JP2015198179A - 発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
近年、発光素子の種々の形態での利用に伴い、必要な輝度等の特性及び信頼性を確保しながら、より一層の小型化及び薄型化が求められている。
そのために、基板を除去する方法としてレーザリフトオフ法が用いられることがある(例えば、特許文献1)。
このようなレーザリフトオフ法を実行するためには、通常、半導体の積層体と、その上に形成される電極及び/又は保護膜等とを一体的に樹脂等によって支持又は固定した後、基板にレーザ光を照射する方法が採用されている。
そして、上述したような半導体積層体等の支持又は固定のために樹脂を用いることから、チップごとの分割は、ダイヤモンドブレード等の機械切削具を用いて行われる。
基板の第1主面上に、第1半導体層と、前記第1半導体層の一部の領域上に配置する複数の第2半導体層とを有する半導体積層体を準備し、
隣接する前記第2半導体層間における前記第1半導体層に、前記基板の第1主面に至る溝部を前記第2半導体層のそれぞれの周縁部を囲むように形成して前記溝部に挟まれる離間半導体層を前記半導体積層体から離間させ、
前記溝部及び前記離間半導体層を一体的に被覆する第1保護膜を形成し、
前記第1保護膜の前記基板と反対の面側に、樹脂からなる支持部材を設け、
前記基板の前記第1主面と反対側の第2主面側からレーザ光を照射して、前記半導体積層体及び前記離間半導体層から前記基板を分離し、
前記支持部材側から、ブレードを用いて前記離間半導体層を切断して複数の発光素子へ個片化することを含む発光素子の製造方法、及び
基板の第1主面上に、第1半導体層と、前記第1半導体層の一部の領域上に配置する複数の第2半導体層とを有する半導体積層体を準備し、
隣接する前記第2半導体層間における前記第1半導体層に、前記基板の第1主面に至る溝部を、前記第2半導体層のそれぞれの周縁部を囲むように複数形成して前記溝部に挟まれ、前記半導体積層体から離間する離間半導体層を複数形成し、
複数の前記溝部及び複数の前記離間半導体層を一体的に被覆する第1保護膜を形成し、
前記第1保護膜の前記基板と反対の面側に、樹脂からなる支持部材を設け、
前記基板の前記第1主面と反対側の第2主面側からレーザ光を照射して、前記半導体積層体及び前記離間半導体層から前記基板を分離し、
前記支持部材側から、ブレードを用いて複数の前記離間半導体層のうちいずれかを切断して複数の発光素子へ個片化することを含む発光素子の製造方法。
発光素子及びその部材において、第1主面及びそれに対応する面を「上面」と、第2主面及びそれに対応する面を「下面」と称することがある。
(A)基板の第1主面上に形成された半導体積層体を準備し、
(B)離間半導体層を形成し、
(C)第1保護膜を形成し、
(D)支持部材を形成し、
(E)半導体積層体から基板を分離し、
(F)離間半導体層を切断する工程を含む。
あるいは、
(A)基板の第1主面上に形成された半導体積層体を準備し、
(B’)離間半導体層を複数形成し、
(C’)第1保護膜を形成し、
(D)支持部材を形成し、
(E)半導体積層体から基板を分離し、
(F’)複数の離間半導体層のうちいずれかを切断する工程を含む。
(G)光反射性電極を形成し、
(H)第2半導体層と電気的に接続された第2電極を形成し、
(I)第1半導体層と電気的に接続された第1電極を形成し、
(J)第2保護膜を形成し、
(K)第2外部電極を形成し、
(L)第1外部電極を形成し、
(M)透光性部材を形成する工程等を任意に実行してもよい。
基板の第1主面上に形成された半導体積層体を準備する。
半導体積層体は、1単位の発光素子を構成し得る半導体層積層体の複数が一体的に積層された集合体である。なかでも、半導体積層体は、第1半導体層と、この第1半導体層の一部の領域上に配置された複数の第2半導体層とを有することが好ましく、特に、第1半導体層と、発光層と、第2半導体層とがこの順に基板の上面に積層されて構成されるものが好ましい。ここで、第1とはn型、第2とはp型であってもよいし、その逆でもよい。
