JP2016031796A - プラズマ光源システム - Google Patents
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Abstract
Description
図2に示すように、プラズマ光源10は一対の同軸状電極11、11と、各同軸状電極11に対して個別に設けられるリザーバ16とを備え、各同軸状電極11内に発生した放電2によってプラズマ3を繰返し発生する。なお、図2において右側の同軸状電極11は、左側の同軸状電極11と同一の構成であるため、詳細な図示を省略する。
Claims (2)
- 放電によりプラズマを繰返し発生するプラズマ光源と、
前記プラズマに流れる電気エネルギーの一部を回収し、回収した前記電気エネルギーを前記放電に供給する電源装置と、
前記プラズマ光源を収容する真空槽と、
前記プラズマ光源と前記真空槽との間に前記プラズマ光源を囲むように設けられ、前記プラズマ光源及び前記真空槽に対して電気的に絶縁された遮蔽板と
を備えることを特徴とするプラズマ光源システム。 - 前記遮蔽板は、前記真空槽の排気口から間隔を置いた状態で前記排気口を覆い、前記プラズマのデバイ長以下の内径を有する複数の開口からなる網部を含むことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源システム。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2014
- 2014-07-28 JP JP2014152714A patent/JP6303894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
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