JP2008178775A

JP2008178775A - 流体塗布装置および塗布距離測定方法

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Publication number: JP2008178775A
Application number: JP2007012966A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Iketani; 谷之宏池
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2007-01-23
Filing date: 2007-01-23
Publication date: 2008-08-07
Anticipated expiration: 2027-01-23
Also published as: JP4928284B2

Abstract

【課題】基板からノズルに加わる荷重によって、ノズルが曲がってしまったり、ノズルが基板に刺さってしまったりすることを防止することができ、ノズルの先端と基板との間の距離を確実かつ正確に測定すること。
【解決手段】本発明の流体塗布装置は、流体を収納するシリンジ１と、シリンジ１を保持するシリンジホルダ２５と、シリンジホルダ２５を支持する可動部材２０と、可動部材２０を上下方向に移動させる上下方向駆動機構３０と、可動部材２０の下端に当接可能な突き当て板２９とを備えている。上下方向駆動機構３０と可動部材２０との間には、シリンジホルダ２５を、上下方向駆動機構３０に対して上方位置と下方位置に配置可能なスライドブロック１０が介在されている。スライドブロック１０と可動部材２０との間には、可動部材２０に対して下方への力を加える第二弾性部材１３とが設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、吐出対象物上に流体を塗布するとともに、ノズルの先端と基板との距離を正しく距離を測定することができる流体塗布装置および塗布距離測定方法に関する。

図６に示すように、従来の流体塗布装置は、ノズル１ａを有するとともに、ペースト（流体）を収納するシリンジ１と、シリンジ１を保持するシリンジホルダ２５と、シリンジホルダ２５の側方に連結され、シリンジホルダ２５を側方から支持する可動部材２０と、可動部材２０に連結され、可動部材２０を上下方向に移動させる上下方向駆動機構３０と、可動部材２０の下方に設けられ、可動部材２０の下端に当接可能な突き当て板２９とを備えている。

また、図６に示すように、突き当て板２９と可動部材２０との間には、可動部材２０に対して下方への力を加えるばねなどの弾性部材１１が設けられている。また、可動部材２０は、上下方向駆動機構３０に対して、上下方向にスライド可能となっている。また、可動部材２０の上端には、ドグ板５６が設けられている。また、上下方向駆動機構３０の上部には、ドグ板５６と上下方向駆動機構３０との間の距離を測定する変位センサ５１が設けられている。

このような流体塗布装置において、シリンジ１内のペーストをノズル１ａから吐出するとき、シリンジ１のノズル１ａの先端と基板６０などの吐出対象物との距離は吐出量に影響する。このため、シリンジ１のノズル１ａを交換したときなどには、ノズル１ａの先端と基板（吐出対象物）６０との距離を正しくセットアップする必要があり、シリンジ１のノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を測定する必要がある。

このように、シリンジ１のノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を測定するときには、まず、上下方向駆動機構３０によって、可動部材２０を下方へ移動させ、シリンジ１のノズル１ａを基板６０に当接させる（図６参照）。

そして、このように、シリンジ１のノズル１ａが基板６０に当接すると、可動部材２０およびシリンジホルダ２５が停止し、上下方向駆動機構３０が下降を続けるため、可動部材２０の上部に設けられたドグ板５６と変位センサ５１との距離が遠くなる（図６参照）。このため、ノズル１ａが基板６０に当接したことを検知することができ、ノズル１ａを下降させた距離から、ノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を知ることができる。この結果、ノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を正しくセットアップすることができる。

なお、図６において、突き当て板２９と可動部材２０との間に設けられた弾性部材１１は、上下動作中に可動部材２０が上下に動かないよう、突き当て板２９に可動部材２０を押し付けておくためのものである。

しかしながら、シリンジ１のノズル１ａが、例えば1本の細い針で構成されているような場合には、ノズル１ａの先端と基板（吐出対象物）６０との距離を測定するとき、基板６０からノズル１ａに加わる荷重によって、ノズル１ａが曲がってしまったり、ノズル１ａが基板６０に刺さってしまったりする。このため、ノズル１ａの先端と基板６０との距離を正確に測定することができないという問題がある。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、基板からノズルに加わる荷重によって、ノズルが曲がってしまったり、ノズルが基板に刺さってしまったりすることを防止することができ、ノズルの先端と基板との間の距離を確実かつ正確に測定することができる流体塗布装置および塗布距離測定方法を提供することができる。

