JP2015229681A - 硬化性組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(A)(a)下記一般式(1)で表されるケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個有する化合物と、
(b)付加反応性炭素−炭素二重結合を1分子中に2個有する多環式炭化水素と、
(c)下記一般式(2)で表される、ケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個有する化合物との付加反応生成物、
(B)1分子中に3個以上の付加反応性炭素−炭素二重結合を有する化合物、
(C)白金族金属を含むヒドロシリル化触媒、
を含む硬化性組成物を提供する。
R3 aSiO(4−a)/2 (3)
(式中、R3は互いに同一又は異種の非置換もしくは置換の1価炭化水素基であり、R3中の3個以上が付加反応性炭素−炭素二重結合であり、aは1≦a≦3を満たす正数である。)
(A)(a)下記一般式(1)で表されるケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個有する化合物と、
(b)付加反応性炭素−炭素二重結合を1分子中に2個有する多環式炭化水素と、
(c)下記一般式(2)で表される、ケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個有する化合物との付加反応生成物、
(B)1分子中に3個以上の付加反応性炭素−炭素二重結合を有する化合物、
(C)白金族金属を含むヒドロシリル化触媒、
を含む硬化性組成物である。
なお、本発明において「付加反応性」とは、ケイ素原子に結合した水素原子(以下、「SiH」ということがある)と周知のヒドロシリル化反応により付加反応し得る性質を意味する。
また、本発明において「Me」はメチル基を示すものとする。
本発明の硬化性組成物の(A)成分は、
(a)下記一般式(1)で表されるケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個有する化合物と、
(b)付加反応性炭素−炭素二重結合を1分子中に2個有する多環式炭化水素と、
(c)下記一般式(2)で表される、ケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個有する化合物との付加反応生成物である。
この(A)成分の反応原料である(a)成分は、下記一般式(1)で表されるSiHを1分子中に2個有する化合物である。
構造式:HMe2Si−p−C6H4−SiMe2Hで表される1,4−ビス(ジメチルシリル)ベンゼン、
構造式:HMe2Si−m−C6H4−SiMe2Hで表される1,3−ビス(ジメチルシリル)ベンゼン等のシルフェニレン化合物が挙げられる。
(A)成分の別の反応原料である(b)成分は、付加反応性炭素−炭素二重結合を1分子中に2個有する多環式炭化水素である。
(A)成分の別の反応原料である(c)成分は、下記平均組成式(2)で表されるケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個有する化合物である。
構造式:HMe2SiOSiMe2Hで表される1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、
構造式:HMe2SiOSi(C6H5)2OSiMe2Hで表される1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン等の化合物が挙げられる。
(A)成分は、(a)成分と(b)成分と(c)成分とを付加反応させたものであり、(a)成分と(b)成分とを(b)成分が両末端に配置されるように付加反応させたものに、さらに(c)成分を付加反応させたものであることが好ましい。例えばSiHを1分子中に2個有する(a)成分の1モルに対して、付加反応性炭素−炭素二重結合を1分子中に2個有する(b)成分の1モルを越え10モル以下、好ましくは1モルを越え5モル以下の過剰量を、ヒドロシリル化反応触媒の存在下で付加反応させることにより、SiHを有しない付加反応生成物を得ることができる。さらにこの付加反応生成物1モルに対して、SiHを1分子中に2個有する(c)成分の1モルを越え10モル以下、好ましくは1モルを越え5モル以下の過剰量を、ヒドロシリル化反応触媒の存在下で付加反応させることにより、SiHを1分子中に2個有する付加反応生成物として得ることができる。