また、第1半導体層、発光層及び第2半導体層ならびに半導体積層体の厚みは、特に限定されず、意図する特性、使用する材料等によって適宜調整することができる。
第1半導体層及び/又は第2半導体層の上面に、光反射性電極を形成することが好ましい。ここで光反射性とは、発光層から出射される光を、80%以上、85%以上、90%以上、95%以上反射させる性質を意味する。
光反射性電極の厚みは特に限定されるものではなく、意図する特性等によって適宜調整することができる。
隣接する第2半導体層間における第1半導体層に、基板の上面に至る溝部を形成し、離間半導体層を形成する。溝部は、各第2半導体層の周縁部の少なくとも一部、好ましくは全部を囲むように形成することが好ましい。このような溝部を形成することにより、溝部に挟まれ、半導体積層体から離間する離間半導体層を形成する。離間半導体層を、隣接する第2半導体層間、つまり、分割予定ライン周辺に設けることで、レーザリフトオフ法によって基板を半導体積層体から剥離する際、基板との間で離間半導体層の分解および隙間の発生が起こる。そのため、分割予定ライン周辺の半導体積層体の全てを除去した場合と比べて、基板の剥離を容易に行うことができる。
ここで、隣接する第2半導体層間とは、1単位の発光素子を構成するための第2半導体層の領域同士が隣接することを意味し、それらが離間した形態のみならず、2単位の発光素子を構成するために、隣接しかつ連結されたままの第2半導体層をも包含する。従って、溝部は、基板に到達したものであれば、第1半導体層と発光層と第2半導体層が積層された半導体積層体の厚み方向の全てにわたっていてもよい。これらの場合、離間される離間半導体層は、発光には直接寄与しないため、第1半導体層と発光層と第2半導体層の全てを備えていてもよいし、第1半導体層と発光層とを備えていてもよいし、第1半導体層のみを備えていてもよい。
第1溝の深さは、基板の上面に至るものであれば、基板内におよんでいてもよい。
このような溝部は、通常、フォトリソグラフィ及びエッチング工程によって形成することができる。また、レーザーアブレーション法等の公知の方法を利用してもよい。
溝部は、隣接する第2半導体層間に、第2半導体層のそれぞれの周縁部を囲むように、2以上配置していればよい。
溝部の幅は、2つの溝によって挟まれる島状の半導体層が、発光素子を構成する半導体積層体から離間させることができる幅以上であればよい。具体的には、0μmより大きく35μm程度以下が挙げられ、10μ以上15μm以下がより好ましい。これにより、基板が保護膜と接する面積を極力小さくすることができるため、レーザリフトオフ法による基板の剥離を容易に行うことが可能となる。
島状半導体層の幅及び長さは、特に限定されるものではなく、隣接する2つの溝部の配置によって、適宜調整することができる。
先の工程で形成した溝部及び離間半導体層を一体的に被覆する第1保護膜を形成する。
先の工程で溝部及び離間半導体層を形成した場合には、溝部及び溝部の全ての溝内に第1保護膜を埋込み、離間半導体層及び離間半導体層の少なくとも一部を被覆する第1保護膜を一体的に形成することが好ましい。
第1保護膜は、その一部が半導体積層体において露出した第1半導体層の一部を被覆していることが好ましい。
ここで同時とは、保護膜の材料を、基板上全面に、例えば、真空蒸着法、イオンプレーティング法、イオン・ベーパー・デポジション(IVD)法等、スパッタリング法、ECRスパッタリング法、プラズマ蒸着法、化学的気相成長(CVD)法、ECR−CVD法、ECR−プラズマCVD法、EB法、ALD法等の公知の方法によって成膜し、続いて、例えば、フォトリソグラフィ及びドライエッチング又はウェットエッチング工程等の公知の方法によって第1保護膜と第2保護膜とに分離してパターニングすることによって形成することを意味する。
開口は、第2保護膜を厚み方向に貫く貫通孔であり、第2半導体層の一部領域上に配置することが好ましい。この開口は、光反射性電極上以外のところに形成してもよいが、第2半導体層の領域上であって、上述した光反射性電極の上に配置されていることがより好ましい。これによって、後述する第2電極を光反射性電極と接続することができる。
