JP2003340570A - 導電性ボール除去装置 - Google Patents
導電性ボール除去装置Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】傾いた吸着ヘッドのボール保持面に対しても除
去手段を一定間隔を保って移動させ、ボール保持面の不
要な導電性ボールを確実に除去することのできる導電性
ボール除去装置を提供すること。 【解決手段】導電性ボール除去装置に次の解決手段を採
用する。第１に、吸着ヘッド４の下面にボール保持面１
１を形成する。第２に、保持面上の不要なボールを取り
除く除去手段５を設ける。第３に、保持面と除去手段を
相対的に接近隔離させる移動機構６，７を設ける。第４
に、除去手段を支持部材に傾斜角度変化可能に支持させ
る。第５に、除去手段よりも上方へ突出し、吸着ヘッド
のボール保持面に当接する複数の当接部材を除去手段に
装着する。第６に、ボール保持面と除去手段が接近した
際に、当接部材をボール保持面に当接させて、除去手段
を該保持面の傾きに倣わせる。
去手段を一定間隔を保って移動させ、ボール保持面の不
要な導電性ボールを確実に除去することのできる導電性
ボール除去装置を提供すること。 【解決手段】導電性ボール除去装置に次の解決手段を採
用する。第１に、吸着ヘッド４の下面にボール保持面１
１を形成する。第２に、保持面上の不要なボールを取り
除く除去手段５を設ける。第３に、保持面と除去手段を
相対的に接近隔離させる移動機構６，７を設ける。第４
に、除去手段を支持部材に傾斜角度変化可能に支持させ
る。第５に、除去手段よりも上方へ突出し、吸着ヘッド
のボール保持面に当接する複数の当接部材を除去手段に
装着する。第６に、ボール保持面と除去手段が接近した
際に、当接部材をボール保持面に当接させて、除去手段
を該保持面の傾きに倣わせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボール搭載
装置における吸着ヘッドの導電性ボール保持面に保持さ
れた不要な導電性ボールを除去する装置に関するもので
ある。
装置における吸着ヘッドの導電性ボール保持面に保持さ
れた不要な導電性ボールを除去する装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来より導電性ボール搭載装置における
吸着ヘッドの導電性ボール保持面に保持された余剰ボー
ル等の不要な導電性ボールを、除去する手段として吸引
ノズルで除去する装置が存在した。しかし、吸着ヘッド
の導電性ボールの保持面は必ずしも水平ではなく、Ｘ軸
方向（前後方向）、Ｙ軸方向（左右方向）、Ｚ軸方向
（上下方向）及びこれらの複合方向に傾いている場合が
ある。
吸着ヘッドの導電性ボール保持面に保持された余剰ボー
ル等の不要な導電性ボールを、除去する手段として吸引
ノズルで除去する装置が存在した。しかし、吸着ヘッド
の導電性ボールの保持面は必ずしも水平ではなく、Ｘ軸
方向（前後方向）、Ｙ軸方向（左右方向）、Ｚ軸方向
（上下方向）及びこれらの複合方向に傾いている場合が
ある。
【０００３】そこで、不要な導電性ボールを除去するた
め、ボール除去装置の吸引ノズルの傾きを吸着ヘッドの
ボール保持面の傾きと合致させる必要が生じる。これに
は事前に上記吸引ノズル又は吸着ヘッドを機械的に調整
するという方法で対応していた。
め、ボール除去装置の吸引ノズルの傾きを吸着ヘッドの
ボール保持面の傾きと合致させる必要が生じる。これに
は事前に上記吸引ノズル又は吸着ヘッドを機械的に調整
するという方法で対応していた。
【０００４】しかし、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及
び複合方向に傾いた吸着ヘッドのボール保持面の傾きに
合わせて、ボール除去装置の吸引ノズルを機械的に調整
することや、吸着ヘッドの保持面の機械的調整は困難で
面倒な作業であった。又、導電性ボールが微小、例えば
直径０．１ｍｍ程度の半田ボールの場合には、吸着ヘッ
ドのボール保持面とボール除去装置の吸引ノズルの間隔
が広くなると、ボール保持面に存在する不要な半田ボー
ルの除去ができない場合が生じてしまう。
び複合方向に傾いた吸着ヘッドのボール保持面の傾きに
