JP7381728B2 - 放電レーザ用導電部材 - Google Patents
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関連出願の相互参照
[0001] 本願は２０１９年１０月１１日に提出され、ＣＯＮＤＵＣＴＩＶＥ ＭＥＭＢＥＲ ＦＯＲ ＤＩＳＣＨＡＲＧＥ ＬＡＳＥＲと題された米国出願第６２／９１４，３５９号の優先権を主張するものであり、同出願はその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
[0001] 本願は２０１９年１０月１１日に提出され、ＣＯＮＤＵＣＴＩＶＥ ＭＥＭＢＥＲ ＦＯＲ ＤＩＳＣＨＡＲＧＥ ＬＡＳＥＲと題された米国出願第６２／９１４，３５９号の優先権を主張するものであり、同出願はその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
[0001] 本発明は、レーザの放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材と、関連する装置と、システムと、方法とに関する。
[0002] リソグラフィ装置は、基板に所望のパターンを適用するように構築された機械である。リソグラフィ装置は、例えば集積回路（ＩＣ）の製造において使用可能である。リソグラフィ装置は、例えばパターニングデバイス（例えばマスク）のパターン（「設計レイアウト」又は「設計」と称されることも多い）を、基板（例えばウェーハ）上に提供された放射感応性材料（レジスト）層に投影し得る。
[0003] 半導体製造プロセスが進み続けるにつれ、回路素子の寸法は継続的に縮小されてきたが、その一方で、デバイス毎のトランジスタなどの機能素子の量は、「ムーアの法則」と通称される傾向に従って、数十年にわたり着実に増加している。ムーアの法則について行くべく、半導体産業はますます小さなフィーチャを作り出すことを可能にする技術を追求している。基板にパターンを投影するために、リソグラフィ装置は電磁放射を用い得る。この放射の波長が、基板上にパターン形成されるフィーチャの最小サイズを決定する。より低い波長は基板上でのより小さなフィーチャの作製を可能にする。現在使用されている典型的な波長は、３６５ｎｍ（ｉ線）、２４８ｎｍ、１９３ｎｍ、及び１３．５ｎｍである。深紫外（ＤＵＶ）放射を使用するリソグラフィ装置が１９３又は２４８ｎｍの波長で動作し得る一方で、極端紫外線（ＥＵＶ）放射を使用するリソグラフィ装置は、４ｎｍから２０ｎｍの範囲内、例えば６．７ｎｍ又は１３．５ｎｍの波長で動作し得る。
[0004] ＤＵＶ放射を生じさせるためにはガス放電レーザが用いられ得る。そのようなレーザにおいては、カソード及びアノードが、レーザのチャンバ内に、典型的には間隔を置いて配設される。カソードとアノードとの間に放電が生じると、カソードからアノードへ電流が流れることができる。電流はカソード及び／又はアノードの浸食を引き起こし得、その浸食は均一ではないかもしれない。カソード及び／又はアノードの不均一な浸食は、カソード及び／又はアノードの、そしてひいてはレーザのチャンバの、寿命の短縮に繋がり得る。
[0005] 本発明の一態様によれば、レーザの放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材が提供され、導電部材は、導電部材の一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、導電部材は、レーザを電圧源に接続するように及び電圧源とレーザの放電チャンバとの間にインターフェイスを提供するように構成されている。導電部材の一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させることによって、導電部材を通じて伝えられる電流密度又は電流の均一性が高められ得る。これは転じて放電チャンバにおける電流プロファイルの改善された均一性をもたらし得ることがわかっている。放電チャンバにおける電流プロファイルの改善された均一性は、カソード及びアノードのより均一な浸食を提供し、これはカソード、アノード、及び／又はレーザの放電チャンバの寿命の延長に繋がり得る。
[0006] 導電部材はチャネルを複数備え得る。チャネルの各々は導電部材の一部と関連付けられ得る。チャネルの各々は、導電部材の関連付けられた一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成されていてもよい。
[0007] 導電部材は第１の端部を備え得る。第１の端部はチャネルのうち少なくとも１つを備え得る。
[0008] 第１の端部は第１の丸み付き縁部を備え得る。第１の端部はチャネルのうち少なくとも２つを備え得る。チャネルのうち少なくとも２つは第１の丸み付き縁部から長手方向に内向きに延伸し得る。
[0009] 導電部材は第２の端部を備え得る。第２の端部はチャネルのうち少なくとも１つを備え得る。
[00010] 第２の端部は第２の丸み付き縁部を備え得る。第２の端部はチャネルのうち少なくとも２つを備え得る。チャネルのうち少なくとも２つは第２の丸み付き縁部から長手方向に内向きに延伸し得る。
[00011] 導電部材は複数の電荷蓄積デバイスに接続するように構成され得る。導電部材は複数の導電素子に接続するように構成され得る。導電部材は、複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成され得る。
[00012] 導電部材は複数の第１の接続点を備え得る。導電部材は複数の第２の接続点を備え得る。複数の第１の接続点の各第１の接続点は、複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスに接続するように構成され得る。複数の第２の接続点の各第２の接続点は、複数の導電素子のうち１つの導電素子に接続するように構成され得る。
[00013] 複数の第１の接続点は、導電部材に沿って長手方向に延伸する構成で配置され得る。複数の第２の接続点は、導電部材に沿って長手方向に延伸する構成で配置され得る。
[00014] 導電部材は、チャネルの各々が１つの第１の接続点と１つの第２の接続点との間に配設されるように構成され得る。
[00015] 導電部材は更に絶縁部を備え得る。絶縁部は各チャネルに配設され得る。
[00016] 導電部材は導電バーであってもよく、又は導電バーを備え得る。
[00017] 本発明の別の一態様によれば、放電チャンバと、放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材とを備えるレーザが提供され、導電部材は、導電部材の一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、導電部材は、レーザを電圧源に接続するように及び電圧源とレーザの放電チャンバとの間にインターフェイスを提供するように構成されている。
[00018] レーザは複数の電荷蓄積デバイスを備え得る。レーザは複数の導電素子を備え得る。複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子は導電部材に接続され得る。
[00019] 導電部材は、複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成され得る。
[00020] 複数の導電素子は電流を放電チャンバ内に誘導するように構成され得る。
[00021] 導電部材はチャネルを複数備え得る。チャネルの各々は導電部材の一部と関連付けられ得る。チャネルの各々は、導電部材の関連付けられた一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成されていてもよい。
[00022] 放電チャンバは１つ以上のガスを保持するように構成され得る。１つ以上のガスは、クリプトン、アルゴン、及び／又はフッ素を備え得る。
[00023] 上記の態様の導電部材の特徴は、本態様の導電部材にも適用され得るか又は備えられ得る。
[00024] 本発明の別の一態様によれば、放電チャンバと放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための上記の態様のいずれかによる導電部材とを備えるレーザを備える放射源と、リソグラフィ装置とを備えるリソグラフィシステムが提供される。
[00025] 本発明の別の一態様によれば、レーザを動作させる方法が提供され、レーザは、レーザ放電チャンバを有するレーザと、放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材であって、導電部材の一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、レーザを電圧源に接続すると共に電圧源とレーザの放電チャンバとの間にインターフェイスを提供する、導電部材と、を備えており、方法は、放電に関連する電流が導電部材を通じて放電チャンバ内に流れるように、放電チャンバにおいて放電を生じさせるべく電圧を導電部材に印加することを備える。
