JP2016035958A - 保護素子、保護回路及び半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】ESD動作時の駆動電流を確保しつつ、オフリークによる電流増加を抑えることが可能な保護素子を提供する。
【解決手段】ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、を備える、保護素子が提供される。かかる保護素子は、クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位をグランド配線の電位より上昇させることで、ESD動作時の駆動電流を確保しつつ、オフリークによる電流増加を抑えることが可能となる。
【選択図】図1
【解決手段】ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、を備える、保護素子が提供される。かかる保護素子は、クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位をグランド配線の電位より上昇させることで、ESD動作時の駆動電流を確保しつつ、オフリークによる電流増加を抑えることが可能となる。
【選択図】図1
Description
本開示は、保護素子、保護回路及び半導体集積回路に関する。
半導体集積回路には、内部回路の静電破壊を防止するために、一般的にESD(Electro Static Discharge;静電気放電)保護回路が設けられる。そして、ESD保護回路としては、一般に、RCトリガー型のパワークランプMOS(Metal Oxide Semiconductor)回路が用いられる(例えば、特許文献1参照)。また、CMOSインバータの出力信号をクランプMOSトランジスタのゲートだけでなく、ウェル(ボディ)にも供給する構造のESD保護回路も提案されている(例えば、特許文献2参照)。
ESD保護回路の放電能力を高めるには、パワークランプMOSトランジスタの駆動電流を高める必要がある。しかし、駆動電流を高めるにはMOSのサイズを変える必要があり、ゲート長の微細化やWサイズの増加などによって駆動電流を高めることが出来る。しかし、ゲート長の微細化やWサイズの増加は、ESD動作時以外の通常動作時のオフリークの要因となる。オフリークは消費電流の増大に繋がるために、パワークランプMOSトランジスタの駆動電流の増加とオフリークの発生とはトレードオフ関係にあった。
そこで本開示では、ESD動作時の駆動電流を確保しつつ、オフリークによる電流増加を抑えることが可能な、新規かつ改良された保護素子、保護回路及び半導体集積回路を提案する。
本開示によれば、ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、を備える、保護素子が提供される。
また本開示によれば、ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される抵抗素子及び容量素子と、前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されるインバータと、を備える、保護回路が提供される。
また本開示によれば、ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される抵抗素子及び容量素子と、前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されるインバータと、前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される内部回路と、を備える、半導体集積回路が提供される。
以上説明したように本開示によれば、ESD動作時の駆動電流を確保しつつ、オフリークによる電流増加を抑えることが可能な、新規かつ改良された保護素子、保護回路及び半導体集積回路を提供することが出来る。
なお、上記の効果は必ずしも限定的なものではなく、上記の効果とともに、または上記の効果に代えて、本明細書に示されたいずれかの効果、または本明細書から把握され得る他の効果が奏されてもよい。
以下に添付図面を参照しながら、本開示の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
なお、説明は以下の順序で行うものとする。
1.本開示の一実施形態
1.1.概要
1.2.回路構成例
1.3.動作例
1.4.変形例
2.まとめ
1.本開示の一実施形態
1.1.概要
1.2.回路構成例
1.3.動作例
1.4.変形例
2.まとめ