本発明は、吐出対象物上に流体を塗布する流体塗布装置において、
ノズルを有するとともに、流体を収納するシリンジと、
シリンジを保持するシリンジホルダと、
シリンジホルダを支持する可動部材と、
可動部材に連結され、可動部材を上下方向に移動させる上下方向駆動機構と、
可動部材の下方であって上下方向駆動機構に取り付けられ、可動部材の下端に当接可能な突き当て板とを備え、
上下方向駆動機構と可動部材との間に、上下方向駆動機構に対して少なくとも上方位置と下方位置に配置可能なスライドブロックが介在され、
スライドブロックと可動部材との間に、可動部材に対して上方への力を加える第一弾性部材が設けられ、
スライドブロックまたは突き当て板と可動部材との間に、可動部材に対して下方への力を加える第二弾性部材とが設けられたことを特徴とする流体塗布装置である。

このような構成により、ノズルが基板に当接するときに、基板からノズルに加わる荷重が大きくなりすぎることを防止することができる。このため、基板からノズルに加わる荷重によって、ノズルが曲がってしまったり、ノズルが基板に刺さってしまったりすることを防止することができ、ノズルの先端と基板との間の距離を確実かつ正確に測定することができる。

本発明は、吐出対象物上に流体を塗布する流体塗布装置において、
ノズルを有するとともに、流体を収納するシリンジと、
シリンジを保持するシリンジホルダと、
シリンジホルダを支持する可動部材と、
可動部材に連結され、可動部材を上下方向に移動させる上下方向駆動機構と、
可動部材の下方であって上下方向駆動機構に取り付けられ、可動部材の下端に当接可能な突き当て板と、
シリンジに接続され、シリンジ内の流体の残量の重さを求める残量重量測定部と、
可動部材の上方または下方に設けられ、可動部材に対して上方への力を加えるＶＣＭと、
突き当て板と可動部材との間に設けられ、可動部材に対して下方への力を加える弾性部材と、
残量重量測定部およびＶＣＭに接続された制御部とを備え、
制御部が、残量重量測定部からの信号に基づいて、シリンジ内に収納された流体の残量が多い場合には可動部材に対してより強い力を加え、シリンジ内に収納された流体の残量が少ない場合には可動部材に対してより弱い力を加えるようＶＣＭを制御することを特徴とする流体塗布装置である。

このような構成により、ノズルが基板に当接するときに、基板からノズルに加わる荷重が大きくなりすぎることを防止することができる。このため、基板からノズルに加わる荷重によって、ノズルが曲がってしまったり、ノズルが基板に刺さってしまったりすることを防止することができ、ノズルの先端と基板との間の距離を確実かつ正確に測定することができる。また、制御部が、残量重量測定部からの信号に基づいてＶＣＭを制御するため、ＶＣＭからシリンジに加わる力を、シリンジ内に入っている流体の重さに応じて適宜調整することができる。

本発明は、上下方向駆動機構に、上下方向に延びたスライダレールが設けられ、
可動部材に、当該スライダレールに係合するスライダが設けられていることを特徴とする流体塗布装置である。

本発明は、可動部材に、水平方向に延びた第一ドグ板が設けられ、
上下方向駆動機構に、当該第一ドグ板と上下方向駆動機構との間の距離を測定する変位センサまたはＯＮ／ＯＦＦセンサが設けられていることを特徴とする流体塗布装置である。

このような構成により、ノズルが基板に当接したことを検知することができ、ノズルを下降させた距離から、ノズルの先端と基板との間の距離を知ることができる。

本発明は、上下方向駆動機構に、光を投光する投光部と、投光部からの光を受光する受光部とを有するバネ位置検知センサが設けられ、
スライドブロックに、バネ位置検知センサの投光部と受光部との間に配置可能な第二ドグ板が設けられていることを特徴とする流体塗布装置である。

