JP2015213231A - 電子部品、電子機器、及び移動体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品は、一方の面16aと前記一方の面の裏面となる他方の面16bを有し、前記一方の面16aから前記他方の面16bまで貫通し、金属が充填された第1ビア電極70を有している基板10aと、前記一方の面16aに配置され、第1接続端子50aを有し、前記第1接続端子50aと前記一方の面16a側の第1端部70aとが接続されている電子素子としての感温素子50と、前記他方の面16bに配置され、少なくとも1つの励振電極22を有している振動片20と、を備え、前記第1ビア電極70の前記他方の面側が、平面視で前記励振電極22と重なっている。
【選択図】図2
Description
このような構成により、圧電振動素子の先端部の熱はビア導体を介して、集積回路素子に内蔵された温度センサーに伝わるため、圧電振動素子の温度を測定することができる。このとき測定された温度の温度データ信号によって周波数が補正されるため、良好な周波数ドリフト特性を有する圧電発振器が得られることが開示されている。
図1は、本発明の実施形態1に係る感温素子付水晶振動子100を示す平面図である。図2は、図1中のA−A線の断面図である。尚、説明の便宜上、図1は蓋体30を省略し図示している。
容器体10は、基板10a、側壁10b、及び蓋体30により囲まれた空間である第2の凹部空間11と、側壁10cに囲まれた空間である第1の凹部空間14と、を有しており、第2の凹部空間11には振動片20が、第1の凹部空間14には感温素子50が備えられている。
基板10aは、セラミック材料によって概略平板状の矩形形状に形成されており、一方の面16aから、一方の面16aの裏面となる他方の面16bまで貫通し、金属が充填された第1ビア電極70が設けられている。
第1接続端子50aと第2接続端子50bとは、容器体10の第1の凹部空間14に露出した基板10aの一方の面16aに形成されているパッド15aとパッド15bとに、それぞれ接続されている。第1接続端子50aは、パッド15aを介して第1ビア電極70に接続されている。
感温素子50は、例えばサーミスターのように、温度変化に対して電気抵抗の値が変化する電子部品である。感温素子50は、本形態では、矩形形状をした基板10aの長手方向に感温素子50の長手方向を合わせて実装されているが、感温素子50を回転させて基板10aの長手方向に感温素子50の短手方向を合わせ、さらにパッド15aと、パッド15bとのパターンも感温素子50に合わせて回転させて、感温素子50が実装されていても良い。
水晶素板21は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し外形加工を施された概略平板状であり、平面形状が矩形状となっている。励振電極22は、水晶素板21の表裏両主面に金属を所定のパターンで蒸着し、形成したものである。なお、励振電極22の形成方法はこれに限らず、水晶素板21の両主面金属を蒸着、スパッタ、メッキ、または塗布等で形成した後に、ウエットエッチングまたはドライエッチング等の手法により所定の形状に加工して形成してもよい。
尚、振動片20は、水晶素板21の一方の面にのみ励振電極22(IDT電極)を配置して励振されるSAW共振子等でもよい。また、振動片20は、基板材料として水晶を用いた、例えば、ATカットやSCカットの水晶振動片や、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)振動片や、その他の基板材料を用いた振動片であってもよい。さらに、振動片の基板材料としては、水晶の他、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電単結晶や、ジルコン酸チタン酸鉛等の圧電セラミックス等の圧電材料、又はシリコン半導体材料等を用いてもよいし、振動片の励振手段としては、圧電効果によるものを用いてもよいし、クーロン力による静電駆動を用いてもよい。
一般的に封入する気体には、窒素を主成分とした気体が用いられているが、窒素に比べて熱伝導率の高い水素、ヘリウムいずれか一方を主成分とした気体を用いても構わない。
具体的な封止方法として、蓋体30は、水素、ヘリウムのいずれか一方を主成分とした気体の雰囲気中、もしくは負圧で、容器体10のシールリング10d表面に載置され、シールリング10d成分中の金属と、蓋体30の金属の一部と、が溶接されるように所定電流を印加してシーム溶接を行うことで、シールリング10dに接合されている。尚、封入した気体に含まれる水素、またはヘリウムは、窒素に比べて熱伝導率が高いので、励振電極22の熱を第1ビア電極70に伝えやすくなる。そのため感温素子50で励振電極22の温度を正確に測定することができる。また、第2の凹部空間11にヘリウムや水素以外の気体が封入されている場合においても、水晶素板21に配置されている励振電極22の熱は、励振電極22からの放射(輻射)および気体を介した伝導(熱伝導)で第1ビア電極70に伝わるため、励振電極22の熱が第1ビア電極70に伝わりやすくなるので、感温素子50で励振電極22の温度を正確に測定することができる。
