JP2015195369A - 電圧非直線抵抗素子及びその製法 - Google Patents
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Abstract
Description
酸化亜鉛を主成分とし体積抵抗率が1.0×10-1Ωcm以下の酸化亜鉛セラミックス層と酸化ビスマスを主成分とする酸化ビスマス層とが接合された接合体を少なくとも1つ含む電圧非直線抵抗体と、
前記酸化亜鉛セラミックス層と前記酸化ビスマス層との接合面を導電経路が横切るように前記電圧非直線抵抗体に形成された一対の電極と、
を備えたものである。
(a)酸化亜鉛を主成分とし体積抵抗率が1.0×10-1Ωcm以下の酸化亜鉛セラミックス層に、酸化ビスマスを主成分とする酸化ビスマス層をスパッタで形成することにより接合体を得る工程と、
(b)前記接合体を少なくとも2つ用意し、一方の接合体の前記酸化ビスマス層と他方の接合体の前記酸化亜鉛セラミックス層との間に導体箔を挟んで重ね合わせるか又は何も挟まず直接重ね合わせ、その状態で不活性雰囲気中で300〜700℃の熱処理を行うことにより前記接合体を接合し積層した電圧非直線抵抗体を得る工程と、
(c)一対の電極を、前記酸化亜鉛セラミックス層と前記酸化ビスマス層との接合面を導電経路が横切るように形成する工程と、
を含むもの、
あるいは、
(a)酸化亜鉛を主成分とし体積抵抗率が1.0×10-1Ωcm以下の酸化亜鉛セラミックス層に、酸化ビスマスを主成分とする酸化ビスマス層をスパッタで形成することにより接合体を得る工程と、
(b)前記接合体を少なくとも2つ用意し、一方の接合体の前記酸化ビスマス層と他方の接合体の前記酸化ビスマス層との間に導体箔を挟んで重ね合わせるか又は何も挟まず直接重ね合わせ、その状態で不活性雰囲気中で300〜700℃の熱処理を行うことにより前記接合体を接合し積層した電圧非直線抵抗体を得る工程と、
(c)一対の電極を、前記酸化亜鉛セラミックス層と前記酸化ビスマス層との接合面を導電経路が横切るように形成する工程と、
を含むものである。
酸化亜鉛セラミックス層12aは、体積抵抗率が1.0×10-1Ωcm以下、好ましくは1.0×10-3Ωcm以下の酸化亜鉛セラミックスブロックから所定サイズの板材として切り出すことにより得ることができる。酸化亜鉛セラミックスブロックは、酸化亜鉛セラミックスにドーパントとしてAl,Ga,Inなどの3価のイオンを固溶させたり、酸化亜鉛粉末を非酸化雰囲気で焼成して酸素欠陥を導入したりすることにより、得ることができる。ドーパントを固溶させた酸化亜鉛セラミックスブロックを得るには、まず、酸化亜鉛粉末にAl2O3,Ga2O3,In2O3などの3価の金属酸化物粉末を0.05〜2.0質量%となるように混合し、所定形状の成形体となるように成形する。次に、この成形体を、非酸化雰囲気(例えば窒素雰囲気やアルゴン雰囲気)下、900〜1200℃で数時間保持した後、さらに1300〜1500℃に昇温して数時間焼成する。こうすることにより、体積抵抗率の低い酸化亜鉛セラミックスブロックを比較的容易に得ることができる。目的とする体積抵抗率になるようにするには、酸化亜鉛粉末に混合する3価の金属酸化物粉末の質量%を調整したり、焼成温度を調整したりすればよい。また、原料に用いる酸化亜鉛粉末は、平均粒径が0.02〜5μmであることが好ましい。3価の金属酸化物粉末は、平均粒径が0.01〜0.5μmであることが好ましい。3価の金属酸化物粉末としては、Al2O3粉末が好ましい。Al2O3粉末としては、θアルミナを用いてもよいし、γアルミナやベーマイトなどを用いてもよい。一方、酸化亜鉛粉末を非酸化雰囲気で焼成して体積抵抗率の低い酸化亜鉛セラミックスブロックを得るには、例えば、酸化亜鉛粉末を非酸化雰囲気(例えば窒素雰囲気やアルゴン雰囲気)下、1300〜1500℃で数時間保持して焼成する。
