JP2001038594A - 光学素子研磨方法及び光学素子研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学素子を研磨加工する工具の表面形状を乱
さずに、目詰まりの原因となるスラッジを除去する。 【解決手段】 光学素子２の被加工面に回転する工具１
１の表面を当接させ、加工液２１を供給しながら相対運
動させることにより、工具１１の表面形状を光学素子２
の被加工面に転写させる。加工液２１に超音波を付与
し、超音波振動が付与された加工液２１を光学素子２と
工具１１との接触界面に向けて供給しながら研磨加工を
行うことにより、スラッジを研磨加工と同時に除去す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラスレンズ等の
光学素子を研磨する研磨方法及び研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガラスレンズを研磨する場合、ガラスレ
ンズの光学機能面となる被加工面と工具の加工面とを接
触させ、この接触状態で相対移動することにより工具表
面の形状をレンズの被加工面に転写させて加工してい
る。この加工において、粒径が数μｍ以下の砥粒を用い
た研磨加工を行う場合、削り屑や工具摩耗物（総じてス
ラッジと呼ぶ）が工具表面に固着する現象が起き易い。
この現象は目詰まりといわれ、工具の加工能力の低下、
被加工面の外観不良あるいは工具寿命の低下などの問題
を引き起こす原因となる。

【０００３】この問題を解決するため、様々な方法が従
来より提案されている。その一つとしては、工具の砥粒
よりも微細かつ軟質な砥粒を有するスティック砥石を用
い、スラッジが表面に固着した工具にスティック砥石を
回転させながら当てつけることが行われている。また、
スラッジが表面に固着した工具に面接触できる鋳物皿を
ＧＣなどの砥粒を介在させた状態で押しつけて、工具表
面からスラッジを機械的に除去することもなされてい
る。さらに、スラッジが表面に固着したメタルボンドの
工具の場合には、電解作用を利用してボンド材を溶出さ
せることにより、スラッジ除去を行っている。

【０００４】特開平５−１６２０７１号公報には、セラ
ミック材料などの難削材の研削加工時に、工具としての
研削砥石の加工面に固着したスラッジを超音波振動によ
り除去する装置が提案されている。図５はこの公報に記
載された装置であり、板状の被研削材６１が水平方向に
往復移動する研削盤６８上に取り付けられており、被研
削材６１には、回転する円盤状の研削砥石６２が接触し
ている。この研削砥石６２の外周面は、被研削材６１を
研削する砥粒面６７となっている。

【０００５】又、被研削材６１との反対側には、超音波
ドレッシング装置６６が配置されている。超音波ドレッ
シング装置６６は供給口６９から研削液６３を砥粒面６
７に供給するものである。又、供給口６９内には、超音
波発振器６４により発振される超音波振動体６５が配置
されている。

【０００６】この装置では、回転する研削砥石６２外周
面の砥粒面６７により被研削材６１を研削加工する際
に、被削材６１との反対側の超音波ドレッシング装置６
６を駆動する。そして、超音波発振器６４により超音波
振動体６５を発振して研削液６３に超音波振動を印加
し、研削砥石６２の外周面に固着したスラッジを超音波
振動が印加された研削液６３によって除去して砥粒面６
７の目詰まりを解消するものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スティ
ック砥石や鋳物皿によるスラッジの除去では、手作業と
なるために作業性に劣るほか、手の感覚に頼った作業と
なるために工具の表面形状を乱す問題がある。また、レ
ンズの被加工面の加工中にインプロセスで工具表面のド
レッシングを行うことが難しく、研磨加工を停止させた
状態での作業が必要となり、効率が悪いものとなってい
る。

【０００８】電解作用によるスラッジ除去では、電解作
用を必要とするためにメタルボンドの工具に限定され、
非導電性のレジンボンドやビトリファイドボンドなどの
ボンド材を用いた工具には適用できない不便さがある。
また、原理上ボンド材を溶解させるために工具の表面形
状を乱すのみならず、工具の寿命が低下する問題を有し
ている。

【０００９】一方、図５に示すような研削液に超音波振
動を与える方法では、このような問題は発生しない。し
かしながら、このような場合であっても、粒径が数μｍ
以下の微細な砥粒を用いた工具によって、ガラスレンズ
のような光学機能面を研磨加工するときには、工具の目
詰まりが発生して、工具表面がスラッジによって覆われ
る。この場合に、超音波ドレッシング装置６６が流動状
態の研削液６３に印加できる超音波の周波数が１ＭＨｚ
を越えるため、強度（振幅）が小さくなって工具表面か
らのスラッジの除去能力がなくなる。このため、目詰ま
りを解消することが困難となっている。

