JP2010059522A - 成膜方法及び成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被処理体Wの表面に薄膜を形成するための成膜装置12において、処理容器14と、その上に被処理体Wを載置する窒化アルミニウム製の載置台62と、被処理体Wを加熱するための加熱手段66と、載置台62に対向させて配置され、処理容器14内へ必要なガスを導入するシャワーヘッド部18と、シャワーヘッド部の周辺部に、処理容器14内のクリーニング処理後の昇温時に不活性ガスを供給するためのヘッド周辺部ガス供給手段22とを備える。これにより、クリーニング処理時に生成してしまったAlF系物質が載置台62の昇温時にパーティクルとなって飛散してもこれが対向するシャワーヘッド部に付着しないようにする。
【選択図】図1
Description
請求項3の発明は、請求項1又は2の発明において、前記シャワーヘッド部の外周側には、僅かな隙間を隔ててその下面が前記シャワーヘッド部のガス噴射面と同一水平レベルになされた充填部材が設けられている。
請求項4の発明は、請求項3の発明において、前記充填部材は、前記昇温時には250℃以上に維持されている。
請求項6の発明は、請求項5の発明において、前記ガス流路の途中には、複数の通気孔を有する拡散板が設けられている。
請求項7の発明は、請求項5又は6の発明において、前記ガス出口には、複数のガス孔を有する分散板が設けられている。
請求項9の発明は、請求項1乃至8のいずれか一項の発明において、前記シャワーヘッド部には、プラズマ発生用のプラズマ形成手段が接続されて上部電極として構成され、前記載置台は下部電極として構成されている。
請求項10の発明は、請求項1乃至9のいずれか一項の発明において、前記薄膜は、チタン膜又はチタン窒化膜である。
請求項12の発明は、請求項11の発明において、前記クリーニング処理で用いるクリーニングガスはフッ素系ガスである。
請求項13の発明は、請求項1乃至12のいずれか一項の発明において、前記フッ素系ガスは、ClF3 、NF3 、C2 F6 、F2 、HFよりなる群より選択される1以上のガスである。
被処理体飛の表面に薄膜を形成するための成膜装置において、処理容器内のクリーニング処理後に載置台の温度を成膜処理を行うプロセス温度まで再び昇温する際に、シャワーヘッド部から不活性ガスを供給すると共にヘッド周辺部ガス供給手段からパーティクルの最も付着する傾向にあるシャワーヘッド部の周辺部に不活性ガスを供給してこの部分をパージするようにしたので、載置台側から飛散してくるパーティクルを前記供給された不活性ガスで押し流し、このパーティクルがシャワーヘッド部の周辺部に付着することを防止することができる。
図1は本発明に係る成膜方法を実施する成膜装置の一例を示す断面構成図、図2はシャワーヘッド部のガス噴射面側を示す平面図である。尚、ここでは薄膜としてチタン膜(Ti膜)をプラズマCVDにより成膜する場合を例にとって説明する。
次に、本発明方法と従来方法を実施した時のシャワーヘッド部のガス噴射面の外周近傍のAlF3 量をシミュレーションによって比較したので、その評価結果について説明する。図6は本発明方法と従来方法を実施した時のシャワーヘッド部のガス噴射面の外周近傍のAlF3 量を示すグラフであり、図6(A)は従来方法を実施した時の総ガス流量とAlF3 量との関係を示すグラフである。ここでは、パージガスとしてはArガスとN2 ガスとの混合ガスを用いており、両ガスの流量は互いに同じ値に設定している。この従来方法では、前述したようにシャワーヘッド部18のガス噴出口16から上記混合ガスを流している。
次に、シャワーヘッド部18の外周側に設けた充填部材20の温度がシャワーヘッド部のガス噴射面の外周近傍のAlF3 量に与える影響を調べたので、その評価結果について説明する。図7は充填部材の温度とAlF3 量との関係を示すグラフである。
14 処理容器
18 シャワーヘッド部
18A ガス噴射面
20 充填部材
20A 充填部材の下面
22 ヘッド周辺部ガス供給手段
24 隙間
26 ガス流路
28 ガス出口
40 プラズマ形成手段
42 高周波電源
52 真空排気系
62 載置台
66 加熱ヒータ(加熱手段)
90 ガス供給系
92 原料ガス管
94 還元ガス管
96 クリーニングガス管
98 希ガス管
100 N2 ガス管
102,104 分岐管
106 制御部
108 記憶媒体
