JP2015206708A - 接触式測定装置、塗布液塗布装置、電子部品実装装置およびプリント基板用スクリーン印刷装置 - Google Patents

Abstract

【課題】空気を吸引する機構の有無とは無関係に測定対象物との間の距離を測定可能であり、しかも、測定対象物の支持系や測定対象物に接近する接触子の支持系に弾性部材が介装されていたとしても正しく動作する接触式測定装置を提供する。【解決手段】測定対象物３に接触する接触子４と、モータ６の動力で接触子４を駆動する駆動機構５とを備える。モータ６の回転を検出するエンコーダ７を備える。モータ６の負荷の大きさを検出する機能とエンコーダ７の値から接触子４の位置を求める機能とを有する制御部１０を備える。制御部１０は、接触子４が測定対象物３に押し付けられた後に測定対象物３とは反対方向に移動し測定対象物３から離れるときにモータ６の負荷の大きさが相対的に大きく変化する現象を利用して接触子４に対する測定対象物３の位置を求める。【選択図】 図１

Description

本発明は、測定対象物に接触子を押し付けた後に離間させて接触子に対する測定対象物の位置を求める接触式測定装置、塗布液塗布装置、電子部品実装装置およびプリント基板用スクリーン印刷装置に関するものである。

従来、測定対象物までの距離を測定する測定装置としては、例えば特許文献１に記載されているものがある。特許文献１に開示された測定装置は、プリント基板に電子部品を実装する電子部品実装装置に用いられ、プリント基板と吸着ノズルとの距離を測定する。

この測定装置は、電子部品実装装置に装備されている流量センサを用いて構成されている。流量センサは、吸着ノズルを流れる空気の流量を検出するものである。吸着ノズルは、プリント基板に電子部品を実装するためのもので、プリント基板に対して昇降する。
この測定装置は、吸着ノズルに空気が吸引される状態で吸着ノズルをプリント基板に向けて下降させ、流量センサの計測結果が変化したときの吸着ノズルの位置に基づいてプリント基板の高さを測定する。

特開２００３−１３３７９６号公報

特許文献１に示す測定装置は、流量センサおよび真空発生器が必要なものであるから、空気を吸引する機能を有していない装置には使用することができないという問題があった。空気を吸引する機能を有していない装置としては、例えば、ディスペンサーやプリント基板用スクリーン印刷機などがある。ディスペンサーとは、プリント基板に半田ペーストや接着剤を塗布ノズルによって塗布する塗布液塗布装置である。

プリント基板用スクリーン印刷機は、プリント基板に半田ペーストをマスクとスキージとによって塗布するものである。なお、空気の流量を検出する方式とは別の方式で測定対象物との距離を測るためには、上述したディスペンサーやスクリーン印刷機に適用したときにこれらの装置の機能が損なわれるようなことは回避しなければならない。すなわち、これらの装置は、プリント基板に対して接近する部材が弾性部材を介して支持されていることが多く、この弾性部材を正しく機能する状態に保たなければならない。この弾性部材は、プリント基板に塗布ノズルやスキージが衝突して破損することを防止するために用いられている。

本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、空気を吸引する機構の有無とは無関係に測定対象物との間の距離を測定可能であり、しかも、測定対象物の支持系や測定対象物に接近する接触子の支持系に弾性部材が介装されていたとしても正しく動作する接触式測定装置を提供することを第１の目的とする。また、本発明は、このような接触式測定装置を備えた電子部品実装装置、塗布液塗布装置あるいはプリント基板用スクリーン印刷装置を提供することを第２の目的とする。

この目的を達成するために、本発明に係る接触式測定装置は、測定対象物に接触する接触子と、動力源を構成するモータを有し、前記接触子を前記測定対象物に接近させる機能および前記接触子を前記測定対象物から離間させる機能を有する駆動機構と、前記モータの回転を検出するエンコーダと、前記モータの負荷の大きさを検出する機能および前記エンコーダの値から前記接触子の位置を求める機能を有する制御部とを備え、前記制御部は、前記接触子が前記測定対象物に押し付けられた後に前記測定対象物とは反対方向に移動し前記測定対象物から離れるときに前記モータの負荷の大きさが相対的に大きく変化する現象を利用して前記接触子に対する前記測定対象物の位置を求めるものであることを特徴とするものである。

本発明は、前記発明において、前記制御部は、前記接触子が前記測定対象物に押し付けられる押圧動作の開始位置を設定する第１の測定部と、前記開始位置から前記押圧動作を実施し、この押圧動作の後に前記接触子を前記測定対象物とは反対方向に移動させることにより、前記接触子が前記測定対象物から離れるときの前記接触子の位置を求める第２の測定部とを有し、前記第１の測定部は、前記接触子を予め定めた第１の移動量ずつ繰り返し移動させて前記負荷の大きさを求めるとともに、この負荷の大きさまたは変化率に基づいて前記接触子が前記測定対象物に接触するときの前記接触子の位置を求め、この位置を前記開始位置とするものであり、前記第２の測定部は、前記接触子を前記測定対象物とは反対方向に前記第１の移動量より少ない第２の移動量ずつ繰り返し移動させて前記負荷の大きさを求めるとともに前記負荷の変化率を求め、この変化率に基づいて前記接触子が前記測定対象物から離れるときの前記接触子の位置を求めるものであることを特徴とする。

本発明は、前記発明において、前記第２の測定部は、予め定めた条件が満たされたときの前記接触子の位置を前記測定対象物から離間する接触子の位置とし、かつ前記条件が満たされることなく前記接触子の移動量が予め定めた移動量を上回った場合には、前記条件を変えて、前記接触子が前記測定対象物から離れるときの前記接触子の位置を求める動作を繰り返すものであり、前記予め定めた条件は、前記接触子が予め定めた長さだけ移動したときの前記負荷の変化率が、判定基準として予め定めた変化率と一致する第１の条件と、前記負荷の大きさが予め定めた閾値以下である第２の条件とを含み、前記第２の測定部は、前記条件を変えるときに前記第１の条件を変えるものであることを特徴とする。

本発明は、前記発明において、前記接触子と前記測定対象物とのうち少なくともいずれか一方は、弾性部材を介して支持されているものであることを特徴とする。

本発明は、前記発明に係る接触式測定装置を備えた塗布液塗布装置であって、前記測定対象物は、プリント基板によって構成されで、前記接触子は、前記プリント基板に塗布液を塗布するための塗布ノズルによって構成され、前記塗布ノズルは、弾性部材を介して塗布ノズル駆動装置に支持されているものであることを特徴とする。