【００１０】本発明はこのような従来技術の問題点に鑑
みてなされたものであり、工具の表面形状を乱さず、工
具のボンド材の種類に制約を受けず、また、スラッジの
除去が容易で目詰まりを解消でき、工具の長寿命化を図
ることが可能な光学素子研磨方法及び光学素子研磨装置
を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明の研磨方法は、光学素子の被加工面
に回転する工具の表面を当接させ、加工液を供給しなが
ら相対運動させることにより、工具の表面形状を光学素
子の被加工面に転写させる光学素子研磨方法において、
超音波振動が付与された加工液を光学素子と工具との接
触界面に向けて供給しながら研磨加工を行うことを特徴
とする。

【００１２】この発明では、加工液に超音波振動を付与
することによって、加工液にはキャビテーション現象が
生じている。このキャビテーション現象が生じている加
工液を工具と光学素子の接触界面に向けて供給すること
により、加工液に接している工具表面に付着しているス
ラッジが除去されると共に、光学素子にも振動が伝わる
ために光学素子表面に付着するスラッジも除去されて、
研磨加工が可能となる。

【００１３】このような発明では、スラッジの除去が容
易で目詰まりを解消でき、工具の長寿命化を図ることこ
とができ、しかも工具の表面形状を乱さず、工具のボン
ド材の種類に制約を受けることなく研磨加工を行うこと
ができる。

【００１４】請求項２の発明は、請求項１記載の発明で
あって、前記加工液に発振周波数が１００ｋＨｚ〜１０
ＭＨｚの範囲の超音波振動を付与することを特徴とす
る。

【００１５】この発明では、加工液に付与する発振周波
数を１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚとするため、研磨加工に
よって発生するスラッジに効率良く振動を伝えることが
でき、スラッジの除去を確実に行うことができる。

【００１６】請求項３の発明の光学素子研磨装置は、光
学素子の被加工面と回転する工具の表面とを当接させ、
加工液を供給しながら相対運動させることにより、工具
の表面形状を光学素子の被加工面に転写させる光学素子
研磨装置において、前記加工液に超音波振動を与える超
音波発振手段と、超音波振動した加工液を光学素子と工
具との接触界面に向けて供給するノズルとを設けている
ことを特徴とする。

【００１７】この発明では、超音波発振手段が加工液に
超音波振動を与え、ノズルは超音波振動が付与された加
工液を工具と光学素子との接触界面に供給する。これに
より、キャビテーション現象を生じている加工液による
工具表面のスラッジの除去及び光学素子に付着するスラ
ッジの除去を行うことが可能となる。このような発明で
は、スラッジの除去が容易で目詰まりを解消でき、工具
の長寿命化を図ることができ、しかも工具の表面形状を
乱さず、工具のボンド材の種類に制約を受けることなく
研磨加工を行うことができる。

【００１８】請求項４の発明は、請求項３記載の発明で
あって、前記加工液は砥粒を含まない液体であり、前記
工具の表面に溝が設けられていることを特徴とする。

【００１９】加工液が砥粒を含まないため、加工液に付
与される超音波振動のロスをなくすことができる。ま
た、工具の表面に溝を設けることによって光学素子と工
具が当接している超音波を付与されにくい部分にも超音
波を伝えることができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１は本発明の
実施の形態１の光学素子研磨装置であり、光学素子とし
てのガラスレンズ２に凹球面を加工している状態を示し
ている。図２は図１における要部を示す。光学素子研磨
装置は図１に示すように、上軸部１と、下軸部１０と、
加工液供給部２０とを備えている。

【００２１】上軸部１は、平凹ガラスレンズ２の平面側
を保持して固定するホルダー３と、ホルダー３を傾動自
在かつ回転自在に保持する軸体４とを備えている。軸体
４は下端部に球体を備えており、この球体がホルダー３
の上面に形成された半球状凹部に挿入されることによ
り、ホルダー３を傾動自在かつ回転自在に保持してい
る。