側壁10cは、基板10aが接している側と反対側の主面が一方の面16aにほぼ並行しており、その四隅には、外部接続用電極端子19a,19b,19c,19dが設けられている。
感温素子50が搭載されるパッド15a,及び15bは、基板10aの一方の面16aに形成された図示しない配線パターンや貫通電極により、外部接続用電極端子19d,19bへ、それぞれ電気的に接続されている。
振動片20が搭載される振動片搭載パッド13a,13bは、基板10aの一方の面16aに形成された図示しない配線パターンや貫通電極により、外部接続用電極端子19c,19aへ、それぞれ電気的に接続されている。
これにより感温素子50の二個一対の電極(第1接続端子50a、第2接続端子50b)と、振動片20の二個一対の電極(励振電極22)は電気的に独立して外部接続用電極端子19a,19b,19c,19dに接続されている。そのため振動片20を励振しつつ、励振電極22の温度を測定することができる。
また、セラミックグリーンシートに打ち抜き等を施して予め穴あけしておいた貫通孔内にビア電極となる導体ペーストを従来周知のスクリーン印刷によって塗布するとともに、これを複数枚積層してプレス成形した後、高温で焼成することにより製作されてもよい。
図3は、実施形態1の変形例1に係る感温素子付水晶振動子100aの断面図である。以下、変形例1に係る感温素子付水晶振動子100aについて説明する。尚、実施形態1と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明は省略する。
基板17aには、厚み方向に延びる第1ビア電極71が設けられ、基板17bには、厚み方向に延びる第1ビア電極73が設けられ、さらに基板17aと、基板17bとの境界部分には、第1ビア電極71と、第1ビア電極73とに両端にそれぞれ接続されて、平面方向に延びる二層間配線パターン72が設けられている。
具体的には、基板17bには振動片20と対向し励振電極22と平面視で重なる第2端部73aを有する第1ビア電極73が形成されている。第1ビア電極73の第2端部73aと反対側の端部は、二層間配線パターン72の一方の端部に接続され、二層間配線パターン72の他方の端部は、基板17aに形成された第1ビア電極71の一方の端部に接続されている。第1ビア電極71の一方の端部と反対側の第1端部71aはパッド15aを介して感温素子50の第1接続端子50aに接続されている。二層間配線パターン72が平面方向に延びているため、第2端部73aと、第1端部71aと、は平面視において設けられる位置が重ならない。
次に、実施形態2に係る感温素子付水晶振動子200について図4及び図5を参照して説明する。図4は、本発明の実施形態2に係る感温素子付水晶振動子200の平面図である。図5は、図4中のB−B線の断面図である。本実施形態に係る感温素子付水晶振動子200について、これらの図を参照して説明する。尚、実施形態1と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
第1パターン80の構成材料は、熱伝導性の良い材質であり、銅、金、銀、アルミニウム、タングステン、モリブデンのいずれか一種、または銅、金、銀、アルミニウム、タングステン、モリブデンのいずれか一種を主成分とする合金、または窒化アルミニウム、または炭化シリコンがあげられる。
これらの材質は基板10aを構成しているセラミック等より熱伝導率が一桁大きいので励振電極22から放射(輻射)された熱を第1ビア電極70により早く伝えることができるようになる。そのため、励振電極22の温度をより正確に測定することができる。
図6は、実施形態2の変形例2に係る感温素子付水晶振動子200aの平面図である。以下、変形例2に係る感温素子付水晶振動子200aについて説明する。尚、実施形態2と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明は省略する。
振動片20の励振電極22は、平面視で第1パターン81によって覆われている状態にあるので、励振電極22を含め、より広い面積の振動片20の熱を第1パターン81に伝えられるため、より精度良く振動片20の励振電極22の温度を測定することができる。従って、高精度に温度補償が可能な感温素子付水晶振動子200aを得ることができる。
図7は、実施形態2の変形例3に係る感温素子付水晶振動子200bの平面図である。以下、変形例3に係る感温素子付水晶振動子200bについて説明する。尚、実施形態2と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明は省略する。
第1パターン82から延出されているパッド間パターン83は,振動片搭載パッド13a,13bに近接しているため、励振電極22から引き出し電極を伝わり、振動片搭載パッド13a,13bへ達した熱や振動片20と対向する空間の熱や、振動片20において平面視で振動片搭載パッド13a,13bと重なる領域にはさまれた水晶素板21から放射(輻射)された熱も伝わるので、振動片20や振動片搭載パッド13a,13bの温度を含めた励振電極22の温度をより正確に測定できるので、高精度に温度補償が可能な感温素子付水晶振動子200bが実現できる。