本発明は、前記発明に係る接触式測定装置を備えた電子部品実装装置であって、前記接触子は、電子部品を吸着する吸着ノズルによって構成され、前記測定対象物は、予備の前記吸着ノズルを保持する予備ノズル保持具によって構成され、前記予備ノズル保持具は、弾性部材を介して基台に支持されているものであることを特徴とする。

本発明は、前記発明に係る接触式測定装置を備えた電子部品実装装置であって、プリント基板を搬送するコンベアを備え、前記接触子は、電子部品を吸着する吸着ノズルによって構成され、前記測定対象物は、前記コンベアによって構成されていることを特徴とする。

本発明は、前記発明に係る接触式測定装置を備えたプリント基板用スクリーン印刷装置であって、プリント基板を搬送するコンベアと、前記コンベアに載せられたプリント基板にスクリーン印刷法によってペースト半田を塗布するスキージとを備え、前記接触子は、前記スキージによって構成され、前記測定対象物は、前記コンベアによって構成されていることを特徴とする。

本発明によれば、測定対象物に押付けられていた接触子が測定対象物から離れるときのモータの負荷は、相対的に大きく減少した後に相対的に緩やかに変化するようになる。接触子が測定対象物から離れるときの接触子の位置は、接触子と測定対象物との間の距離が０になる位置である。このため、測定対象物と接触子との間の距離をモータの負荷の大きさに基づいて測定することができる。この結果、本発明によれば、測定対象物の位置をモータ原点からの距離として測定することが可能になる。

一方、押し付けられていた接触子が測定対象物から離れるときは、これらの部材の支持系に弾性部材が介装されている場合と、これらの部材の支持系に弾性部材が介装されていない場合とのいずれの場合であっても、モータの負荷が相対的に大きく減少する。このため、この測定装置は、測定対象物の支持系や接触子の支持系に弾性部材が介装されていたとしても、弾性部材の影響を受けることはないものである。
したがって、本発明によれば、空気を吸引する機構の有無とは無関係に測定対象物と接触子との間の距離を測定可能であり、しかも、測定対象物の支持系や接触子の支持系に弾性部材が介装されていたとしても正しく動作する接触式測定装置を提供することができる。

本発明に係る接触式測定装置の構成を説明するための側面図である。 本発明に係る接触式測定装置の制御系の構成を示すブロック図である。 接触子の位置と電流値との関係を示すグラフである。 本発明に係る接触式測定装置の測定動作を説明するためのフローチャートである。 ラフ下降高さ測定工程を説明するためのフローチャートである。 ラフ上昇高さ測定工程を説明するためのフローチャートである。 上昇高さ測定工程を説明するためのフローチャートである。 変化率を比較する手順を説明するためのグラフである。 本発明に係る接触式測定装置を備えた塗布液塗布装置の側面図である。図９中には、制御装置の構成を示すブロック図も描いてある。 本発明に係る接触式測定装置を備えた電子部品実装装置の側面図である。図１０中には、制御装置の構成を示すブロック図も描いてある。 オートノズルステーションの構成を示す斜視図である。 本発明に係る接触式測定装置を備えた電子部品実装装置のコンベアと電子部品供給装置の平面図である。 電子部品実装装置のヘッドユニットを示す斜視図である。 本発明に係る接触式測定装置を備えたプリント基板用スクリーン印刷装置の斜視図である。 プリント基板用スクリーン印刷装置のスキージユニットを示す斜視図である。

（第１の実施の形態）
本発明に係る接触式測定装置の一実施の形態を図１〜図８によって詳細に説明する。
図１に示す接触式測定装置１は、基台２の上に固定された測定対象物3
と、この測定対象物３に接触する接触子４との間の距離を測るためのものである。この実施の形態による測定対象物３は、平坦な上面３ａを有している。

接触子４は、基台２に駆動機構５を介して支持されている。この実施の形態による駆動機構５は、モータ６が動力源となるボールねじ式駆動機構である。モータ６は、例えばサーボモータによって構成することができる。このモータ６は、エンコーダ７を有している。エンコーダ７は、モータ６の回転を検出するものである。

駆動機構５は、モータ６が回転することにより昇降する支持部材８を備えている。接触子４は、この支持部材８に弾性部材９を介して上下方向へ移動可能に支持されている。すなわち、駆動機構５は、接触子４を測定対象物３に接近させる機能と、接触子４を測定対象物３から離間させる機能とを有している。
モータ６は、この接触式測定装置１の制御部１０に接続されており、この制御部１０によって制御されて回転する。

制御部１０は、図２に示すように、複数の機能部によって構成されている。これらの機能部とは、駆動制御部１１と、通信制御部１２と、主演算部１３と、報知部１４などである。
駆動制御部１１は、モータ６の動作を制御する機能を有し、モータ６と通信制御部１２１０とに接続されている。モータ６には、駆動制御部１１によって設定された電流指令値に相当する電流が流れる。駆動制御部１１は、モータ６の回転をエンコーダ７によって検出し、接触子４の位置あるいは移動距離が目標位置あるいは目標移動距離と一致するように電流指令値を増減させる。目標位置あるいは目標移動距離は、後述する主演算部１３によって設定され、主演算部１３から制御信号として通信制御部１２を介して駆動制御部１１に送られる。

この実施の形態による駆動制御部１１は、詳細は後述するが、主演算部１３から送られた目標位置あるいは目標移動距離に基づいてモータ６を駆動し、接触子４を測定対象物３に押し付けた後に測定対象物３から離間する方向へ移動させる。
また、この駆動制御部１１は、モータ６の負荷を検出する機能を有している。この実施の形態において、モータ６の負荷は、モータ６を目標位置に保持するために必要な電流値として検出される。すなわち、接触子４が測定対象物３に押し付けられることにより、負荷を示す電流値が上昇する。

接触子４が測定対象物３に押し付けられた後に測定対象物３から離れるときの電流値（モータ６の負荷）は、図３に示すように変化する。図３において、横軸は接触子４の高さを示し、縦軸はモータ６の負荷に相当する電流値を示す。接触子４の位置は、横軸の左側ほど低い。電流値は、縦軸の下側ほど小さい。この実施の形態による接触子４は、弾性部材９を介して支持部材８に支持されている。このため、接触子４が測定対象物３に押し付けられている状態は、弾性部材９が弾性変形した状態である。