【００２２】又、上軸部１は、レンズ２の被加工面とな
る凹球面の曲率中心Ｏを揺動中心位置として軸体４を円
弧状に揺動させるように軸体４の上方側を保持する揺動
機構部（図示省略）と、軸体４の上端部側からレンズ２
の加工時に加工圧を付与するための荷重Ｗを与える加圧
機構部（図示省略）とをさらに備えている。

【００２３】下軸部１０は、台金１２と、台金１２を回
転させるモーター１３とを備えている。台金１２の上端
からは軸部１２ａが上方に延びており、この軸部１２ａ
に固定砥粒工具１１が固定されている。固定砥粒工具１
１は、レンズ２の凹球面を研磨加工する加工面となるよ
うに、酸化セリウム（平均粒径１μｍ）を樹脂で結合
し、その表面の形状が所望の曲率半径の凸面となるよう
に成形されている。台金１２はその下端部の軸部１２ｂ
と、モーター１３の回転軸との間にプーリー１５が掛け
渡されることにより矢印方向に回転する。

【００２４】固定砥粒工具１１の凸面の表面には、図２
（ａ）及び（ｂ）に示すように溝１１Ａが形成されてい
る。溝１１Ａは凸面の頂部に形成されるものであり、工
具１１の回転中心軸線上を通って交叉していると共に、
凸面上で台金１２との接触部にまで達している。この場
合、台金１２の上端の軸部１２ａの径は、固定砥粒工具
１１の径よりも小さくなっており、これにより、溝１１
Ａ内からの加工液やスラッジの排出を良好に行うことが
できる。

【００２５】加工液供給部２０は、ガラスレンズ２の凹
球面を固定砥粒工具１１によって研磨加工する際に、工
具１１とガラスレンズ２との摺接などによって発生する
熱を除去する冷却作用と、この加工部（加工界面）に発
生するスラッジを流出させるための加工液となる水２１
を貯留するタンク２２と、タンク２２から水２１を加工
部（加工界面）へ供給するためのポンプ２３と、先端に
向けて細くなる円筒形状の超音波ノズル２５とを備えて
いる。超音波ノズル２５の内部には、同ノズル２５の先
端の開口部に発振面を向けるように発振器２４が設けら
れており、この発振子２４は超音波発振器２６によって
その作動が制御される。

【００２６】この実施の形態において、超音波ノズル２
５の先端と、ガラスレンズ２の凹球面及び工具１１表面
とが接触するときの最外周部位即ち接触界面間での距離
は、３０ｍｍに設定されている。また超音波ノズル２５
の先端は、工具１１上で揺動するガラスレンズに干渉し
ない位置に配設されており、その先端は接触界面に向け
られている。発振周波数は４００ＫＨｚである。また、
水２１は、砥粒などの固形物を含んでいない。

【００２７】図３は超音波ノズル２５の内部を示す。超
音波ノズル２５は、撥水性を有するフッ素樹脂（例えば
テトラフルオロエチレン）からなる中空管形状のハウジ
ング１１１と、ハウジング１１１の大径側の底部に配置
された積層セラミックス板からなる発振子２４と、ハウ
ジング１１１の大径側の側面に設けられた加工液接続部
１１５とを有している。発振子２４はコード１１４によ
り超音波発振器２６に接続されて出力が制御される。

【００２８】中空管形状のハウジング１１１は、加工液
の吐出口１１６が形成される小径部と、前記大径部と、
小径部と大径部とを接続する傾斜状のテーパ部とからな
り、それらの内壁にはアルミナからなる平滑なセラミッ
クスコート１１２が設けられ、発振子２４による超音波
振動を減衰させることなく、吐出口１１６から吐出され
る加工液に超音波振動が伝えられるようになっている。
なお、テーパ部の内壁は３０°の角度となっている。発
振子２４から発せられる超音波振動はハウジング１１１
の長手方向の軸線１１７と平行な方向の振動であるが、
内壁にテーパ部を設けることにより、テーパ部で振動の
反射を起こすことができ、これにより、振動の方向を軸
線１１７と垂直な方向の振動と重畳させて強度（振幅）
を増幅させることができる。

【００２９】この超音波ノズル２５では、加工液供給部
２０から供給される加工液（水）は加工液接続部１１５
から矢印方向に供給される。この場合、ハウジング１１
１の大径部における内部は２層（２重構造）になってお
り、加工液接続部１１５から供給された加工液は、大径
部の外側管状部と内側管状部との間で一旦、発振子２４
の方向へと導かれた後、内側管状部、テーパ部および小
径部を介して先端の吐出口１１６から吐出される。この
ように構成することにより、加工液に発振子２４からの
超音波振動を効率良く付与することができる。