<1.本開示の一実施形態>
[1.1.概要]
本開示の一実施形態について説明する前に、本開示の一実施形態の概要について説明する。
[1.1.概要]
本開示の一実施形態について説明する前に、本開示の一実施形態の概要について説明する。
上述したように、半導体集積回路には、内部回路の静電破壊を防止するために、一般的にESD保護回路が設けられる。そして、ESD保護回路としては、一般に、RCトリガー型のパワークランプMOS回路が用いられる。また、CMOSインバータの出力信号をクランプMOSトランジスタのゲートだけでなく、ウェル(ボディ)にも供給する構造のESD保護回路も提案されている。
従来のRCトリガー型のパワークランプMOS回路を用いるESD保護回路は、電源配線及びグランド配線間に設けられた抵抗素子及び容量素子のRC直列回路と、入力端が抵抗素子及び容量素子間の接続点に接続されたCMOSインバータとを備える。さらに、ESD保護回路は、キャリアの導電型がN型(Nチャネル)のMOSFETで構成されたクランプMOSトランジスタを備える。クランプMOSトランジスタのゲートはCMOSインバータの出力端に接続され、クランプMOSトランジスタのドレイン及びソースはそれぞれ電源配線及びグランド配線に接続される。
図9は、従来のRCトリガー型のパワークランプMOS回路を用いるESD保護回路の一例を示す説明図である。図9に示したESD保護回路10は、内部回路20をESDのサージから保護するための回路であり、電源配線1と、グランド配線2との間に、抵抗素子11と、容量素子12と、CMOSインバータ13と、クランプMOSトランジスタ14と、を有する。電源配線1には電源電圧Vddが供給され、グランド配線2はグランド端子に接続されグランド電位Vssとなっている。
抵抗素子11は、例えば、ポリシリコン等の材料で形成された抵抗素子や、MOSFET(抵抗変化デバイス)などで構成することができる。本実施形態では、抵抗素子11は、例えばポリシリコンで形成された抵抗素子、すなわち、ESDの発生の有無に関係なく抵抗値が一定の抵抗素子で構成される。なお、ポリシリコンで形成された抵抗素子としては、例えば、ポリシリコンで形成された、MOSFETのゲート電極を用いてもよい。
容量素子12は、バイアス依存性の小さい容量素子で構成される。例えば、容量素子12を、MOSトランジスタ(例えばアキュムレーション型のMOSトランジスタ)のゲート絶縁膜をキャパシタとして用いた容量素子や、配線層間の絶縁膜をキャパシタとして用いた容量素子などで構成することができる。
抵抗素子11の抵抗値や、容量素子12の容量値は、ESD保護回路10の用途や想定される放電現象等を考慮して、抵抗素子11と、容量素子12とからなるRC直列回路の時定数が所望の値になるように、適宜設定され得る。一例を挙げれば、抵抗素子11の抵抗値は、例えば約1000Ω〜10MΩの範囲で適宜設定され得る。また、容量素子12の容量値は、例えば約1pF〜10pFの範囲で適宜設定され得る。もちろん抵抗素子11の抵抗値や、容量素子12の容量値は、ここに挙げた値の範囲に限定されるものではない。
CMOSインバータ13は、抵抗素子11と容量素子12との間の接続点の電位(電圧信号)を反転する。そしてCMOSインバータ13は、反転した電位をクランプMOSトランジスタ14のゲートに印加する。
クランプMOSトランジスタ14は、NチャネルのMOSFETで構成される。クランプMOSトランジスタ14は、電源配線1にドレインが、グランド配線2にソースが、CMOSインバータ13の出力にゲートが、それぞれ接続されている。またクランプMOSトランジスタ14は、ドレインとウェルとが接続されている。
クランプMOSトランジスタ14の開閉制御(オンオフ制御)は、CMOSインバータ13の出力信号(出力電圧)により行われる。そして、クランプMOSトランジスタ14のドレインからソースにESDサージ電流が流れる期間(クランプMOSトランジスタ14の開放時間)は、抵抗素子11と、容量素子12とからなるRC直列回路の時定数で決定される。例えば抵抗素子11の抵抗値を10MΩとし、容量素子12の容量値を10pFとした場合には、RC直列回路の時定数Tは、T=R×C=10MΩ×10pF=1μsecとなり、クランプMOSトランジスタ14の開放時間は約1μsecとなる。
ESDサージ(高電圧パルス)がESD保護回路10に印加されると、抵抗素子11及び容量素子12で構成されるRC直列回路に貫通電流が流れ、CMOSインバータ13の入力端の電圧レベルがHighレベルからLowレベルに変化する。CMOSインバータ13の入力端の電圧レベルがHighレベルからLowレベルに変化することで、クランプMOSトランジスタ14のゲートに、CMOSインバータ13からのHighレベルの信号(電圧)が印加される。
