JP2015185657A - 搬送装置 - Google Patents
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- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 95
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 48
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 12
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 47
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 11
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
1、101、201 搬送装置
2、102、202、301 吸着保持手段
21 吸着パッド
34、108、208、306 修正部
35、107、207、308 下端面
36、105、205、307 内側面
37、109、209、309 テーパ面
4 吊持アーム(吊持部)
41 吊り下げ穴(連結部)
43 移動手段
5 吊り下げ軸(吊持部)
52 抜け止め部(連結部)
6、110、212 テーブル
61、112 載置面
62 段部
63、112、214 基準上面
64、111、215 基準側面
Claims (3)
- 板状ワークを吸着保持する吸着保持手段と、該吸着保持手段を吊持する吊持部と、該吊持部で吊持する該吸着保持手段を移動する移動手段と、を備え、
該吸着保持手段がテーブルに載置される板状ワークを吸着保持して該テーブルから搬出する、もしくは、該吸着保持手段が保持する板状ワークを該テーブルに搬入する搬送装置であって、
該テーブルは、板状ワークを載置する載置面と、該載置面の外周から下がった位置で該載置面に平行な基準上面と、該載置面の外周縁から該基準上面に垂下する基準側面と、を備え、
該吸着保持手段は、該吊持部の連結部に遊嵌状態で吊持され、該テーブルに載置される板状ワークの上面を吸着する吸着面を有する吸着パッドと、該吸着パッドの外側に配置される修正部と、を備え、
該修正部は、該基準上面に接触し該テーブルの傾きと該吸着パッドの傾きとを一致させる下端面と、該基準側面に接触して該テーブルの中心と該吸着パッドの中心とを一致させる内側面と、該内側面に連接され下側に広がって形成されるテーパ面と、を備え、
該移動手段で該吸着保持手段を該テーブルに接近させたとき、該テーパ面が該基準側面の上端に接触して該吸着保持手段の降下を案内し、該基準側面と該内側面とを接触させると共に、該基準上面と該下端面とを接触させ、該テーブルで該吸着保持手段を支持可能とし、かつ該吊持部の該連結部で該吸着保持手段を該吊持部から切り離し可能としていて、
該連結部は、該吸着保持手段を該テーブルで支持させ該吊持部から切り離した後、再び該吸着保持手段を吊持した時に切り離し前と同じ位置および同じ傾きで吊持し、
該テーブルの中心と該吸着パッドの中心を一致させると共に、該テーブルの傾きと該吸着パッドの傾きを一致させて板状ワークを搬送する搬送装置。 - 該修正部は、該吸着パッドを囲繞する円筒形状で、内壁を該基準側面に接触させる該内側面と、下端を該基準上面に接触させる該下端面と、該下端面と該内側面とが連接される部分に下側に広がって形成される該テーパ面とを備える請求項1記載の搬送装置。
- 該修正部は、該吸着パッドの中心を中心とする円に少なくとも3つの柱状の修正柱を該吸着パッドの外側に配設させる構成で、該吸着パッドの中心に対面する少なくとも3つの該修正柱の側面を該基準側面に接触させる該内側面と、該修正柱の下端を該基準上面に接触させる該下端面と、該内側面と該下端面とが連接される部分に下側に広がって形成される該テーパ面とを備える請求項1記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014060067A JP6271312B2 (ja) | 2014-03-24 | 2014-03-24 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014060067A JP6271312B2 (ja) | 2014-03-24 | 2014-03-24 | 搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015185657A true JP2015185657A (ja) | 2015-10-22 |
JP6271312B2 JP6271312B2 (ja) | 2018-01-31 |
Family
ID=54351877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014060067A Active JP6271312B2 (ja) | 2014-03-24 | 2014-03-24 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6271312B2 (ja) |
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2014
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A621 | Written request for application examination |
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