122 分散板
126 拡散板
W 半導体ウエハ(被処理体)
Claims (15)
- 被処理体の表面に薄膜を形成するための成膜装置において、
真空排気が可能になされた処理容器と、
前記処理容器内に設けられて、その上に前記被処理体を載置する窒化アルミニウム製の載置台と、
前記被処理体を加熱するための加熱手段と、
前記載置台に対向させて配置され、前記処理容器内へ必要なガスを導入するシャワーヘッド部と、
前記シャワーヘッド部の周辺部に、前記処理容器内のクリーニング処理後の昇温時に不活性ガスを供給するためのヘッド周辺部ガス供給手段と、
を備えたことを特徴とする成膜装置。 - 前記ヘッド周辺部ガス供給手段のガス出口は、前記シャワーヘッド部の外周側に設けられていることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記シャワーヘッド部の外周側には、僅かな隙間を隔ててその下面が前記シャワーヘッド部のガス噴射面と同一水平レベルになされた充填部材が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の成膜装置。
- 前記充填部材は、前記昇温時には250℃以上に維持されていることを特徴とする請求項3記載の成膜装置。
- 前記僅かな隙間の下端の開口部は、前記ガス出口として形成されると共に、前記僅かな隙間は前記ヘッド周辺部ガス供給手段のガス流路として形成されていることを特徴とする請求項3又は4記載の成膜装置。
- 前記ガス流路の途中には、複数の通気孔を有する拡散板が設けられていることを特徴とする請求項5記載の成膜装置。
- 前記ガス出口には、複数のガス孔を有する分散板が設けられていることを特徴とする請求項5又は6記載の成膜装置。
- 前記ヘッド周辺部ガス供給手段は、前記シャワーヘッド部に一体的に組み込まれており、前記ヘッド周辺部ガス供給手段のガス出口は、前記シャワーヘッド部のガス噴射面の周辺部に沿って形成されていることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記シャワーヘッド部には、プラズマ発生用のプラズマ形成手段が接続されて上部電極として構成され、前記載置台は下部電極として構成されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 前記薄膜は、チタン膜又はチタン窒化膜であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記薄膜を形成するために原料ガスが用いられ、原料ガスは、TiCl4 、TDMAT(ジメチルアミノチタニウム)、TDEAT(ジエチルアミノチタン)よりなる群より選択される1以上のガスであることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記クリーニング処理で用いるクリーニングガスはフッ素系ガスであることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記フッ素系ガスは、ClF3 、NF3 、C2 F6 、F2 、HFよりなる群より選択される1以上のガスであることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 請求項1乃至13のいずれか一項に記載の成膜装置を用いて被処理体の表面に第1の温度で薄膜を形成する方法において、
前記第1の温度よりも低い第2の温度にてフッ素系ガスよりなるクリーニングガスを用いて前記処理容器内をクリーニングするクリーニング工程と、
前記載置台を前記第1の温度から前記第2の温度に向けて昇温させつつシャワーヘッド部から不活性ガスを供給すると共にヘッド周辺部ガス供給手段から不活性ガスを供給するようにした昇温工程と、
前記処理容器内へ成膜用のガスを流してプリコート膜を形成するプリコート工程と、
前記載置台を前記第1の温度に維持して前記被処理体に対して薄膜を形成する成膜工程と、
を有することを特徴とする成膜方法。 - 請求項1乃至13のいずれか一項に記載の成膜装置を用いて被処理体の表面に第1の温度で薄膜を形成するに際して、
請求項14に記載した成膜方法を実行するように前記成膜装置を制御するコンピュータに読み取り可能なプログラムを記憶することを特徴とする記憶媒体。
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