JP2009540568A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. ガス放電レーザのためのチャンバであって、
   壁を有し、前記壁が、チャンバ容積を囲む内面と、外面とを有すると共に、オリフィスを伴って形成される、チャンバ・ハウジングと、
   前記オリフィスを貫通して延びる、前記チャンバ容積の中に電流を流すための少なくとも１つの導電体と、
   前記導電体と前記壁との間に配置される、前記オリフィスを通るガス流を防いで前記容積中のチャンバ圧力が保持できるようにするための部材と、
   前記オリフィスに隣接して配置される、前記壁の前記外面の少なくとも一部における圧力を保持して前記チャンバ圧力に起因する前記オリフィス近辺における前記壁の反りを減少させるための与圧コンパートメントと、
   を備えることを特徴とするチャンバ。
2. 前記流れ防止部材が、セラミック絶縁体と、前記セラミック絶縁体と前記ハウジング壁との間に配置される圧縮可能なシールとを含むことを特徴とする、請求項１に記載のチャンバ。
3. 前記チャンバ容積内部の前記ガス圧が５００ｋＰａを超えることを特徴とする、請求項１に記載のチャンバ。
4. 前記導電体は放電電極と電気的に連通することを特徴とする、請求項１に記載のチャンバ。
5. ガス放電レーザのためのチャンバであって、
   与圧可能なチャンバ容積を囲む壁を有するチャンバ・ハウジングと、
   前記チャンバ容積の中に配置された一対の離間された放電電極と、
   前記容積の中に配置され、前記ハウジング壁の一部に連結されたセラミック絶縁体と、 前記絶縁体の変形を減少させるために、前記壁の一部の両側の圧力差を減少させる手段と、
   を備えることを特徴とするチャンバ。
6. 前記壁の一部は複数のオリフィスを伴って形成され、前記チャンバは複数の導電体をさらに備え、前記壁を通して前記放電電極のうちの１つに電流を流すために、前記導電体の各々はそれぞれのオリフィスを貫通して延びることを特徴とする、請求項５に記載のチャンバ。
7. 前記絶縁体は前記電極のうちの１つと前記壁の一部との間に位置決めされることを特徴とする、請求項５に記載のチャンバ。
8. 前記減少させる手段が、前記壁の一部に取り付けてコンパートメントを構築するためのカバーと、前記コンパートメントに与圧するためのガス供給源とを含むことを特徴とする、請求項５に記載のチャンバ。
9. 前記カバーは、前記コンパートメント内のオゾンのビルドアップを除去するために前記カバーを通過してガスが流れるようにするための出口オリフィスを伴って形成されることを特徴とする、請求項８に記載のチャンバ。
10. レーザ・ビームを生成するための方法であって、
    チャンバ容積を囲む壁を有するチャンバ・ハウジングを提供し、
    前記チャンバ容積の中に一対の離間された放電電極を配置し、
    前記容積の中にセラミック絶縁体を配置し、前記絶縁体を前記ハウジング壁の一部に連結し、
    前記チャンバをガス状利得媒質で与圧し、
    前記利得媒質中に放電を生じさせるために、前記電極間に電圧差を構築し、
    前記絶縁体の変形を減少させるために、前記壁の一部の両側の圧力差を減少させる、
    ステップを含むことを特徴とする方法。