開口の形状は、例えば、平面形状を円形、楕円形、多角形等とすることができ、その大きさ、数、レイアウト等は適宜設定することができる。例えば、1つのみ、複数例で及び/又は複数行で、あるいは複数列及び複数行で規則的に又はランダムに配置することができる。
第1電極及び第2電極を、第1半導体層及び第2半導体層上にそれぞれ電気的に接続するように形成する。先の工程で、光反射性電極が形成されている場合には、光反射性電極を介して第1半導体層及び第2半導体層上にそれぞれ電気的に接続するように形成してもよい。
第1電極及び第2電極としては、特に限定されず、例えば、半導体積層体(つまり、発光層)からの光を効率良く取り出すことができるように、光反射性電極として例示した材料から適宜選択することができる。また、亜鉛、インジウム、スズ、ガリウム及びマグネシウムからなる群から選択される少なくとも1種の元素を含む導電性酸化物(例えば、ITO、ZnO、IZO、GZO、In2O3及びSnO2等)等を用いてもよい。これら電極材料は、単層であってもよいし、積層構造でもよい。
第1電極及び第2電極の厚み、大きさ及び形状は、意図する特性等によって適宜調整することができる。
特に、第2電極は、第2半導体層の上のみ、なかでも、光反射性電極の上のみに形成することが好ましい。つまり、上述したように、第2保護膜は、第2半導体層上に配置する第2半導体層、特に、光反射性電極の一部を露出する開口を有する。従って、この開口を介して光反射性電極と接続された第2電極を形成する。
第1電極は、第1半導体層の上、特に、第1保護膜と第2保護膜とが離間する第1半導体層の上に形成することが好ましい。また、第1保護膜及び/又は第2保護膜の上に配置するように形成してもよい。さらに、第2半導体層の上にも配置するように、第2保護膜を介して配置されていることがより好ましい。
第1外部電極及び第2外部電極とは、外部からの電力の供給のために発光素子以外の端子又は電極等と接続するための電極を指し、パッド状、ワイヤ状、バンプ状及びこれらの組み合わせなどの種々の形態の電極を含む。
ここで同時とは、第1外部電極及び第2外部電極を構成するワイヤを順次、第1電極及び第2電極にワイヤボンドする方法のほか、外部電極の材料を、基板上全面に形成し、公知の方法によってパターニングする方法、例えば、第1外部電極及び/又は第2外部電極を形成する領域に開口を有するレジスト層を予め形成し、その上に、外部電極の材料を、基板上全面に形成し、リフトオフ法を利用して、外部電極材料をパターニングする方法等が挙げられる。
第1外部電極及び第2外部電極の厚みは特に限定されるものではなく、意図する特性等によって適宜調整することができる。第1外部電極及び第2外部電極がワイヤを含む場合には、ワイヤの高さは特に限定されるものではなく、意図する特性等によって適宜調整することができる。
第1保護膜の上、つまり、第1保護膜の基板とは反対の面側に、支持部材を形成する。支持部材は、樹脂からなる。樹脂としては、例えば、ポリカーボネート樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、液晶ポリマー(LCP)、ABS樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、PBT樹脂等の樹脂を用いることができる。これら樹脂には、着色剤、遮光材、光拡散材等の添加材を含有していてもよい。これら添加材としては、TiO2、SiO2、Cr2O3、MnO2、Fe2O3、カーボンブラック等が挙げられる。
支持部材は、第1外部電極及び第2外部電極を露出させるように形成することが好ましい。この場合、上述した方法により支持部材を形成した後、支持部材の表面を研磨又は切削して、第1外部電極及び第2外部電極の上面を露出させる加工を行ってもよいし、第1外部電極及び第2外部電極を露出させたまま、支持部材を塗布等する方法等を採用してもよい。
