JP2016051807A - 半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
Description
半導体基板と、
前記半導体基板上に位置し、活性層と第1の回折格子を有する活性領域と、
前記半導体基板上に位置し、前記活性層と光軸方向で連続する導波層、及び前記第1の回折格子と前記光軸方向で連続する第2の回折格子を有する導波領域と、
を有し、
前記第2の回折格子の繰り返し周期は均一であり、
前記第1の回折格子は繰り返し周期が不均一な部分を有し、前記第1の回折格子の格子存在密度は前記第2の回折格子の格子存在密度よりも小さく設定されている。
<第1実施形態>
図3は、第1実施形態の半導体レーザ10Aの導波方向に沿った概略断面図である。半導体レーザ10Aは、電流が注入されてレーザ発振する活性領域1と、電流が注入されず、活性領域1から出射されたレーザ光を反射させて活性領域1へ戻す導波領域2とを有する分布反射型レーザである。活性領域1と導波領域2は半導体基板11上に隣接して集積されている。
<第2実施形態>
図4は、第2実施形態の半導体レーザ10Bの導波方向に沿った概略断面図である。半導体レーザ10Bは、電流が注入されてレーザ発振する活性領域1と、電流が注入されず、活性領域1から出射されたレーザ光を反射させて活性領域1へ戻す導波領域2とを有する分布反射型レーザである。活性領域1と導波領域2は半導体基板11上に隣接して集積されている。
<効果確認>
図5〜図8は、実施形態の構成による半導体レーザ(10Aまたは10B)の効果を示す図である。図5は、回折格子の間引きの割合と結合係数との相関関係を示す図である。上述のように、「間引きの割合」とは、回折格子13Aまたは13Bで間引きを行わないときのmコマの格子からnコマを間引いた時の割合n/mと定義する(m>n)。
κ=K0(n2−n1)/2
で表現することが困難になる。ここでn1は回折格子内の凸部の実効屈折率、n2は凹部の実効屈折率、k0は伝搬光の真空中での波数である。
2 導波領域(DBR領域)
11 半導体基板
13A、13B DFBの回折格子
14 DBRの回折格子
15A、15B 間引きパタン
17、18 格子パタン
21 活性層
22 導波層
23 コンタクト層
κ1 DFBの結合係数
κ2 DBRの結合係数
Claims (6)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に位置し、活性層と第1の回折格子を有する活性領域と、
前記半導体基板上に位置し、前記活性層と光軸方向で連続する導波層、及び前記第1の回折格子と前記光軸方向で連続する第2の回折格子を有する導波領域と、
を有し、
前記第2の回折格子の繰り返し周期は均一であり、
前記第1の回折格子は繰り返し周期が不均一な部分を有し、前記第1の回折格子の格子存在密度は前記第2の回折格子の格子存在密度よりも小さく設定されている
ことを特徴とする半導体レーザ。 - 前記繰り返し周期の不均一な部分は、1または複数の格子で光軸方向に沿った格子幅が広げられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ。
- 前記繰り返し周期の不均一な部分は、格子と格子の間の溝幅が広げられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ。
- 前記繰り返し周期の不均一な部分において、一定間隔で格子の繰り返しが間引きされており、前記間引きの割合は0.1〜0.35であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体レーザ。
- 前記第1の回折格子の前記繰り返し周期の不均一な部分を除く領域は、前記第2の回折格子の繰り返し周期と同じ繰り返し周期を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体レーザ。
- 前記第1の回折格子は、前記半導体基板の基板面と垂直方向で、前記活性層の下方に位置し、
前記第2の回折格子は、前記半導体基板の基板面と垂直方向で、前記導波層の下方に位置することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体レーザ。
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---|---|---|---|---|
JP2017204601A (ja) * | 2016-05-13 | 2017-11-16 | 日本電信電話株式会社 | 半導体レーザ |
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Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR102188960B1 (ko) * | 2017-01-13 | 2020-12-10 | 한국전자통신연구원 | 광학 장치, 분포 브라그 반사형 레이저 다이오드의 제조방법, 및 광학 장치의 제조 방법 |
US11233375B2 (en) | 2019-10-01 | 2022-01-25 | Ii-Vi Delaware, Inc. | Two-kappa DBR laser |
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US11784464B2 (en) | 2020-09-30 | 2023-10-10 | Ii-Vi Delaware, Inc. | Directly modulated laser |
US20220263286A1 (en) * | 2021-02-16 | 2022-08-18 | Macom Technology Solutions Holdings, Inc. | High kappa semiconductor lasers |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11163464A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Nec Corp | 分布帰還型半導体レーザ |
JP2002353559A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-06 | Nec Corp | 半導体レーザ及びその製造方法 |
JP2004128372A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 分布帰還型半導体レーザ素子 |
JP2010251609A (ja) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Fujitsu Ltd | 半導体レーザ |
US20130003771A1 (en) * | 2011-07-01 | 2013-01-03 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Distributed feedback laser diode having asymmetric coupling coefficient and manufacturing method thereof |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1240167C (zh) | 2000-05-04 | 2006-02-01 | 艾吉利提通信公司 | 用于取样光栅分布型布拉格反射激光器的改进反射镜和腔 |
US7180930B2 (en) | 2002-06-20 | 2007-02-20 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | DFB semiconductor laser device having ununiform arrangement of a diffraction grating |
JP4629022B2 (ja) | 2005-12-27 | 2011-02-09 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | レーザ装置、レーザモジュール、および、半導体レーザ |
WO2009116140A1 (ja) * | 2008-03-18 | 2009-09-24 | 富士通株式会社 | 光半導体素子及びその製造方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11163464A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Nec Corp | 分布帰還型半導体レーザ |
JP2002353559A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-06 | Nec Corp | 半導体レーザ及びその製造方法 |
JP2004128372A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 分布帰還型半導体レーザ素子 |
JP2010251609A (ja) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Fujitsu Ltd | 半導体レーザ |
US20130003771A1 (en) * | 2011-07-01 | 2013-01-03 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Distributed feedback laser diode having asymmetric coupling coefficient and manufacturing method thereof |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017204601A (ja) * | 2016-05-13 | 2017-11-16 | 日本電信電話株式会社 | 半導体レーザ |
JP2017204600A (ja) * | 2016-05-13 | 2017-11-16 | 日本電信電話株式会社 | 半導体レーザ |
JP2019091806A (ja) * | 2017-11-15 | 2019-06-13 | 日本電信電話株式会社 | 半導体レーザ |
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