JP6331834B2 - プラズマ光源の電源装置 - Google Patents
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Description
図5は、一例としてのプラズマ光源の概略構成図(断面図)である。図5に示すように、プラズマ光源20は、一対の同軸状電極21、21を備える。なお、図5において右側の同軸状電極21は、左側の同軸状電極21と同一の構成であるため、詳細な図示を省略する。
図5に示すように、放電電圧が印加された状態で、各同軸状電極21における媒体保持部28には、レーザー装置30のレーザー光32が同時に照射される。その直後、中心電極22と各外部電極24の間で初期放電が発生する。その後、中心電極22の全周に亘って放電が分布する放電(面状放電)2が得られる。放電2の形成により、各同軸状電極21において、媒体保持部28からLiを含むガス又はイオンが放出される。なお、面状放電とは、2次元的に広がる面状の電流のことであり、電流シート又はプラズマシートとも呼ばれる。
Claims (4)
- 電極の間の放電によってプラズマを繰返し発生するプラズマ光源の電源装置であって、
電気エネルギーを蓄積する蓄電部を有し、前記蓄電部に蓄積した電気エネルギーを前記プラズマ光源の前記電極に供給する電気エネルギー供給部と、
プラズマ中を流れる電気エネルギーの一部を回収し、前記電気エネルギー供給部の前記蓄電部に再蓄積する電気エネルギー回生部と
を備え、
前記電気エネルギー回生部は、
前記蓄電部による電気エネルギーの再蓄積時に、前記電気エネルギー回生部が回収した電気エネルギーに新たな電気エネルギーを補充する電源部を備えることを特徴とするプラズマ光源の電源装置。 - 前記電気エネルギー回生部は、
プラズマの発生時にプラズマ光源を介して流れる電流の逆流を阻止する第1の逆流阻止部と、
前記蓄電部による電気エネルギーの再蓄積時に、前記蓄電部の端子の間を電気的に接続するスイッチ部と、
前記蓄電部による電気エネルギーの再蓄積時に、前記スイッチ部を介して前記蓄電部に流れる電流の逆流を阻止する第2の逆流阻止部と
を含むことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ光源の電源装置。 - 前記電気エネルギー回生部は、放電時に前記プラズマ光源または前記プラズマ光源を収容する真空槽から回り込むノイズ電流を阻止するインダクタを含むことを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ光源の電源装置。
- 前記プラズマ光源は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、前記中心電極の外周を囲むように設けられた複数の外部電極とを有し、対称面を挟んで互いに対向配置される一対の同軸状電極を備え、
前記電気エネルギー供給部及び前記電気エネルギー回生部は、前記中心電極と各前記外部電極との間にそれぞれ設けられることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のプラズマ光源の電源装置。
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