クランプMOSトランジスタ14のゲートにHighレベルの信号(電圧)が印加されると、クランプMOSトランジスタ14が導通状態となり、クランプMOSトランジスタ14のドレイン−ソース間のチャネルにESDサージ電流が流れる。このようにクランプMOSトランジスタ14のドレイン−ソース間のチャネルにESDサージ電流が流れることで、図9に示したESD保護回路10は、内部回路20をESDのサージから保護することができる。
ESD保護回路の放電能力を高めるには、パワークランプMOSトランジスタの駆動電流を高める必要がある。しかし上述したように、駆動電流を高めるにはMOSのサイズを変える必要があり、ゲート長の微細化やWサイズの増加などによって駆動電流を高めることが出来る。
しかし、ゲート長の微細化やWサイズの増加は、ESD動作時以外の通常動作時のオフリーク(スタンバイリーク)の要因となる。オフリークは消費電流の増大に繋がるために、パワークランプMOSトランジスタの駆動電流の増加とオフリークの発生とはトレードオフ関係にあった。
そこで、本件開示者は、パワークランプMOSトランジスタの駆動電流を確保しつつも、スタンバイリークを抑えることが可能な保護素子について検討した。そして本件開示者は、以下で説明するような、パワークランプMOSトランジスタの駆動電流を確保しつつも、スタンバイリークを抑えることが可能な保護素子を考案するに至った。
[1.2.回路構成例]
続いて、本開示の一実施形態に係る保護素子を備えたESD保護回路の回路構成例について説明する。図1は、本開示の一実施形態に係るESD保護回路100の回路構成例を示す説明図である。以下、図1を用いて本開示の一実施形態に係るESD保護回路100の回路構成例について説明する。
続いて、本開示の一実施形態に係る保護素子を備えたESD保護回路の回路構成例について説明する。図1は、本開示の一実施形態に係るESD保護回路100の回路構成例を示す説明図である。以下、図1を用いて本開示の一実施形態に係るESD保護回路100の回路構成例について説明する。
図1に示したESD保護回路100は、内部回路120をESDのサージから保護するための回路であり、電源配線1と、グランド配線2との間に、抵抗素子101と、容量素子102と、CMOSインバータ103と、クランプMOSトランジスタ104と、ダイオード105と、を有する。電源配線1には電源電圧Vddが供給され、グランド配線2はグランド端子に接続されグランド電位となっている。
クランプMOSトランジスタ104及びダイオード105が、本開示の保護素子の一例に相当する。またダイオード105は、本開示の電位上昇回路の一例に相当する。
抵抗素子101は、図9の抵抗素子11と同様に、例えば、ポリシリコン等の材料で形成された抵抗素子や、MOSFET(抵抗変化デバイス)などで構成することができる。本実施形態では、抵抗素子101は、例えばポリシリコンで形成された抵抗素子、すなわち、ESDの発生の有無に関係なく抵抗値が一定の抵抗素子で構成される。なお、ポリシリコンで形成された抵抗素子としては、例えば、ポリシリコンで形成された、MOSFETのゲート電極を用いてもよい。
容量素子102は、図9の容量素子102と同様に、バイアス依存性の小さい容量素子で構成される。例えば、容量素子102を、MOSトランジスタ(例えばアキュムレーション型のMOSトランジスタ)のゲート絶縁膜をキャパシタとして用いた容量素子や、配線層間の絶縁膜をキャパシタとして用いた容量素子などで構成することができる。
抵抗素子101の抵抗値や、容量素子102の容量値は、ESD保護回路100の用途や想定される放電現象等を考慮して、抵抗素子101と、容量素子102とからなる直列回路の時定数が所望の値になるように、適宜設定され得る。
一例を挙げれば、抵抗素子101の抵抗値は、例えば約1000Ω〜10MΩの範囲で適宜設定され得る。また、容量素子102の容量値は、例えば約1pF〜10pFの範囲で適宜設定され得る。もちろん抵抗素子101の抵抗値や、容量素子102の容量値は、ここに挙げた値の範囲に限定されるものではない。
CMOSインバータ103は、抵抗素子101と容量素子102との間の接続点の電位(電圧信号)を反転する。そしてCMOSインバータ103は、反転した電位をクランプMOSトランジスタ104のゲートに印加する。