例えば、白金金属を担持したカーボン粉末、白金黒、塩化第2白金、塩化白金酸、塩化白金酸と一価アルコールとの反応生成物、塩化白金酸とオレフィン類との錯体、白金ビスアセトアセテート等の白金系触媒;パラジウム系触媒、ロジウム系触媒等の白金族金属系触媒が挙げられる。また、付加反応条件、溶媒の使用等については、特に限定されず通常の通りとすればよい。
(B)成分は、1分子中に3個以上の付加反応性炭素−炭素二重結合を有する化合物であり、下記平均組成式(3)で表されるオルガノポリシロキサンが好ましい。
R3 aSiO(4−a)/2
(式中、R3は互いに同一又は異種の非置換もしくは置換の1価炭化水素基であり、R3中の3個以上が付加反応性炭素−炭素二重結合であり、aは1≦a≦3を満たす正数である。)
また、上記(A)及び(B)成分の配合量は、これら各成分中の付加反応性炭素−炭素二重結合の合計1モル当り、同じく各成分中のSiH基の合計の量が、0.8〜1.5モルとなる量とするのがよい。このような配合量とすることで、十分な硬度を有する硬化物を得ることができる。
本発明の(C)成分であるヒドロシリル化反応触媒は、上記「(A)成分の調製」で記載したものと同じである。
本発明の組成物には、前記(A)〜(C)成分以外にも、目的に応じて、その他の成分を配合してもよい。
本発明の組成物には、(B)成分以外にも、封止材料の基材との接着性を向上させる目的で、(A)成分と付加反応する脂肪族不飽和基含有化合物を配合してもよい。
(B)成分以外のこのような脂肪族不飽和基含有化合物としては、硬化物の形成に関与するものが好ましく、1分子あたり1個以上の脂肪族不飽和基を有する(B)成分以外のオルガノポリシロキサンが挙げられる。その分子構造は、例えば、直鎖状、環状、分岐鎖状、三次元網状等、いずれでもよい。具体例としては、N−アリル−N’,N”−ビス(3−トリメトキシシリルプロピル)イソシアヌレート、N−アリル−N’,N”−ビス(3−トリエトキシシリルプロピル)イソシアヌレートなどが挙げられる。
脂肪族不飽和基含有化合物の具体例としては、ブタジエン、多官能性アルコールから誘導されたジアクリレートなどのモノマー;ポリエチレン、ポリプロピレン又はスチレンと他のエチレン性不飽和化合物(例えば、アクリロニトリル又はブタジエン)とのコポリマーなどのポリオレフィン;アクリル酸、メタクリル酸、又はマレイン酸のエステル等の官能性置換有機化合物から誘導されたオリゴマー又はポリマーが挙げられる。
なお、(B)成分以外の脂肪族不飽和基含有化合物は、室温で液体であっても固体であってもよい。
ポットライフを確保するために、付加反応制御剤を本発明組成物に配合することができる。付加反応制御剤は、(C)成分のヒドロシリル化触媒に対して硬化抑制効果を有する化合物であれば特に限定されず、従来から公知のものを用いることができる。
その具体例としては、トリフェニルホスフィンなどのリン含有化合物;トリブチルアミン、テトラメチルエチレンジアミン、ベンゾトリアゾールなどの窒素含有化合物;硫黄含有化合物;アセチレンアルコール類(例えば、1−エチニルシクロヘキサノール、3,5−ジメチル−1−ヘキシン−3−オール、3−メチル−1−ドデシン−3−オール)等のアセチレン系化合物;アルケニル基を2個以上含む化合物;ハイドロパーオキシ化合物;マレイン酸誘導体などが挙げられる。
本発明の硬化性オルガノポリシロキサン組成物は、公知の硬化条件下で公知の硬化方法により硬化させることができる。
具体的には、通常、80〜200℃、好ましくは100〜160℃で加熱することにより、該組成物を硬化させることができる。加熱時間は、0.5分〜5時間程度、特に1分〜3時間程度でよいが、LED封止用等の信頼性が要求される場合は、硬化時間を長めにすることが好ましい。得られる硬化物の形態は特に制限されず、例えば、ゲル硬化物、エラストマー硬化物及び樹脂硬化物のいずれであってもよい。
なお、上記で得られた硬化性組成物は、硬化物とした際に、以下の諸特性を有するものであることが好ましい。可視光(589nm)における屈折率(25℃)は1.45以上のもの。波長400nmにおける光透過率(25℃)は80%以上のもの。JIS−K6249に準じて測定した切断時伸びは100以上で、かつ、引っ張り強度は3以上のもの。1mm厚の酸素ガス透過率は、23℃において500cc/m2・day以下のもの。
