JP4415285B1 - ワイヤ検査装置、ワイヤ検査方法及びワイヤ検査用プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この発明は、ワイヤを有する半導体集積回路を撮影し、撮影画像に基づいてワイヤの不具合の有無を検出するワイヤ検査方法で、撮影画像に基づく原画像に対してメディアンフィルタ処理によって原画像からワイヤに相当するワイヤ画像を抽出するワイヤ画像抽出ステップを有し、このワイヤ画像抽出ステップは、注目画素Pと原画像の基準点Cとの相対位置を判断し、この相対位置に基づいて一つの線状メディアンフィルタ枠Aを設定するメディアンフィルタ枠設定ステップを有し、該メディアンフィルタ枠設定ステップにおいて、注目画素Pから基準点Cに向かう方向に略直交する方向にメディアンフィルタ枠Aを設定することを特徴とする。
【選択図】図5
Description
Fnx=round(n×mx)+x
Fny=round(n×my)+y
である。ここで、「round」とは、実数を整数とする意味である。また、nは、線状メディアンフィルタ枠の長さに関するものであり、メディアンフィルタ枠を構成する画素の個数である。さらに、mxおよびmyは、上記注目画素における線状メディアンフィルタ枠の方向を示す単位ベクトルのX座標およびY座標であり、次式により求められる。
Claims (5)
- ワイヤを有する半導体集積回路を撮影する撮影手段(3)、および、該撮影手段(3)により撮影された撮影画像に基づいてワイヤの不具合の有無を検出する処理手段(7)を有するワイヤ検査装置であって、上記処理手段(7)は、撮影画像に基づく原画像の各画素に対してメディアンフィルタ処理を行うことによって原画像からワイヤに相当するワイヤ画像を抽出するワイヤ画像抽出ステップ(S3)と、該ワイヤ画像抽出ステップ(S3)において抽出されたワイヤ画像に基づいてワイヤの不具合を検出するワイヤ不具合検出ステップとを行うように設けられており、上記処理手段(7)は、上記ワイヤ画像抽出ステップ(S3)において各画素に対してメディアンフィルタ処理を行うに際して、メディアンフィルタ処理を行う注目画素(P)と原画像の画像処理の中心座標である基準点(C)との相対位置を判断し、この相対位置に基づいて一つの線状メディアンフィルタ枠(A)を設定するメディアンフィルタ枠設定ステップ(S32)を行うように設けられているとともに、該メディアンフィルタ枠設定ステップ(S32)において、上記注目画素(P)から基準点(C)に向かう方向に略直交する方向にメディアンフィルタ枠(A)が設定されるように設けられていることを特徴とするワイヤ検査装置。
- 上記処理手段(7)は、上記メディアンフィルタ枠設定ステップ(S32)において、注目画素(P)ごとに上記基準点(C)の方向に略直交する線状メディアンフィルタ枠(A)を算出するように設けられている請求項1記載のワイヤ検出装置。
- 上記注目画素(P)と基準点(C)との相対位置との関係に応じて複数のメディアンフィルタ枠(A)が記憶された記憶部を有しており、上記処理手段(7)は、上記メディアンフィルタ枠設定ステップ(S32)において、注目画素(P)の基準点(C)との相対位置に基づいて、上記記憶部のメディアンフィルタ枠(A)を抽出して、抽出したメディアンフィルタ枠(A)を該注目画素(P)のメディアンフィルタ枠(A)に決定するように設けられている請求項1記載のワイヤ検出装置。
- ワイヤを有する半導体集積回路を撮影して、撮影された撮影画像に基づいてワイヤの不具合の有無を処理手段(7)によって検出するワイヤ検査方法であって、上記ワイヤの不具合の有無を検出する手順は、撮影画像に基づく原画像の各画素に対してメディアンフィルタ処理を行うことによって原画像からワイヤに相当するワイヤ画像を抽出するワイヤ画像抽出ステップ(S3)と、該ワイヤ画像抽出ステップ(S3)において抽出されたワイヤ画像に基づいてワイヤの不具合を検出するワイヤ不具合検出ステップとを有し、上記ワイヤ画像抽出ステップ(S3)は、メディアンフィルタ処理を行う注目画素(P)と原画像の画像処理の中心座標である基準点(C)との相対位置を判断し、この相対位置に基づいて一つの線状メディアンフィルタ枠(A)を設定するメディアンフィルタ枠設定ステップ(S32)を有し、該メディアンフィルタ枠設定ステップ(S32)において、上記注目画素(P)から基準点(C)に向かう方向に略直交する方向にメディアンフィルタ枠(A)を設定することを特徴とするワイヤ検査方法。
- ワイヤを有する半導体集積回路を撮影した撮影画像に基づいてワイヤの不具合の有無を処理手段(7)が検出するように設けられているワイヤ検査用プログラムであって、撮影画像に基づく原画像の各画素に対してメディアンフィルタ処理を行うことによって原画像からワイヤに相当するワイヤ画像を抽出するワイヤ画像抽出ステップ(S3)と、該ワイヤ画像抽出ステップ(S3)において抽出されたワイヤ画像に基づいてワイヤの不具合を検出するワイヤ不具合検出ステップとを有し、上記ワイヤ画像抽出ステップ(S3)は、メディアンフィルタ処理を行う注目画素(P)と原画像の画像処理の中心座標である基準点(C)との相対位置を判断し、この相対位置に基づいて一つの線状メディアンフィルタ枠(A)を設定するメディアンフィルタ枠設定ステップ(S32)を有し、該メディアンフィルタ枠設定ステップ(S32)において、上記注目画素(P)から基準点(C)に向かう方向に略直交する方向にメディアンフィルタ枠(A)を設定することを特徴とするワイヤ検査用プログラム。
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