[00026] レーザは複数の電荷蓄積デバイスを備え得る。レーザは複数の導電素子を備え得る。複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子は導電部材に接続され得る。
[00027] 導電部材は、複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成され得る。複数の導電素子は電流を放電チャンバ内に誘導するように構成され得る。
[00028] 電圧を導電部材に印加することは、導電部材の一部の複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のうち関連する１つの導電素子への電流流路が、導電部材の別の一部の複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のうち関連する１つの導電素子への電流流路よりも長くなるように、複数の電荷蓄積デバイスから複数の導電素子に導電部材を介して電流を流れさせ得る。
[00029] 電圧を導電部材に印加することは、複数の導電素子から放電チャンバ内へ電流を流れさせ得る。
[00030] 電圧を導電部材に印加するステップは、負電位を導電部材に印加することを備え得る。
[00031] 導電部材はチャネルを複数備え得る。チャネルの各々は導電部材の一部と関連付けられ得る。チャネルの各々は、導電部材の関連付けられた一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成されていてもよい。
[00032] 導電部材は更に、各チャネルに配設された絶縁部を備え得る。
[00033] 上記の態様の導電部材の特徴は、本態様の導電部材にも適用され得るか又は備えられ得る。
[00034] 上記又は下記で述べる本発明の種々の態様及び特徴は、当業者には容易に明らかになるように、本発明の種々の他の態様及び特徴と組み合わせられ得る。
[00035] 次に本発明の実施形態を、単なる例として、添付の概略図を参照して説明する。
[00046] 図１は、放射源ＳＯ及びリソグラフィ装置ＬＡを備えるリソグラフィシステムを概略的に示している。リソグラフィ装置ＬＡは、放射ビームＢ（例えばＵＶ放射、ＤＵＶ放射又はＥＵＶ放射）を調節するように構成された照明システム（イルミネータとも称される）ＩＬと、パターニングデバイス（例えばマスク）ＭＡを支持するように構築され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスＭＡを正確に位置決めするように構成された第１のポジショナＰＭに接続されたマスクサポート（例えばマスクテーブル）ＭＴと、基板（例えばレジストコートウェーハ）Ｗを保持するように構築され、特定のパラメータに従って基板サポートを正確に位置決めするように構成された第２のポジショナＰＷに接続された、基板サポート（例えばウェーハテーブル）ＷＴと、パターニングデバイスＭＡによって放射ビームＢに付与されたパターンを基板Ｗのターゲット部分Ｃ（例えば１つ以上のダイを含む）に投影するように構成された投影システム（例えば屈折投影レンズシステム）ＰＳとを備える。
[00047] 動作時には、照明システムＩＬは、放射源ＳＯから、例えばビームデリバリシステムＢＤを介して、放射ビームを受ける。照明システムＩＬは、放射を誘導し、整形し、及び／又は制御するための、屈折型、反射型、磁気型、電磁型、静電型、及び／又は他のタイプの光学コンポーネント、あるいはそれらの任意の組み合わせなどの様々なタイプの光学コンポーネントを含むことができる。イルミネータＩＬは、放射ビームＢを、パターニングデバイスＭＡの平面において、その断面が所望の空間強度分布と角度強度分布とを有するように調節するために用いられ得る。
[00048] 本明細書において使用する「投影システム」ＰＳという用語は、例えば使用する露光放射、及び／又は液浸液の使用や真空の使用などの他の要因に合わせて適宜、屈折光学システム、反射光学システム、反射屈折光学システム、アナモルフィック光学システム、磁気光学システム、電磁気光学システム及び／又は静電光学システム、又はその任意の組み合わせを含む様々なタイプの投影システムを網羅するものとして広義に解釈されるべきである。本明細書において「投影レンズ」という用語を使用する場合、より一般的な用語である「投影システム」ＰＳと同義と見なすことができる。
[00049] リソグラフィ装置ＬＡは、投影システムＰＳと基板Ｗとの間の空間を充填するように、基板の少なくとも一部を水などの比較的高い屈折率を有する液体で覆えるタイプでもよい。これは液浸リソグラフィとも称される。液浸技術についての更なる情報は、参照により本明細書に組み込まれる米国特許第６９５２２５３号明細書に記載されている。
[00050] リソグラフィ装置ＬＡは、２つ以上の基板サポートＷＴを有するタイプのもの（「デュアルステージ」とも呼ばれる）であってもよい。そのような「マルチステージ」機械においては、基板サポートＷＴが並列に使用されてもよいし、及び／又は、他の基板サポートＷＴ上の他の基板Ｗが他の基板Ｗ上のパターンを露光するために使用中である間に、基板サポートＷＴの１つに位置する基板Ｗについて基板Ｗの後続の露光の準備のステップが実行されてもよい。
[00051] 基板サポートＷＴに加え、リソグラフィ装置ＬＡは、測定ステージを備えていてもよい。測定ステージは、センサ及び／又は洗浄デバイスを保持するように配置される。センサは投影システムＰＳのプロパティ又は放射ビームＢのプロパティを測定するように配置されてもよい。測定ステージは複数のセンサを保持していてもよい。洗浄デバイスは、リソグラフィ装置の一部、例えば投影システムＰＳの一部又は液浸液を提供するシステムの一部を洗浄するように配置されてもよい。測定ステージは、基板サポートＷＴが投影システムＰＳから離れているときに、投影システムＰＳの下で移動し得る。
[00052] 動作時には、放射ビームＢは、マスクサポートＭＴによって保持されたパターニングデバイス、例えばマスクＭＡに入射し、パターニングデバイスＭＡ上に存在するパターン（設計レイアウト）によってパターン形成される。マスクＭＡを通過した放射ビームＢは投影システムＰＳを通り抜け、投影システムはビームを基板Ｗのターゲット部分Ｃ上に合焦させる。第２のポジショナＰＷ及び位置測定システムＩＦの助けを借りて、基板サポートＷＴは、例えば、様々なターゲット部分Ｃを放射ビームＢの経路中の合焦され且つアライメントされた位置に位置決めするように、正確に移動することができる。同様に、第１のポジショナＰＭと恐らくは別の位置センサ（図１には明示されていない）とを用いて、パターニングデバイスＭＡを放射ビームＢの経路に対して正確に位置決めしてもよい。パターニングデバイスＭＡ及び基板Ｗは、マスクアライメントマークＭ１，Ｍ２及び基板アライメントマークＰ１，Ｐ２を使用してアライメントされてもよい。基板アライメントマークＰ１，Ｐ２は、図示では専用のターゲット部分を占めているが、ターゲット部分の間の空間に配置されてもよい。基板アライメントマークＰ１，Ｐ２は、ターゲット部分Ｃの間に配置されるとき、スクライブラインアライメントマークという。
[00053] 図２は、例えば図１に示されるリソグラフィシステムのようなリソグラフィシステムにおいて用いられるレーザ１０の一部を示す。レーザ１０は放射源ＳＯの一部であってもよく、又は放射源ＳＯに備えられていてもよい。レーザ１０は、例えばエキシマレーザのような、ガス放電レーザの形で提供され得る。レーザ１０は放電チャンバ１２を含む。レーザ１０は第１の電極１４を備えており、これはカソードであり得る。レーザ１０は第２の電極１６を備えており、これはアノードであり得る。カソード１４及びアノード１６は放電チャンバ１２内に配置される。カソード１４及びアノード１６は、間隔を置いて互いに対向して配置される。アノード１６はカソード１４に対向して支持部材１６ｂ上に配置され得る。支持部材１６ｂはアノード支持バーの形で提供されてもよい。他の実施形態においては第１及び第２の電極を位置決めするための他の構成が用いられ得る。
[00054] 放電チャンバ１２は、例えばガス混合物など、１つ以上のガス１８を保持するように構成され得る。ガス１８は、例えばアルゴン、クリプトン、又はキセノンなどの貴ガスと、例えばフッ素又は塩素などの反応ガスとを備え得る。
[00055] カソード１４とアノード１６との間に電圧が印加されると、カソード１４とアノード１６との間の放電領域２０において放電が生じ得る。放電はチャンバ１２内のガス１８をイオン化し得、これはガス間に化学反応を生じさせ得る。例えば、アルゴンとフッ化物のガス混合物は、励起状態でのみ存在し急速に崩壊する可能性のある励起分子フッ化アルゴン（excited molecule argon fluoride）を化学的に生じ得る。励起分子は光子を放出することによって余剰エネルギーを放出することができ、それによって基底状態に戻り、解離して元の遊離原子になる。放電の際に作り出された光子はその後、チャンバ内で１つ以上の光学コンポーネント（図示しない）によって反射され得、次いでレーザ１０からレーザパルスとして誘導され得る。他の実施形態においては、例えばクリプトンとフッ化物のガス混合物など、別のガス混合物が用いられ得ることは理解されるであろう。