測定対象物３に押し付けられていた接触子４が測定対象物３とは反対方向に移動すると、先ず、図３中に符号Ａで示す領域において、弾性部材９が復元する。このとき、モータ６の電流値は、接触子４の移動に伴って僅かに増減する。そして、弾性部材９の復元が終了する直前に弾性部材９のばね力が急速に減少するために、符号Ｂで示す領域において、モータ６の負荷（電流値）が相対的に大きく減少する。なお、接触子４と支持部材８との間に弾性部材９が介装されていない場合であっても、領域Ｂにおいて、モータ６の負荷が相対的に大きく減少する。この理由は、接触子４や測定対象物３を含めてこれらの部材を支持する部材が僅かながらも弾性変形するからである。

領域Ｂにおいて弾性部材９の復元が終了した後、符号Ｃで示す領域において、接触子４が測定対象物３から離れて上昇する。
主演算部１３は、詳細は後述するが、上述した領域Ｂと領域Ｃとの境界となる接触子４の位置、換言すれば接触子４が測定対象物３から離れるときの接触子４の位置を演算によって求める。すなわち、主演算部１３は、接触子４が測定対象物３に押し付けられた後に測定対象物３とは反対方向に移動して測定対象物３から離れるときにモータ６の負荷の大きさが相対的に大きく変化する現象を利用して、接触子４に対する測定対象物３の位置を求める。以下においては、測定対象物３から接触子４が離れるとき（測定対象物３と接触子４との間の距離が０になるとき）の接触子４の位置を単に「接触位置」という。

制御部１０の通信部制御部１２は、この制御部１０の各機能部どうしの間で信号の受け渡しを行うものである。報知部１４は、この接触式測定装置１の状態を操作者（図示せず）に伝えるためのものである。この報知部１４は、例えばディスプレイ装置などによって構成することができる。

主演算部１３は、図４〜図７のフローチャートで示すコンピュータプログラムを実行し、上述した接触位置を求める。この実施の形態においては、このコンピュータプログラムを理解し易いように、前半部と後半部とに分けて説明する。前半部は、便宜上、主演算部１３の第１の測定部２１によって実行され、後半部は、便宜上、主演算部１３の第２の測定部２２によって実行される。

第１の測定部２１は、図４に示すフローチャートのステップＰ１〜Ｐ７を実行し、押圧動作の開始位置を設定する。この押圧動作とは、接触子４が測定対象物３に押し付けられるときの駆動機構５の動作である。
第１の測定部２１は、先ず、図４に示すフローチャートのステップＰ１において、接触子４をターゲットより５ｍｍ上の位置に下降させる。ここでいうターゲットとは、測定対象物３の上面３ａの予想位置である。

そして、第１の測定部２１は、ステップＰ２において、現在の電流指令値ａ（％）を取得するとともに、後述する判定ステップで使用する閾値αを設定する。閾値αは、電流指令値ａ＋５（％）に設定される。
次に、第１の測定部２１は、ステップＰ３において、接触子４をターゲットまで下降させ、ステップＰ４において、現在の電流指令値ａ（％）を取得する。このように接触子４が下降した後、第１の測定部２１は、ステップＰ５において、電流指令値ａが閾値α以下であるか否かを判別する。このとき、現在の電流指令値ａ（％）が閾値α（％）以下である場合、すなわち接触子４が測定対象物３に接触していない場合は、ステップＰ６に進む。現在の電流指令値ａ（％）が閾値α（％）より大きい場合、すなわち接触子４が測定対象物３に接触している場合は、ステップＰ７に進む。

ステップＰ６においては、図５のフローチャートに示すプログラムが実行される。図５のフローチャートのステップＳ１０１においては、第１の測定部２１が現在の接触子４の位置である測定前高さＺを取得する。そして、第１の測定部２１は、ステップＳ１０２において、後述する繰り返し処理に用いる変数Ｎの値を初期値である０とし、ステップＳ１０３において、接触子４を予め定めた距離だけ下降させる。このときに接触子４が下降する距離は、Ｚ＋0.03*Ｎ(ｍｍ)である。

このように接触子４が下降した後、第１の測定部２１は、ステップＳ１０４において、現在の電流指令値ａ（％）を取得し、ステップＳ１０５において、現在の接触子４の高さを取得する。その後、第１の測定部２１は、ステップＳ１０６において、変数Ｎに１を加算し、ステップＳ１０７において、変数Ｎが２以上であるか否かを判別する。変数Ｎが２より小さい場合は、ステップＳ１０３に戻って上述した動作を繰り返す。変数Ｎが２以上である場合は、ステップＳ１０８において、第１の測定部２１が0.1ｍｍでの変化率βを計算する。この変化率βの値は、ステップＳ１０３〜Ｓ１０７において接触子４が２回下降したときの電流指令値ａの変化率を移動距離が0.1ｍｍとした場合の変化率に換算した値である。

次に、第１の測定部２１は、ステップＳ１０９において、変化率βが１０以上であるか否かを判別する。このとき、変化率βが１０より小さい場合は、ステップＳ１０３に戻って上述した動作を繰り返す。すなわち、第１の測定部２１は、変化率βが１０以上になるまで接触子４を繰り返し下降させる。第１の測定部２１は、変化率βが１０以上になった後、ステップＳ１１０において、変化開始点を計算し、接触子４の高さとする。この変化開始点とは、ステップＳ１０３〜Ｓ１０９からなる繰り返し処理において、最後に接触子４を下降させたときの下降開始時の位置である。この位置は、後述する第２の測定部２２が接触子４を下降させるときの開始位置になる。

一方、図４に示すフローチャートのステップＰ５からステップＰ７に進んだ場合は、第１の測定部２１は、ステップＰ７において、図６のフローチャートに示すプログラムを実行する。図６のフローチャートのステップＳ２０１においては、第１の測定部２１が現在の接触子４の位置である測定前高さＺを取得する。そして、第１の測定部２１は、ステップＳ２０２において、後述する繰り返し処理に用いる変数Ｎの値を初期値である０とし、ステップＳ２０３において、接触子４を予め定めた距離だけ上昇させる。接触子４が上昇する距離は、Ｚ-0.03*Ｎ(ｍｍ)である。

このときの上昇距離と、上述した図５のステップＳ１０３で接触子４が下降した距離とが、請求項２記載の発明でいう「第１の移動量」に相当する。
接触子４が上述した距離だけ上昇した後、第１の測定部２１は、ステップＳ２０４において、現在の電流指令値ａ（％）を取得し、ステップＳ２０５において、現在の接触子４の高さを取得する。その後、第１の測定部２１は、ステップＳ２０６において変数Ｎに１を加算し、ステップＳ２０７において、変数Ｎが２以上であるか否かを判別する。

