JP2015202545A - 研削装置 - Google Patents
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-
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- B24—GRINDING; POLISHING
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- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
- B24B53/007—Cleaning of grinding wheels
Abstract
Description
超音波振動子55の振動周波数:450kHz〜1.0MHz
電力供給手段56の出力:40〜100W
噴射ノズル本体52からの洗浄液51のノズル流量:1000〜1500cc/min
研削砥石42の種類:ビトリファイド系#1000
スピンドル43の回転数:1500rpm
保持テーブル3の回転数:140rpm
研削ホイール41の鉛直方向送り速度:0.3μm/sec
超音波洗浄ノズル5の流量:1200cc/min
超音波洗浄ノズル5の出力:50W
3 保持テーブル
4 研削手段
41 研削ホイール
42 研削砥石
42a 研削面
5 超音波洗浄ノズル
51 洗浄液
52 噴射ノズル本体
53 洗浄液供給部
55 超音波振動子
56 電力供給手段
W 被加工物
Claims (1)
- 被加工物を保持し回転する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールを備えた研削手段と、を備える研削装置であって、
該研削ホイールに洗浄液を噴射する噴射ノズル本体と、該噴射ノズル本体に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、該洗浄液供給部から供給された洗浄液に超音波を付与する超音波振動子と、該超音波振動子に交流電力を印加する電力供給手段とから構成された超音波洗浄ノズルを備え、
該超音波洗浄ノズルは、被加工物を研削している該研削ホイールの研削砥石の研削面に向けて超音波が付与された洗浄液を噴射するように配設されており、
該超音波振動子の振動周波数は、450kHz〜1.0MHzに設定される研削装置。
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