JP2015195343A - 圧電素子、圧電アクチュエーター装置、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び超音波測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流路形成基板用ウェハー110に、第1電極60と、少なくともPb、Nb及びTiを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる圧電体層70と、第2電極80と、が順次積層されている。圧電体層70を構成する結晶は正方晶の構造を有し、結晶は基板用ウェハーに{100}配向しており、この結晶の格子内には、積層方向に対して垂直な(100)面及び(001)面を有する各領域が混在する。
【選択図】図5
Description
かかる態様によれば、90°ドメイン回転を利用して変位を生じさせる圧電体層の圧電定数を向上させることができ、圧電特性に優れた圧電素子となる。
[式1]
xPb(Mg,Nb)O3−(1−x)PbTiO3・・・(1)
(0.20≦x≦0.60)
これによれば、90°ドメイン回転を利用して変位を生じさせる圧電素子の圧電定数をより向上させることができ、圧電特性により優れた圧電素子となる。
[式2]
xPb(Mg,Nb)O3−(1−x)PbTiO3・・・(1)
(0.20≦x≦0.60)
これによれば、90°ドメイン回転を利用して変位を生じさせる圧電素子の圧電定数をより向上させることができ、圧電特性の向上を更に図ることができる圧電素子となる。
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置である。
xPb(Mg,Nb)O3−(1−x)PbTiO3・・・(1)
xPb(M’1/3,Nb2/3)O3−(1−x)PbTiO3・・・(2)
xPb1+α(Mg1/3,Nb2/3)O3−(1−x)Pb1+αTiO3・・・(3)
(0.20≦x≦0.60が好ましく、0.30≦x≦0.45がより好ましい)
以下、本発明の実施形態2について、上記の実施形態1と異なる部分を中心に詳述する。本発明の第2の実施の形態に係る圧電素子は、流路形成基板10に、第1電極60と、少なくともPb、Nb及びTiを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる圧電体層70と、第2電極80と、が順次積層されており、圧電体層70は、第1電極60側に形成された下地層70aと、下地層70a上に設けられたメイン層70mと、を具備し、圧電体層70全体のショートモードにおけるヤング率が、下地層70aのショートモードにおけるヤング率の25%未満であるものである。
図10(a)に示すように、ショートモードにおけるヤング率が小さくなるほど圧電特性の向上に有利である。ショートモードにおけるヤング率は、圧電基本式(圧電定数d=定数K33×(誘電率ε×弾性コンプライアンスS)1/2)にて弾性コンプライアンス(ヤング率の逆数)として用いられる所謂ヤング率である。この圧電基本式からも、圧電体層全体のヤング率が低くなれば弾性コンプライアンスが大きくなり、その結果、圧電定数が大きくなることが分かる。
<PZT前駆体溶液(下地層70a用前駆体溶液)の調製>
容器に酢酸及び水を量り取り、次いで酢酸鉛、ジルコニウムブトキシド、チタニウムテトラ−i−プロポキシド、及びポリエチレングリコールを量り取って、これらを90℃で加熱撹拌を行うことで前駆体溶液を作製した。
次いで、容器に2−ブトキシエタノールとジメチルアミノエタノールを量り取り混合溶液を作製した。乾燥窒素を充填したグローブボックス中でチタニウムテトラ−i−プロポキシドとニオブペンタ−n−ブトキシドとを量り取り、上記の混合溶液に混合した。その後、室温にて十分撹拌した後に、大気下で酢酸マグネシウム及び酢酸鉛をそれぞれ量り取り、室温にて混合/撹拌を行うことで、PMN−PT前駆体溶液を作製した。尚、チタニウム−i−プロポキシド、ニオブペンタ−n−ブトキシド、酢酸マグネシウム、及び酢酸鉛は、一般式(3)で表される組成に従い、x及びαを表1に示す割合となるように調製した。
6inchシリコン基板を熱酸化することで基板上に二酸化シリコン膜を形成した。次に、スパッター法にてジルコニウム膜を作製し、熱酸化させることで酸化ジルコニウム膜(絶縁体膜52)を作製した。絶縁体膜52上にスパッター法にてチタン、白金、イリジウム、チタンの順番で作製することで、第1電極60を作製した。
実施例1と同様のプロセスにより、一般式(3)で表される組成のx及びαを表1に示す割合となるようにして、実施例2〜6の圧電素子300を作製した。
第1電極の構成を下記に変更した以外は実施例1と同様に作製することで比較例1を作製した。すなわち、第1電極について、6inchシリコン基板上を熱酸化することで二酸化シリコン膜を形成した。次に、原子層化学気相成長法(Atomic−Layer Chemical vapor deposition;ALCVD法)にて酸化アルミニウム膜を作製した。この酸化アルミニウム膜上にスパッター法にて白金を作製することで第1電極を作製した。
第1電極60までは実施例1と同様に作製し、PZT前駆体溶液を用いてセラミックス膜(下地層70a)を作製するための工程を8回行うことにより、計8層からなるPZT圧電体層を形成した。
<走査型電子顕微鏡観察>