【００３０】この実施の形態では、まず、所望の曲率半
径を有する固定砥粒工具１１の表面に、ホルダー３に保
持されたガラスレンズ２の凹球面を載置した後、軸体４
を介して荷重Ｗで当接させる。加工開始と同時に、上軸
部１の揺動機構部の作動による上軸部１の揺動と、下軸
部１０のモータ１３の回転による台金１２及び固定砥粒
工具１１の回転と、加工液供給部２０からの水２１の供
給が開始される。

【００３１】水２１は、タンク２２からポンプ２３によ
り汲み上げられ、超音波ノズル２５の吐出口１１６から
レンズ２と固定砥粒工具１１の接触界面（即ち、両者が
接触するときの最外周部位）に供給される。このとき、
超音波発振器２６により発振子２４に出力が与えられ、
発振子２４が振動を開始する。本実施の形態では超音波
発振器２６の出力は４０Ｗとした。

【００３２】発振子２４の発振により、上述したように
振動方向が重畳した超音波振動が水２１に付与される。
重畳した超音波振動は超音波ノズル２５の先端から５０
ｍｍの範囲までは水２１に伝わっており、しかも、超音
波ノズル２５の先端から接触界面までの距離を３０ｍｍ
と設定しているため、接触界面の位置がガラスレンズ２
の揺動によって変化しても、超音波振動が付与された水
２１を接触界面に充分に供給することができる。このよ
うにして、４００ＫＨｚの振動が付与された水２１を接
触界面に供給しながら研磨加工が行われる。

【００３３】超音波振動が付与された水の作用を図２に
より説明する。図２はガラスレンズ２の凹球面を凸面の
表面を有した固定砥粒工具１１によって研磨加工してい
る状態の加工界面の縦断面である。重畳した超音波振動
が付与された水２１は固定砥粒工具１１のＡ部分（ガラ
スレンズ２の凹球面と接触していない露出部分）に直接
供給される。超音波振動によって水２１にはキャビテー
ション現象が生じているため、キャビテーションの衝撃
作用によりＡ部表面に付着したガラス屑や固定砥粒工具
１１の屑（スラッジ）がＡ部表面から取り除かれる。

【００３４】また、固定砥粒工具１１のＢ部分（ガラス
レンズ２の被加工面となる凹球面と接触している接触部
分）には水２１が直接供給されることはないが、固定砥
粒工具１１の表面には溝１１Ａが形成されているため、
その溝１１Ａを伝わって超音波振動が付与された水２１
がガラスレンズ２と固定砥粒工具１１の加工界面（接触
面）に供給される。又、固定砥粒工具１１はモーター１
３によって回転しているため、溝１１Ａはガラスレンズ
２の凹球面に対して位置が連続的に変化する。このた
め、溝１１Ａ内を流動する水２１によってガラスレンズ
２の凹球面部分にも振動が伝わり、ガラスレンズ２の表
面に付着しているスラッジを流出させることができる。

【００３５】このとき、水２１に付与される超音波振動
の周波数は４００ｋＨｚの高周波であるため、ガラスレ
ンズ２の凹球面と工具１１の表面とが接触するときの最
外周部位である接触界面を通過する工具１１の溝１１Ａ
を介して加工界面（接触面）に水２１の振動が浸透す
る。このため、工具１１に付着したスラッジに強い振動
を与えられ、工具１１のＢ部分からもスラッジが除去さ
れ、溝１１Ａを介してスラッジを流出することができ
る。水２１は砥粒などの固形物を含んでいないため、水
２１に付与される超音波振動のロスを生じない。これら
の作用によって、研磨加工でガラスレンズ２の被加工面
および工具１１の加工面に発生する熱や、荷重によって
レンズ面または固定砥粒工具１１表面に固着したスラッ
ジが容易に除去される。

【００３６】このような実施の形態よれば、ガラスレン
ズ２の凹球面と固定砥粒工具１１の表面とが接触し相対
移動することにより研磨加工が行われる際の接触界面に
向けて、超音波振動が付与された水２１を供給すること
により、直接水が吹きかかる工具１１の加工面やレンズ
２の被加工面の周囲のみならず、レンズ２の被加工面に
伝えられる振動、工具１１の加工面に形成した溝１１Ａ
の作用及び強い振動を付与する周波数の高周波の浸透力
によって、レンズ２と工具１１の加工界面（接触面）に
も水２１を介して超音波振動を与えることができる。こ
のため、スラッジが工具１１表面やレンズ面に固着せ
ず、固着しても直ちに除去することができる。しかも、
この除去作用を研磨加工中に行うことができるため、イ
ンプロセスでのスラッジ固着防止を行うことができる。