このような構成により、スライドブロックを上下方向駆動機構に対して正確に下方位置に位置づけることができる。

本発明は、シリンジに、シリンジ内の流体の残量の重さを求める残量重量測定部が接続されていることを特徴とする流体塗布装置である。

このような構成により、シリンジ内に入っている流体の重さに応じた、スライドブロックの最適な上方位置を容易に求めることができる。

本発明は、スライドブロックに、スライドブロックを上下方向駆動機構に対して上方位置と下方位置に配置可能とするスライドブロック駆動機構が設けられていることを特徴とする流体塗布装置である。

本発明は、上述の流体塗布装置を用いて、基板とシリンジのノズルとの間の距離を測定する塗布距離測定方法において、
スライドブロックを上方へ移動させ、スライドブロックを上下方向駆動機構に対して上方位置に位置づける工程と、
上下方向駆動機構によって、可動部材を下方へ移動させ、シリンジのノズルを基板に当接させる工程と、
を備えたことを特徴とする塗布距離測定方法である。

本発明は、上述の流体塗布装置を用いて、基板とシリンジのノズルとの間の距離を測定する塗布距離測定方法において、
ＶＣＭによって、可動部材に対して上方への力を加える工程と、
上下方向駆動機構によって、可動部材を下方へ移動させ、シリンジのノズルを基板に当接させる工程とを備え、
制御部が、残量重量測定部からの信号に基づいて、シリンジ内に収納された流体の残量が多い場合には可動部材に対してより強い力を加え、シリンジ内に収納された流体の残量が少ない場合には可動部材に対してより弱い力を加えるようＶＣＭを制御することを特徴とする流体塗布装置。

本発明によれば、ノズルが基板に当接するときに、基板からノズルに加わる荷重が大きくなりすぎることを防止することによって、基板からノズルに加わる荷重によって、ノズルが曲がってしまったり、ノズルが基板に刺さってしまったりすることを防止することができ、ノズルの先端と基板との間の距離を確実かつ正確に測定することができる。

第１の実施の形態
以下、本発明に係る流体塗布装置および塗布距離測定方法の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図４（ａ）（ｂ）は本発明の第１の実施の形態を示す図である。

図１に示すように、流体塗布装置は、基板６０上にペーストを塗布するために用いられる。なお、本実施の形態では、吐出対象物として基板６０を用い、流体としてペーストを用いて説明するが、これに限るものではない。

図１に示すように、この流体塗布装置は、ノズル１ａを有するとともに、ペーストを収納するシリンジ１と、シリンジ１を保持するシリンジホルダ２５と、シリンジホルダ２５の側方に連結され、シリンジホルダ２５を側方から支持する可動部材２０と、可動部材２０に連結され、可動部材２０を上下方向に移動させる上下方向駆動機構３０と、可動部材２０の下方であって上下方向駆動機構３０に取り付けられ、可動部材２０の下端に当接可能な突き当て板２９とを備えている。

また、図１に示すように、上下方向駆動機構３０と可動部材２０との間には、上下方向駆動機構３０に対して、上方位置と下方位置に配置可能なスライドブロック１０が介在している。

具体的には、図１に示すように、スライドブロック１０に、上下方向に延びた長孔１４ｕ，１４ｌが設けられ、この長孔１４ｕ，１４ｌには、上下方向駆動機構３０に設けられたネジ孔（図示せず）と嵌合するビス１９ｕ，１９ｌが挿入されている。そして、ビス１９ｕ，１９ｌと上下方向駆動機構３０とによって、スライドブロック１０が挟持され、スライドブロック１０は、上下方向駆動機構３０に対して上方位置（図４（ｂ）参照）と下方位置（図４（ａ）参照）に配置可能となっている。

また、図１に示すように、スライドブロック１０と可動部材２０との間には、可動部材２０に対して上方への力を加える第一弾性部材１５と、可動部材２０に対して下方への力を加える第二弾性部材１３とが設けられている。