酸化ビスマス層12bは、酸化ビスマス単体であってもよいが、酸化ビスマスを主成分とし他の酸化物(例えばSb2O3,Cr2O3,MnO,CoO,ZnO,SiO2など)を副成分として含んでいてもよい。酸化ビスマス層12bが酸化ビスマス単体の場合、例えば、酸化ビスマスをターゲットとして酸化亜鉛セラミックス層12a上にスパッタにより酸化ビスマス層12bを形成してもよい。スパッタのほかに真空蒸着やイオンプレーティングなどを用いてもよい。あるいは、酸化ビスマス粉末を含有するペーストを酸化亜鉛セラミックス層12aに塗布、乾燥し、比較的低温(例えば200〜700℃、好ましくは200〜500℃)で熱処理して酸化ビスマス層12bとしてもよい。一方、酸化ビスマス層12bが副成分を含む場合、酸化ビスマスのほかに副成分もターゲットとして用い、多元同時スパッタにより酸化亜鉛セラミックス層12a上に酸化ビスマス層12bを形成してもよい。あるいは、酸化ビスマス粉末のほかに副成分の粉末を含有するペーストを酸化亜鉛セラミックス層12aに塗布、乾燥し、比較的低温で熱処理して酸化ビスマス層12bとしてもよい。熱処理の場合、比較的低温のため酸化亜鉛セラミックス層12aが熱の影響を受けて体積抵抗率が上昇するおそれはほとんどないが、スパッタの場合、より低温で処理できるためこうしたおそれを確実に回避できる。
本実施形態では、抵抗体14は、酸化亜鉛セラミックス層12aと酸化ビスマス層12bとを接合した接合体12を1つ有している。電極16,18は、この抵抗体14の両面に、電極材料を蒸着したりスパッタすることにより作製することができる。電極材料としては、金、銀、白金、アルミなどが挙げられる。あるいは、板状の電極16,18を用意し、それらを抵抗体14の各面に導電性接合材を介して接合してもよい。
酸化亜鉛(平均粒径1.5μm)にθアルミナ(平均粒径0.02μm)を1質量%混合し成形した成形体を、N2雰囲気にて1100℃で5時間保持後、さらに1400℃に昇温して5時間焼成を行い、酸化亜鉛セラミックスブロックを作製した。この酸化亜鉛セラミックスブロックの体積抵抗率は9.3×10-4Ωcmであった。得られた酸化亜鉛セラミックスブロックを10mm×10mm×1mmの板状に切り出して酸化亜鉛セラミックス薄板を得た。この薄板の表面を研磨、洗浄したのち、酸化ビスマスをターゲットに用い、高周波プラズマスパッタリングを行い、酸化亜鉛セラミックス薄板の表面に酸化ビスマスのスパッタ膜(厚さ0.3μm)を成膜し、接合体を得た。スパッタにはULVAC機工製RFS−200を用いた。成膜条件は以下のとおり。ターゲットサイズ:直径80mm,RF出力:20W,ガス圧(Ar);2.0Pa,成膜時間:15分。
酸化亜鉛にθアルミナを2質量%混合した以外は、実施例1と同様にして酸化亜鉛セラミックスブロックを作製した。この酸化亜鉛セラミックスブロックの体積抵抗率は1.1×10-4Ωcmであった。この酸化亜鉛セラミックスブロックを10mm×10mm×1mmの板状に切り出して酸化亜鉛セラミックス薄板とし、この薄板を用いて実施例1と同様にして接合体を製造した。得られた接合体をそのまま抵抗体として用い、抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子とした。この電圧非直線抵抗素子の両電極に実施例1と同様にして電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。測定結果を表1及び図6に示す。1mA/cm2相当の電流値における制限電圧は2.7V、20A/cm2相当の電流値における制限電圧は3.4Vであった。
酸化亜鉛に硝酸アルミニウム水溶液をAl2O3に換算して0.001質量%となるように添加し、水分量が50質量%となるように水を加え、更に微量のバインダー及び消泡剤を加えた後、超音波撹拌を30分間、羽撹拌を30分間行うことにより混合した。混合後、スプレードライヤーにより造粒して造粒物を得た。造粒物を目開き200μmの篩にて篩通しした後、成形し、脱脂後、大気雰囲気で1400℃、5時間焼成し、酸化亜鉛セラミックスブロックを作製した。この酸化亜鉛セラミックスブロックの体積抵抗率は3.0×10-1Ωcmであった。得られた酸化亜鉛セラミックスブロックを10mm×10mm×1mmの板状に切り出して酸化亜鉛セラミックス薄板を得た。この酸化亜鉛セラミックス薄板の表面に実施例1と同様にして酸化ビスマスのスパッタ膜を成膜し、接合体を得た。得られた接合体をそのまま抵抗体として用い、抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子とした。この電圧非直線抵抗素子の両電極に実施例1と同様にして電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。測定結果を表1及び図6に示す。1mA/cm2相当の電流値における制限電圧は2.5V、20A/cm2相当の電流値における制限電圧は10.2Vであった。