クランプMOSトランジスタ104は、NチャネルのMOSFETで構成される。クランプMOSトランジスタ104は、電源配線1にドレインが、ダイオード105のアノード側にソースが、CMOSインバータ103の出力にゲートが、それぞれ接続されている。またクランプMOSトランジスタ104は、ゲートとウェルとが接続されている。ゲートとウェルとが接続されていることで、クランプMOSトランジスタ104は、ESDが発生した際の放電耐性が高められる。
図1に示したESD保護回路100は、図9に示したESD保護回路10に加え、クランプMOSトランジスタ104のソース側と、グランド配線2との間にダイオード105が接続されている。ダイオード105は、クランプMOSトランジスタ104からグランド配線2へ電流が流れる方向に対して順方向となるように設けられている。
図1に示したESD保護回路100に設けられるダイオード105は、クランプMOSトランジスタ104のソース側の電位を、グランド配線2の電位(グランド電位)から所定量上昇させるために設けられている。図1に示したESD保護回路100は、クランプMOSトランジスタ104のソース側の電位がダイオード105によってグランド電位より上昇させられることで、等価的に基板側の電位を下げられる。基板側の電位を下げられることで、図1に示したESD保護回路100は、オフリーク電流を減少させることができる。
なお後述するように、ダイオード105は、クランプMOSトランジスタ104と同一のチップ上に形成されてもよく、クランプMOSトランジスタ104と異なるチップ上に形成されても良い。またダイオード105は、クランプMOSトランジスタ104と同一のチップ上に形成される場合、容量素子102の寄生ダイオードとして形成してもよい。
図2は、図1に示したESD保護回路100を断面図で示す説明図である。また図3は、図1に示したESD保護回路100を平面図で示す説明図である。なお図2に示した図では、CMOSインバータ103を省略して図示している。
抵抗素子101は、例えばポリシリコン等の導電性材料で形成される。また容量素子102は、基板の所定領域に形成されたウェル(拡散層)121と、ウェル121の上部に形成されるゲート酸化膜122と、で形成される。ウェル121は、キャリアの導電型がN型の不純物層で構成される。抵抗素子101と容量素子102との接続点はCMOSインバータ103と接続される。また容量素子102のウェルはグランド配線2に接続される。
クランプMOSトランジスタ104は、基板の所定領域に形成されたウェル(拡散層)131と、ウェル131の一方の表面に埋め込むようにして設けられたドレイン132及びソース133と、を備える。ウェル131は、キャリアの導電型がP型の不純物層で構成され、ドレイン132及びソース133はともに、キャリアの導電型がN型の不純物層で構成される。
クランプMOSトランジスタ104は、ウェル131のドレイン132及びソース133間の領域の表面上に形成されたゲート134を備える。なお、ゲート134は、例えばポリシリコン等の導電性材料で形成され得る。そしてゲート134は、クランプMOSトランジスタ104のウェル端子135と接続されている。
ダイオード105は、基板の所定領域に形成されたウェル141と、ウェル141の一方の表面に埋め込むようにして設けられたカソード142及びアノード143と、を備える。
本開示の一実施形態に係るESD保護回路100は、図1に示したような回路構成を有することで、ESD動作時の駆動電流を確保しつつ、オフリークによる電流増加を抑えることが可能となる。
以上、図1を用いて本開示の一実施形態に係るESD保護回路100の回路構成例について説明した。続いて、本開示の一実施形態に係るESD保護回路100の動作例について説明する。
[1.3.動作例]
ESD保護回路100がスタンバイ状態にある場合、すなわち、ESDが発生していない状態では、CMOSインバータ103の出力はLowレベルである。従って、クランプMOSトランジスタ104のゲート及びウェルにはともにLowレベルの電圧信号が入力される。従って、クランプMOSトランジスタ104のドレイン−ソース間のチャネルが閉じた状態(OFF状態)となる。
ESD保護回路100がスタンバイ状態にある場合、すなわち、ESDが発生していない状態では、CMOSインバータ103の出力はLowレベルである。従って、クランプMOSトランジスタ104のゲート及びウェルにはともにLowレベルの電圧信号が入力される。従って、クランプMOSトランジスタ104のドレイン−ソース間のチャネルが閉じた状態(OFF状態)となる。