また、図１および図２に示すように、上下方向駆動機構３０には、上下方向に延びたスライダレール３１が設けられており、可動部材２０には、このスライダレール３１に係合する一対のスライダ２１が設けられている。

また、図１および図２に示すように、可動部材２０の上部には水平方向に延びた第一ドグ板５６が設けられ、上下方向駆動機構３０の上部には、第一ドグ板５６と上下方向駆動機構３０との間の距離を測定する変位センサ５１が設けられている。

また、図１および図３に示すように、スライドブロック１０の下部には、第二ドグ板５８が設けられている。また、図１および図３に示すように、上下方向駆動機構３０の下部には、光を投光する投光部５３ａと、投光部５３ａからの光を受光する受光部５３ｂとを有するバネ位置検知センサ５３が設けられている。そして、第二ドグ板５８は、バネ位置検知センサ５３の投光部５３ａと受光部５３ｂとの間に配置自在となっている。

なお、スライドブロック１０があまりに上方の位置に配置されていると、可動部材２０に加わる力が強くなりすぎてしまう。このため、スライドブロック１０は、第二ドグ板５８が投光部５３ａから投光される光を遮断する程度の位置に配置されることが好ましい。

また、上下方向駆動機構３０には、上下方向駆動機構３０を基板６０に対して水平方向に移動させる水平方向駆動機構（図示せず）が配置されている。

また、シリンジ１の下方には、吐出対象物である基板６０を搬送する搬送レール５が配置されている。

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。

最初に、基板６０にペーストを塗布する工程について説明する。

まず、待機位置に位置しているシリンジ１の下方に、搬送レール５によって、基板６０が搬送され、ペースト塗布位置に位置決めされる（図１参照）。

このとき、スライドブロック１０は、上下方向駆動機構３０に対して下方位置に位置している（図４（ａ）参照）。このため、可動部材２０には、第二弾性部材１３によって下方へ力が加えられ、可動部材２０は突き当て板２９に対して押しつけられている。この結果、可動部材２０が上下方向駆動機構３０に対して上下方向に移動してしまうことを防止することができ、シリンジ１のノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を正確に所定の値に保つことができる。

このように、スライドブロック１０が上下方向駆動機構３０に対して下方位置に位置しているとき、第二ドグ板５８はバネ位置検知センサ５３の投光部５３ａと受光部５３ｂとの間に位置している（図３および図４（ａ）参照）。このため、バネ位置検知センサ５３の投光部５３ａから投光される光は、第二ドグ板５８によって遮断され、受光部５３ｂによって受光されない。この結果、スライドブロック１０を正確に上下方向駆動機構３０に対して下方位置に位置していることを確認することができる。

次に、上下方向駆動機構３０によって、可動部材２０が下方へ移動し、シリンジ１が待機位置から吐出位置へと移動する（図１参照）。

次に、シリンジ１に入っているペーストが、シリンジ１のノズル１ａから吐出され、基板６０に塗布される（図１参照）。このとき、上下方向駆動機構３０に配置された水平方向駆動機構（図示せず）によって上下方向駆動機構３０を水平方向に移動させて、シリンジ１を基板６０に対して水平方向に移動させながら、基板６０にペーストを描画するように塗布してもよい。

次に、上下方向駆動機構３０によって、可動部材２０が上方へ移動し、シリンジ１が待機位置に戻る（図１参照）。

その後は、上記の工程が繰り返し行われる。

次に、シリンジ１のノズル１ａを交換したときなど、ノズル１ａの先端と基板６０との距離を正しくセットアップするために、シリンジ１のノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を測定する工程について説明する。

まず、塗布対象となる基板６０が、搬送レール５上に配置される（図１参照）。

次に、スライドブロック１０を上方へ移動させ、スライドブロック１０を上下方向駆動機構３０に対して上方位置に位置づける（図４（ｂ）参照）。

このとき、第二ドグ板５８は上方へ移動し、バネ位置検知センサ５３の投光部５３ａから投光される光は、受光部５３ｂによって受光されるようになる（図３および図４（ｂ）参照）。

