JP2016063226A - プラズマ処理チャンバの構成部品を洗浄する湿式洗浄工程 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2014年9月17日に出願された「Wet Clean Process for Cleaning Plasma Processing Chamber Components」と題する米国特許仮出願第62/051,920号に基づく優先権を主張し、同文献を参照することによりあらゆる目的のために本明細書に援用する。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例1:
プラズマ処理チャンバの構成部品を洗浄する方法であって、
前記プラズマ処理チャンバから洗浄対象の前記構成部品を取り出すことであって、前記取り出した構成部品が、前記構成部品に堆積した少なくとも1つの物質を含む取り出しと、
前記取り出した構成部品に基本洗浄工程を施すことと、
前記取り出した構成部品を脱脂することと、
前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質を除去して、洗浄済みの構成部品を生み出すことと、
前記洗浄した構成部品を乾燥させることと
を含む、方法。
適用例2:
適用例1の方法であって、
前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質を除去することは、
前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質に、加熱した酸化性溶液を当てて、前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質の第1の部分を酸化させることと、
前記取り出した構成部品に剥離液を当てて、前記少なくとも1つの物質の前記酸化した第1の部分を前記取り出した構成部品から除去することと、
エッチング液を当てて、前記少なくとも1つの物質の第2の部分を前記取り出した構成部品から除去することと
を含む、方法。
適用例3:
適用例2の方法であって、
前記酸化性溶液は、水酸化カリウム(KOH)を含む、方法。
適用例4:
適用例2の方法であって、
前記酸化性溶液は、過マンガン酸カリウム(KMnO4)を含む、方法。
適用例5:
適用例2の方法であって、
前記酸化性溶液は、水酸化カリウム(KOH)と過マンガン酸カリウム(KMnO4)との混合物を含む、方法。
適用例6:
適用例2の方法であって、
前記酸化性溶液は、水酸化カリウム(KOH)と過マンガン酸カリウム(KMnO4)との混合物を、水酸化カリウム(KOH)約5と過マンガン酸カリウム(KMnO4)約2の割合で含む、方法。
適用例7:
適用例2の方法であって、
前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)を含む、方法。
適用例8:
適用例2の方法であって、
前記剥離液は、硝酸(HNO3)を含む、方法。
適用例9:
適用例2の方法であって、
前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)との混合物を含む、方法。
適用例10:
適用例2の方法であって、
前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)との混合物を、フッ化水素酸(HF)約1と硝酸(HNO3)約1の割合で含む、方法。
適用例11:
適用例2の方法であって、
前記エッチング液は、フッ化水素酸(HF)を含む、方法。
適用例12:
適用例2の方法であって、
前記エッチング液は、硝酸(HNO3)を含む、方法。
適用例13:
適用例2の方法であって、
前記エッチング液は、酢酸(HAc)を含む、方法。
適用例14:
適用例2の方法であって、
前記エッチング液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)と酢酸(HAc)との混合物を含む、方法。
適用例15:
適用例2の方法であって、
前記エッチング液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)と酢酸(HAc)との混合物を、フッ化水素酸(HF)約1、硝酸(HNO3)約7.5および酢酸(HAc)約3.7の割合で含む、方法。
適用例16:
適用例2の方法であって、
前記酸化性溶液、前記剥離液および/もしくは前記エッチング液のうちの少なくとも1つは、水で希釈される、方法。
適用例17:
適用例2の方法であって、
前記洗浄した構成部品をプラズマ処理チャンバ内に設置することと、
前記プラズマ処理チャンバ内に基板を配置することと、
前記基板にプラズマ処理を施すことと
をさらに含む、方法。
適用例18:
プラズマ処理チャンバの構成部品を洗浄する方法であって、
前記プラズマ処理チャンバから洗浄対象の前記構成部品を取り出すことであって、前記取り出した構成部品が、前記構成部品に堆積した少なくとも1つの物質を含む取り出しと、
前記取り出した構成部品に基本洗浄工程を施すことと、
前記取り出した構成部品を脱脂することと、
洗浄済みの構成部品を生み出すために、前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質を除去することと、
前記洗浄した構成部品を乾燥させることと、を含み、
前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質を除去することは、