[00056] いくつかの実施形態においては、ガス混合物１８は、放電に先立って、必要な電子密度を作り出すために予備イオン化され得る。レーザは予備イオン化デバイス２１を備えていてもよく、これは、放電に先立ってガス混合物１８をイオン化するための紫外線を生じるように構成され得る。
[00057] レーザ１０は複数の絶縁部品又はコンポーネント１９を備え得る。絶縁部品又はコンポーネント１９は、例えば酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３又はＡｌＯ２）などのセラミック材料を備え得る。代替的には、絶縁部品又はコンポーネント１９は、例えばテフロン等のポリマ又はポリマ化合物を備え得るプラスチック材料を備え得る。絶縁部品又はコンポーネント１９は、例えばカソード１４及びアノード１６を放電チャンバ１２の他の部分から電気的に絶縁するように、放電チャンバ内に様々に配置され得る。
[00058] レーザ１０は、ガスのうち１つ以上を供給するため、放電チャンバ内でガスを循環させるため、放電チャンバ内の温度を調整するため、及び／又は同様のことのための他のコンポーネントを備え得ることは理解されるであろう。これらは明瞭にする目的で図２には図示されていない。
[00059] レーザ１０は、放電チャンバ１２における放電に関連する電流を導くための導電部材２２を備える。別の表現をすれば、放電チャンバにおいて放電があるとき、電流は導電部材２２を通って流れることができる。電流は導電部材２２を通って放電チャンバ１２内へ流れ得る。例えば、電流は、後述するように、導電部材２２を通ってカソード１４へ及びカソード１４からアノード１６へ流れ得る。導電部材２２は、レーザ１０を電圧源２４に接続するように、及び電圧源２４とレーザ１０の放電チャンバ１２との間にインターフェイスを提供するように構成されている。換言すれば、カソード１４及び／又はアノード１６には導電部材２２を通じて電圧が印加され得る。導電部材２２は導電バーの形で提供され得る。導電部材２２は、例えばアルミニウムなどの金属を備え得る。導電部材２２は被覆を含み得る。被覆は耐フッ素性材料を備え得る。一例として、被覆は、例えばニッケルなどの遷移金属を備え得る。
[00060] 図３Ａ及び図３Ｂは、例えば図２に示されるレーザ１０のようなレーザと共に用いられる導電部材２２の例示的な実施形態を示す。導電部材２２は、導電部材２２の第１の部分２８の電流流路を導電部材２２の第２の部分３０の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネル２６を備える。チャネル２６は、代替的又は追加的には、導電部材２２の第３の部分３２の電流流路を導電部材２２の第２の部分３０の電流流路に比べて増大させるように構成され得る。別の表現をすれば、チャネル２６ａは、電流に、導電部材２２の第１の部分２８において、導電部材２２の第２の部分３０の電流の流路に比べてより長い流路をとらせるように構成され得る。これは、導電部材２２における電流密度又は電流の均一性の向上をもたらし得る。これは転じて放電チャンバ１２における電流プロファイルの均一性の改善をもたらし得ることがわかっている。「電流プロファイル」という用語は、カソード１４及び／又はアノード１６に沿った、例えばカソード１４及び／又はアノード１６の長さに沿った、電流及び／又は電流密度を包含するものと考えられ得る。放電チャンバにおける電流プロファイルの改善された均一性はカソード及びアノードのより均一な浸食を提供し得、これはカソード、アノード、及び／又はレーザの放電チャンバの寿命の延長に繋がり得る。
[00061] 導電部材２２は複数のチャネル２６ａから２６ｄを備えており、その４つが図３Ａ及び図３Ｂに示されている。もっとも、チャネルの数は、放電チャンバ１２において所望されもしくは必要とされ得る電流プロファイル及び／又は導電部材２２において所望されもしくは必要とされる電流密度に基づいて選択され得ることは理解されるであろう。また、他の実施形態においては、導電部材は４つよりも多い又は少ないチャネルを備え得ることも理解されるであろう。
[00062] チャネル２６ａから２６ｄの各々は導電部材２２の第１の部分２８又は第３の部分３２と関連付けられ得る。チャネル２６ａから２６ｄの各チャネルは、導電部材２２の関連付けられた部分の電流流路を導電部材の他の部分、すなわち第２の部分３０の電流流路に比べて増大させるように構成されている。図３Ａ及び図３Ｂに示される実施形態においては、２つのチャネル２６ａ，２６ｂが導電部材２２の第１の部分２８と関連付けられている。２つのチャネル２６ａ，２６ｂの各々は、導電部材２２の第１の部分２８の電流流路を導電部材２２の第２の部分３０の電流流路に比べて増大させるように構成され得る。更なる２つのチャネル２６ｃ，２６ｄは導電部材２２の第３の部分３２と関連付けられ得る。やはり、２つの更なるチャネル２６ｃ，２６ｄの各々は、導電部材２２の第３の部分３２の電流流路を導電部材２２の第２の部分３０の電流流路に比べて増大させるように構成され得る。第１、第２、及び第３の部分２８，３０，３２は、図３Ａ及び図３Ｂにおいては破線によって表示されている。
[00063] 導電部材２２は、図３Ａ及び図３Ｂに示されるように、２つのチャネル２６ａ，２６ｂが互いに平行に延伸するように及び／又は２つの更なるチャネル２６ｃ，２６ｄが互いに平行に延伸するように構成され得る。２つのチャネル２６ａ，２６ｂの各々及び／又は更なる２つのチャネル２６ｃ，２６ｄの各々は、導電部材２２の軸又は長手方向Ａに沿って延伸するように配置され得る。
[00064] チャネル２６ａ，２６ｂ及び更なる２つのチャネル２６ｃ，２６ｄの寸法及び構成などのパラメータは、放電チャンバ１２において必要とされる電流プロファイル又は導電部材２２において必要とされる電流密度に基づいて選択され得る。パラメータは、図３Ａに表示されているように、各チャネル２６ａ，２６ｂ及び各更なるチャネル２６ｃ，２６ｄの長さＬ及び幅Ｗを含み得る。各チャネル２６ａ，２６ｂ及び／又は各更なるチャネル２６ｃ，２６ｄの長さは、いくつかの実施形態においては約３から２０ｃｍの範囲内であり得るが、他の実施形態においては他の寸法が用いられ得る。各チャネル２６ａ，２６ｂ及び／又は各更なるチャネル２６ｃ，２６ｄの幅は、いくつかの実施形態においては約０．５から１．３ｃｍの範囲内であり得るが、他の実施形態においては他の寸法が用いられ得る。各チャネル２６ａから２６ｄのそれぞれは、全て同じ寸法パラメータを有していてもよいし、又は異なっていてもよい。
[00065] 導電部材２２は第１の端部３４を備え得る。導電部材２２の第１の部分２８は、導電部材２２の第１の端部３４を定義し得るか又はその一部であり得る。本実施形態においては、第１の端部３４は２つのチャネル２６ａ，２６ｂを備えている。他の実施形態においては第１の端部は２つよりも少ない又は多いチャネルを備え得ることは理解されるであろう。第１の端部３４は第１の丸み付き縁部３４ａを備え得る。導電部材２２は、２つのチャネル２６ａ，２６ｂが第１の丸み付き縁部３４ａから長手方向に内向きに延伸するように構成され得る。
[00066] 導電部材２２は第２の端部３６を備え得る。導電部材２２の第３の部分３２は、導電部材２２の第２の端部３６を定義し得るか又はその一部であり得る。本実施形態においては、第２の端部３６は２つの更なるチャネル２６ｃ，２６ｄを備えている。他の実施形態においては第２の端部は２つよりも多い又は少ない更なるチャネルを備え得ることは理解されるであろう。第２の端部３６は第２の第１の丸み付き縁部３６ａを備え得る。導電部材２２は、更なる２つのチャネル２６ｃ，２６ｄが第２の丸み付き縁部３６ａから長手方向に内向きに延伸するように構成され得る。チャネル２６ａから２６ｄのうち１つ又は全てが第１及び第２の丸み付き縁部３４ａ，３６ａから長手方向に内向きに延伸していてもよい。導電部材２２は、第１及び第２の丸み付き縁部３４ａ，３６ａが互いに対向して配置されるように構成される。
[00067] チャネル２６ａ～２６ｄが無ければ、例えば使用時に、第１及び／又は第２の端部３４，３６において、導電部材２２の残りの部分において流れる電流に比べて増大された電流が流れ得ることを、実験が示している。別の表現をすれば、使用時、第１及び／又は第２の端部３４，３６における電流密度は、導電部材２２の残りの部分における電流密度に比べて高いであろう。導電部材２２の第１の端部３４の一部としてチャネル２６ａ，２６ｂを及び／又は第２の端部３６の一部として更なるチャネル２６ｃ，２６ｄを提供することによって、第１及び／又は第２の端部３４，３６を流れる電流密度又は電流は低減され得る。これは、導電部材２２を通って流れる電流密度又は電流の均一性の向上をもたらし得る。このことは転じてカソード及び／又はアノードのより均一な浸食をもたらすことができ、これはカソード、アノード、及び／又は放電チャンバの寿命の延長に繋がり得る。