クランプMOSトランジスタ104がOFF状態になっている場合、クランプMOSトランジスタ104にはオフリーク電流のみが流れる。クランプMOSトランジスタ104がOFF状態になっている場合、クランプMOSトランジスタ104のソースとグランド配線2との間にダイオード105が設けられていることで、クランプMOSトランジスタ104のソース側の電位は、ダイオード105の内蔵電位Vbi分高くなる。
クランプMOSトランジスタ104のソース側の電位が高くなることによる効果は、基板電位を引く効果と同様で、クランプMOSトランジスタ104の閾電圧Vthが高くなる。従って、クランプMOSトランジスタ104のソース側にダイオード105が設けられることで、クランプMOSトランジスタ104がOFF状態の際にクランプMOSトランジスタ104に流れるオフリーク電流の量を低減させることが出来る。
従って、本開示の一実施形態に係るESD保護回路100は、オフリークによる電流増加を抑えつつ、ESDサージ電流が内部回路120に流れ込むのを防ぐ効果が得られる。本開示の一実施形態に係るESD保護回路100にESDが発生した場合の動作について具体的に説明する。
図4は、図1で示した本開示の一実施形態に係るESD保護回路100にESDが発生した場合の動作、すなわち各接続点の電位レベルの様子を示す説明図である。ESD保護回路100にESDが発生すると、瞬間的に抵抗素子101及び容量素子102からなるRC直列回路に貫通電流(過渡電流)が流れる。
RC直列回路に貫通電流が流れると、抵抗素子101と容量素子102との接続点の電位がグランド電位に近づく。すなわち、抵抗素子101と容量素子102との接続点の電位がHighレベルからLowレベルに変化する。
抵抗素子101と容量素子102との接続点の電位がHighレベルからLowレベルに変化すると、CMOSインバータ103でLowレベルの電位がHighレベルの電位に変換されて出力される。
そしてCMOSインバータ103からクランプMOSトランジスタ104のゲートにHighレベルの電位が出力されることで、クランプMOSトランジスタ104のドレイン−ソース間のチャネルが開いた状態(ON状態)となる。
クランプMOSトランジスタ104がON状態になることで、電源配線1からクランプMOSトランジスタ104を介してグランド配線2にESDサージ電流I_esdが流れる。
電源配線1からクランプMOSトランジスタ104を介してグランド配線2にESDサージ電流I_esdが流れた後、抵抗素子101及び容量素子102で構成されたRC直列回路の時定数に対応する期間、ESDサージ電流I_esdがクランプMOSトランジスタ104に流れる。
従って本実施形態にかかるESD保護回路100は、このようにESDサージ電流I_esdをクランプMOSトランジスタ104のチャネル経路に流すことで、ESDが発生した際にESDサージ電流I_esdが内部回路120に流れこむのを防ぎ、内部回路120を保護することが出来る。
本開示の一実施形態に係るESD保護回路100は、上述したような動作を行なうことで、ESD動作時の駆動電流を確保することができる。
また本開示の一実施形態に係るESD保護回路100は、クランプMOSトランジスタ104のソースとグランド配線2との間にダイオード105を設けることで、オフリークによる電流増加を抑えることが可能となる。
[1.4.変形例]
(1)第1の変形例
このように、クランプMOSトランジスタ104のソースとグランド配線2との間にダイオード105を設けたESD保護回路100は、ESD動作時の駆動電流を確保するとともに、オフリークによる電流増加を抑えることが可能となる。
(1)第1の変形例
このように、クランプMOSトランジスタ104のソースとグランド配線2との間にダイオード105を設けたESD保護回路100は、ESD動作時の駆動電流を確保するとともに、オフリークによる電流増加を抑えることが可能となる。
しかし、クランプMOSトランジスタ104のソースとグランド配線2との間にダイオード105を追加することは、回路面積の増大に繋がる。
そこで、第1の変形例では、クランプMOSトランジスタ104とは異なるチップに形成されるダイオード105を用いて、クランプMOSトランジスタ104が形成されるチップとダイオード105が形成されるチップとを積層させることでESD保護回路100の面積効率を上昇させる例を示す。
図5及び図6は、本開示の一実施形態の変形例を示す説明図である。図5には、クランプMOSトランジスタ104とは異なるチップに形成されるダイオード105を用いて、クランプMOSトランジスタ104が形成されるチップとダイオード105が形成されるチップとを積層させた、ESD保護回路100の断面図が示されている。図6は、図5に示したESD保護回路100の平面図である。なお図5に示した図では、CMOSインバータ103を省略して図示している。