基板の第2主面(下面)側からレーザ光(例えば、KrFエキシマレーザ、YAGレーザなど)を照射して、半導体積層体及び離間半導体層から基板を分離する。基板を分離する方法は、公知のレーザリフトオフ法を利用することができる。例えば、特開2007−300134号公報に記載の方法、特開2012−15150号公報に記載のレーザリフトオフ装置、市販のレーザリフトオフ装置(UX4-LEDsLLO150、ウシオ電機製)等を利用することができる。
半導体積層体から基板を分離した後、その基板が存在していた面に、透光性部材を形成することが好ましい。
透光性部材は、発光層から出射される光の80%以上を透過するもの、さらには90%以上を透過するものが好ましい。透光性部材は、例えば、シリコーン樹脂組成物、変性シリコーン樹脂組成物、エポキシ樹脂組成物、変性エポキシ樹脂組成物、アクリル樹脂組成物等、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂、フッ素樹脂及びこれらの樹脂を少なくとも1種以上含むハイブリッド樹脂等の樹脂等によって形成することができる。透光性部材には、当該分野で公知の蛍光体、光散乱材、無機フィラー等を含有していてもよい。
透光性部材は、単層でもよいし、積層構造でもよく、蛍光体、光散乱材、無機フィラー等の2種以上を組み合わせて配置してもよい。
支持部材側から、ブレードを用いて離間半導体層を切断する。これによって、複数の発光素子を個片化することができる。
ブレードは、従来から当該分野で使用されているもののいずれをも使用することができる。ブレードによる切断の使用条件等も、適宜調整することができる。
また、機械切削具による分割を行う場合であっても、半導体積層体と離間した離間半導体層を切断することにより、発光素子を構成する領域の半導体積層体にクラックが生じるのを効果的に防止することができる。その結果、発光素子としての信頼性を確保することができる。
さらに、分割予定ラインに沿う周辺領域では、厚み方向の全てに樹脂が配置されているのではなく基板が分離された側の表面に離間半導体層が存在する。よって、機械切削具による樹脂のバリを効果的に防止することができる。
<実施の形態1>
この実施の形態で製造される発光素子10は、図1Aから図1Dに示すように、主に、半導体積層体11と、離間半導体層12と、光反射性電極13と、第1保護膜14と、第2保護膜15と、第1電極16と、第2電極17と、支持部材18と、第1外部電極19と、第2外部電極20と、透光性部材21とを備えて、平面視が略長方形の形状で構成されている。
なお、図1Aは4単位の発光素子10を示すものであり、図1Bは図1AのA−A’線断面図における1単位の発光素子の電極構造のみを、図1Cは図1AのB−B’線断面図における1単位の発光素子の電極構造のみを詳細に示す拡大図である。
離間半導体層12は、第1半導体層からなり、半導体積層体11と溝部22によって離間されている。つまり、離間半導体層12は、第2半導体層のそれぞれの周縁部を囲むように、溝部22に挟まれて配置されている。溝部22は、半導体積層体11の外周の全部を取り囲んで配置されており、幅が10μm〜15μm程度である。
第2保護膜15は、第1保護膜14と、第1半導体層3の上で10μm程度離間して、第1半導体層3上から第2半導体層上にわたって配置されている。第2保護膜15は、第2半導体層4上の一部領域において開口23を有する。
第2電極17は、第2保護膜15の第2半導体層上の一部領域上における開口23内に形成されており、第2半導体層4と電気的に接続されている。
第1電極16は、図1Dに示すように、半導体層側から、ASC(膜厚0.3μm程度)膜16a、Ti(膜厚0.3μm程度)膜16b、Pt(膜厚0.1μm程度)膜16c及びAu(膜厚0.5μm程度)膜16dが積層されてなる。第2電極17も、これらと同一の積層構造を有する。
第2外部電極20は、第2保護膜15に形成された開口23内で第2半導体層と接続された第2電極17とボンディングされたワイヤ20aと、ワイヤ20aの端部に接続され、上述した支持部材18の上面に配置する電極パターンとによって構成されている。