変数Ｎが２より小さい場合は、ステップＳ２０３に戻って上述した動作を繰り返す。変数Ｎが２以上である場合は、ステップＳ２０８において、第１の測定部２１が現在の電流指令値ａが閾値α以下であるか否かを判別する。このとき、電流指令値ａが閾値αより大きい場合は、ステップＳ２０３に戻って上述した動作を繰り返す。すなわち、第１の測定部２１は、電流指令値ａが閾値α以下になるまで接触子４を繰り返し上昇させる。

第１の測定部２１は、電流指令値ａが閾値α以下になった後、ステップＳ２０９において、変化開始点を計算し、接触子４の高さとする。この変化開始点は、ステップＳ２０３〜Ｓ２０８からなる繰り返し処理において、最後に接触子４を上昇させたときの上昇開始時の位置である。この位置は、後述する第２の測定部２２が接触子４を下降させるときの開始位置になる。

すなわち、第１の測定部２１は、接触子４を予め定めた第１の移動量ずつ繰り返し移動させて電流指令値ａ（モータ６の負荷の大きさ）を求めるとともに、この電流指令値ａまたは電流指令値ａの変化率βに基づいて接触子４が測定対象物３に接触するときの接触子４の位置を求める。そして、第１の測定部２１は、この接触子４の位置を、引き続き行われる押圧動作の開始位置とする。

図５または図６に示すフローチャートに示すプログラムが終了した後、第２の測定部２２が動作を開始する。第２の測定部２２は、詳細は後述するが、上述した開始位置から押圧動作を実施し、この押圧動作の後に接触子４を測定対象物３とは反対方向に移動させることにより、「接触位置」を求める。

第２の測定部２２は、図４に示すフローチャートのステップＰ８において、上述した開始位置を取得する。そして、第２の測定部２２は、ステップＰ９において、後述する繰り返し処理で使用する変数Ｍの値を初期値である０とし、ステップＰ１０において、接触子４を上述した開始位置に移動させる。

しかる後、第２の測定部２２は、ステップＰ１１において、接触子４を予め定めた距離だけ弾性部材９のばね力に抗して下降させる。この実施の形態においては、接触子４が０．０６ｍｍだけ下降する。そして、第２の測定部２２は、ステップＰ１２において、現在の電流指令値ａ（％）を取得するとともに、後述する判定ステップで使用する閾値α（％）を設定する。このときに設定される閾値α（％）の値は、現在の電流指令値ａ（％）−５（％）である。次に、第２の測定部２２は、ステップＰ１３において、図７のフローチャートに示すプログラムを実行し、接触子４を上昇させて高さ測定を行う。

すなわち、第２の測定部２２は、図７のフローチャートのステップＳ３０１において、現在の接触子４の位置である測定前高さＺを取得し、ステップＳ３０２において、後述する判定ステップで判定基準とする変化率βｄを求める。この変化率βｄは、電流指令値ａの変化した割合である。この実施の形態においては、変化率βｄ＝10*(5-M)/5である。この式において、Ｍは、ステップＰ９において設定された変数の値である。

次に、第２の測定部２２は、ステップＳ３０３において、後述する繰り返し処理に用いる変数Ｎの値を初期値である０とし、ステップＳ３０４において、接触子４を予め定めた距離だけ上昇させる。このときに接触子４が上昇する距離は、Ｚ-0.003*Ｎ(ｍｍ)である。
このときの上昇距離が請求項２記載の発明でいう「第２の移動量」に相当する。

接触子４が上述した距離だけ上昇した後、第２の測定部２２は、ステップＳ３０５において、現在の電流指令値ａ（％）を取得し、ステップＳ３０６において、現在の接触子４の高さを取得する。その後、第２の測定部２２は、ステップＳ３０７において、変数Ｎに１を加算し、ステップＳ３０８において、変数Ｎが９以上であるか否かを判別する。

変数Ｎが９より小さい場合は、ステップＳ３０４に戻って上述した動作を繰り返す。変数Ｎが９以上である場合は、ステップＳ３０９において、第２の測定部２２が0.1ｍｍでの変化率βを計算する。この変化率βの値は、ステップＳ３０４〜Ｓ３０８において接触子４が９回上昇したときの電流指令値ａの変化率を移動距離が0.1ｍｍとした場合の変化率に換算した値である。

この変化率βは、図３に示した曲線の傾斜する角度に相当する。この変化率βが上述した判定基準の変化率βｄ以上である場合は、ステップＳ３１０において、第２の測定部２２が変化フラグγをＯＮ状態とする。次に、第２の測定部２２は、ステップＳ３１１において、変化フラグγがＯＮ状態であるか否かを判別する。変化フラグγがＯＮ状態ではない場合は、ステップＳ３０４に戻って上述した動作を繰り返す。すなわち、第２の測定部２２は、変化率βが判定基準の変化率βｄ以上になるまで接触子４を繰り返し上昇させる。変化率βが判定基準の変化率βｄ以上になることは、接触子４の位置が図３中の領域Ａから領域Ｂに移行したことを意味する。

第２の測定部２２は、変化率βが判定基準の変化率βｄ以上になった後、ステップＳ３１２において、変化率βが判定基準の変化率βｄ以下であるか否かを判別する。変化率βが判定基準の変化率βｄより大きい場合は、ステップＳ３１３において、第２の測定部２２が接触子４の移動距離Ｚｄを計算する。この移動距離Ｚｄは、測定前高さＺから現在の接触子４の高さを減算した値である。

そして、第２の測定部２２は、ステップＳ３１４において、移動距離Ｚｄが0.5ｍｍ以上であるか否かを判別する。移動距離Ｚｄが0.5ｍｍ以上である場合は、ステップＳ３１５において測定失敗として図７に示すプログラムが終了し、図４に示すフローチャートのステップＰ１４に進む。
一方、移動距離Ｚｄが0.5ｍｍに達していない場合は、上述したステップＳ３０４に戻り、上述した動作を繰り返す。

すなわち、第２の測定部２２は、変化率βが判定基準の変化率βｄと一致するという条件が満たされるまで接触子４を繰り返し上昇させる。この条件が請求項３記載の発明でいう「第１の条件」に相当する。変化率βが判定基準の変化率βｄと一致するということは、図８中に破線で示す仮想線Ｌβの傾斜する角度が判定基準となる仮想線Ｌβｄの傾斜する角度と一致することを意味する。図８は、図３の領域Ｂと領域Ｃとの境界部分を部分的に拡大したグラフである。仮想線Ｌβの傾斜角度は、ステップＳ３０４〜ステップＳ３０８において接触子４が９回の上昇工程により高さＺａだけ上昇する前と後との電流指令値ａの変化率βに相当する。