積層チップ貫通プラグには、プロセス中のアンテナダメージからトランジスタを守るための保護ダイオードがついている。しかし、トランジスタ形成プロセスが完了した後は、保護ダイオード自体の役目は終わる。
そこで、不要となった保護ダイオードを、本実施形態に係るESD保護回路100のダイオード105として用いることで、プロセス中に必要だったダイオードをESD用に転用できる。従って図5、図6に示したESD保護回路100は、省面積化の効果が得られる。
図5、図6に示したESD保護回路100は、このようにクランプMOSトランジスタ104が形成されるチップとダイオード105が形成されるチップとを積層させることで、平面上での回路面積の増大を抑えることができる。また図5、図6に示したESD保護回路100は、平面上での回路面積の増大を抑えつつ、ESD動作時の駆動電流を確保するとともに、オフリークによる電流増加を抑えることが可能となる。
(2)第2の変形例
第2の変形例では、ダイオード105を容量素子102の寄生ダイオードとして形成することで、ESD保護回路100の面積効率を上昇させる例を示す。具体的には、容量素子102のウェル121を用いてダイオード105を形成することで、ESD保護回路100の面積効率を上昇させる。
第2の変形例では、ダイオード105を容量素子102の寄生ダイオードとして形成することで、ESD保護回路100の面積効率を上昇させる例を示す。具体的には、容量素子102のウェル121を用いてダイオード105を形成することで、ESD保護回路100の面積効率を上昇させる。
図7は、本開示の一実施形態の変形例を示す説明図である。図7には、ダイオード105を容量素子102の寄生ダイオードとして形成した、ESD保護回路100の断面図が示されている。図8は、図7に示したESD保護回路100の平面図である。
図7及び図8に示したように、ダイオード105を容量素子102の寄生ダイオードとして形成することで、N型拡散層を共通化できるため、ESD保護回路100は、ダイオード105の面積増大を抑えて、面積効率を上昇させることが可能になる。
なお、ESD保護回路100は、ダイオード105を直列に複数個接続させたものを備えても良い。すなわちESD保護回路100は、ダイオード105を直列に複数個接続させることで、クランプMOSトランジスタ104のグランド配線側の拡散層電位をグランド配線の電位より上昇させてもよい。その際ESD保護回路100は、直列に複数個接続させたダイオード105のうちの1つを、容量素子102の寄生ダイオードとして形成するようにしてもよい。
すなわち、図8に示したESD保護回路100の平面図において容量素子102の寄生ダイオードとして形成したダイオードの前段または後段に、ダイオードを1つまたは複数形成してもよい。
<2.まとめ>
以上説明したように本開示の一実施形態によれば、ESD動作時の駆動電流を確保しつつ、オフリークによる電流増加を抑えることが可能な、ESD保護回路100が提供される。
以上説明したように本開示の一実施形態によれば、ESD動作時の駆動電流を確保しつつ、オフリークによる電流増加を抑えることが可能な、ESD保護回路100が提供される。
本開示の一実施形態に係るESD保護回路100は、クランプMOSトランジスタ104のソース側と、グランド配線2との間にダイオード105が接続されている。ダイオード105は、クランプMOSトランジスタ104からグランド配線2へ電流が流れる方向に対して順方向となるように設けられている。
本開示の一実施形態に係るESD保護回路100は、クランプMOSトランジスタ104のソース側の電位がダイオード105によってグランド電位より上昇させられる。クランプMOSトランジスタ104のソース側の電位がダイオード105によってグランド電位より上昇させられることで、等価的に基板側の電位を下げられる。基板側の電位を下げられることで、本開示の一実施形態に係るESD保護回路100は、オフリーク電流を減少させることができる。
従って、本開示の一実施形態に係るESD保護回路100は、クランプMOSトランジスタ104のソース側と、グランド配線2との間にダイオード105を設けることで、ESD動作時の駆動電流を確保しつつ、オフリークによる電流増加を抑えることが可能になり、消費電力の増加を抑えることが可能になる。
なお、上記実施形態では、クランプMOSトランジスタ104の前段にCMOSインバータ103を1個設ける例を説明したが、本開示はこれに限定されない。例えば、クランプMOSトランジスタ104の前段にCMOSインバータを3個以上の奇数個設け、それらを多段接続してもよい。