前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質に、加熱した酸化性溶液を当てて、前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質の第1の部分を酸化させることであって、前記酸化性溶液は、水酸化カリウム(KOH)と過マンガン酸カリウム(KMnO4)との混合物を、水酸化カリウム(KOH)約5および過マンガン酸カリウム(KMnO4)約2の割合で含む、前記少なくとも1つの物質への酸化性溶液の適用と、
前記取り出した構成部品に剥離液を当てて、前記少なくとも1つの物質の前記酸化した第1の部分を前記取り出した構成部品から除去することであって、前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)および硝酸(HNO3)の混合物を、フッ化水素酸(HF)約1および硝酸(HNO3)約1の割合で含む、前記取り出した構成部品への剥離液の適用と、
エッチング液を当てて、前記少なくとも1つの物質の第2の部分を前記取り出した構成部品から除去することであって、前記エッチング液は、フッ化水素酸(HF)、硝酸(HNO3)および酢酸(HAc)の混合物を、フッ化水素酸(HF)約1、硝酸(HNO3)約7.5および酢酸(HAc)約3.7の割合で含む、エッチング液の適用と、
を含む、方法。
適用例19:
プラズマ処理チャンバの構成部品であって、
エッチング表面であって、前記プラズマ処理チャンバの構成部品に堆積した少なくとも1つの物質を除去するためにエッチングされる、エッチング表面
を備え、前記エッチング表面のエッチングは、
前記プラズマ処理チャンバの構成部品に堆積した少なくとも1つの物質に加熱した酸化性溶液を当てて、前記プラズマ処理チャンバの構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質の第1の部分を酸化させることであって、前記酸化性溶液は、水酸化カリウム(KOH)と過マンガン酸カリウム(KMnO4)との混合物を含むことと、
前記プラズマ処理チャンバの構成部品に剥離液を当てて、前記プラズマ処理チャンバの構成部品から前記少なくとも1つの物質の前記酸化した第1の部分を除去することであって、前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)との混合物を含むことと、
エッチング液を当てて、前記プラズマ処理チャンバの構成部品から前記少なくとも1つの物質の第2の部分を除去することであって、前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)と酢酸(HAc)との混合物を含むことと、
洗浄した前記構成部品を乾燥させることと
を含む、
プラズマ処理チャンバの構成部品。
Claims (19)
- プラズマ処理チャンバの構成部品を洗浄する方法であって、
前記プラズマ処理チャンバから洗浄対象の前記構成部品を取り出すことであって、前記取り出した構成部品が、前記構成部品に堆積した少なくとも1つの物質を含む取り出しと、
前記取り出した構成部品に基本洗浄工程を施すことと、
前記取り出した構成部品を脱脂することと、
前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質を除去して、洗浄済みの構成部品を生み出すことと、
前記洗浄した構成部品を乾燥させることと
を含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質を除去することは、
前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質に、加熱した酸化性溶液を当てて、前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質の第1の部分を酸化させることと、
前記取り出した構成部品に剥離液を当てて、前記少なくとも1つの物質の前記酸化した第1の部分を前記取り出した構成部品から除去することと、
エッチング液を当てて、前記少なくとも1つの物質の第2の部分を前記取り出した構成部品から除去することと
を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記酸化性溶液は、水酸化カリウム(KOH)を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記酸化性溶液は、過マンガン酸カリウム(KMnO4)を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記酸化性溶液は、水酸化カリウム(KOH)と過マンガン酸カリウム(KMnO4)との混合物を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記酸化性溶液は、水酸化カリウム(KOH)と過マンガン酸カリウム(KMnO4)との混合物を、水酸化カリウム(KOH)約5と過マンガン酸カリウム(KMnO4)約2の割合で含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記剥離液は、硝酸(HNO3)を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)との混合物を