酸化亜鉛に硝酸アルミニウム水溶液をAl2O3に換算して0.002質量%となるように添加した以外は、比較例1と同様にして酸化亜鉛セラミックスブロックを作製した。この酸化亜鉛セラミックスブロックの体積抵抗率は1.5×10-1Ωcmであった。この酸化亜鉛セラミックスブロックを10mm×10mm×1mmの板状に切り出して酸化亜鉛セラミックス薄板とし、この薄板を用いて実施例1と同様にして接合体を製造した。得られた接合体をそのまま抵抗体として用い、抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子とした。この電圧非直線抵抗素子の両電極に実施例1と同様にして電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。測定結果を表1及び図6に示す。1mA/cm2相当の電流値における制限電圧は2.6V、20A/cm2相当の電流値における制限電圧は8.8Vであった。
酸化亜鉛にCo3O4,MnO2,NiO粉末を酸化亜鉛に対してそれぞれ1.2,0.50,0.47質量%となるように混合し、硝酸アルミニウム水溶液をAl2O3に換算して0.0018質量%添加した。この混合粉を成形し大気雰囲気で1300℃、1時間ホットプレス焼成し、酸化亜鉛セラミックスブロックを作製した。この酸化亜鉛セラミックスブロックの体積抵抗率は2.1×10-1Ωcmであった。この酸化亜鉛セラミックスブロックを10mm×10mm×1mmの板状に切り出して酸化亜鉛セラミックス薄板とし、この薄板を用いて実施例1と同様にして接合体を製造した。得られた接合体をそのまま抵抗体として用い、抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子とした。この電圧非直線抵抗素子の両電極に実施例1と同様にして電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。測定結果を表1及び図6に示す。1mA/cm2相当の電流値における制限電圧は2.7V、20A/cm2相当の電流値における制限電圧は9.0Vであった。
実施例2と同様にして作製した接合体を2つ用意した。一方の接合体の酸化亜鉛セラミックス薄板ともう一方の接合体の酸化ビスマスのスパッタ膜との間にAu−Ge合金(質量比でAu/Ge=88/12)の箔(厚さ50μm)を挟んで両接合体を重ね合わせた。その状態で、不活性雰囲気下、420℃、10分間の熱処理を行い、両接合体を接合し、積層型の抵抗体を得た。得られた抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子を得た(図2参照)。この電圧非直線抵抗素子の両電極に電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。なお、酸化亜鉛セラミックス薄板に設けられた電極を陽極とし、スパッタ膜に設けられた電極を陰極とした。その結果、図示しないが、実施例2と同様の電圧非直線抵抗特性を示すことを確認した。この場合の非直線性領域(電流0.01〜2A/cm2の領域)の制限電圧は実施例2に比べておよそ2倍であった。
酸化亜鉛に硝酸アルミニウム水溶液をAl2O3に換算して0.1質量%となるように添加した以外は、比較例1と同様にして酸化亜鉛セラミックスブロックを作製した。この酸化亜鉛セラミックスブロックの体積抵抗率は1.0×10-1Ωcmであった。この酸化亜鉛セラミックスブロックを10mm×10mm×1mmの板状に切り出して酸化亜鉛セラミックス薄板とし、この薄板を用いて実施例1と同様にして接合体を製造した。得られた接合体をそのまま抵抗体として用い、抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子とした。この電圧非直線抵抗素子の両電極に実施例1と同様にして電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。測定結果を表1及び図6に示す。1mA/cm2相当の電流値における制限電圧は2.6V、20A/cm2相当の電流値における制限電圧は6.1Vであった。