変化率βと判定基準の変化率βｄとが一致すると、第２の測定部２２がステップＳ３１６において現在の電流指令値ａが閾値α以下であるか否かを判別する。このとき、電流指令値αが閾値αより大きい場合、言い換えれば弾性部材９が復元している途中である場合は、ステップＳ３０４に戻り、上述した動作を繰り返す。すなわち、第２の測定部２２は、電流指令値ａが閾値αより大きいという条件が満たされるまで接触子４を繰り返し上昇させる。この条件が請求項３記載の発明でいう「第２の条件」に相当する。この条件が設定されていることにより、接触子４が図３中の領域Ａに含まれる位置にあるときに偶然に変化率βが判定基準の変化率βｄと一致したとしても、その位置が「接触位置」になることはない。

ステップＳ３１６において、電流指令値ａが閾値α以下であると判別された場合は、ステップＳ３１７において、変化開始点を計算し、接触子４の高さとする。この変化開始点は、ステップＳ３０４〜Ｓ３０８からなる繰り返し処理において、最後に接触子４を上昇させたときの上昇開始時の位置である。この位置が上述した「接触位置」になる。
すなわち、第２の測定部２２は、接触子４を測定対象物３とは反対方向に第１の移動量より少ない第２の移動量ずつ繰り返し移動させて電流指令値ａ（モータ６の負荷）の大きさを求めるとともに電流指令値ａの変化率βを求め、この変化率βに基づいて接触子４が測定対象物３から離れるときの接触子４の位置（接触位置）を求めるものである。

このように接触位置が求められた後、ステップＳ３１８において測定成功として図７に示すプログラムが終了し、図４に示すフローチャートのステップＰ１４に進む。
図７に示すプログラムを実行して「接触位置」の測定が成功している場合は、図４に示すフローチャートのステップＰ１４からステップＰ１５に進み、第２の測定部２２による測定動作が終了する。

図７に示すプログラムを実行して「接触位置」を測定できない理由は、電流指令値が図８中に一点鎖線や二点鎖線で示すように変化することがあるからであると考えられる。図８中の一点鎖線は、電流指令値が実線の場合より緩やかに変化することを示している。また、図８中の二点鎖線は、電流指令値が一点鎖線の場合より緩やかに変化することを示している。電流指令値が一点鎖線や二点鎖線で示すように緩やかに変化する場合の変化率βは、実線で示すように変化する場合より小さい。

この実施の形態による第２の測定部２２は、図７に示すプログラムを実行しても「接触位置」の測定を失敗した場合は、判定基準となる変化率βｄを変更して再度図７に示すプログラムを実行する。すなわち、「接触位置」の測定を失敗した場合は、ステップＰ１４からステップＰ１６に進み、第２の測定部２２が変数Ｍに１を加算し、ステップＰ１７において、変数Ｍの値が３以上であるか否かを判別する。変数Ｍの値が３より小さい場合は、ステップＰ１０に戻り、上述した動作を繰り返す。変数Ｍの値が１増えると、判定基準の変化率βｄの値が小さくなる。すなわち、変数Ｍの値が１増えると、例えば図８中に一点鎖線で示すように仮想線Ｌβｄの傾斜角度が小さくなり、さらに変数Ｍが１増えると、図８中に二点鎖線で示すように、仮想線Ｌβｄの傾斜角度がさらに小さくなる。

このため、図７のフローチャートに示すプログラムを実行して「接触位置」の測定に失敗した場合は、判定基準の変化率βｄが小さくなって変化率βと変化率βｄとが一致する可能性が高くなり、「接触位置」の測定を成功し易くなる。
すなわち、第２の測定部２２は、予め定めた条件（変化率βと変化率βｄとが一致するという第１の条件と、電流指令値ａが閾値α以下であるという第２の条件）とが満たされたときの接触子４の位置を「接触位置」とし、かつこれらの条件が満たされることなく接触子４の移動量が予め定めた移動量（ステップＳ３１４で規定する0.5ｍｍ）を上回った場合には、第１の条件（変化率βｄ）を変えて、「接触位置」を求める動作を繰り返すものである。

上述した変数Ｍの値を増やしても「接触位置」の測定を失敗した場合は、ステップＰ１８において、第２の測定部２２がエラー動作を行ってプログラムを停止する。第２の測定部２２がエラー動作を行うと、報知部１４が「接触位置」の測定を失敗したことを示す文字あるいは絵柄を表示したり、警報を発生させる。

この実施の形態による接触式測定装置１は、測定対象物３に押し付けられていた接触子４が測定対象物３から離れるときに電流指令値ａ（モータ６の負荷）の変化率βが小さくなることを巧みに利用して、接触子４が測定対象物３から離れるときの接触子４の位置（接触位置）を求めるものである。接触子４が測定対象物３から離れるときの接触子４の位置は、接触子４と測定対象物３との間の距離が０になる位置である。このため、測定対象物３と接触子４との間の距離をモータ６の電流指令値ａ（負荷の大きさ）に基づいて測定することができる。この結果、この実施の形態によれば、測定対象物３の位置を、接触子４の位置の原点となるモータ原点からの距離として測定することが可能になる。

押し付けられていた接触子４が測定対象物３から離れるときは、これらの部材の支持系に弾性部材９が介装されている場合と、これらの部材の支持系に弾性部材が介装されていない場合とのいずれの場合であっても、電流指令値ａ（モータ６の負荷）が相対的に大きく減少する。このため、この接触式測定装置１は、測定対象物３の支持系や接触子４の支持系に弾性部材が介装されていたとしても、弾性部材の影響を受けることはないものである。
したがって、この実施の形態によれば、空気を吸引する機構の有無とは無関係に測定対象物３と接触子４との間の距離を測定可能であり、しかも、測定対象物３の支持系や接触子４の支持系に弾性部材が介装されていたとしても正しく動作する接触式測定装置を提供することができる。

この実施の形態による主演算部１３は、接触子４が測定対象物３に押し付けられる押圧動作の開始位置を設定する第１の測定部２１と、上述した開始位置から押圧動作を実施し、この押圧動作の後に接触子４を測定対象物３とは反対方向に移動させることにより、接触子４が測定対象物３から離れるときの接触子４の位置を求める第２の測定部２２とを有している。