また、上記実施形態では、インバータ回路をCMOSインバータで構成する例を説明したが、本開示はこれに限定されない。CMOSインバータと同様の動作を行う構成であれば、任意の構成のインバータ回路を用いることができる。
また、上記実施形態では、クランプMOSトランジスタ104のソース側の電位がダイオード105によってグランド電位より上昇させられているが、本開示はこれに限定されない。クランプMOSトランジスタ104のソース側の電位をグランド電位より上昇させられる素子であれば任意の素子を用いることができる。
また上記実施形態では、電源電圧Vddが電源配線に供給されている状態の例を説明したが、本開示はこれに限定されない。例えば、電源配線に電源電圧Vddが供給されていない場合にも、本実施形態のESD保護回路100は同様に動作する。すなわち、電源配線の入力端が開放状態(グランドは固定)である場合にも、ESDの発生時には、ESD保護回路100は上記実施形態と同様に動作する。
なお、電源配線に電源電圧Vddが供給されていない場合としては、例えば、ESD保護回路100の検査試験時や、ESD保護回路100が電子機器等に搭載された状態で電源がオフされている場合などがあり得る。
以上、添付図面を参照しながら本開示の好適な実施形態について詳細に説明したが、本開示の技術的範囲はかかる例に限定されない。本開示の技術分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本開示の技術的範囲に属するものと了解される。
また、本明細書に記載された効果は、あくまで説明的または例示的なものであって限定的ではない。つまり、本開示に係る技術は、上記の効果とともに、または上記の効果に代えて、本明細書の記載から当業者には明らかな他の効果を奏しうる。
なお、以下のような構成も本開示の技術的範囲に属する。
(1)
ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、
前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、
を備える、保護素子。
(2)
前記電位上昇回路は、ダイオードで構成される、前記(1)に記載の保護素子。
(3)
前記ダイオードは、前記クランプMOSトランジスタが形成される層と異なる層で形成されたダイオードである、前記(2)に記載の保護素子。
(4)
前記ダイオードは、前記容量素子の寄生ダイオードである、前記(2)に記載の保護素子。
(5)
前記ダイオードは、直列に複数個接続される、前記(2)に記載の保護素子。
(6)
複数個の前記ダイオードの1つは前記クランプMOSトランジスタとは異なる別の素子の寄生ダイオードである、前記(5)に記載の保護素子。
(7)
前記クランプMOSトランジスタは、ゲート電位とウェル電位とが電気的に接続される、前記(1)〜(6)のいずれかに記載の保護素子。
(8)
ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、
前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、
前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されるインバータと、
を備える、保護回路。
(9)
ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、
前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、
前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されるインバータと、
前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される内部回路と、
を備える、半導体集積回路。
(1)
ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、
前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、
を備える、保護素子。
(2)
前記電位上昇回路は、ダイオードで構成される、前記(1)に記載の保護素子。
(3)
前記ダイオードは、前記クランプMOSトランジスタが形成される層と異なる層で形成されたダイオードである、前記(2)に記載の保護素子。
(4)
前記ダイオードは、前記容量素子の寄生ダイオードである、前記(2)に記載の保護素子。
(5)