酸化亜鉛にθアルミナを0.5質量%混合した以外は、実施例1と同様にして酸化亜鉛セラミックスブロックを作製した。この酸化亜鉛セラミックスブロックの体積抵抗率は8.9×10-3Ωcmであった。この酸化亜鉛セラミックスブロックを10mm×10mm×1mmの板状に切り出して酸化亜鉛セラミックス薄板とし、この薄板を用いて実施例1と同様にして接合体を製造した。得られた接合体をそのまま抵抗体として用い、抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子とした。この電圧非直線抵抗素子の両電極に実施例1と同様にして電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。測定結果を表1及び図6に示す。1mA/cm2相当の電流値における制限電圧は2.7V、20A/cm2相当の電流値における制限電圧は5.2Vであった。
実施例2と同様にして作製した酸化亜鉛セラミックスブロックを10mm×10mm×1mmの板状に切り出して酸化亜鉛セラミックス薄板を得た。この薄板の表面を研磨、洗浄したのち、酸化ビスマスにSb2O3,Co3O4,MnO2粉末をそれぞれ酸化ビスマスに対し2.5,6.7,1.8質量%となるように混合、成形し大気雰囲気で700℃、2時間焼成したものをターゲットに用い、高周波プラズマスパッタリングを行い、酸化亜鉛セラミックス薄板の表面に酸化ビスマスを主成分とするスパッタ膜(厚さ0.3μm)を成膜し、接合体を得た。スパッタにはULVAC機工製RFS−200を用いた。成膜条件は以下のとおり。ターゲットサイズ:直径80mm,RF出力:20W,ガス圧(Ar);2.0Pa,成膜時間:20分。得られた接合体をそのまま抵抗体として用い、抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子とした。この電圧非直線抵抗素子の両電極に実施例1と同様にして電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。その結果、図示しないが、実施例2と同様の電圧非直線抵抗特性を示すことを確認した。測定結果を表2に示す。1mA/cm2相当の電流値における制限電圧は2.6V、20A/cm2相当の電流値における制限電圧は3.2Vであった。
実施例6と同様にして作製した接合体を2つ用意した。一方の接合体の酸化亜鉛セラミックス薄板ともう一方の接合体の酸化ビスマスのスパッタ膜との間にAu−Ge合金(質量比でAu/Ge=88/12)の箔(厚さ50μm)を挟んで両接合体を重ね合わせた。その状態で、不活性雰囲気下、420℃、10分間の熱処理を行い、両接合体を接合し、積層型の抵抗体を得た。得られた抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子を得た(図2参照)。この電圧非直線抵抗素子の両電極に電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。なお、酸化亜鉛セラミックス薄板に設けられた電極を陽極とし、スパッタ膜に設けられた電極を陰極とした。この電圧非直線抵抗素子の両電極に実施例1と同様にして電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。その結果、図示しないが、実施例2と同様の電圧非直線抵抗特性を示すことを確認した。測定結果を表2に示す。1mA/cm2相当の電流値における制限電圧は5.2V、20A/cm2相当の電流値における制限電圧は6.4Vであり、実施例6の2倍であった。
実施例6と同様にして作製した接合体を2つ用意した。一方の接合体の酸化亜鉛セラミックス薄板ともう一方の接合体の酸化ビスマスのスパッタ膜との間にAg箔(厚さ20μm)を挟んで両接合体を重ね合わせて、不活性雰囲気下、700℃、30分間の熱処理を行い、両接合体を接合し、積層型の抵抗体を得た。得られた抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子を得た(図2参照)。この電圧非直線抵抗素子の両電極に電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。なお、酸化亜鉛セラミックス薄板に設けられた電極を陽極とし、スパッタ膜に設けられた電極を陰極とした。この電圧非直線抵抗素子の両電極に実施例1と同様にして電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。その結果、図示しないが、実施例2と同様の電圧非直線抵抗特性を示すことを確認した。測定結果を表2に示す。1mA/cm2相当の電流値における制限電圧は5.3V、20A/cm2相当の電流値における制限電圧は6.6Vであり、実施例6のおよそ2倍であった。