合わせて、ボール除去装置の吸引ノズルを機械的に調整
することや、吸着ヘッドの保持面の機械的調整は困難で
面倒な作業であった。又、導電性ボールが微小、例えば
直径０．１ｍｍ程度の半田ボールの場合には、吸着ヘッ
ドのボール保持面とボール除去装置の吸引ノズルの間隔
が広くなると、ボール保持面に存在する不要な半田ボー
ルの除去ができない場合が生じてしまう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、Ｘ軸
方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向又はこれらの複合方向に傾い
た吸着ヘッドのボール保持面に対してもボール除去装置
における吸引ノズルのような除去手段を一定の間隔を保
って移動させることにより、ボール保持面の不要な導電
性ボールを確実に除去することのできる導電性ボール除
去装置を提供することを目的とする。
方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向又はこれらの複合方向に傾い
た吸着ヘッドのボール保持面に対してもボール除去装置
における吸引ノズルのような除去手段を一定の間隔を保
って移動させることにより、ボール保持面の不要な導電
性ボールを確実に除去することのできる導電性ボール除
去装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、上記課題
を解決するため、導電性ボール除去装置に次の手段を採
用する。第１に、吸着ヘッドの下面に、複数の導電性ボ
ールを吸着保持するボール保持面を形成する。第２に、
該保持面上の不要な導電性ボールに作用して取り除く除
去手段を設ける。第３に、該保持面と除去手段を相対的
に移動させて接近隔離させる移動機構を設ける。第４
に、除去手段を支持部材に傾斜角度変化可能に支持させ
る。第５に、除去手段よりも上方へ突出し、吸着ヘッド
のボール保持面に当接する複数の当接部材を除去手段に
一体的に装着する。第６に、吸着ヘッドのボール保持面
と除去手段が接近した際に、当接部材をボール保持面に
当接させて、除去手段を該保持面の傾きに倣わせる。
を解決するため、導電性ボール除去装置に次の手段を採
用する。第１に、吸着ヘッドの下面に、複数の導電性ボ
ールを吸着保持するボール保持面を形成する。第２に、
該保持面上の不要な導電性ボールに作用して取り除く除
去手段を設ける。第３に、該保持面と除去手段を相対的
に移動させて接近隔離させる移動機構を設ける。第４
に、除去手段を支持部材に傾斜角度変化可能に支持させ
る。第５に、除去手段よりも上方へ突出し、吸着ヘッド
のボール保持面に当接する複数の当接部材を除去手段に
一体的に装着する。第６に、吸着ヘッドのボール保持面
と除去手段が接近した際に、当接部材をボール保持面に
当接させて、除去手段を該保持面の傾きに倣わせる。
【０００７】第２の発明は、前記課題を解決するため、
導電性ボール除去装置に次の手段を採用する。第１に、
吸着ヘッドの下面に、複数の導電性ボールを吸着保持す
るボール保持面を形成する。第２に、該保持面上の不要
な導電性ボールに作用して取り除く除去手段を設ける。
第３に、該保持面と除去手段を相対的に移動させて接近
隔離させる移動機構を設ける。第４に、吸着ヘッドを傾
斜角度変化可能に支持する。第５に、除去手段よりも上
方へ突出し、吸着ヘッドのボール保持面に当接する複数
の当接部材を除去手段に一体的に装着する。第６に、吸
着ヘッドのボール保持面と除去手段が接近した際に、当
接部材をボール保持面に当接させて、除去手段に該保持
面を倣わせる。
導電性ボール除去装置に次の手段を採用する。第１に、
吸着ヘッドの下面に、複数の導電性ボールを吸着保持す
るボール保持面を形成する。第２に、該保持面上の不要
な導電性ボールに作用して取り除く除去手段を設ける。
第３に、該保持面と除去手段を相対的に移動させて接近
隔離させる移動機構を設ける。第４に、吸着ヘッドを傾
斜角度変化可能に支持する。第５に、除去手段よりも上
方へ突出し、吸着ヘッドのボール保持面に当接する複数
の当接部材を除去手段に一体的に装着する。第６に、吸
着ヘッドのボール保持面と除去手段が接近した際に、当