図2A(a)に示すように、表面に凹凸を有するサファイアウェハからなる基板2上に、例えば、InXAlYGa1-X-YN(0≦X、0≦Y、X+Y<1)からなる第1半導体層3、発光層29及び第2半導体層4を積層して半導体積層体11を形成する。
次いで、半導体積層体11の第2半導体層上に、Ag、Ni、Ti及びRuからなる積層膜を成膜し、フォトリソグラフィ及びエッチング工程によって、所定の形状にそれぞれパターニングする。続いて、これらパターニングした積層膜上にAlCuからなる単層膜を成膜し、それぞれパターニングして、積層膜の上面及び側面の全てを被覆する単層膜を形成し、第2半導体層と電気的に接続され、互いに離間した複数の光反射性電極13を形成する。
図2A(g)に示すように、得られたウェハ上に、ワイヤボンディングしたワイヤW、第1電極16及び第2電極17、半導体積層体11を被覆するように、支持部材18を形成する。支持部材18は、例えば、ワイヤWのトップまで埋設するように形成する。
図2A(h)に示すように、その後、第1電極16及び第2電極17上でワイヤWの断面を露出するように、支持部材18を切削する。切断されたワイヤWのうち、第1電極16と接続されたものがワイヤ19a、第2電極17と接続されたものがワイヤ20aとなる。この際、支持部材18の上面は略平坦に切削される。
図2A(i)に示すように、得られた支持部材18の上面に、支持部材18側から、Ni及びAuからなる積層膜を成膜し、フォトリソグラフィ及びエッチング工程によって、所定の形状にそれぞれパターニングする。これによって、第1電極16と接続されたワイヤ19aに接続される電極パターン19dと、第2電極17と接続されたワイヤ20aに接続される電極パターン20dとを形成する。
その後、図2A(l)に示すように、支持部材18側から、ブレード24を用いて離間半導体層12を切断し、複数の発光素子10を個片化する。
また、ブレードによる分割を行う際に、ブレードが、離間半導体層と、半導体積層体上を被覆する第2保護膜と分離した第1保護膜とを切断するため、半導体積層体へのクラックを効果的に防止することができる。その結果、発光素子を構成する領域の半導体積層体へのクラックを生じさせることを阻止することができる。
さらに、ブレードによる切断の際に、厚み方向の全てに樹脂が配置されず、離間半導体層が配置されるために、ブレードの押引に起因する樹脂のバリを効果的に防止することができる。
この実施の形態で製造される1単位の発光素子20は、図3Aから図3Cに示すように、隣接する離間半導体層12の間に、溝部26が2本配置し、言い換えると、第1溝部22の外側において、第1溝部22の周縁部を囲むように第2溝部26が配置し、第1離間半導体層12から離間する第2離間半導体層27が配置されている以外、発光素子10と同様の構成を有する。
第2溝部26の幅及び深さは、第1溝部22と同様である。
このような発光素子は、実質的に実施の形態1で説明した製造方法によって製造することができる。なお、半導体積層体11の形成する工程、および、第1半導体層3を露出させる工程(すなわち、図3A(a)と図3A(b)にあたる工程)については、実施の形態1と同様であるため、図示を省略する。
例えば、実施の形態1における図2A(c)に代えて図3A(c)に示すように、複数の第2半導体層4のうちの互いに隣接する第2半導体層4間であって、露出した第1半導体層3内に、基板2表面に至る第1溝部22を形成する。その後、隣接する第1溝部22の間に第2溝部26を2本形成する。これによって、第2溝部26に挟まれ、第1島状半導体層12から離間する第2島状半導体層27を形成することができる。
続いて、図3C(l)に示すように、支持部材18側から、ブレード24を用いて離間半導体層27を切断し、複数の発光素子を個片化する。この際、離間半導体層27は、離間半導体層12よりも半導体積層体11から離れているため、離間半導体層27を切断することで、半導体積層体11にクラック等のダメージを与える可能性をより低くすることができる。
