JP6247607B2 - 接合距離測定方法、接合強度評価方法、接合距離測定装置、および接合強度評価装置 - Google Patents
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Description
2 撮像手段
3 抽出手段
4 解析手段
5 測定手段
10 接合部
20 接合強度評価装置
21 評価手段
A1 パッド領域
A2 ワイヤ領域
A3 差領域
D ワイヤ太さ
O1 接触点
O2 接触点
S1 基準面
S2 仮想面
W ワイヤ
Claims (8)
- ボンディング面とワイヤとがウェッジボンディングにて接合された接合部の長さを測定する接合距離測定方法であって、
前記ボンディング面と平行な面を基準面として、
前記基準面から、所定高さ上方にシフトした仮想面を生成して、
ボンディング面領域で、前記基準面と前記仮想面とで挟まれたワイヤ部分のうち、前記基準面とのワイヤ先端側の接触点から、前記仮想面とのワイヤ先端側の接触点までの平面視における長さを、接合部の長さとすることを特徴とする接合距離測定方法。 - ボンディング面とワイヤとの接合部の画像を取得して、前記画像に基づいて、ボンディング面領域とワイヤ領域とを抽出することを特徴とする請求項1の接合距離測定方法。
- 前記仮想面の前記基準面からのシフト量は、ワイヤ太さであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の接合距離測定方法。
- 前記請求項1〜請求項3のいずれかの接合距離測定方法により接合部の長さを求め、求められた長さに基づいて接合部の接合強度を評価することを特徴とする接合強度評価方法。
- 前記接合部の長さに加え、さらに接合部の平面視における面積及び/又は接合部の長さ以外の寸法情報に基づいて接合部の接合強度を評価することを特徴とする請求項4に記載の接合強度評価方法。
- ボンディング面とワイヤとがウェッジボンディングにて接合された接合部の長さを測定する接合距離測定装置であって、
ボンディング面とワイヤとの接合部の画像を取得する撮像手段と、
前記画像において、ボンディング面領域を抽出する抽出手段と、
前記ボンディング面と平行な面を基準面とするとともに、前記基準面から、所定高さ上方にシフトした仮想面を生成する解析手段と、
ボンディング面領域で、前記基準面と前記仮想面とで挟まれたワイヤ部分のうち、前記基準面との先端側の接触点から、前記仮想面との先端側の接触点までの平面視における長さを測定する測定手段とを備えたことすることを特徴とする接合距離測定装置。 - 前記請求項6に記載の接合距離測定装置により接合部の長さを求め、求められた長さに基づいて接合部の接合強度を評価する評価手段を備えたことを特徴とする接合強度評価装置。
- 前記接合部の長さに加え、さらに接合部の平面視における面積及び/又は接合部の長さ以外の寸法情報に基づいて接合部の接合強度を評価することを特徴とする請求項7に記載の接合強度評価装置。
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