[00068] 図３Ａは、フッ化アルゴンガス混合物を保持する放電チャンバ１２と共に用いられ得るが他のガス混合物との関連でも用いられ得る、例示的な導電部材２２を示す。導電部材２２は、上述したように、放電チャンバ１２における放電に関連する電流を導くように構成され得る。導電部材２２の１つ以上の寸法は、放電チャンバ１２において必要とされ又は所望され得る電流プロファイルに基づいて選択され得る。追加的又は代替的には、導電部材２２の寸法は、例えば、使用時に電流が導電部材２２を通って流れるときに、導電部材２２のインダクタンスを最小化する又は低減させるように選択され得る。寸法は、代替的又は追加的には、放電チャンバ１２及び／又はレーザ１０の他の部分の１つ以上の寸法に基づいて選択され得ることは理解されるであろう。本実施形態においては、導電部材２２は、例えば約３０ｍｍなど、２０から５０ｍｍの範囲内の厚さＴを有し得るが、他の実施形態においては他の厚さが用いられ得る。導電部材２２は、厚さＴよりも小さい厚さを有する２つの凹部３５ａも含む。導電部材２２は放電レーザの寸法との関連で選択された長さＬ１及び幅Ｗ１を有し得ると共に、これらは種々の実施形態において変化し得る。
[00069] 図３Ｂは、フッ化クリプトンガス混合物などのガス混合物を含有する放電チャンバ１２と共に用いられ得るような例示的な導電部材２２を示すが、図３Ｂの例示的な導電部材２２は他のガス混合物との関連でも用いられ得る。図３Ｂに示される導電部材２２は、図３Ａに示されるものと類似している。しかしながら、図３Ｂに示される導電部材２２は、図３Ａに示される導電部材２２に比べて薄いことがわかる。本実施形態においては、導電部材２２は、例えば約３ｍｍなど、２から５ｍｍの範囲内の厚さを有し得るが、他の実施形態においては他の厚さが用いられ得る。図３Ｂに示される導電部材２２の長さＬ１及び幅Ｗ１は放電レーザの寸法との関連で選択され、これは種々の実施形態において変化し得る。
[00070] 図４Ａは、図３Ａに示される例示的な導電部材２２の平面図を示す。もっとも、後述する特徴は図３Ｂに示される導電部材２２にも当てはまり得ることは理解されるであろう。導電部材２２は電圧源２４に接続するように構成されている。導電部材２２は、電圧源をレーザに接続するための接続構成の一部を収容するように構成され得る（図４Ａには図示しない）。導電部材２２は２つの凹部３５ａを備え得る。２つの凹部３５ａは、図４Ａの平面内に下向きに凹入しているものと考えられ得る。２つの凹部３５ａは、図３Ａにおいて、より明確に見える。いくつかの実施形態においては、凹部３５ａは、接続構成の少なくとも一部を収容するように構成され得る。２つの凹部３５ａは、導電部材２２の中心又は中央部３７に配置されている。導電部材２２の中央部３７は、導電部材２２の第２の部分３０の一部であり得るか又は第２の部分３０に備えられ得る。凹部３５ａの各々は、軸又は長手方向Ａに沿って延伸するように配置され得る。中心又は中央部３７の幅Ｗ２は、導電部材２２の残りの部分の幅Ｗ１（図３Ａに表示されている）よりも大きくてもよい。中心又は中央部３７は、導電部材２２とレーザ１０の別の部分との間に封止が形成されることを可能にするように構成され得る。
[00071] 導電部材２２は複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子に接続するように構成され得る。例えば、各電荷蓄積デバイスは、図５に示されるようにキャパシタの形で提供され得る。もっとも、電荷を蓄積するための他のデバイスが用いられ得ることは理解されるであろう。各導電素子はフィードスルー素子の価値で提供され得るが、他の実施形態においては他の導電素子が用いられ得る。導電部材２２は、電流を各キャパシタからそれぞれのフィードスルーへ導くように構成され得る。
[00072] 図４Ａを参照すると、導電部材２２は複数の第１の接続点３８を備え得る。各第１の接続点３８は、キャパシタのような電荷蓄積デバイスに接続するように構成され得る。各第１の接続点３８は孔の形で提供されてもよい。第１の接続点３８は導電部材２２の軸又は長手方向Ａに沿って配置される。第１の接続点３８は導電部材２２の外縁又は周囲に近接して配置され得る。第１の接続点３８は導電部材２２の両側に２列３８ａ，３８ｂで配置され得る。第１の接続点３８のうちいくつかは、図４Ａに表示されているように、凹部３５ａに配置されてもよい。
[00073] 導電部材２２は複数の第２の接続点４０を備え得る。各第２の接続点４０は、フィードスルー素子に接続するように構成され得る。各第１の接続点３８は更なる孔の形で提供される。第２の接続点４０は、導電部材２２の軸又は長手方向Ａに沿って線状に配置され得るが、他の実施形態においては他の配置が用いられ得る。第２の接続点４０は第１の接続点３８の２つの列３８ａ，３８ｂの間に配置され得る。各第２の接続点４０は、１対の第１の接続点３８と関連付けられ得る。各第２の接続点４０は、関連付けられた対の第１の接続点３８の間に配置され得る。
[00074] 図４Ｂは、図４Ａに示される導電部材の第１の端部３４を示す。導電部材２２は各チャネル２６ａ，２６ｂが第１の接続点３８と第２の接続点４０との間に延伸するように構成され得、第２の接続点４０には関連付けられた第１の接続点３８から電流が流れ得る。図４Ａに示される例示的な実施形態においては、各チャネル２６ａ，２６ｂは概ね２つの第１の接続点３８と２つの第２の接続点４０との間に延伸している。使用時に導電部材２２がキャパシタ及びフィードスルー素子に接続されると、導電部材２２は、１つ又は１対のキャパシタから関連するフィードスルー素子へ電流を導き得る。導電部材の第１及び第２の部分２８，３０の電流流路は、図４Ｂに矢印によって表示されている。図４Ｂに示されるように、導電部材２２の第１の部分２８の電流の流路は第２の部分３０の電流の流路よりも長い。別の表現をすれば、チャネル２６ａ，２６ｂは、電流に、導電部材２２の第１の部分２８において、導電部材２２の第２の部分３０の電流の流路に比べてより長い流路をとらせるように構成され得る。これは、導電部材２２を通って流れる電流又は導電部材２２における電流密度の均一性の向上に繋がり得る。これは転じてカソード１４及び／又はアノード１４に沿ったより均一な電流又は電流密度をもたらすことができ、それによってカソード及びアノードのより均一な浸食がもたらされ得る。これはカソード、アノード、及び／又は放電チャンバの寿命の延長に繋がり得る。
[00075] 図４Ｃは、導電部材２２の別の例示的な一実施形態の第１の端部３４を示す。図４Ｃに示される導電部材は上述した導電部材２２と類似している。本実施形態においては、導電部材２２は絶縁部４２を備える。絶縁部４２の少なくとも一部は２つのチャネル２６ａ，２６ｂの各々に配置され得る。絶縁部４２は、電流が各チャネル２６ａ，２６ｂにわたって又は２つのチャネル２６ａ，２６ｂの間で流れることを防止するように構成され得る。絶縁部４２は、各チャネル２６ａ，２６ｂのパラメータ及び／又は２つのチャネル２６ａ，２６ｂ間の距離Ｄに基づいて構成され得る。本実施形態においては、絶縁部４２はＵ字形状を備える。他の実施形態においては、例えば各チャネルのパラメータ及び／又は２つのチャネル間の距離に応じて、絶縁部が異なる形状を有し得ることは理解されるであろう。他の実施形態においては、絶縁部は、単片を形成するように結合されていない２つの別個のプロング４２ａを含んでいてもよい。絶縁部４２は、２つのプロング４２ａ及び／又は２つのプロング４２ａを接続する部分４２ｂを備え得る。各プロング４２ａの長さＬ３及び／又は幅Ｗ３は、各チャネル２６ａ，２６ｂの長さＬ及び／又は幅Ｗに基づいて選択され得る。別の表現をすれば、各プロング４２ａの長さＬ３及び／又は幅Ｗ３は、各チャネル２６ａ，２６ｂの長さＬ及び／又は幅Ｗに概ね対応するように選択され得る。絶縁部４２は、例えばプロング４２ａの各々が２つのチャネル２６ａ，２６ｂの各々に配置されるように導電部材２２に配置され得る。絶縁部４２の各プロング４２ａが２つのチャネル２６ａ，２６ｂの各々に配置されると、部分４２ｂが第１の丸み付き縁部３４ａの一部３４ｂを覆い得る。第１の丸み付き縁部３４ａの一部３４ｂは２つのチャネル２６ａ，２６ｂの間に延伸し得る。
[00076] 絶縁部は絶縁材料で形成され得る。例えば、絶縁材料はプラスチック材料を備え得る。プラスチック材料は、例えばテフロン等のポリマ又はポリマ化合物を備え得る。代替的には、絶縁材料は、例えば酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３又はＡｌＯ２）などのセラミック材料を備え得る。絶縁部４２は、各チャネル２６ａ，２６ｂ及び／又は２つのチャネル２６ａ，２６ｂ間における電気アーク又はアーク放電の形成を防止するために、上述したように各チャネル２６ａ，２６ｂに配置され得る。導電部材２２が更なる絶縁部を備え得ることは理解されるであろう。更なる絶縁部は絶縁部４２の特徴のいずれかを備え得る。更なる絶縁部は各更なるチャネル２６ｃ，２６ｄに配置され得る。導電部材２２は、チャネル２６ａから２６ｄのうち１つ以上に配設された絶縁部を含み得る。チャネル２６ａから２６ｄのうち１つ又は全部がそこに配設された絶縁部を含んでいてもよい。