本発明組成物の硬化物は、上記のようにガスバリア性と耐熱変色性に優れ、通常の硬化性オルガノポリシロキサン組成物の硬化物と同様に耐熱性、耐寒性、電気絶縁性に優れる。本発明の組成物からなる封止材によって封止される光学素子としては、例えば、LED、半導体レーザー、フォトダイオード、フォトトランジスタ、太陽電池、CCD等が挙げられる。このような光学素子は、該光学素子に本発明の組成物からなる封止材を塗布し、塗布された封止材を公知の硬化条件下で公知の硬化方法により、具体的には上記したとおりに硬化させることによって封止することができる。このような硬化物により被覆された半導体装置であれば、信頼性が優れる半導体装置とすることができる。
また、下記の例において、オルガノポリシロキサンの平均組成を示す記号は以下の通りの単位を示す。
MH:(CH3)2HSiO1/2
D:(CH3)2SiO2/2
DVi:(CH2=CH)(CH3)SiO2/2
MVi:(CH3)2(CH2=CH)SiO1/2
D2Φ:(C6H5)2SiO2/2
攪拌装置、冷却管、滴下ロートおよび温度計を備えた5Lの4つ口フラスコに、ビニルノルボルネン(商品名:V0062、東京化成社製;5−ビニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンと6−ビニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンとの略等モル量の異性体混合物)1785g(14.88モル)、および、トルエン455gを加え、オイルバスを用いて85℃に加熱した。これに、5質量%の白金金属を担持したカーボン粉末3.6gを添加し、攪拌しながら1,4−ビス(ジメチルシリル)ベンゼン1698g(8.75モル)を180分間かけて滴下した。滴下終了後、更に110℃で加熱攪拌を24時間行った後、室温まで冷却した。その後、白金金属担持カーボンをろ過して除去し、トルエンおよび過剰のビニルノルボルネンを減圧留去して、無色透明なオイル状の反応生成物(粘度:12.8Pa・s)3362gを得た。
攪拌装置、冷却管、滴下ロートおよび温度計を備えた2Lの4つ口フラスコに、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン258g(1.92モル)、調製例1の付加反応生成物60g(0.12モル)、トルエン200gを加え、オイルバスを用いて90〜95℃に加熱した。これにCAT−PL−50T(信越化学製)を0.2g加え、更にトルエン100gで希釈した調製例1の付加反応生成物240g(0.47モル)を滴下した。滴下終了後、90〜95℃の間で2時間撹拌した。撹拌終了後室温に戻し、活性炭を2.2g加え1時間撹拌した。撹拌後ろ過、濃縮し、無色透明なオイル状の反応生成物(A−1)成分383g(収率93%)を得た(粘度:1.9Pa・s)。
攪拌装置、冷却管、滴下ロートおよび温度計を備えた2Lの4つ口フラスコに、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン120.9g(0.9モル)、調製例1の付加反応生成物68g(0.13モル)、トルエン200gを加え、オイルバスを用いて90〜95℃に加熱した。これにCAT−PL−50T(信越化学製)を0.6g加え、更にトルエン80gで希釈した調製例1の付加反応生成物274.6g(0.54モル)を滴下した。滴下終了後、90〜95℃の間で2時間撹拌した。撹拌終了後室温に戻し、活性炭を2.3g加え1時間撹拌した。撹拌後ろ過、濃縮し、無色透明なオイル状の反応生成物(A−2)成分413.9g(収率89.3%)を得た(粘度:58.8Pa・s)。
攪拌装置、冷却管、滴下ロートおよび温度計を備えた2Lの4つ口フラスコに、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン119.5g(0.89モル)、調製例1の付加反応生成物72.1g(0.14モル)、トルエン200gを加え、オイルバスを用いて90〜95℃に加熱した。これにCAT−PL−50T(信越化学製)を0.2g加え、更にトルエン80gで希釈した調製例1の付加反応生成物274.6g(0.57モル)を滴下した。滴下終了後、90〜95℃の間で2時間撹拌した。撹拌終了後室温に戻し、活性炭を2.4g加え1時間撹拌した。撹拌後ろ過、濃縮し、無色透明なオイル状の反応生成物(A−3)成分426.1g(収率88.8%)を得た(粘度:514Pa・s)。