第１の測定部２１は、接触子４を予め定めた第１の移動量ずつ繰り返し移動させて負荷の大きさを求めるとともに、この負荷の大きさまたは変化率に基づいて接触子４が測定対象物３に接触するときの接触子４の位置を求め、この位置を開始位置とする。
第２の測定部２２は、接触子４を測定対象物３とは反対方向に第１の移動量より少ない第２の移動量ずつ繰り返し移動させて負荷の大きさを求めるとともに負荷の変化率を求め、この変化率に基づいて接触子４が測定対象物３から離れるときの接触子４の位置を求める。

この実施の形態によれば、第１の移動量が第２の移動量より多いから、第１の測定部２１によって開始位置を速く求めることができる。
このため、この実施の形態によれば、接触子４が押圧動作を開始する位置に速く移動するから、接触子４が測定対象物３から離れるときの接触子４の位置を短時間で求めることが可能な接触式測定装置を提供することができる。

この実施の形態による第２の測定部２２は、予め定めた条件が満たされたときの接触子４の位置を測定対象物３から離間する接触子４の位置とし、かつこの条件が満たされることなく接触子４の移動量が予め定めた移動量を上回った場合には、条件を変えて、接触子４が測定対象物３から離れるときの接触子４の位置を求める動作を繰り返すものである。上述した予め定めた条件は、第１の条件と第２の条件とを含む。第１の条件は、接触子４が予め定めた長さだけ移動したときの電流指令値（モータ６の負荷）の変化率βが、判定基準として予め定めた変化率βｄと一致することである。第２の条件は、電流指令値ａ（負荷）の大きさが予め定めた閾値α以下であることである。第２の測定部２２は、条件を変えるときは第１の条件を変える。

このため、この実施の形態によれば、第２の測定部２２が判定基準となる変化率βｄを変えて複数回にわたって測定動作を行うから、測定対象物３や接触子４の支持系に介装されている弾性部材のばね力が装置毎に異なる場合であっても、接触子４に対する測定対象物３の位置を正確に測定することができる。したがって、この実施の形態によれば、汎用性が高く、しかも測定結果の信頼性が高い接触式測定装置を提供することができる。

この実施の形態による接触式測定装置の接触子４は、弾性部材９を介して支持部材８に支持されている。このため、接触子４が測定対象物３に衝突したときの衝撃が弾性部材９によって緩衝される。したがって、この実施の形態によれば、接触子４を測定対象物３に押し付けるときの動作を速く行うことが可能であるから、測定動作がより一層速い接触式測定装置を提供することができる。なお、弾性部材９は、測定対象物３の支持系に介装することができるし、接触子４の支持系と測定対象物３の支持系の両方に介装することもできる。このように測定対象物３の支持系に弾性部材９が介装されている場合であっても、接触子４の支持系に弾性部材９が介装されている場合と同等の効果が得られる。

（第２の実施の形態）
本発明に係る接触式測定装置は、図９に示す塗布液塗布装置に設けることができる。
図９に示す塗布液塗布装置３１は、プリント基板３２に接着剤や半田ペーストなどの塗布液（図示せず）を塗布するためのものである。プリント基板３２は、この塗布液塗布装置３１を図９において左右方向に横切るコンベア３３の上に載せられている。コンベア３３は、プリント基板３２を搬送するためのもので、基台３４の上に設けられている。以下においては、コンベア３３の搬送方向を単にＸ方向といい、このＸ方向とは直交する水平方向を単にＹ方向という。

プリント基板３２は、コンベア３３によって基台３４の中央部（搬送方向の中央部）に搬送された後、図示していない基板保持装置によって移動することができないように保持される。コンベア３３の動作は、制御装置３５によって制御される。
基台３４のＸ方向の両端部には、コンベア３３の上方でＹ方向に延びる固定レール３６が設けられている。これらの固定レール３６には、Ｘ方向に延びるヘッド支持部材３７がＹ方向に移動自在に支持されている。また、一方または両方の固定レール３６には、ヘッド支持部材３７を駆動するためのＹ方向駆動装置３８が設けられている。Ｙ方向駆動装置３８の動作は、制御装置３５によって制御される。

ヘッド支持部材３７は、１個以上の塗布ヘッド４１を有するヘッドユニット４２と、このヘッドユニット４２を駆動するためのＸ方向駆動装置４３を備えている。Ｘ方向駆動装置４３の動作は、制御装置３５によって制御される。
ヘッドユニット４２は、ヘッド支持部材３７にＸ方向へ移動自在に支持されており、複数の部品を有している。ヘッドユニット４２に設けられた複数の部品とは、二つの塗布ヘッド４１と、これらの塗布ヘッド４１をそれぞれ上下方向に移動させる昇降装置４４と、これらの塗布ヘッド４１を上下方向の軸線を中心として回転させる回転装置４５などである。

塗布ヘッド４１は、上部に位置するシリンジ４６と、下端部に位置する塗布ノズル４７とを備えている。シリンジ２１は、塗布液を貯留するものであり、圧縮空気を供給する加圧装置（図示せず）に接続されている。塗布ノズル４７は、塗布液が下方に向けて流出するものである。この塗布ノズル４７は、弾性部材（図示せず）を介して塗布ヘッド４１に支持されている。塗布液は、加圧装置からシリンジ４６に加圧空気が供給されることによって、シリンジ２１から押し出されて塗布ノズル４７から吐出される。

昇降装置４４は、動力源になるモータ５１と、このモータ５１の回転を検出するエンコーダ５２とを備えている。エンコーダ５２は、モータ５１の回転軸（図示せず）の回転位置を制御装置３５にデータとして送る。この実施の形態においては、昇降装置４４によって、請求項５記載の発明でいう「塗布ノズル駆動装置」が構成されている。
この昇降装置４４と、回転装置４５と、加圧装置の動作は、制御装置３５によって制御される。

制御装置３５は、塗布液塗布装置３１の塗布動作を制御するための塗布装置制御部５３と、プリント基板３２の高さを測定するための高さ測定部５４とを備えている。高さ測定部５４は、第１の実施の形態で示した制御部１０と同等の構成が採られている。高さ測定部５４は、昇降装置４４のモータ５１およびエンコーダ５２を用いて塗布ノズル４７をプリント基板３２に押し付けてから離し、塗布ノズル４７がプリント基板３２に接触する「接触位置」を求めるものである。すなわち、この実施の形態による塗布液塗布装置３１は、プリント基板３２を測定対象物とする接触式測定装置を備えている。この接触式測定装置の接触子は、塗布ノズル４７によって構成されている。

塗布ヘッド４１は、プリント基板３２の所定の目標塗布位置の上方に位置付けられた後に、昇降装置４４によって駆動されて予め定めた塗布高さまで下降する。この塗布高さは、塗布ノズル４７と前記プリント基板３２との間に塗布液が正しく塗布される隙間が形成される塗布ヘッド４１の高さである。この隙間は、塗布ノズル４７から吐出された塗布液が水平方向に振られることなくプリント基板３２の上面に到達する隙間である。