【００３７】さらに、スラッジが工具１１の表面に固着
しない、あるいは固着しても直ちに除去できるため、工
具１１の表面状態を常に良好状態に保つことができ、こ
れにより、安定した研磨加工能力が得られる。しかも、
工具１１の表面の砥粒が常に発刃した状態でレンズ２を
加工可能であるため、加工能力も向上する。さらに、ス
ラッジを工具１１とレンズ２の加工界面（接触面）に巻
き込まないように流出して除去しているため、スラッジ
に起因したガラスレンズ２の外観不良をなくすことがで
きる。

【００３８】（実施の形態２）図４は実施の形態２のガ
ラスレンズの平面の研磨加工中の状態を示し、実施の形
態１と同一の要素は同一の符号を付して対応させてあ
る。この実施の形態では、工具としてダイヤモンドペレ
ット５１を、加工液として水溶性研磨液を用いて平面研
磨するものである。又、ガラスレンズ２は平凸形状とな
っており、その凸面側がホルダ３に保持されている。加
工液５２としては、水溶性研磨液が使用されるが、砥粒
等の固形物を含んでいないままで用いられる。

【００３９】この実施の形態の上軸部１は、ガラスレン
ズ２の凸面側を保持して固定するホルダー３と、ホルダ
ー３の上面の半球状凹部と係合して、ホルダー３を傾動
自在かつ回転自在に保持する軸体４と、軸体４を水平方
向に往復移動させるために軸体４の上方側を保持する揺
動機構部（図示省略）と、軸体４の上端部側からガラス
レンズ２の加工時に加工圧を付与するための荷重Ｗを与
える加圧機構部（図示省略）とを備えている。

【００４０】下軸部１０は、ダイヤモンドペレット５１
が上面に固着された段差を有する円柱状の台金１２と、
台金１２の下側の軸部１２ｂにプーリー１５を介して連
結されて台金１２を回転させるモーター１３とからな
る。ダイヤモンドペレット５１は０．５μｍのダイヤモ
ンド砥粒をフェノール樹脂で結合させることにより形成
されている。このダイヤモンドペレット５１の加工面に
は、台金１２の回転中心軸線を通り、かつ直交する向き
に溝５１Ａが形成されている。なお、ダイヤモンドペレ
ット５１の形状は円盤形状や多角柱形状であってもよ
く、溝５１Ａは複数でもよい。

【００４１】加工液供給部２０はガラスレンズ２の平面
をダイヤモンドペレット５１を研磨加工する際に、ペレ
ット５１とレンズ２との摺接によって加工部に発生する
熱を効率的に除去する冷却作用を行うと共に、加工部
（加工界面）に発生するスラッジを流出させるための加
工液となる水溶性研磨液（主成分：エチレングリコー
ル）５２を貯留するタンク２２と、タンク２２から水溶
性研磨液５２を加工部へ供給するためのポンプ２３と、
先端に向けて細くなった円筒形状となっている超音波ノ
ズル２５とを備えている。超音波ノズル２５の内部に
は、ノズル先端の開口部に発振面を向けるように発振子
２４が設けられており、この発振子２４が超音波発振器
２６によって制御されている。超音波ノズル２５の構成
は、実施の形態１と同じである。また、超音波ノズル２
５の先端と、ダイヤモンドペレット５１の外周部との距
離は３０ｍｍに設定されており、超音波ノズル２５の先
端は、水平移動するガラスレンズ２に干渉しないよう
に、ダイヤモンドペレット５１の上面とガラスレンズ２
の平面とが接触する接触界面に向けて配置されている。

【００４２】この実施の形態における超音波の発振周波
数は１ＭＨｚである。又、この実施の形態では、研磨加
工時間の前半は接触界面に向けて水溶性研磨液５２のみ
を供給し、後半は水溶性研磨液５２に超音波振動を与え
るように制御する。