実施例1〜6及び比較例1〜2の膜厚を、破断面の走査電子顕微鏡(SEM)により観察した。いずれも柱状結晶であり、実施例1〜6と比較例1〜2とで膜厚以外は大きな差は見られなかった。SEM観察により測定した膜厚を表1に示す。尚、表1の実施例1〜6における「膜厚」の数値には下地層70aの膜厚130nmが含まれている。
実施例1〜6及び比較例1〜2について、東陽テクニカ社製「FCE−1A」を用い、φ=500μmの電極パターンを使用し、室温で周波数1kHzの三角波を印加して、分極量(μC cm−2)と電界(V)の関係(P−V loop)を求めた。図11(a)に、実施例1を±20Vで測定したP−V loop(破線:wake−up処理前)と、AC±45Vのwake−up処理を行った後に±20Vで測定したP−V loop(実線:wake−up処理後)と、を示す。同様に、図11(b)に実施例3の測定結果を示す。実施例1及び3によれば、wake−up処理によりP−V loopが変化し、xの組成が小さいほど分極量が大きく変化した。これは、90°ドメインの内部成分が活性化されたことによりc軸成分の割合が増加したことに起因している。
実施例1〜6及び比較例1〜2の結晶構造及び配向性を、Bruker AXS社製「D8 Discover」、線源はCuKα、検出器は2次元検出器(GADDS)を使用し、2次元マッピング画像及び回折パターンを測定した。画像として検出できる範囲は装置構成による制限から、(100)ピークが検出される2θ=22.5°相当でφ=±30°、(110)ピークが検出される2θ=32.5°相当でφ=±32°、(111)ピークが検出される2θ=40°相当でφ=±26°である。
ここで、XRDの回折パターンの線幅(半値全幅:FWHM)から結晶子径を評価できることが知られている。シェラーの式は、D=Kλ/Bcosθで表される。このうち、Dは結晶子サイズ、Kはシェラー定数、λはX線の波長(CuKα=1.5418Å)、BはFWHMから装置固有の線幅を引いた試料の線幅、θはブラッグ角(回折角2θの半分)である。
圧電体層70のメイン層70mにおける配向制御は下地層70aとの格子整合性が重要であることが知られている。表2に下地層70aであるPZTの(200)ピークと、メイン層70mであるPMN−PTの(002)及び(200)ピークの格子不整合率を示す。尚、格子不整合率は、ブラッグの条件である、2dsinθ=nλに基づきd値を求め、そのd値の差分の絶対値として求めた。
実施例1〜6及び比較例1〜2について、アグザクト社製の変位測定装置(DBLI)を用い、ユニポーラモードで電界誘起歪量―電圧の関係を求めた。測定温度は室温(25℃)、電極パターンはφ=500μm、波形は三角波、周波数は周波数1kHzで測定を行った。
2層からなる下地層を作製した以外は、実施例1と同様のプロセスにより、実施例7の圧電素子300Aを作製した。すなわち、第1電極パターン上に、スパッター法にてチタン膜を形成し、このチタン膜上に下地層70aを作製した手順と同様の手順にて、PZTからなるセラミックス膜(下地層70b)を作製した。そして、セラミックス膜(下地層70a,70b)上に9層のセラミックス膜(前駆体膜74)からなるメイン層70mを作製し、これらの下地層70a,70b及びメイン層70mを具備する圧電体層70を得て圧電素子300Aを構成し、これを有する圧電アクチュエーターを作製した。
圧電体層70の全体をPZTとした以外は実施例7と同様のプロセスにて、圧電素子を有する圧電アクチュエーターを作製した。
<形状観察>
実施例7及び比較例3における加工形状についてSEMを用い測定した。その結果、実施例7及び比較例3は、両者で特性に影響を及ぼし得る特異な形状の有意差は観測されなかった。尚、後述するヤング率計算では、ここでのSEM観察により得られた形状の実測値を用いた。
実施例7及び比較例3の圧電アクチュエーターについて、Polytec社製NLV−2500を用い、室温(25℃)における振動板変位を測定した。測定条件は周波数1kHzの台形波、電位差は25Vで測定した。その結果、実施例7の振動板変位量は519nm、比較例3の振動板変位量は391nmであった。この結果、実施例7では比較例3と比較して33%の変位量の向上が確認された。
実施例7の圧電アクチュエーターについて、ヒューレットパッカード社製「4294A」を用い、室温(25℃)におけるインピーダンスの周波数依存性を測定した。印加電圧は5±0.5V、測定周波数は1MHz〜4MHzの範囲で測定を行った。
実施例7の圧電アクチュエーターについて、Polytec社製NLV−2500を用い、室温(25℃)における共振状態での振動板の共振モードの同定を行った。入力波は5±0.5VのSin波を使用し、電圧を印加した振動板(ONセグメント)及びその隣接の振動板(隣接セグメント)の任意の場所で変位量及び位相を測定した。
尚、比較例3の圧電アクチュエーターについても同様に測定したところ、約3.10MHzで同位相モードであることが確認された。
まず、SEM観察から求めた圧電アクチュエーター形状の実測値及び各種部材(SiO2,ZrO2,Ti,Pt,Ir,PZT)のヤング率とポアソン比から、同位相モードの共振周波数を計算した。尚、計算は2次元で行い、ONセグメント及び隣接セグメントの変形を考慮して計算した。
オープンモードのヤング率測定のため、CSIRO社製UMIS−2000を用い、ナノインデンテーター測定を行った。その結果、比較例3の圧電アクチュエーターでは、ショートモードのヤング率は、オープンモードのヤング率の61%であった。