塗布ノズル４７とプリント基板３２との間の隙間を最適にするためには、塗布ノズル４７がプリント基板３２に接触する「接触位置」が高い精度で設定されている必要がある。
この実施の形態による塗布液塗布装置３１においては、本発明に係る接触式測定装置によってプリント基板３２と塗布ノズル４７との間の距離を正確に測定することができる。このため、この実施の形態によれば、塗布液をプリント基板３２に正しく塗布することが可能な塗布液塗布装置を提供することができる。

（第３の実施の形態）
本発明に係る接触式測定装置は、図１０に示す電子部品実装装置に設けることができる。
図１０に示す電子部品実装装置６１は、基台６２に後述する各種の装置を搭載して構成されている。基台６２は、コンベア６３と、複数の吸着ヘッド６４を有する部品移動装置６５と、オートノズルステーション６６などを支持している。

コンベア６３は、図１０において左右方向にプリント基板６７を送るものである。この実施の形態においてもコンベア６３の搬送方向を単にＸ方向といい、このＸ方向とは直交する水平方向を単にＹ方向という。
部品移動装置６５は、基台６２の上方でＸ方向とＹ方向とに移動するヘッドユニット６８を備えている。ヘッドユニット６８は、フレーム６９と、このフレーム６９に支持された複数の吸着ヘッド６４およびカメラ７０などを備えている。この部品移動装置６５の動作は、制御装置７１によって制御される。

複数の吸着ヘッド６４は、それぞれ昇降装置７２を介してフレーム６９に昇降可能に支持されている。昇降装置７２は、昇降用モータ７３とエンコーダ７４とを有している。また、複数の吸着ヘッド６４は、それぞれ回転装置（図示せず）によって上下方向の軸線を中心として回転可能に構成されている。吸着ヘッド６４の下端部には、電子部品７５を吸着するための吸着ノズル７６が着脱可能に設けられている。

オートノズルステーション６６は、図１１に示すように、吸着ノズル７６を交換するためのプレート８１を有している。このプレート８１には、予備の吸着ノズル７６と、交換時に吸着ヘッド６４から外された吸着ノズル７６などが保持される穴８１ａが形成されている。このプレート８１は、支持台８２に上下方向に移動自在に支持されているとともに、エアシリンダ８３によって所定の高さに保持されている。

すなわち、プレート８１は、エアシリンダ８３によって弾性支持されており、吸着ノズル７６が上方から衝突したときに下方に移動して吸着ノズル７６の破損を防止することが可能なものである。この実施の形態においては、このプレート８１が請求項６記載の発明でいう「予備ノズル保持具」に相当する。また、この実施の形態においては、エアシリンダ８３が請求項６記載の発明でいう「弾性部材」に相当する。

制御装置７１は、図１０に示すように、電子部品実装装置６１による実装動作を制御するための実装装置制御部８４と、オートノズルステーション６６の高さを測定するための高さ測定部８５とを備えている。高さ測定部５４は、第１の実施の形態で示した制御部１０と同等の構成が採られている。高さ測定部５４は、昇降用モータ７３およびエンコーダ７４を用いて吸着ノズル７６をプレート８１に押し付けてから離し、吸着ノズル７６がプレート８１に接触する「接触位置」を求めるものである。すなわち、この実施の形態による電子部品実装装置６１は、プレート８１を測定対象物とする接触式測定装置を備えている。この接触式測定装置の接触子は、吸着ノズル７６によって構成されている。

この実施の形態による電子部品実装装置６１は、本発明に係る接触式測定装置を備えているから、吸着ノズル７６とオートノズルステーション６６のプレート８１との間の距離を正確に測定することが可能なものである。このため、この実施の形態によれば、吸着ノズル７６の交換を常に正しく行うことが可能な電子部品実装装置を提供することができる。

（第４の実施の形態）
本発明に係る接触式測定装置は、図１２および図１３に示す電子部品実装装置に設けることができる。
図１２に示す電子部品実装装置９１は、基台９２の上にコンベア９３と、電子部品供給装置９４〜９７と、部品移動装置９８などを搭載して構成されている。コンベア９３は、プリント基板９９の両側部を支持して搬送するものである。このコンベア９３が請求項７記載の発明でいう「コンベア」に相当する。この場合、コンベア９３のコンベアベルト（図示せず）が本発明でいう「弾性部材」に相当する。この実施の形態においてもコンベア９３の搬送方向を単にＸ方向といい、このＸ方向とは直交する水平方向を単にＹ方向という。

部品移動装置９８は、基台９２の上方でＹ方向に延びる一対の第１のレール１０１と、これらの第１のレール１０１に架け渡され、第１のレール１０１に沿って移動する第２のレール（図示せず）と、第２のレールにＸ方向へ移動可能に支持されたヘッドユニット１０２（図１３参照）などを備えている。

ヘッドユニット１０２は、Ｘ方向に並ぶ複数のヘッドユニット１０３を有している。これらのヘッドユニット１０３は、下端部に位置する吸着ノズル１０４を上下方向に移動させる昇降装置１０５と、吸着ノズル１０４を上下方向に延びる軸線を中心として回転させる回転装置１０６とを備えている。この実施の形態においては、この吸着ノズル１０４が請求項７記載の発明でいう「吸着ノズル」に相当する。この実施の形態による電子部品実装装置９１は、コンベア９３を測定対象物とし、かつ吸着ノズル１０４を接触子とする接触式測定装置を備えている。

この実施の形態による電子部品実装装置９１は、本発明に係る接触式測定装置を備えているから、吸着ノズル１０４とコンベア９３（プリント基板９９）との間の距離を正確に測定することが可能なものである。このため、この実施の形態によれば、電子部品の実装動作を常に正しく行うことが可能な電子部品実装装置を提供することができる。

（第５の実施の形態）
本発明に係る接触式測定装置は、図１４および図１５に示すプリント基板用スクリーン印刷装置に設けることができる。
図１４に示すプリント基板用スクリーン印刷装置１１１は、基台１１２の上にコンベア１１３と、スクリーン印刷機構１１４などを搭載して構成されている。コンベア１１３は、プリント基板（図示せず）の両側部を支持して搬送するものである。このコンベア１１３が請求項８記載の発明でいう「コンベア」に相当する。この場合、コンベア１１３のコンベアベルト（図示せず）が本発明でいう「弾性部材」に相当する。この実施の形態においてもコンベア１１３の搬送方向を単にＸ方向といい、このＸ方向とは直交する水平方向を単にＹ方向という。