接部材をボール保持面に当接させて、除去手段に該保持
面を倣わせる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って、実施例と共
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、半田
ボール搭載装置１の全体を示す概略説明図であり、第１
実施例では、本発明における導電性ボールとして、直径
０．１ｍｍの半田ボール２が用いられている。勿論、本
発明における導電性ボールが上記半田ボール２に限定さ
れるものではない。
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、半田
ボール搭載装置１の全体を示す概略説明図であり、第１
実施例では、本発明における導電性ボールとして、直径
０．１ｍｍの半田ボール２が用いられている。勿論、本
発明における導電性ボールが上記半田ボール２に限定さ
れるものではない。
【０００９】該半田ボール搭載装置１は、図１中左方よ
り、半田ボール２が多数貯留されているボール供給装置
３と、半田ボール２を真空吸引して保持する吸着ヘッド
４と、不要な半田ボール２を除去するボール除去装置５
と、吸着ヘッド４のＸ軸移動装置６（図１中左右への移
動装置）と、吸着ヘッド４のＺ軸移動装置７（図１中上
下方向への移動装置）と、半田ボール２が搭載されるウ
エハが載置されるＸ−Ｙテーブル８とが設けられてい
る。
り、半田ボール２が多数貯留されているボール供給装置
３と、半田ボール２を真空吸引して保持する吸着ヘッド
４と、不要な半田ボール２を除去するボール除去装置５
と、吸着ヘッド４のＸ軸移動装置６（図１中左右への移
動装置）と、吸着ヘッド４のＺ軸移動装置７（図１中上
下方向への移動装置）と、半田ボール２が搭載されるウ
エハが載置されるＸ−Ｙテーブル８とが設けられてい
る。
【００１０】尚、Ｘ軸移動装置６及びＺ軸移動装置７
は、吸着ヘッド４のボール供給装置３上方への移動、ボ
ール吸着のための下降及びＸ−Ｙテーブル８上方への移
動、ボール搭載動作のための下降の駆動力となってい
る。
は、吸着ヘッド４のボール供給装置３上方への移動、ボ
ール吸着のための下降及びＸ−Ｙテーブル８上方への移
動、ボール搭載動作のための下降の駆動力となってい
る。
【００１１】Ｘ−Ｙテーブル８は、Ｘ軸駆動テーブル９
及びＹ軸駆動テーブル１０上に設置されており、平面移
動可能に構成されており、搭載の際の位置合わせに用い
られる。
及びＹ軸駆動テーブル１０上に設置されており、平面移
動可能に構成されており、搭載の際の位置合わせに用い
られる。
【００１２】吸着ヘッド４は、複数の半田ボール２を吸
着保持するボール保持面１１が、吸着ヘッド４の下面に
形成されている。吸着ヘッド４は、図示されていないバ
キューム源と接続されており、バキューム源からの負圧
によりボール保持面１１に半田ボール２を吸着保持す
る。図２が、半田ボール２を吸着保持した状態を示す吸
着ヘッド４の下面を示す底面説明図である。
着保持するボール保持面１１が、吸着ヘッド４の下面に
形成されている。吸着ヘッド４は、図示されていないバ
キューム源と接続されており、バキューム源からの負圧
によりボール保持面１１に半田ボール２を吸着保持す
る。図２が、半田ボール２を吸着保持した状態を示す吸
着ヘッド４の下面を示す底面説明図である。
【００１３】図２中、中央の円形部分が吸着ヘッド４下
面に形成された吸着プレート１２であり、吸着プレート
１２の外側が吸着ヘッド４下面のフレーム１３である。
第１実施例は、フレーム１３と吸着プレート１２とで、
本発明のボール保持面１１を構成している。後述するロ
ーラ２１は上記フレーム１３に当接し、吸着ヘッド４の
移動に従って回転することになる。
面に形成された吸着プレート１２であり、吸着プレート
１２の外側が吸着ヘッド４下面のフレーム１３である。
第１実施例は、フレーム１３と吸着プレート１２とで、
本発明のボール保持面１１を構成している。後述するロ
ーラ２１は上記フレーム１３に当接し、吸着ヘッド４の
移動に従って回転することになる。
【００１４】尚、図２には、適正に吸着保持された半田
ボール２と余剰ボールである不要な半田ボール２２が示
されている。