3 第1半導体層
4 第2半導体層
10 発光素子
11 半導体積層体
12 離間半導体層(第1離間半導体層)
13 光反射性電極
13a Ag膜
13b Ni膜
13c Ti膜
13d Pt膜
13e AlCu膜
14、28 第1保護膜
15 第2保護膜
16 第1電極
16a ASC膜
16b Ti膜
16c Pt膜
16d Au膜
17 第2電極
18 支持部材
19 第1外部電極
19a、20a、W ワイヤ
19b、20b Ni膜
19c、20c Au膜
20 第2外部電極
21 透光性部材
22 溝部(第1溝部)
23 開口
24 ブレード
26 溝部(第2溝部)
27 離間半導体層(第2離間半導体層)
29 発光層
Claims (7)
- 基板の第1主面上に、第1半導体層と、前記第1半導体層の一部の領域上に配置する複数の第2半導体層とを有する半導体積層体を準備し、
隣接する前記第2半導体層間における前記第1半導体層に、前記基板の第1主面に至る溝部を、前記第2半導体層のそれぞれの周縁部を囲むように形成して前記溝部に挟まれ、前記半導体積層体から離間する離間半導体層を形成し、
前記溝部及び前記離間半導体層を一体的に被覆する第1保護膜を形成し、
前記第1保護膜の前記基板と反対の面側に、樹脂からなる支持部材を設け、
前記基板の前記第1主面と反対側の第2主面側からレーザ光を照射して、前記半導体積層体及び前記離間半導体層から前記基板を分離し、
前記支持部材側から、ブレードを用いて前記離間半導体層を切断して複数の発光素子へ個片化することを含むことを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記溝部の幅は、35μmより小さい請求項1に記載の発光素子の製造方法。
- 基板の第1主面上に、第1半導体層と、前記第1半導体層の一部の領域上に配置する複数の第2半導体層とを有する半導体積層体を準備し、
隣接する前記第2半導体層間における前記第1半導体層に、前記基板の第1主面に至る溝部を、前記第2半導体層のそれぞれの周縁部を囲むように複数形成して前記溝部に挟まれ、前記半導体積層体から離間する離間半導体層を複数形成し、
複数の前記溝部及び複数の前記離間半導体層を一体的に被覆する第1保護膜を形成し、
前記第1保護膜の前記基板と反対の面側に、樹脂からなる支持部材を設け、
前記基板の前記第1主面と反対側の第2主面側からレーザ光を照射して、前記半導体積層体及び前記離間半導体層から前記基板を分離し、
前記支持部材側から、ブレードを用いて複数の前記離間半導体層のうちいずれかを切断して複数の発光素子へ個片化することを含むことを特徴とする発光素子の製造方法。 - 複数の前記離間半導体層のうち、前記半導体積層体から最も離れた前記離間半導体層を切断する請求項3に記載の発光素子の製造方法。
- 該第1保護膜と前記第1半導体層上で分離し、前記第1半導体層上から第2半導体層上を覆い、前記第2半導体層上の一部に開口を有する第2保護膜を形成し、
前記第1保護膜と前記第2保護膜とが分離して露出する前記第1半導体層と電気的に接続され、かつ前記第2保護膜上に延在する第1電極と、前記開口を介して前記第2半導体層と電気的に接続された第2電極とを形成し、
前記第1電極及び前記第2電極にそれぞれ接続された第1外部電極及び第2外部電極を形成し、
前記第1外部電極及び第2外部電極を露出させる前記支持部材を形成する請求項1〜4のいずれか1つに記載の発光素子の製造方法。 - 前記離間半導体層を形成後、前記第2半導体層に接続される光反射性電極を形成し、
その後、前記光反射性電極を覆うように前記第2保護膜を形成し、
前記第2保護膜における前記開口を介して前記光反射性電極と接続された前記第2電極を形成する請求項5に記載の発光素子の製造方法。 - 前記第2半導体層を、平面視が四角形で、かつ前記基板の第1主面上に行列方向に複数配列させる請求項1〜6のいずれか1つに記載の発光素子の製造方法。
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