内であるか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段により、前記測定された直径対応部の長さが前記予め定められた範囲内でないと判定された場合には、前記記憶手段に記憶された直径対応部の規定値を前記突起の高さを演算する際に用いる演算値と決定する決定手段と、
前記決定手段により決定された演算値と、前記母線対応部の長さと、前記仰角と、に基づいて、前記突起の高さを演算する高さ演算手段と、
を有することを特徴とする突起の高さ測定装置。 - 請求項8又は請求項9に記載の突起の高さ測定装置において、
前記決定手段は、前記判定手段により前記測定された直径対応部の長さが前記予め定められた範囲内であると判定された場合には、前記測定された直径対応部の長さを前記突起の高さを演算する際に用いる演算値と決定することを特徴とする突起の高さ測定装置。 - コンピュータを、請求項6乃至請求項10のいずれか一項に記載の突起の高さ測定装置として機能させることを特徴とする突起の高さ測定プログラム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006247276A JP4821524B2 (ja) | 2006-09-12 | 2006-09-12 | 突起の高さ測定方法、突起の高さ測定装置、プログラム |
KR1020087029106A KR101368728B1 (ko) | 2006-09-12 | 2007-09-07 | 돌기의 높이 측정방법, 돌기의 높이 측정장치 및 프로그램 |
CN2007800338961A CN101517354B (zh) | 2006-09-12 | 2007-09-07 | 突起高度的测量方法以及突起高度的测量装置和程序 |
PCT/JP2007/067494 WO2008032651A1 (fr) | 2006-09-12 | 2007-09-07 | Procédé et appareil de mesure de la hauteur d'une protubérance, et programme associé |
US12/440,664 US8351709B2 (en) | 2006-09-12 | 2007-09-07 | Projection height measuring method, projection height measuring apparatus and program |
TW096134098A TWI427263B (zh) | 2006-09-12 | 2007-09-12 | 突起之高度測定方法、突起之高度測定裝置、程式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006247276A JP4821524B2 (ja) | 2006-09-12 | 2006-09-12 | 突起の高さ測定方法、突起の高さ測定装置、プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008070166A true JP2008070166A (ja) | 2008-03-27 |
JP4821524B2 JP4821524B2 (ja) | 2011-11-24 |
Family
ID=39183710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006247276A Expired - Fee Related JP4821524B2 (ja) | 2006-09-12 | 2006-09-12 | 突起の高さ測定方法、突起の高さ測定装置、プログラム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8351709B2 (ja) |
JP (1) | JP4821524B2 (ja) |
KR (1) | KR101368728B1 (ja) |
CN (1) | CN101517354B (ja) |
TW (1) | TWI427263B (ja) |
WO (1) | WO2008032651A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013079835A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Soft Works Kk | 尖端バンプの高さ測定装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103697821B (zh) * | 2013-12-20 | 2016-08-17 | 北京航天时代光电科技有限公司 | 一种基于机器视觉的光纤惯组用减振器尺寸筛选装置 |
US9733067B2 (en) * | 2015-11-12 | 2017-08-15 | Taiwan Nano-Technology Application Corp | Apparatus for detecting heights of defects on optical glass |
CN107016393B (zh) * | 2016-03-10 | 2020-04-21 | 上海帆煊科技有限公司 | 数据趋势线特征点的图形化识别方法及凹槽宽度测量方法 |
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JP2005181092A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 突起の高さ測定方法および測定装置 |
-
2006
- 2006-09-12 JP JP2006247276A patent/JP4821524B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-09-07 CN CN2007800338961A patent/CN101517354B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-09-07 WO PCT/JP2007/067494 patent/WO2008032651A1/ja active Application Filing
- 2007-09-07 US US12/440,664 patent/US8351709B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-09-07 KR KR1020087029106A patent/KR101368728B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-09-12 TW TW096134098A patent/TWI427263B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200821536A (en) | 2008-05-16 |
JP4821524B2 (ja) | 2011-11-24 |
CN101517354B (zh) | 2011-03-16 |
WO2008032651A1 (fr) | 2008-03-20 |
KR101368728B1 (ko) | 2014-02-28 |
KR20090052304A (ko) | 2009-05-25 |
US8351709B2 (en) | 2013-01-08 |
TWI427263B (zh) | 2014-02-21 |
US20100040258A1 (en) | 2010-02-18 |
CN101517354A (zh) | 2009-08-26 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110711 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |