JP2016038940A - プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理ガスを反応室76の内部でプラズマ化させるプラズマ発生装置10において、反応室76を区画する内部ブロック12と、その内部ブロック12を収納可能な下部ブロック14とが、別部材により構成されている。これにより、内部ブロック12を交換するだけで、反応室76全体を交換することが可能となり、反応室76の劣化に適切、かつ、容易に対応することが可能となる。
【選択図】図1
Description
図1に、本発明の実施例の大気圧プラズマ発生装置10を示す。大気圧プラズマ発生装置10は、大気圧下でプラズマを発生させるための装置である。大気圧プラズマ発生装置10は、内部ブロック12と、下部ブロック14と、アース板16と、照射ノズル18と、1対の被覆部材20,22と、1対の電極24,26と、連結部材28と、上部ブロック30とを備えている。
大気圧プラズマ発生装置10では、上述した構成により、内部ブロック12の凹部32と被覆部材20,22とによって区画された反応室76の内部において、処理ガスがプラズマ化され、照射ノズル18のノズル穴72からプラズマが照射される。以下に、大気圧プラズマ発生装置10によるプラズマの発生について、詳しく説明する。
Claims (6)
- 反応室内に配置され、処理ガスを前記反応室内でプラズマ化させるための複数の電極と、
絶縁性素材により形成され、前記反応室を区画する第1ブロック部材と、
前記第1ブロック部材を着脱可能に収納するための第2ブロック部材と
を備えたプラズマ発生装置。 - 前記第1ブロック部材が、
凹部が形成されたブロック本体部と、前記凹部の開口を塞ぐ蓋部とを有し、
前記反応室が、
前記凹部と前記蓋部とによって区画されることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ発生装置。 - 当該プラズマ発生装置が、
絶縁性素材により形成され、前記反応室内において前記電極の先端部を除く部分を被覆する被覆部材を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマ発生装置。 - 前記被覆部材が、
少なくとも前記被覆部材の前記電極の先端部に近い側の部分において、前記電極に着脱可能であることを特徴とする請求項3に記載のプラズマ発生装置。 - 当該プラズマ発生装置が、
前記被覆部材に形成され、活性ガスを含まない処理ガスを前記反応室内に流すための第1ガス流路と、
前記被覆部材と異なる部材に形成され、活性ガスを含む処理ガスを前記反応室内に流すための第2ガス流路と
を備えることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のプラズマ発生装置。 - 当該プラズマ発生装置が、
前記複数の電極への電圧の印加により、前記複数の電極の間で放電するとともに、前記反応室を区画する前記第1ブロック部材の内壁面に沿って放電することで、その放電によりプラズマを発生させることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置。
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