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)との混合物を、フッ化水素酸(HF)約1と硝酸(HNO3)約1の割合で含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記エッチング液は、フッ化水素酸(HF)を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記エッチング液は、硝酸(HNO3)を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記エッチング液は、酢酸(HAc)を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記エッチング液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)と酢酸(HAc)との混合物を含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記エッチング液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)と酢酸(HAc)との混合物を、フッ化水素酸(HF)約1、硝酸(HNO3)約7.5および酢酸(HAc)約3.7の割合で含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記酸化性溶液、前記剥離液および/もしくは前記エッチング液のうちの少なくとも1つは、水で希釈される、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記洗浄した構成部品をプラズマ処理チャンバ内に設置することと、
前記プラズマ処理チャンバ内に基板を配置することと、
前記基板にプラズマ処理を施すことと
をさらに含む、方法。 - プラズマ処理チャンバの構成部品を洗浄する方法であって、
前記プラズマ処理チャンバから洗浄対象の前記構成部品を取り出すことであって、前記取り出した構成部品が、前記構成部品に堆積した少なくとも1つの物質を含む取り出しと、
前記取り出した構成部品に基本洗浄工程を施すことと、
前記取り出した構成部品を脱脂することと、
洗浄済みの構成部品を生み出すために、前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質を除去することと、
前記洗浄した構成部品を乾燥させることと、を含み、
前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質を除去することは、
前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質に、加熱した酸化性溶液を当てて、前記取り出した構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質の第1の部分を酸化させることであって、前記酸化性溶液は、水酸化カリウム(KOH)と過マンガン酸カリウム(KMnO4)との混合物を、水酸化カリウム(KOH)約5および過マンガン酸カリウム(KMnO4)約2の割合で含む、前記少なくとも1つの物質への酸化性溶液の適用と、
前記取り出した構成部品に剥離液を当てて、前記少なくとも1つの物質の前記酸化した第1の部分を前記取り出した構成部品から除去することであって、前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)および硝酸(HNO3)の混合物を、フッ化水素酸(HF)約1および硝酸(HNO3)約1の割合で含む、前記取り出した構成部品への剥離液の適用と、
エッチング液を当てて、前記少なくとも1つの物質の第2の部分を前記取り出した構成部品から除去することであって、前記エッチング液は、フッ化水素酸(HF)、硝酸(HNO3)および酢酸(HAc)の混合物を、フッ化水素酸(HF)約1、硝酸(HNO3)約7.5および酢酸(HAc)約3.7の割合で含む、エッチング液の適用と、
を含む、方法。 - プラズマ処理チャンバの構成部品であって、
エッチング表面であって、前記プラズマ処理チャンバの構成部品に堆積した少なくとも1つの物質を除去するためにエッチングされる、エッチング表面
を備え、前記エッチング表面のエッチングは、
前記プラズマ処理チャンバの構成部品に堆積した少なくとも1つの物質に加熱した酸化性溶液を当てて、前記プラズマ処理チャンバの構成部品に堆積した前記少なくとも1つの物質の第1の部分を酸化させることであって、前記酸化性溶液は、水酸化カリウム(KOH)と過マンガン酸カリウム(KMnO4)との混合物を含むことと、
前記プラズマ処理チャンバの構成部品に剥離液を当てて、前記プラズマ処理チャンバの構成部品から前記少なくとも1つの物質の前記酸化した第1の部分を除去することであって、前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)との混合物を含むことと、
エッチング液を当てて、前記プラズマ処理チャンバの構成部品から前記少なくとも1つの物質の第2の部分を除去することであって、前記剥離液は、フッ化水素酸(HF)と硝酸(HNO3)と酢酸(HAc)との混合物を含むことと、
洗浄した前記構成部品を乾燥させることと
を含む、
プラズマ処理チャンバの構成部品。
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