次に、上下方向駆動機構３０によって、可動部材２０を下方へ移動させ、シリンジ１のノズル１ａを基板６０に当接させる（図４（ｂ）参照）。

このように、シリンジ１のノズル１ａが基板６０に当接すると、シリンジホルダ２５および可動部材２０がスライドレール３１に沿って上方に移動し、可動部材２０の上部に設けられた第一ドグ板５６と変位センサ５１との距離が遠くなる（図４（ｂ）参照）。

このため、ノズル１ａが基板６０に当接したことを検知することができ、ノズル１ａを下降させた距離から、ノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を知ることができる。この結果、ノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を正しくセットアップすることができる。

このとき、スライドブロック１０が上方に移動し上方位置に位置しているため、可動部材２０には、第一弾性部材１５によって上方へ力が加えられている（図４（ｂ）参照）。このため、ノズル１ａが基板６０に当接するときに、基板６０からノズル１ａに加わる荷重が大きくなりすぎることを防止することができる。この結果、基板６０からノズル１ａに加わる荷重によって、ノズル１ａが曲がってしまったり、ノズル１ａが基板６０に刺さってしまったりすることを防止することができ、ノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を確実かつ正確に測定することができる。

なお、基板６０からノズル１ａに加わる荷重は、シリンジ１の容量やシリンジ１内に入っているペーストの密度などによって変わるので、スライドブロック１０の上方位置は、シリンジ１のノズル１ａの先端と基板６０との距離を測定する度に、最適な位置になるよう設定されることが好ましい。

また、シリンジ１に、シリンジ１内のペーストの残量の重さを求める残量重量測定部（図示せず）を接続してもよい。このような残量重量測定部を用いることによって、シリンジ１内に入っているペーストの重さに応じた、スライドブロック１０の最適な上方位置を容易に求めることができる。

また、スライドブロック１０は、スライドブロック１０の長孔１４ｕ，１４ｌに挿入されたビス１９ｕ，１９ｌと上下方向駆動機構３０とでスライドブロック１０を挟持することによって、上下方向駆動機構３０に対して位置決めされている。このため、スライドブロック１０の上下方向駆動機構３０に対する位置を自在に調整することができるので、
スライドブロック１０を最適な上方位置で容易に位置決めすることができる。

なお、上記では、スライドブロック１０の長孔１４ｕ，１４ｌに挿入されたビス１９ｕ，１９ｌと上下方向駆動機構３０とによってスライドブロック１０を挟持し、スライドブロック１０を上下方向駆動機構３０に対して上方位置と下方位置に配置できるようにしているが、これに限ることなく、スライドブロック１０にスライドブロック駆動機構（図示せず）を設けて、このスライドブロック駆動機構によって、スライドブロック１０を上下方向駆動機構３０に対して上方位置と下方位置に配置できるようにしてもよい。

また、上記では、第二弾性部材１３は、スライドブロック１０と可動部材２０との間に設けられているが、これに限ることなく、第二弾性部材１３を、可動部材２０と突き当て板２９との間に設けてもよい。

また、上記では、第一ドグ板５６と上下方向駆動機構３０との間の距離を測定するために、変位センサ５１を用いて説明したが、これに限ることなく、変位センサ５１の代わりにＯＮ／ＯＦＦセンサ（図示せず）を用いてもよい。このとき、ＯＮ／ＯＦＦが切り換わるまでの変位量は、別途測定しておけばよい。

第２の実施の形態
次に図５により本発明の第２の実施の形態について説明する。図５に示す第２の実施の形態は、スライドブロック１０および第一弾性部材１５を設ける代わりに、シリンジ１内のペーストの残量の重さを求める残量重量測定部７２と、可動部材２０の上方に設けられ、可動部材２０に対して上方への力を加えるＶＣＭ（ボイスコイルモータ）４１と、残量重量測定部７２およびＶＣＭ４１に接続された制御部７０とを設けたものである。また、第二弾性部材１３を、突き当て板２９と可動部材２０との間に設けたものである。その他の構成は、図１乃至図４（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と略同一である。