スクリーン印刷機構１１４は、コンベア１１３の上に載せられたプリント基板の上面に被せられるマスク（図示せず）と、このマスクの上方でＸ方向およびＹ方向に移動するスキージヘッド１１５と、このスキージヘッド１１５の下端部に設けられたスキージユニット１１６（図１５参照）などを備えている。スキージヘッド１１６は、マスクに上方から押し付けられるスキージ１１７を備えている。この実施の形態においては、このスキージ１１７が請求項８記載の発明でいう「スキージ」に相当する。この実施の形態によるプリント基板用スクリーン印刷装置１１１は、コンベア１１３を測定対象物とし、かつスキージ１１７を接触子とする接触式測定装置を備えている。

この実施の形態によるプリント基板用スクリーン印刷装置１１１は、本発明に係る接触式測定装置を備えているから、スキージ１１７とコンベア１１３（プリント基板）との間の距離を正確に測定することが可能なものである。このため、この実施の形態によれば、スキージ１１７の高さを正しく調整できるから、スクリーン印刷動作を常に正しく行うことが可能なプリント基板用スクリーン印刷装置を提供することができる。

上述した各実施の形態に示す接触式測定装置は、下降して測定対象物に押し付けられた接触子を上昇させて高さを測るものである。しかしながら、本発明は、このような限定にとらわれることはない。すなわち、本発明に係る接触式測定装置は、例えば接触子を水平方向に移動させて測定したり、上昇して測定対象物に押し付けられた接触子を下降させて測定することも可能である。

１…接触式測定装置、２，３４，６２…基台、３…測定対象物、４…接触子、５…駆動機構、６，５１，７３…モータ、７，５２，７４…エンコーダ、９…弾性部材、１０…制御部、２１…第１の測定部、２２…第２の測定部、３１…塗布液塗布装置、３２，６７…プリント基板、４４，７２…昇降装置、４７…塗布ノズル、６１，９１…電子部品実装装置、７５…電子部品、７６，１０４…吸着ノズル、８１…プレート、８３…エアシリンダ、９３，１１３…コンベア、１１７…スキージ。

Claims (8)

1. 測定対象物に接触する接触子と、
   前記接触子を前記測定対象物に接近させる機能および前記接触子を前記測定対象物から離間させる機能を有する駆動機構と、
   前記駆動機構の動力源となるモータと、
   前記モータの回転を検出するエンコーダと、
   前記モータの負荷の大きさを検出する機能および前記エンコーダの値から前記接触子の位置を求める機能を有する制御部とを備え、
   前記制御部は、
   前記接触子が前記測定対象物に押し付けられた後に前記測定対象物とは反対方向に移動し前記測定対象物から離れるときに前記モータの負荷の大きさが相対的に大きく変化する現象を利用して前記接触子に対する前記測定対象物の位置を求めるものであることを特徴とする接触式測定装置。
2. 請求項１記載の接触式測定装置において、
   前記制御部は、
   前記接触子が前記測定対象物に押し付けられる押圧動作の開始位置を設定する第１の測定部と、
   前記開始位置から前記押圧動作を実施し、この押圧動作の後に前記接触子を前記測定対象物とは反対方向に移動させることにより、前記接触子が前記測定対象物から離れるときの前記接触子の位置を求める第２の測定部とを有し、
   前記第１の測定部は、前記接触子を予め定めた第１の移動量ずつ繰り返し移動させて前記負荷の大きさを求めるとともに、この負荷の大きさまたは変化率に基づいて前記接触子が前記測定対象物に接触するときの前記接触子の位置を求め、この位置を前記開始位置とするものであり、
   前記第２の測定部は、前記接触子を前記測定対象物とは反対方向に前記第１の移動量より少ない第２の移動量ずつ繰り返し移動させて前記負荷の大きさを求めるとともに前記負荷の変化率を求め、この変化率に基づいて前記接触子が前記測定対象物から離れるときの前記接触子の位置を求めるものであることを特徴とする接触式測定装置。
3. 請求項２記載の接触式測定装置において、
   前記第２の測定部は、
   予め定めた条件が満たされたときの前記接触子の位置を前記測定対象物から離間する接触子の位置とし、かつ前記条件が満たされることなく前記接触子の移動量が予め定めた移動量を上回った場合には、前記条件を変えて、前記接触子が前記測定対象物から離れるときの前記接触子の位置を求める動作を繰り返すものであり、
   前記予め定めた条件は、
   前記接触子が予め定めた長さだけ移動したときの前記負荷の変化率が、判定基準として予め定めた変化率と一致する第１の条件と、
   前記負荷の大きさが予め定めた閾値以下である第２の条件とを含み、
   前記第２の測定部は、前記条件を変えるときに前記第１の条件を変えるものであることを特徴とする接触式測定装置。
4. 請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載の接触式測定装置において、
   前記接触子と前記測定対象物とのうち少なくともいずれか一方は、弾性部材を介して支持されているものであることを特徴とする接触式測定装置。
5. 請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載の接触式測定装置を備えた塗布液塗布装置であって、
   前記測定対象物は、プリント基板によって構成され、
   前記接触子は、前記プリント基板に塗布液を塗布するための塗布ノズルによって構成され、
   前記塗布ノズルは、弾性部材を介して塗布ノズル駆動装置に支持されているものであることを特徴とする塗布液塗布装置。
6. 請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載の接触式測定装置を備えた電子部品実装装置であって、
   前記接触子は、電子部品を吸着する吸着ノズルによって構成され、
   前記測定対象物は、予備の前記吸着ノズルを保持する予備ノズル保持具によって構成され、
   前記予備ノズル保持具は、弾性部材を介して基台に支持されているものであることを特徴とする電子部品実装装置。
7. 請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載の接触式測定装置を備えた電子部品実装装置であって、
   プリント基板を搬送するコンベアを備え、
   前記接触子は、電子部品を吸着する吸着ノズルによって構成され、
   前記測定対象物は、前記コンベアによって構成されていることを特徴とする電子部品実装装置。
8. 請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載の接触式測定装置を備えたプリント基板用スクリーン印刷装置であって、
   プリント基板を搬送するコンベアと、
   前記コンベアに載せられたプリント基板にスクリーン印刷法によってペースト半田を塗布するスキージとを備え、
   前記接触子は、前記スキージによって構成され、
   前記測定対象物は、前記コンベアによって構成されていることを特徴とするプリント基板用スクリーン印刷装置。