次に、実施形態3に係る感温素子付水晶振動子300について図8及び図9を参照して説明する。図8は、実施形態3に係る感温素子付水晶振動子300を示す平面図である。図9は、図8中のC−C線の断面図である。本実施形態に係る感温素子付水晶振動子300について、これらの図を参照して説明する。尚、実施形態1及び実施形態2と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
第1パターン84は、励振電極22と平面視にて重なるように基板18に設けられている第1ビア電極70の第2端部70bと接続されている。第2パターン85は、励振電極22と平面視にて重なるように基板18に設けられている第2ビア電極90の第4端部90bと接続されている。
基板18の一方の面16aに配置されている感温素子50の第1接続端子50aは第1ビア電極70の第1端部70aと、第2接続端子50bは第2ビア電極90の第3端部90aとそれぞれ接続されている。尚、第1パターン84及び第2パターン85の構成材料は、前述した第1パターン84と同様である。
次いで、本発明の一実施形態に係る電子機器について、図10〜図12に基づき、詳細に説明する。尚、上記実施形態又は変形例にかかる感温素子付水晶振動子100,100a,200,200a,200b,300のいずれかを含んだ形態のものを感温素子付水晶振動子600として以下に説明する。
次いで、本発明の一実施形態に係る移動体について図13に基づき説明する。尚、上記実施形態にかかる感温素子付水晶振動子100,100a,200,200a,200b,300のいずれかを含んだ形態のものを感温素子付水晶振動子600として以下に説明する。
Claims (11)
- 一方の面と前記一方の面の裏面となる他方の面を有し、前記一方の面から前記他方の面に向かって貫通し、金属が充填された第1ビア電極を有する基板と、
前記一方の面に配置され、第1接続端子を有する電子素子と、
前記他方の面に配置され、少なくとも1つの励振電極を有している振動片と、を備え、
前記第1ビア電極の前記一方の面側の第1端部と前記第1接続端子とが接続されているとともに、前記第1ビア電極の前記他方の面側の第2端部が、平面視で前記励振電極と重なっていることを特徴とする電子部品。 - 前記他方の面側に、前記基板よりも熱伝導性のよい第1パターンを有し、
前記第1パターンと前記第2端部とが接続されているとともに、平面視で前記第1パターンと前記励振電極とが重なっていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品。 - 前記第1パターンは、平面視で前記励振電極を覆っていることを特徴とする請求項2に記載の電子部品。
- 前記基板は、前記一方の面から前記他方の面に向かって貫通し、金属が充填された、平面視で前記励振電極と重なる第2ビア電極と、前記他方の面側に前記基板よりも熱伝導性のよい第2パターンとを有し、
前記電子素子は、第2接続端子を有し、
前記第2ビア電極の前記一方の面側の第3端部と前記第2接続端子とが接続されており、
前記第2ビア電極の前記他方の面側の第4端部と前記第2パターンとが接続されており、
平面視で前記第2パターンと前記励振電極とが重なっていることを特徴とする請求項2に記載の電子部品。 - 前記第2パターンは、銅、金、銀、アルミニウム、タングステン、モリブデンのいずれか一種、または銅、金、銀、アルミニウム、タングステン、モリブデンのいずれか一種を主成分とする合金、または窒化アルミニウム、または炭化シリコンで構成されていることを特徴とする請求項4に記載の電子部品。
- 前記第1パターンは、銅、金、銀、アルミニウム、タングステン、モリブデンのいずれか一種、または銅、金、銀、アルミニウム、タングステン、モリブデンのいずれか一種を主成分とする合金、または窒化アルミニウム、または炭化シリコンで構成されていることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか一項に記載の電子部品。
- 前記基板は、少なくとも前記振動片を囲む側壁を有し、
前記基板、前記側壁、及び蓋体により囲まれた空間に前記振動片が配置され、
前記振動片が配置されている空間の雰囲気は水素、及びヘリウムのうち少なくとも1つの気体を主成分としていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電子部品。 - 前記電子素子は、感温素子であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の電子部品。
- 前記電子素子は、さらに、前記振動片を発振させる回路を備えていることを特徴とする請求項8に記載の電子部品。
- 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の電子部品を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の電子部品を備えていることを特徴とする移動体。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
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