[00077] 図５は、レーザ１０の例示的な一実施形態を示す切り取り図である。レーザ１０は、図２に示されるレーザの一部を備える。よって、図２に関して上述した特徴は図５に示されるレーザ１０にも当てはまり得る。
[00078] 図５は、図２に示されている放電チャンバ１２の外装部１２ａを示す。放電チャンバ１２の外装部１２ａは、放電チャンバ１２の外部の窪みの形で提供され得る。上述したように、レーザ１０は導電部材２２を備える。導電部材２２は放電チャンバの外装部１２ａに取り付けられるように構成されている。図５に示される導電部材２２は、図４Ａ及び４Ｂに示される導電部材２２と同一である。よって、図４Ａ及び図４Ｂに関して上述した特徴は図５に示される導電部材２２にも当てはまり得る。
[00079] レーザ１０は複数の電荷蓄積デバイス４４を備えており、これらは複数のキャパシタの形で提供される。各キャパシタ４４は２００から８００ｐＦの範囲の容量を有し得るが、他の実施形態においては他の容量が用いられ得る。キャパシタ４４の配置は、導電部材２２の第１の接続点３８の配置に対応し得る。換言すれば、キャパシタ４４は、レーザ１０の軸又は長手方向Ｂに沿って配置され得る。キャパシタ４４は放電チャンバ１２の外装部１２ａの両側に２列４４ａ，４４ｂで配置され得る。キャパシタ４４は、例えばねじ、ピン、ボルト、又は同様のものなど、複数の導電性の締結具４６ａを用いて導電部材２２に接続され得る。図５にはその１つが示されている。各締結具４６ａはキャパシタを導電部材２２に接続するように第１の接続点に挿入され得る。
[00080] レーザ１０は複数の導電素子４８を備えており、これらは複数のフィードスルー素子の形で提供される。フィードスルー素子４８の配置は、導電部材２２の第２の接続点４０の配置に対応し得る。換言すれば、フィードスルー素子４８は、図５に示されるようにレーザ１０の軸又は長手方向Ｂに沿って線状に配置され得る。他の実施形態においては他の配置が用いられ得る。フィードスルー素子４８はキャパシタ４４の２つの列４４ａ，４４ｂの間に配置され得る。フィードスルー素子４８は、例えばねじ、ピン、ボルト、又は同様のものなど、複数の更なる導電性の締結具４６ｂを用いて導電部材２２に接続され得る。図５にはその１つが示されている。各更なる締結具４６ｂはフィードスルー素子４８を導電部材２２に接続するように第２の接続点に挿入され得るが、他の締結手段が用いられてもよい。
[00081] いくつかの実施形態においては、レーザ１０は任意選択的な接続部材４５を備え得る。接続部材４５は接続プレート又はインターコネクトプレートの形で提供され得る。接続プレート４５は可撓性であるように構成され得る。例えば、接続プレート４５は１ｍｍ未満の厚さを有し得るが、他の実施形態においては他の厚さが用いられる。接続プレート４５は導電材料を備え得る。導電材料は、例えば銅もしくは真鍮等の金属又は金属合金を備え得る。接続プレート４５は、導電部材２２とキャパシタ４４及びフィードスルー素子４８との間に配置され得る。接続プレート４５は、チャネルを含む導電部材２２と同一又は類似の形状及び構成を有し得る。図５においては、導電部材２２の２つのチャネルに対応する２つのチャネル４５ａ及び４５ｂが視認できる。接続プレート４５のチャネルの数は導電部材２２のチャネルの数に対応し得ることは理解されるであろう。接続プレート４５は、導電部材２２とキャパシタ４４及びフィードスルー素子４８との間の接触を保証するために配置され得る。接続プレート４５は、例えば、キャパシタ４４及びフィードスルー素子４８が接続プレート４５を通じて導電部材２２に接続されることを可能にするために、複数の更に別の孔４５ａを備えていてもよい。
[00082] レーザ１０は、電圧源（図５には図示しない）をレーザ１０、例えば導電部材２２に接続するための接続構成４７を備え得る。接続構成４７は少なくとも２つの接続要素４７ａを備える。各接続要素４７は、例えば金属などの導電材料を備え得る。各接続要素４７ａは導電部材２２のそれぞれの凹部３５ａに配置され得る。接続要素４７ａは、例えばねじ、ピン、ボルト、又は同様のものなど、別の複数の締結具４７ｂによって導電部材２２に固定され得る。接続構成４７は少なくとも２つの更なる接続要素４７ｃを備え得る。２つの更なる接続要素４７ｃは、各々が、ばね又はコイルばね又は同様のものなど、弾性及び／又は可撓性要素の形で提供され得る。各更なる接続要素４７ｃは各接続要素４７ａの窪み４７ｄに配置され得る。接続要素４７ａ及び更なる接続要素４７ｃは導電材料を備え得る。導電材料は、例えばスズ、真鍮、銅、もしくは同様のものなどの金属又は金属合金を備え得る。接続構成４７は、例えば２つのガスケットなど、少なくとも２つの封止要素４７ｅを備え得る。各封止要素４７ｅは、接続要素４７ａ及び／又は更なる接続要素４７ｃを包囲するように配置され得る。別の表現をすれば、各封止要素４７ｅは、導電部材２２と接続要素４７ａ及び／又は更なる接続要素４７ｃとの間に配置され得る。接続構成４７は電圧源と導電部材２２との接触を保証するために提供され得る。他の実施形態においては電圧源を導電部材に繋ぐための種々の他の手段のいずれかが用いられ得ることは理解されるであろう。
[00083] 図６は、図５の線Ｂの一部に沿ったレーザ１０の一部の断面図を示す。レーザ１０のカソード１４及びアノード１６は、レーザ１０の軸又は長手方向に沿って延伸するように構成され得る。アノード１６は、ねじ、ピン、ボルト、又は同様のものの形で提供され得る複数の締結要素１６ｃによって支持部材１６ｂに取り付けられる。図６には３つが示されているフィードスルー素子４８は、電流を放電チャンバ１２内に誘導するように構成され得る。例えば、フィードスルー素子４８はレーザ１０のカソード１４に接続され得る。各フィードスルー素子４８は、放電チャンバ１２の外装部１２ａから放電チャンバ１２内に延伸するように配置され得る。これは、後述するように、導電部材２２及びフィードスルー素子４８を通じてカソード１４に電圧が印加されることを可能にし得る。フィードスルー素子４８の各々は、例えば放電チャンバ１２の内部からのガス１８の漏出を防止するために、放電チャンバ１２の少なくとも一部を封止するように構成され得る。各フィードスルー素子４８は耐フッ素性材料を備え得る。耐フッ素性材料は例えば真鍮等の金属合金を備え得る。
[00084] 図７は、図５に示されるレーザ１０の一部を示す。上述したように、カソード１４とアノード１６との間に放電があると、レーザ１０の１つ以上の部分を通じて電流が流れ得る。電流の流路は図７に矢印によって表示されている。
[00085] 上述したように、電圧源２４は導電部材２２に接続され得る。使用時には、放電に関連する電流が導電部材２２を通じて放電チャンバ１２内に流れるように、放電チャンバにおいて放電を生じさせるべく、電圧が導電部材２２に印加され得る。導電部材２２に印加される電圧は５００から１５００Ｖの範囲内であり得る。
[00086] 導電部材２２はキャパシタ４４及びフィードスルー素子４８に接続され得る。導電部材２２に電圧が印加されると、各キャパシタ４４が充電され得る。各キャパシタ４４の充電は、カソード１４とアノード１６との間に増大された電圧をもたらし得る。この電圧はフィードスルー素子４８を介してカソード１４に印加され得る。例えば、負電位が導電部材２２に印加されてもよく、その結果、フィードスルー素子４８及びカソード１４は負に帯電する。導電部材２２に印加される負電位は、各キャパシタ４４の少なくとも一部も負に帯電させ得る。これは転じて、カソード１４と接地されたアノード１６との間に電界を作り出し得る。他の実施形態においては正電位がアノードに印加され得ることは理解されるであろう。電界はカソードａ１４とアノード１６との間のガス混合物１８をイオン化し得る。ガス混合物１８が十分にイオン化されると、ガス絶縁破壊が発生し得ると共に放電チャンバ１２の放電領域２０において放電が生じ得る。これはキャパシタ４４の各々にわたる電圧ＶＣＰの降下及びカソード１４とアノード１６との間での電圧低下をもたらし得る。キャパシタ４４からフィードスルー素子４８へ、導電部材２２を介して電流が流れ得る。電流は、フィードスルー素子４８から放電チャンバ１２内へ、例えばカソード１４へ及び放電領域２０を横切ってアノード１６へ流れ得る。上述したように、少なくとも１つのチャネルを備えるように導電部材２２を構成することによって、導電部材２２における電流密度又は電流の均一性が向上し得る。これは転じて、カソード１４及び／又はアノード１６に沿った、例えばカソード１４及び／又はアノード１６の長さに沿った、電流又は電流密度の均一性の向上をもたらし得る。この電流又は電流密度の均一性の向上はカソード及びアノードのより均一な浸食をもたらし得、これはカソード、アノード、及び／又はレーザの放電チャンバの寿命の延長に繋がり得る。電流は、例えば電流還流素子５４を用いて、アノード１６から遠ざかるように接地（図示しない）に流れ得る。電流還流素子５４はアノード１６を接地するように構成され得る。
