JP2009158491A - プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ発生装置110は、アルミナ(Al2O3)を原料とする焼結体から成る筐体部11を有する。筐体部11は、スリット状のガス導入口11i及び複数個の円筒状のガス噴出口11oを有する。ガス導入口11iからプラズマ化領域Pの直上までは、スリット幅(2.Aの前後方向、図2.Bの左右方向)を1mmとし、内径1〜2mmのガス噴出口11oはプラズマ化領域Pの長手方向に一直線状に形成されている。プラズマ化領域Pの断面は一辺2〜5mmの正方形とした。電極2a及び2bは各々向き合った表面に凹部(ホロー)を有する。商用交流電圧である、60Hz、100Vを用いて約9kVに昇圧し、20mAで電極2a、2b間に印加し、アルゴンをガス導入口11iから導入すると、電極2a及び2b間を4cm迄離間しても、プラズマ化が確認された。
【選択図】図2
Description
請求項3に係る発明は、プラズマ化領域の長手方向及びガス流方向に垂直な幅を、2mm以上5mm以下としたことを特徴とする。
請求項5に係る発明は、1対の電極が、1cm以上50cm以下の距離で離間して配置されていることを特徴とする。
請求項6に係る発明は、1対の電極の少なくとも一方には、他方の電極と対向する表面に凹凸が形成されていることを特徴とする。
請求項7に係る発明は、柱状のプラズマ化領域の長手方向の長さLcmと、長手方向に垂直な断面積σmm2の関係は、2≦Lσ≦200且つ3≦σ≦25であることを特徴とする。
特許文献1及び2に記載された凹凸面を有する電極を用いたホローカソード放電を利用すると、容易に大気圧プラズマを生成できる。
本発明の柱状のプラズマ化領域の長手方向の長さL(cm)は1以上50以下であり、長手方向に垂直な断面積σ(mm2)は3以上25以下である。柱状のプラズマ化領域は、断面積σが小さいほど長さLを長くできる。また、筐体部が実質的に筒状である方が、長さLを長くできる。Lとσの関係は2≦Lσ≦200であればプラズマを安定して生成できることが実験で確かめられた。
以上の全ての発明において、大気圧が望ましいが、減圧でも、加圧でも良く、大気圧には、0.5〜2気圧程度も大気圧とする。
電極2a及び2b間を長さ24cmとして、筒状の筐体部10の内径を変化させたところ、内径3mm以下で安定して放電した。また、筒状の筐体部10の内径を3mmとして、電極2a及び2b間の長さを変化させたところ、距離24cm以下で安定して放電した。
プラズマ発生装置110は、液晶表示器のガラス基板において、異方性導電フィルム(ACF)を貼付する部分を、ACFを貼付する前に洗浄することで、ACFの基板に対する接着度を向上させることができる。
また、電極2a及び2b間を長さ4cmとして、プラズマ化領域Pの断面の一辺の長さを変化させたところ、5mm以下で安定して放電した。また、プラズマ化領域Pの断面の一辺の長さを5mmとして、電極2a及び2b間の長さを変化させたところ、距離4cm以下で安定して放電した。
10、11:筐体部
10i、11i:ガス導入口
10o、11o:ガス噴出口
2a、2b:各々向き合った表面に凹部(ホロー)を有する一対の電極
P:プラズマ化領域
H:一対の電極2a及び2bの互いに向き合った表面に形成された凹部(ホロー)
Claims (7)
- 大気圧プラズマ発生装置において、
長手方向を有する柱状のプラズマ化領域を形成する絶縁体から成る筐体部と、
前記筐体部に内包される前記プラズマ化領域に、長手方向に離間して配設された1対の電極と、
前記プラズマ化領域の長手方向に沿って、プラズマ発生用ガスを前記プラズマ化領域に導入するプラズマ発生用ガスの導入口と、
前記プラズマ化領域の長手方向に沿って、前記少なくとも一部がプラズマ化したガスを噴出し、前記プラズマ化領域の長手方向に沿って配設された噴出口と
を有することを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。 - 前記プラズマ化領域は、長手方向の長さが、1cm以上50cm以下であり、長手方向に垂直な断面積は、3mm2 以上25mm2 以下であることを特徴とする請求項1に記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記プラズマ化領域の長手方向及びガス流方向に垂直な幅は、2mm以上5mm以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記筐体内部を、実質的に加圧も減圧もしない、大気圧プラズマ発生源とすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記1対の電極が、1cm以上50cm以下の距離で離間して配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記1対の電極の少なくとも一方には、他方の電極と対向する表面に凹凸が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記柱状のプラズマ化領域の長手方向の長さLcmと、長手方向に垂直な断面積σmm2の関係は、2≦Lσ≦100且つ3≦σ≦25であることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の大気圧プラズマ発生装置。
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