前記ダイオードは、直列に複数個接続される、前記(2)に記載の保護素子。
(6)
複数個の前記ダイオードの1つは前記クランプMOSトランジスタとは異なる別の素子の寄生ダイオードである、前記(5)に記載の保護素子。
(7)
前記クランプMOSトランジスタは、ゲート電位とウェル電位とが電気的に接続される、前記(1)〜(6)のいずれかに記載の保護素子。
(8)
ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、
前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、
前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されるインバータと、
を備える、保護回路。
(9)
ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、
前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、
前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されるインバータと、
前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される内部回路と、
を備える、半導体集積回路。
1 電源配線
2 グランド配線
100 ESD保護回路
101 抵抗素子
102 容量素子
103 CMOSインバータ
104 クランプMOSトランジスタ
105 ダイオード
120 内部回路
2 グランド配線
100 ESD保護回路
101 抵抗素子
102 容量素子
103 CMOSインバータ
104 クランプMOSトランジスタ
105 ダイオード
120 内部回路
Claims (9)
- ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、
前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、
を備える、保護素子。 - 前記電位上昇回路は、ダイオードで構成される、請求項1に記載の保護素子。
- 前記ダイオードは、前記クランプMOSトランジスタが形成される層と異なる層で形成されたダイオードである、請求項2に記載の保護素子。
- 前記ダイオードは、前記容量素子の寄生ダイオードである、請求項2に記載の保護素子。
- 前記ダイオードは、直列に複数個接続される、請求項2に記載の保護素子。
- 複数個の前記ダイオードの1つは前記クランプMOSトランジスタとは異なる別の素子の寄生ダイオードである、請求項5に記載の保護素子。
- 前記クランプMOSトランジスタは、ゲート電位とウェル電位とが電気的に接続される、請求項1に記載の保護素子。
- ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、
前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、
前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されるインバータと、
を備える、保護回路。 - ドレインが電源配線に、ソースがグランド配線に接続されるクランプMOSトランジスタと、
前記クランプMOSトランジスタの前記グランド配線側の拡散層電位を前記グランド配線の電位より上昇させる電位上昇回路と、
前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されるインバータと、
前記電源配線と前記グランド配線との間に接続される内部回路と、
を備える、半導体集積回路。
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- 2014-08-01 JP JP2014157827A patent/JP2016035958A/ja active Pending
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2015
- 2015-07-08 WO PCT/JP2015/069658 patent/WO2016017386A1/ja active Application Filing
- 2015-07-08 US US15/328,969 patent/US9991253B2/en active Active
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