攪拌装置、冷却管、滴下ロートおよび温度計を備えた2Lの4つ口フラスコに、平均組成式:MH 2D3のオルガノポリシロキサン300g(0.84モル)、調製例1の付加反応生成物28g(0.055モル)、トルエン140gを加え、オイルバスを用いて90〜95℃に加熱した。これにCAT−PL−50T(信越化学製)を0.2g加え、更にトルエン60gで希釈した調製例1の付加反応生成物114.1g(0.22モル)を滴下した。滴下終了後、90〜95℃の間で2時間撹拌した。撹拌終了後室温に戻し、活性炭を2.2g加え1時間撹拌した。撹拌後ろ過、濃縮し、無色透明なオイル状の反応生成物(A−4)成分277.4g(収率81.1%)を得た(粘度:0.55Pa・s)。
調製例2にて調製した(A−1)成分100部に対して、平均組成式:DVi 4のオルガノポリシロキサンを21.4部、反応制御剤として1−エチニルシクロヘキサノールを0.12部添加した物に、白金触媒を白金原子として10ppm添加した後に、均一に混合して組成物を得た。この組成物を150℃で2時間加熱して硬化させ、得られたエラストマーの物性を測定した。各測定結果を表1に示す。
調製例3にて調製した(A−2)成分100部に対して、平均組成式:DVi 4のオルガノポリシロキサンを14.4部、反応制御剤として1−エチニルシクロヘキサノールを0.11部添加した物に、白金触媒を白金原子として10ppm添加した後に、均一に混合して組成物を得た。この組成物を150℃で2時間加熱して硬化させ、得られたエラストマーの物性を測定した。各測定結果を表1に示す。
調製例4にて調製した(A−3)成分100部に対して、平均組成式:DVi 4のオルガノポリシロキサンを10.4部、反応制御剤として1−エチニルシクロヘキサノールを0.11部添加した物に、白金触媒を白金原子として10ppm添加した後に、均一に混合して組成物を得た。この組成物を150℃で2時間加熱して硬化させ、得られたエラストマーの物性を測定した。各測定結果を表1に示す。
調製例4にて調製した(A−3)成分100部に対して、トリアリルイソシアヌレートを9.9部、反応制御剤として1−エチニルシクロヘキサノールを0.11部添加した物に、白金触媒を白金原子として10ppm添加した後に、均一に混合して組成物を得た。この組成物を150℃で2時間加熱して硬化させ、得られたエラストマーの物性を測定した。各測定結果を表1に示す。
調製例5にて調製した(A−4)成分100部に対して、平均組成式:DVi 4のオルガノポリシロキサンを11.7部、反応制御剤として1−エチニルシクロヘキサノールを0.11部添加した物に、白金触媒を白金原子として10ppm添加した後に、均一に混合して組成物を得た。この組成物を150℃で2時間加熱して硬化させ、得られたエラストマーの物性を測定した。各測定結果を表2に示す。
平均組成式:MH 2D100のオルガノポリシロキサン100部に対して、平均組成式:DVi 4のオルガノポリシロキサンを2.7部、反応制御剤として1−エチニルシクロヘキサノールを0.10部添加した物に、白金触媒を白金原子として10ppm添加した後に、均一に混合して組成物を得た。この組成物を150℃で2時間加熱して硬化させ、得られたエラストマーの物性を測定した。各測定結果を表2に示す。
調製例2にて調製した(A−1)成分100部に対して、平均組成式:MVi 2D2Φ 9D19のオルガノポリシロキサンを450部、反応制御剤として1−エチニルシクロヘキサノールを0.53部添加した物に、白金触媒を白金原子として10ppm添加した後に、均一に混合して組成物を得た。この組成物を150℃で2時間加熱したところ、硬化物が得られず高粘度のオイル状物質となった。
各実施例および比較例で得られた組成物について、下記の手法に従って硬化物を作成し、性能評価を実施した。硬化条件として、150℃で2時間加熱硬化を行なった。
(1)透過率
2枚のガラス板間に2mm厚のスペーサーを装着し、15mm×40mm×2mmの空間に組成物を収め、上記の加熱硬化を行い、2mm厚の硬化物を得た。得られた硬化物の光透過率を分光光度計を用いて、測定波長400nm(紫外線領域)について25℃で測定を行った。測定結果を表1、2に示す。
(2)硬度、切断時伸び、引っ張り強度
JIS−K6249に準じて測定した測定結果を表1、2に示す。
(3)ガスバリア性の評価
外径100mmΦ、厚み1mmの硬化物を作成し、イリノイインスツルメンツ社製酸素ガス透過率測定装置(8001型)を用い、23℃にて測定を実施した。測定結果を表1、2に示す。
(4)屈折率
屈折率はATAGO製デジタル屈折計RX−5000を用いて589nmの屈折率を25℃で測定した。測定結果を表1、2に示す。