[00087] 図８は、上述したレーザ１０のようなレーザを動作させる方法のステップを概説するフローチャートである。ステップ１０５において、方法は、上述した導電部材２２を有する放電レーザと、電圧源とを提供するステップを備える。
[00088] ステップ１１０において、方法は、電圧源を用いて導電部材に電圧を印加することを備える。電圧は、上述したようにレーザを動作させてレーザビームを作り出すべく、レーザの放電チャンバ内に放電を引き起こすために印加される。
[00089] ステップ１１５において、導電部材に印加された電圧は、レーザの電荷蓄積デバイス、例えばキャパシタ４４から、レーザの導電素子、例えばフィードスルー素子４８に、導電部材を介して電流を流れさせる。
[00090] ステップ１２０において、導電部材に印加された電圧は、フィードスルー素子４８から放電チャンバ内に電流を流れさせる。例えば、電流は、導電素子からレーザの第１の電極、例えばカソード１４に流れ得る。電流は、レーザ第１の電極からレーザの第２の電極、例えばアノード１６に、例えば放電領域２０を横切って流れ得る。
[00091] 電圧を印加するステップは、電荷蓄積デバイス、例えばキャパシタ４４、及び／又は導電素子を充電することを備え得る。例えば、上述したように、負電位が導電部材に印加され得る。その結果、導電部材と、導電素子と、各電荷蓄積デバイスの少なくとも一部とが負に帯電され得る。これは転じてレーザの第１の電極、例えばカソードが負に帯電されることをもたらし得る。
[00092] 方法は、例えば放電に先立って、レーザの放電チャンバ内のガス混合物を予備イオン化するステップを備え得る。
[00093] 例えば図７に関連して上述した特徴は方法に適用され得るか又は方法の一部であり得ることは理解されるであろう。
[00094] 上述のように導電部材にチャネルを形成することによって、カソード及び／又はアノードの不均一な浸食は低減又は防止され得る。導電部材は放電チャンバに外装部で接続され得るので、導電部材を放電チャンバの外装部から取り外すとき及び／又は導電部材を放電チャンバの外装部に（再）装着するとき、フッ素への曝露は無いであろう。また、上述したように、チャネルの形成は、導電部材の１つ以上の構造的又は熱的特性に対して全く影響を有さないか又は影響が低減されるであろう。
[00095] 「チャネル」という用語は、細長の窪み又は細長の中空の空間又は部分を包含するものと考えられ得る。
[00096] 「電流流路」及び「電流の流路」という用語は互換的に用いられ得ることは理解されるであろう。
[00097] 複数の特徴の参照は、例えば「少なくとも１つ」及び／又は「各」など、それらの特徴の単数形の参照と互換的に用いられ得ることは理解されるであろう。例えば「少なくとも１つ」又は「各」のような特徴の単数形が互換的に用いられ得る。
[00098] 本文献では、「放射」及び「ビーム」という用語は、紫外線（例えば、波長が３６５ｎｍ、２４８ｎｍ、１９３ｎｍ、１５７ｎｍ又は１２６ｎｍの波長）及びＥＵＶ（極端紫外線放射、例えば、約５～１００ｎｍの範囲の波長を有する）を含む、すべてのタイプの電磁放射を包含するために使用される。
[00099] 「レチクル」、「マスク」、又は「パターニングデバイス」という用語は、本文で用いる場合、基板のターゲット部分に生成されるパターンに対応して、入来する放射ビームにパターン付き断面を与えるため使用できる汎用パターニングデバイスを指すものとして広義に解釈され得る。また、この文脈において「ライトバルブ」という用語も使用できる。古典的なマスク（透過型又は反射型マスク、バイナリマスク、位相シフトマスク、ハイブリッドマスク等）以外に、他のそのようなパターニングデバイスの例は、プログラマブルミラーアレイ及びプログラマブルＬＣＤアレイを含む。
[000100] 本文ではＩＣの製造におけるリソグラフィ装置の使用に特に言及しているが、本明細書で説明するリソグラフィ装置には他の用途もあることを理解されたい。考えられる他の用途は、集積光学システム、磁気ドメインメモリ用のガイダンス及び検出パターン、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、薄膜磁気ヘッドなどの製造である。
[000101] 本明細書ではリソグラフィ装置に関連して本発明の実施形態について具体的な言及がなされているが、本発明の実施形態は他の装置又はシステムに使用することもできる。本発明の実施形態は、マスク検査装置、メトロロジ装置、又はウェーハ（あるいはその他の基板）もしくはマスク（あるいはその他のパターニングデバイス）などのオブジェクトを測定又は処理する任意の装置の一部を形成してよい。これらの装置は一般にリソグラフィツールと呼ばれることがある。このようなリソグラフィツールは、真空条件又は周囲（非真空）条件を使用することができる。
[000102] 以上では光学リソグラフィと関連して本発明の実施形態の使用に特に言及しているが、本発明は、例えばインプリントリソグラフィなど、その他の適用例において使用されてもよく、文脈が許す限り、光学リソグラフィに限定されないことが理解されるであろう。
[000103] 本発明の他の態様は、以下の番号を付した条項に記載する。
１．レーザの放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材であって、
導電部材の一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、導電部材は、レーザを電圧源に接続するように及び電圧源とレーザの放電チャンバとの間にインターフェイスを提供するように構成されている、導電部材。
２．導電部材はチャネルを複数備える、条項１の導電部材。
３．チャネルの各々は、導電部材の一部に関連付けられていると共に、導電部材の関連付けられた一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成されている、条項２の導電部材。
４．導電部材は第１の端部を備えており、第１の端部はチャネルのうち少なくとも１つを備えている、条項１から３のいずれかの導電部材。
５．第１の端部は第１の丸み付き縁部を備えており、第１の端部は第１の丸み付き縁部から長手方向に内向きに延伸するチャネルのうち少なくとも２つを備えている、条項４の導電部材。
６．導電部材は第２の端部を備えており、第２の端部はチャネルのうち少なくとも１つを備えている、条項４又は５のいずれかの導電部材。
７．第２の端部は第２の丸み付き縁部を備えており、第２の端部は第２の丸み付き縁部から長手方向に内向きに延伸するチャネルのうち少なくとも２つを備えている、条項６の導電部材。
８．導電部材は複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子に接続するように構成されている、条項１から７のいずれかの導電部材。
９．導電部材は複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成されている、条項８の導電部材。
１０．導電部材は複数の第１の接続点及び複数の第２の接続点を備えており、複数の第１の接続点の各第１の接続点は複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスに接続するように構成され、複数の第２の接続点の各第２の接続点は複数の導電素子のうち１つの導電素子に接続するように構成されている、条項８又は９の導電部材。
１１．複数の第１の接続点及び／又は複数の第２の接続点は、各々が導電部材に沿って長手方向に延伸する構成で配置されている、条項１０の導電部材。
１２．導電部材は、チャネルの各々が１つの第１の接続点と１つの第２の接続点との間に配設されるように構成されている、条項１０又は１１の導電部材。
１３．各チャネルに配設された絶縁部を更に備えている、条項１から１２のいずれかの導電部材。
１４．導電部材は導電バーを備える、条項１から１３のいずれかの導電部材。
１５．放電チャンバと、
放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材と、
を備えるレーザであって、導電部材は、
導電部材の一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、導電部材は、レーザを電圧源に接続するように及び電圧源とレーザの放電チャンバとの間にインターフェイスを提供するように構成されている、レーザ。
１６．レーザは複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子を備えており、複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子は導電部材に接続されている、条項１５のレーザ。
１７．導電部材は、複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成されている、条項１６のレーザ。
１８．複数の導電素子は電流を放電チャンバ内に誘導するように構成されている、条項１６又は１７のレーザ。