以上、本発明の圧電素子や、圧電素子が搭載される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上記のものに限定されるものではない。例えば、上記の実施形態では、流路形成基板10として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、SOI基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。
Claims (22)
- 基板に、第1電極と、少なくともPb、Nb及びTiを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる圧電体層と、第2電極と、が順次積層されており、
前記圧電体層を構成する結晶は正方晶の構造を有し、
前記結晶は前記基板に{100}配向しており、
前記結晶の格子内には、前記積層方向に対して垂直な(100)面及び(001)面を有する各領域が混在することを特徴とする圧電素子。 - 前記圧電体層のうち、少なくとも一部の層を構成する前記複合酸化物は、下記の一般式(1)で表されるものであることを特徴とする請求項1に記載の圧電素子。
xPb(Mg,Nb)O3−(1−x)PbTiO3・・・(1)
(0.20≦x≦0.60) - 前記結晶の結晶子径D(002)が15nm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電素子。
- 前記結晶における結晶子径D(200)及び結晶子径D(002)の比(D(200)/D(002))が3より大きいことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の圧電素子。
- 前記圧電体層は、前記第1電極側に形成された下地層と、前記下地層上に設けられたメイン層と、を具備し、
前記下地層は、前記メイン層を構成する前記複合酸化物のc軸と1%未満の格子整合性を有し、かつ前記メイン層を構成する複合酸化物のa軸及びb軸と1%以上の格子不整合を有することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の圧電素子。 - 前記メイン層の比誘電率が、前記下地層の比誘電率よりも小さいことを特徴とする請求項5に記載の圧電素子。
- 前記メイン層を構成する複合酸化物のc軸とa軸の比(c/a)が1.026〜1.015であることを特徴とする請求項5又は6に記載の圧電素子。
- 前記下地層がPZTであることを特徴とする請求項5〜7の何れか一項に記載の圧電素子。
- 基板に、第1電極と、少なくともPb、Nb及びTiを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる圧電体層と、第2電極と、が順次積層されており、
前記圧電体層は、前記第1電極側に形成された下地層と、前記下地層上に設けられたメイン層と、を具備し、
前記圧電体層全体のショートモードにおけるヤング率が、前記下地層のショートモードにおけるヤング率の25%未満であることを特徴とする圧電素子。 - 前記圧電体層全体のショートモードにおけるヤング率が、前記圧電体層全体のオープンモードにおけるヤング率の50%以下であることを特徴とする請求項9に記載の圧電素子。
- 前記圧電体層を構成する結晶は正方晶の構造を有し、
前記結晶は前記基板に{100}配向しており、
前記結晶の格子内には、前記積層方向に対して垂直な(100)面及び(001)面を有する各領域が混在することを特徴とする請求項9又は10に記載の圧電素子。 - 前記結晶の結晶子径D(002)が15nm以下であることを特徴とする請求項11に記載の圧電素子。
- 前記結晶における結晶子径D(200)及び結晶子径D(002)の比(D(200)/D(002))が3より大きいことを特徴とする請求項11又は12に記載の圧電素子。
- 前記下地層は、前記メイン層を構成する前記複合酸化物のc軸と1%未満の格子整合性を有し、かつ前記メイン層を構成する複合酸化物のa軸及びb軸と1%以上の格子不整合を有することを特徴とする請求項9〜13の何れか一項に記載の圧電素子。
- 前記メイン層の比誘電率が、前記下地層の比誘電率よりも小さいことを特徴とする請求項14に記載の圧電素子。
- 前記メイン層を構成する複合酸化物のc軸とa軸の比(c/a)が1.026〜1.015であることを特徴とする請求項14又は15に記載の圧電素子。
- 前記メイン層を構成する前記複合酸化物は、下記の一般式(1)で表されるものであることを特徴とする請求項9〜16の何れか一項に記載の圧電素子。
xPb(Mg,Nb)O3−(1−x)PbTiO3・・・(1)
(0.20≦x≦0.60) - 前記下地層がPZTであることを特徴とする請求項9〜17の何れか一項に記載の圧電素子。
- 請求項1〜18の何れか一項に記載の圧電素子を具備することを特徴とするアクチュエーター装置。
- 請求項19に記載のアクチュエーター装置を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項20に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 請求項1〜18の何れか一項に記載の圧電素子と、
前記圧電素子により発信される前記超音波、及び前記圧電素子により受信される前記超音波の少なくとも一方に基づく信号を利用して検出対象を測定する制御手段と、を具備することを特徴とする超音波測定装置。
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