図５に示す第２の実施の形態において、図１乃至図４（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

本実施の形態において、シリンジ１のノズル１ａを交換したときなど、ノズル１ａの先端と基板６０との距離を正しくセットアップするために、シリンジ１のノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を測定する工程について説明する。

まず、塗布対象となる基板６０が、搬送レール５上に配置される（図５参照）。

次に、ＶＣＭ４１によって、可動部材２０に対して上方への力が加えられる（図５参照）。このとき、制御部７０は、残量重量測定部７２からの信号に基づいてＶＣＭ４１を制御し、可動部材２０に対して加わる上方への力を調整する。具体的には、制御部７０は、残量重量測定部７２からの信号に基づいて、シリンジ１内に収納されたペーストの残量が多い場合には可動部材２０に対してより強い力を加え、シリンジ１内に収納されたペーストの残量が少ない場合には可動部材２０に対してより弱い力を加えるようＶＣＭ４１を制御する。すなわち、制御部７０は、シリンジ１内のペーストの量が減っても、可動部材２０に加わる下方への力が常に一定になるように制御する。

次に、上下方向駆動機構３０によって、可動部材２０を下方へ移動させ、シリンジ１のノズル１ａを基板６０に当接させる（図５参照）。

このように、シリンジ１のノズル１ａが基板６０に当接すると、シリンジホルダ２５および可動部材２０がスライドレール３１に沿って上方に移動し、可動部材２０の上部に設けられた第一ドグ板５６と変位センサ５１との距離が遠くなる（図５参照）。このため、ノズル１ａが基板６０に当接したことを検知することができ、ノズル１ａを下降させた距離から、ノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を知ることができる。

このとき、ＶＣＭ４１によって可動部材２０に対して上方への力が加わっているため、ノズル１ａが基板６０に当接するときに、基板６０からノズル１ａに加わる荷重が大きくなりすぎることを防止することができる。この結果、基板６０からノズル１ａに加わる荷重によって、ノズル１ａが曲がってしまったり、ノズル１ａが基板６０に刺さってしまったりすることを防止することができ、ノズル１ａの先端と基板６０との間の距離を確実かつ正確に測定することができる。

また、上述のように、制御部７０は、残量重量測定部７２からの信号に基づいて、シリンジ１内に収納されたペーストの残量が多い場合には可動部材２０に対してより強い力を加え、シリンジ１内に収納されたペーストの残量が少ない場合には可動部材２０に対してより弱い力を加えるようＶＣＭ４１を制御する。このため、ＶＣＭ４１からシリンジ１に加わる力を、シリンジ１内に入っているペーストの重さに応じて適宜調整することができる。この結果、基板６０とノズル１ａの先端の距離を、シリンジ１内に入っているペーストの重さにかかわらず、一定とすることができるので、ペーストを一定の塗布量で安定して塗布することができる。

なお、上記では、ＶＣＭ４１が可動部材２０の上方に設けられた態様を用いて説明したが（図５参照）、これに限ることなく、ＶＣＭ４１を可動部材２０の下方に設けてもよい。この場合もやはり、ＶＣＭ４１によって、可動部材２０に対して上方へ力が加えられる。

本発明の第１の実施の形態による流体塗布装置を示す側方図。本発明の第１の実施の形態による流体塗布装置を示す上方平面図。本発明の第１の実施の形態による流体塗布装置のバネ位置検知センサを示す下方平面図。本発明の第１の実施の形態による流体塗布装置の作用を示す側方図。本発明の第２の実施の形態による流体塗布装置を示す側方図。従来の流体塗布装置を示す側方図。

符号の説明

１シリンジ
１ａノズル
５搬送レール
１０スライドブロック
１３第二弾性部材
１４ｕ，１４ｌ長孔
１５第一弾性部材
１９ｕ，１９ｌビス
２０可動部材
２１スライダ
２５シリンジホルダ
２９突き当て板
３０上下方向駆動機構
３１スライダレール
４１ＶＣＭ
５１変位センサ
５３バネ位置検知センサ
５３ａ投光部
５３ｂ受光部
５６第一ドグ板
５８第二ドグ板
６０基板（吐出対象物）
７０制御部
７２残量重量測定部