１９．導電部材はチャネルを複数備えており、チャネルの各々は、導電部材の一部に関連付けられていると共に、導電部材の関連付けられた一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成されている、条項１５から１８のいずれか一項のレーザ。
２０．放電チャンバは１つ以上のガスを保持するように構成されており、１つ以上のガスはクリプトン、アルゴン、及び／又はフッ素を備える、条項１５から１９のいずれか一項のレーザ。
２１．レーザを備える放射源であって、レーザは、
放電チャンバと、
条項１から１４のいずれか一項に記載の、放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材と、
を備えている、放射源と、
リソグラフィ装置と、
を備える、リソグラフィシステム。
２２．レーザを動作させる方法であって、レーザは、
レーザ放電チャンバを有するレーザと、
放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材であって、導電部材の一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、レーザを電圧源に接続すると共に電圧源とレーザの放電チャンバとの間にインターフェイスを提供する、導電部材と、を備えており、方法は、
放電に関連する電流が導電部材を通じて放電チャンバ内に流れるように、放電チャンバにおいて放電を生じさせるべく電圧を導電部材に印加することを備える、方法。
２３．レーザは複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子を備えており、複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子は導電部材に接続されている、条項２２の方法。
２４．導電部材は、複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成されており、複数の導電素子は電流を放電チャンバ内に誘導するように構成されている、条項２３の方法。
２５．電圧を導電部材に印加することは、導電部材の一部の複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のうち関連する１つの導電素子への電流流路が、導電部材の別の一部の複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のうち関連する１つの導電素子への電流流路よりも長くなるように、複数の電荷蓄積デバイスから複数の導電素子に導電部材を介して電流を流れさせる、条項２３又は２４の方法。
２６．電圧を導電部材に印加することは複数の導電素子から放電チャンバ内に電流を流れさせる、条項２５の方法。
２７．電圧を導電部材に印加するステップは、負電位を導電部材に印加することを備える、条項２３から２６のいずれか一項の方法。
２８．導電部材はチャネルを複数備えており、チャネルの各々は、導電部材の一部に関連付けられていると共に、導電部材の関連付けられた一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成されている、条項２２から２７のいずれか一項の方法。
２９．導電部材は更に、各チャネルに配設された絶縁部を備える、条項２２から２９のいずれか一項の方法。
１．レーザの放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材であって、
導電部材の一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、導電部材は、レーザを電圧源に接続するように及び電圧源とレーザの放電チャンバとの間にインターフェイスを提供するように構成されている、導電部材。
２．導電部材はチャネルを複数備える、条項１の導電部材。
３．チャネルの各々は、導電部材の一部に関連付けられていると共に、導電部材の関連付けられた一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成されている、条項２の導電部材。
４．導電部材は第１の端部を備えており、第１の端部はチャネルのうち少なくとも１つを備えている、条項１から３のいずれかの導電部材。
５．第１の端部は第１の丸み付き縁部を備えており、第１の端部は第１の丸み付き縁部から長手方向に内向きに延伸するチャネルのうち少なくとも２つを備えている、条項４の導電部材。
６．導電部材は第２の端部を備えており、第２の端部はチャネルのうち少なくとも１つを備えている、条項４又は５のいずれかの導電部材。
７．第２の端部は第２の丸み付き縁部を備えており、第２の端部は第２の丸み付き縁部から長手方向に内向きに延伸するチャネルのうち少なくとも２つを備えている、条項６の導電部材。
８．導電部材は複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子に接続するように構成されている、条項１から７のいずれかの導電部材。
９．導電部材は複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成されている、条項８の導電部材。
１０．導電部材は複数の第１の接続点及び複数の第２の接続点を備えており、複数の第１の接続点の各第１の接続点は複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスに接続するように構成され、複数の第２の接続点の各第２の接続点は複数の導電素子のうち１つの導電素子に接続するように構成されている、条項８又は９の導電部材。
１１．複数の第１の接続点及び／又は複数の第２の接続点は、各々が導電部材に沿って長手方向に延伸する構成で配置されている、条項１０の導電部材。
１２．導電部材は、チャネルの各々が１つの第１の接続点と１つの第２の接続点との間に配設されるように構成されている、条項１０又は１１の導電部材。
１３．各チャネルに配設された絶縁部を更に備えている、条項１から１２のいずれかの導電部材。
１４．導電部材は導電バーを備える、条項１から１３のいずれかの導電部材。
１５．放電チャンバと、
放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材と、
を備えるレーザであって、導電部材は、
導電部材の一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、導電部材は、レーザを電圧源に接続するように及び電圧源とレーザの放電チャンバとの間にインターフェイスを提供するように構成されている、レーザ。
１６．レーザは複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子を備えており、複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子は導電部材に接続されている、条項１５のレーザ。
１７．導電部材は、複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成されている、条項１６のレーザ。
１８．複数の導電素子は電流を放電チャンバ内に誘導するように構成されている、条項１６又は１７のレーザ。
１９．導電部材はチャネルを複数備えており、チャネルの各々は、導電部材の一部に関連付けられていると共に、導電部材の関連付けられた一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成されている、条項１５から１８のいずれか一項のレーザ。
２０．放電チャンバは１つ以上のガスを保持するように構成されており、１つ以上のガスはクリプトン、アルゴン、及び／又はフッ素を備える、条項１５から１９のいずれか一項のレーザ。
２１．レーザを備える放射源であって、レーザは、
放電チャンバと、
条項１から１４のいずれか一項に記載の、放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材と、
を備えている、放射源と、
リソグラフィ装置と、
を備える、リソグラフィシステム。
２２．レーザを動作させる方法であって、レーザは、
レーザ放電チャンバを有するレーザと、
放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材であって、導電部材の一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、レーザを電圧源に接続すると共に電圧源とレーザの放電チャンバとの間にインターフェイスを提供する、導電部材と、を備えており、方法は、
放電に関連する電流が導電部材を通じて放電チャンバ内に流れるように、放電チャンバにおいて放電を生じさせるべく電圧を導電部材に印加することを備える、方法。
２３．レーザは複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子を備えており、複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子は導電部材に接続されている、条項２２の方法。