実施例6と同様にして作製した接合体を2つ用意した。一方の接合体の酸化亜鉛セラミックス薄板ともう一方の接合体の酸化ビスマスのスパッタ膜との間にAg箔(厚さ20μm)を挟んで両接合体を重ね合わせて、不活性雰囲気下、900℃、30分間の熱処理を行い、両接合体を接合し、積層型の抵抗体を得た。得られた抵抗体の両面にAl蒸着電極を設け、電圧非直線抵抗素子を得た(図2参照)。この電圧非直線抵抗素子の両電極に電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。なお、酸化亜鉛セラミックス薄板に設けられた電極を陽極とし、スパッタ膜に設けられた電極を陰極とした。この電圧非直線抵抗素子の両電極に実施例1と同様にして電圧を印加して電流−電圧特性を測定した。その結果、作製した抵抗体により、電圧非直線抵抗特性を示すものと示さないものが見られた。測定結果を表2に示す。電圧非直線抵抗特性を示したものでも、1mA/cm2相当の電流値における制限電圧は5.3V、20A/cm2相当の電流値における制限電圧は15.0Vであり、実施例6の2倍よりはるかに高い制限電圧となった。
Claims (7)
- 酸化亜鉛を主成分とし体積抵抗率が1.0×10-1Ωcm以下の酸化亜鉛セラミックス層と酸化ビスマスを主成分とする酸化ビスマス層とが接合された接合体を少なくとも1つ含む電圧非直線抵抗体と、
前記酸化亜鉛セラミックス層と前記酸化ビスマス層との接合面を導電経路が横切るように前記電圧非直線抵抗体に形成された一対の電極と、
を備えた電圧非直線抵抗素子。 - 前記酸化亜鉛セラミックス層は、Al2O3、In2O3及びGa2O3からなる群より選ばれた1つ以上を含有する、
請求項1に記載の電圧非直線抵抗素子。 - 前記酸化ビスマス層は、前記酸化亜鉛セラミックス層にスパッタにより形成されている、
請求項1又は2に記載の電圧非直線抵抗素子。 - 前記電圧非直線抵抗体は、前記接合体が2つ以上積層され、隣り合う酸化亜鉛セラミックス層同士の間に、酸化ビスマス層が介在するか、酸化ビスマス層と導体層とが介在するか、酸化ビスマス層と導体層と酸化ビスマス層とが介在する、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の電圧非直線抵抗素子。 - (a)酸化亜鉛を主成分とし体積抵抗率が1.0×10-1Ωcm以下の酸化亜鉛セラミックス層に、酸化ビスマスを主成分とする酸化ビスマス層をスパッタで形成することにより接合体を得る工程と、
(b)前記接合体を少なくとも2つ用意し、一方の接合体の前記酸化ビスマス層と他方の接合体の前記酸化亜鉛セラミックス層との間に導体箔を挟んで重ね合わせるか又は何も挟まず直接重ね合わせ、その状態で不活性雰囲気中で300〜700℃の熱処理を行うことにより前記接合体を接合し積層した電圧非直線抵抗体を得る工程と、
(c)一対の電極を、前記酸化亜鉛セラミックス層と前記酸化ビスマス層との接合面を導電経路が横切るように形成する工程と、
を含む電圧非直線抵抗素子の製法。 - (a)酸化亜鉛を主成分とし体積抵抗率が1.0×10-1Ωcm以下の酸化亜鉛セラミックス層に、酸化ビスマスを主成分とする酸化ビスマス層をスパッタで形成することにより接合体を得る工程と、
(b)前記接合体を少なくとも2つ用意し、一方の接合体の前記酸化ビスマス層と他方の接合体の前記酸化ビスマス層との間に導体箔を挟んで重ね合わせるか又は何も挟まず直接重ね合わせ、その状態で不活性雰囲気中で300〜700℃の熱処理を行うことにより前記接合体を接合し積層した電圧非直線抵抗体を得る工程と、
(c)一対の電極を、前記酸化亜鉛セラミックス層と前記酸化ビスマス層との接合面を導電経路が横切るように形成する工程と、
を含む電圧非直線抵抗素子の製法。 - 工程(b)の熱処理の温度が300〜500℃である、
請求項5又は6に記載の電圧非直線抵抗素子の製法。
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