【００４３】この実施の形態の作動は、台金１２を回転
するとともに、ガラスレンズ２に加工圧を加えて水平方
向に往復移動し、水溶性研磨液５２を供給しながらレン
ズの平面研磨加工を行う。又、超音波発振を研磨加工時
間の後半のみに行って水溶性研磨液５２に超音波振動を
付与する以外は、実施の形態１と同様である。

【００４４】この実施の形態によれば、実施の形態１と
同様の効果が得られるだけでなく、超音波振動を加工時
間の後半のみに与えることにより、発振子２４を高寿命
化することができる。なお、本実施の形態では、加工時
間の後半のみ超音波振動を与えたが、同様の効果を得る
ために、連続して加工液を供給しながら、研磨加工中に
間欠的に超音波発振のＯＮ／ＯＦＦを行って発振振動子
の作動時間を減少させるようにしてもよい。

【００４５】以上の各実施の形態では、光学素子として
のガラスレンズをホルダに固定する手段として、接着剤
を用いても良く、これに限らずガラスレンズの外周面を
狭持するチャック爪を有した嵌め込み式のチャックを用
いてレンズを保持してもよい。また、各実施の形態では
ガラスレンズを研磨加工しているが、これに限らずプリ
ズムやミラーなどの光学的機能面を有する光学素子に対
しても同様に適用することができる。

【００４６】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、加工液に超音
波振動によってキャビテーション現象を付与し、この加
工液を工具と光学素子の接触界面に向けて供給するた
め、工具表面に付着しているスラッジを除去できると共
に、光学素子にも振動が伝わるために光学素子表面に付
着するスラッジも除去できる。従って、スラッジの除去
が容易で目詰まりを解消でき、工具の長寿命化を図るこ
とことができ、しかも工具の表面形状を乱さず、工具の
ボンド材の種類に制約を受けることなく研磨加工を行う
ことができる。

【００４７】請求項２の発明によれば、研磨加工によっ
て発生するスラッジに効率良く振動を伝えることがで
き、スラッジの除去を確実に行うことができる。

【００４８】請求項３の発明によれば、キャビテーショ
ン現象を生じている加工液による工具表面のスラッジの
除去及び光学素子に付着するスラッジの除去を行うこと
ができ、スラッジの除去が容易で目詰まりを解消でき、
工具の長寿命化を図ることができ、さらには工具の表面
形状を乱さず、工具のボンド材の種類に制約を受けるこ
となく研磨加工を行うことができる。

【００４９】請求項４の発明によれば、加工液が砥粒を
含まないため、加工液に付与される超音波振動のロスを
なくすことができると共に、溝によって光学素子と工具
が当接している超音波を付与されにくい部分にも超音波
を伝えることができ、従って、より効果的に工具表面や
光学素子の光学機能面にスラッジが付着することを防止
でき、しかも付着したスラッジを容易に排除することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１における加工状態の側面
図である。

【図２】（ａ）は図１の要部の側面図、（ｂ）は工具の
平面図である。

【図３】超音波ノズルの部分破断側面図である。

【図４】実施の形態２の加工状態の側面図である。

【図５】従来装置の断面図である。

【符号の説明】

２ ガラスレンズ ２１ 加工液 ２２ 超音波発振器 ２４ 発振器 ２５ 超音波ノズル

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学素子の被加工面に回転する工具の表
   面を当接させ、加工液を供給しながら相対運動させるこ
   とにより、工具の表面形状を光学素子の被加工面に転写
   させる光学素子研磨方法において、超音波振動が付与さ
   れた加工液を光学素子と工具との接触界面に向けて供給
   しながら研磨加工を行うことを特徴とする光学素子研磨
   方法。
2. 【請求項２】 前記加工液に発振周波数が１００ｋＨｚ
   〜１０ＭＨｚの範囲の超音波振動を付与することを特徴
   とする請求項１記載の光学素子研磨方法。
3. 【請求項３】 光学素子の被加工面と回転する工具の表
   面とを当接させ、加工液を供給しながら相対運動させる
   ことにより、工具の表面形状を光学素子の被加工面に転
   写させる光学素子研磨装置において、前記加工液に超音
   波振動を与える超音波発振手段と、超音波振動した加工
   液を光学素子と工具との接触界面に向けて供給するノズ
   ルとを設けていることを特徴とする光学素子研磨装置。
4. 【請求項４】 前記加工液は砥粒を含まない流体であ
   り、前記工具の表面に溝が設けられていることを特徴と
   する請求項３記載の光学素子研磨装置。