Claims

吐出対象物上に流体を塗布する流体塗布装置において、
ノズルを有するとともに、流体を収納するシリンジと、
シリンジを保持するシリンジホルダと、
シリンジホルダを支持する可動部材と、
可動部材に連結され、可動部材を上下方向に移動させる上下方向駆動機構と、
可動部材の下方であって上下方向駆動機構に取り付けられ、可動部材の下端に当接可能な突き当て板とを備え、
上下方向駆動機構と可動部材との間に、上下方向駆動機構に対して少なくとも上方位置と下方位置に配置可能なスライドブロックが介在され、
スライドブロックと可動部材との間に、可動部材に対して上方への力を加える第一弾性部材が設けられ、
スライドブロックまたは突き当て板と可動部材との間に、可動部材に対して下方への力を加える第二弾性部材とが設けられたことを特徴とする流体塗布装置。
吐出対象物上に流体を塗布する流体塗布装置において、
ノズルを有するとともに、流体を収納するシリンジと、
シリンジを保持するシリンジホルダと、
シリンジホルダを支持する可動部材と、
可動部材に連結され、可動部材を上下方向に移動させる上下方向駆動機構と、
可動部材の下方であって上下方向駆動機構に取り付けられ、可動部材の下端に当接可能な突き当て板と、
シリンジに接続され、シリンジ内の流体の残量の重さを求める残量重量測定部と、
可動部材の上方または下方に設けられ、可動部材に対して上方への力を加えるＶＣＭと、
突き当て板と可動部材との間に設けられ、可動部材に対して下方への力を加える弾性部材と、
残量重量測定部およびＶＣＭに接続された制御部とを備え、
制御部は、残量重量測定部からの信号に基づいて、シリンジ内に収納された流体の残量が多い場合には可動部材に対してより強い力を加え、シリンジ内に収納された流体の残量が少ない場合には可動部材に対してより弱い力を加えるようＶＣＭを制御することを特徴とする流体塗布装置。
上下方向駆動機構に、上下方向に延びたスライダレールが設けられ、
可動部材に、当該スライダレールに係合するスライダが設けられていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の流体塗布装置。
可動部材に、水平方向に延びた第一ドグ板が設けられ、
上下方向駆動機構に、当該第一ドグ板と上下方向駆動機構との間の距離を測定する変位センサまたはＯＮ／ＯＦＦセンサが設けられていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の流体塗布装置。
上下方向駆動機構に、光を投光する投光部と、投光部からの光を受光する受光部とを有するバネ位置検知センサが設けられ、
スライドブロックに、バネ位置検知センサの投光部と受光部との間に配置可能な第二ドグ板が設けられていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の流体塗布装置。
シリンジに、シリンジ内の流体の残量の重さを求める残量重量測定部が接続されていることを特徴とする請求項１記載の流体塗布装置。
スライドブロックに、スライドブロックを上下方向駆動機構に対して上方位置と下方位置に配置可能とするスライドブロック駆動機構が設けられていることを特徴とする請求項１記載の流体塗布装置。
請求項１記載の流体塗布装置を用いて、基板とシリンジのノズルとの間の距離を測定する塗布距離測定方法において、
スライドブロックを上方へ移動させ、スライドブロックを上下方向駆動機構に対して上方位置に位置づける工程と、
上下方向駆動機構によって、可動部材を下方へ移動させ、シリンジのノズルを基板に当接させる工程と、
を備えたことを特徴とする塗布距離測定方法。
請求項２記載の流体塗布装置を用いて、基板とシリンジのノズルとの間の距離を測定する塗布距離測定方法において、
ＶＣＭによって、可動部材に対して上方への力を加える工程と、
上下方向駆動機構によって、可動部材を下方へ移動させ、シリンジのノズルを基板に当接させる工程とを備え、
制御部は、残量重量測定部からの信号に基づいて、シリンジ内に収納された流体の残量が多い場合には可動部材に対してより強い力を加え、シリンジ内に収納された流体の残量が少ない場合には可動部材に対してより弱い力を加えるようＶＣＭを制御することを特徴とする流体塗布装置。