２４．導電部材は、複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成されており、複数の導電素子は電流を放電チャンバ内に誘導するように構成されている、条項２３の方法。
２５．電圧を導電部材に印加することは、導電部材の一部の複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のうち関連する１つの導電素子への電流流路が、導電部材の別の一部の複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスから複数の導電素子のうち関連する１つの導電素子への電流流路よりも長くなるように、複数の電荷蓄積デバイスから複数の導電素子に導電部材を介して電流を流れさせる、条項２３又は２４の方法。
２６．電圧を導電部材に印加することは複数の導電素子から放電チャンバ内に電流を流れさせる、条項２５の方法。
２７．電圧を導電部材に印加するステップは、負電位を導電部材に印加することを備える、条項２３から２６のいずれか一項の方法。
２８．導電部材はチャネルを複数備えており、チャネルの各々は、導電部材の一部に関連付けられていると共に、導電部材の関連付けられた一部の電流流路を導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成されている、条項２２から２７のいずれか一項の方法。
２９．導電部材は更に、各チャネルに配設された絶縁部を備える、条項２２から２９のいずれか一項の方法。
[000104] 以上、本発明の特定の実施形態を説明したが、説明とは異なる方法でも本発明を実践できることは理解されよう。上記の説明は例示的であり、限定的ではない。それ故、下記に示す特許請求の範囲から逸脱することなく、記載されたような本発明を変更できることが当業者には明白である。
Claims (20)
- レーザの放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材であって、
前記導電部材の一部の電流流路を前記導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、前記導電部材は、前記レーザを電圧源に接続するように及び前記電圧源と前記レーザの前記放電チャンバとの間にインターフェイスを提供するように構成されており、
前記導電部材は長手方向に第１の端部を備えており、前記第１の端部は前記チャネルのうち少なくとも１つを備えている、導電部材。 - 前記導電部材は前記チャネルを複数備える、請求項１の導電部材。
- 前記チャネルの各々は、前記導電部材の一部に関連付けられていると共に、前記導電部材の前記関連付けられた一部の電流流路を前記導電部材の前記別の一部の前記電流流路に比べて増大させるように構成されている、請求項２の導電部材。
- 前記導電部材は前記放電チャンバの外装部に取り付けられるように構成されている、請求項１の導電部材。
- 前記第１の端部は第１の丸み付き縁部を備えており、前記第１の端部は前記第１の丸み付き縁部から長手方向に内向きに延伸する前記チャネルのうち少なくとも２つを備えている、請求項４の導電部材。
- 前記導電部材は複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子に接続するように構成されている、請求項１の導電部材。
- 前記導電部材は前記複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから前記複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成されている、請求項６の導電部材。
- レーザの放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材であって、
前記導電部材の一部の電流流路を前記導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、前記導電部材は、前記レーザを電圧源に接続するように及び前記電圧源と前記レーザの前記放電チャンバとの間にインターフェイスを提供するように構成されており、
前記導電部材は複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子に接続するように構成されており、
前記導電部材は前記複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから前記複数の導電素子のそれぞれの導電素子に電流を導くように構成されており、
前記導電部材は複数の第１の接続点及び複数の第２の接続点を備えており、前記複数の第１の接続点の各第１の接続点は前記複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスに接続するように構成され、前記複数の第２の接続点の各第２の接続点は前記複数の導電素子のうち１つの導電素子に接続するように構成されている、導電部材。 - 各チャネルに配設された絶縁部を更に備えている、請求項２の導電部材。
- 放電チャンバと、
前記放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材と、
を備えるレーザであって、前記導電部材は、
前記導電部材の一部の電流流路を前記導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、前記導電部材は、前記レーザを電圧源に接続するように及び前記電圧源と前記レーザの前記放電チャンバとの間にインターフェイスを提供するように構成されており、
前記導電部材は長手方向に第１の端部を備えており、前記第１の端部は前記チャネルのうち少なくとも１つを備えている、レーザ。 - 前記レーザは複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子を備えており、前記複数の電荷蓄積デバイス及び前記複数の導電素子は前記導電部材に接続されている、請求項１０のレーザ。
- 前記複数の導電素子は前記電流を前記放電チャンバ内に誘導するように構成されている、請求項１１のレーザ。
- 前記導電部材は前記チャネルを複数備えており、前記チャネルの各々は、前記導電部材の一部に関連付けられていると共に、前記導電部材の前記関連付けられた一部の電流流路を前記導電部材の前記別の一部の前記電流流路に比べて増大させるように構成されている、請求項１０のレーザ。
- レーザを動作させる方法であって、前記レーザは、
レーザ放電チャンバを有するレーザと、
前記放電チャンバにおける放電に関連する電流を導くための導電部材であって、前記導電部材の一部の電流流路を前記導電部材の別の一部の電流流路に比べて増大させるように構成された少なくとも１つのチャネルを備えており、前記レーザを電圧源に接続すると共に前記電圧源と前記レーザの前記放電チャンバとの間にインターフェイスを提供する、導電部材と、を備えており、
前記導電部材は長手方向に第１の端部を備えており、前記第１の端部は前記チャネルのうち少なくとも１つを備えており、前記方法は、
前記放電に関連する電流が前記導電部材を通じて前記放電チャンバ内に流れるように、前記放電チャンバにおいて放電を生じさせるべく電圧を前記導電部材に印加することを備える、方法。 - 前記レーザは複数の電荷蓄積デバイス及び複数の導電素子を備えており、前記複数の電荷蓄積デバイス及び前記複数の導電素子は前記導電部材に接続されている、請求項１４の方法。
- 導電部材は、前記複数の電荷蓄積デバイスの各電荷蓄積デバイスから前記複数の導電素子のそれぞれの導電素子に前記電流を導くように構成されており、前記複数の導電素子は前記電流を前記放電チャンバ内に誘導するように構成されている、請求項１５の方法。
- 前記電圧を前記導電部材に前記印加することは、前記導電部材の前記一部の前記複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスから前記複数の導電素子のうち関連する１つの導電素子への前記電流流路が、前記導電部材の前記別の一部の前記複数の電荷蓄積デバイスのうち１つの電荷蓄積デバイスから前記複数の導電素子のうち関連する１つの導電素子への前記電流流路よりも長くなるように、前記複数の電荷蓄積デバイスから前記複数の導電素子に前記導電部材を介して電流を流れさせる、請求項１５の方法。
- 前記電圧を前記導電部材に前記印加することは前記複数の導電素子から前記放電チャンバ内に電流を流れさせる、請求項１７の方法。
- 前記導電部材は前記チャネルを複数備えており、前記チャネルの各々は、前記導電部材の一部に関連付けられていると共に、前記導電部材の前記関連付けられた一部の電流流路を前記導電部材の前記別の一部の前記電流流路に比べて増大させるように構成されている、請求項１５の方法。
- 前記導電部材は更に、各チャネルに配設された絶縁部を備える、請求項１９の方法。
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