一方、表2に示されるように、(c)成分の代わりに一般式(2)中に示した構造式においてn=4である化合物を反応に用いた比較例1の硬化物、及び(A)成分の代わりにSiH基を1分子中に2個有する直鎖状のオルガノポリシロキサンを反応に用いた比較例2の硬化物においては、ガスバリア性や引っ張り強度に劣る硬化物であったため、上記のような用途としては不適当であると考えられる。
構造式:HMe2SiOSiMe2Hで表される1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、
構造式:HMe2SiOSi(C6H5 ) 2OSiMe2Hで表される1,1,5,5−テトラメチル−3,3−ジフェニルトリシロキサン等の化合物が挙げられる。
(B)成分は、1分子中に3個以上の付加反応性炭素−炭素二重結合を有する化合物であり、下記平均組成式(3)で表されるオルガノポリシロキサンが好ましい。
R3 aSiO(4−a)/2 (3)
(式中、R3は互いに同一又は異種の非置換もしくは置換の1価炭化水素基であり、R3中の3個以上が付加反応性炭素−炭素二重結合であり、aは1≦a≦3を満たす正数である。)
Claims (11)
- (A)(a)下記一般式(1)で表されるケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個有する化合物と、
(b)付加反応性炭素−炭素二重結合を1分子中に2個有する多環式炭化水素と、
(c)下記一般式(2)で表される、ケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個有する化合物との付加反応生成物、
(B)1分子中に3個以上の付加反応性炭素−炭素二重結合を有する化合物、
(C)白金族金属を含むヒドロシリル化触媒、
を含むものであることを特徴とする硬化性組成物。 - 前記(A)成分が、前記化合物(a)と前記多環式炭化水素(b)とを該多環式炭化水素(b)が両末端に配置されるように付加反応させたものに、さらに前記化合物(c)を付加反応させたものであることを特徴とする請求項1に記載の硬化性組成物。
- 前記多環式炭化水素(b)が、ビニルノルボルネンであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の硬化性組成物。
- 前記多環式炭化水素(b)が、5−ビニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、及び6−ビニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンのいずれか、又はこれらの組み合わせであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 前記(B)成分の1分子中に3個以上の付加反応性炭素−炭素二重結合を有する化合物が、下記平均組成式(3)で表されるオルガノポリシロキサンであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
R3 aSiO(4−a)/2 (3)
(式中、R3は互いに同一又は異種の非置換もしくは置換の1価炭化水素基であり、R3中の3個以上が付加反応性炭素−炭素二重結合であり、aは1≦a≦3を満たす正数である。) - 前記(B)成分の1分子中に3個以上の付加反応性炭素−炭素二重結合を有する化合物が、イソシアヌル環を有する化合物であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 前記硬化性組成物の硬化物の可視光(589nm)における屈折率(25℃)が1.45以上であることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 前記硬化性組成物の硬化物の波長400nmにおける光透過率(25℃)が80%以上であることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 前記硬化性組成物の硬化物のJIS−K6249に準じて測定した切断時伸びが100以上で、かつ、引っ張り強度が3以上であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 前記硬化性組成物の硬化物の1mm厚の酸素ガス透過率が、23℃において500cc/m2・day以下であることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の硬化性組成物の硬化物により光半導体素子が被覆されたものであることを特徴とする半導体装置。
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