ボール２と余剰ボールである不要な半田ボール２２が示
されている。
【００１５】図３は、ボール除去装置５の１実施例を示
す側面説明図であり、図４が、同正面断面説明図であ
る。図３及び図４に示されるように、本第１実施例では
本発明における除去手段として吸引ノズル１４を用い
る。ボール除去装置５は、吸着ヘッド４のボール保持面
１１の不要な半田ボール２２を吸引して取り除く吸引ノ
ズル１４が設けられている。吸引ノズル１４は、図３中
左右方向に吸着プレート１２の幅に対応する横長なノズ
ルで、上端部に横長の吸引スリット２５が形成され、内
部に図示されていない真空源と接続された空部２６が形
成されたものである。
す側面説明図であり、図４が、同正面断面説明図であ
る。図３及び図４に示されるように、本第１実施例では
本発明における除去手段として吸引ノズル１４を用い
る。ボール除去装置５は、吸着ヘッド４のボール保持面
１１の不要な半田ボール２２を吸引して取り除く吸引ノ
ズル１４が設けられている。吸引ノズル１４は、図３中
左右方向に吸着プレート１２の幅に対応する横長なノズ
ルで、上端部に横長の吸引スリット２５が形成され、内
部に図示されていない真空源と接続された空部２６が形
成されたものである。
【００１６】吸引ノズル１４は、支持部材２７に傾斜角
度変化可能に支持される。具体的に説明すると、吸引ノ
ズル１４は、ホルダ１５に固定ねじ１６にて固定され、
該ホルダ１５を、エアーシリンダ１７のロッド１８の先
端に設けられた支点軸１９に、支点軸１９を支点として
揺動可能に装着したものである。尚、支点軸１９は、吸
引ノズル１４の長手方向中央の下方に設けられている。
従って、吸引ノズル１４もホルダ１５と共に支点軸１９
を支点として揺動する。
度変化可能に支持される。具体的に説明すると、吸引ノ
ズル１４は、ホルダ１５に固定ねじ１６にて固定され、
該ホルダ１５を、エアーシリンダ１７のロッド１８の先
端に設けられた支点軸１９に、支点軸１９を支点として
揺動可能に装着したものである。尚、支点軸１９は、吸
引ノズル１４の長手方向中央の下方に設けられている。
従って、吸引ノズル１４もホルダ１５と共に支点軸１９
を支点として揺動する。
【００１７】支点軸１９には、揺動範囲を限定するため
のストッパーブロック２０が設けられており、該ストッ
パーブロック２０に吸引ノズル１４の底面が当接するま
で揺動可能とされている。
のストッパーブロック２０が設けられており、該ストッ
パーブロック２０に吸引ノズル１４の底面が当接するま
で揺動可能とされている。
【００１８】尚、該エアーシリンダ１７は、押し付けバ
ネ的機能を持たせるものである。従って、この押し付け
バネ的機能を吸着ヘッド４側に、もたせれば、支持部材
２７側に設ける必要はない。
ネ的機能を持たせるものである。従って、この押し付け
バネ的機能を吸着ヘッド４側に、もたせれば、支持部材
２７側に設ける必要はない。
【００１９】吸引ノズル１４の両側端部には、吸引ノズ
ル１４よりも上方へ突出し、吸着ヘッド４のボール保持
面１１に当接するローラ２１が、吸引ノズル１４に一体
的に装着されている。該ローラ２１が、本発明における
当接部材に相当する。ローラ２１は、吸着ヘッド４のボ
ール保持面１１と吸引ノズル１４が接近した際に、ロー
ラ２１が保持面１１に当接し、吸引ノズル１４をボール
保持面１１の傾きに倣わせる役割を有する。
ル１４よりも上方へ突出し、吸着ヘッド４のボール保持
面１１に当接するローラ２１が、吸引ノズル１４に一体
的に装着されている。該ローラ２１が、本発明における
当接部材に相当する。ローラ２１は、吸着ヘッド４のボ
ール保持面１１と吸引ノズル１４が接近した際に、ロー
ラ２１が保持面１１に当接し、吸引ノズル１４をボール
保持面１１の傾きに倣わせる役割を有する。
【００２０】ローラ２１は、回転支軸２３に回転自在に
取り付けられている。尚、この回転支軸２３自体は回転
しない。ローラ２１は、吸引ノズル１４に固定軸２４に
より、高さ位置調整可能に装着されている。この高さ位
置の調整は、固定軸２４をローラ２１の回転支軸２３側
面に偏心させて装着し、回転支軸２３を偏心回動させる
ことでローラ２１の高さを調整するという方法を採用し
ている。この方法により不要な半田ボール２２除去のた
めの吸着ヘッド４のボール保持面１１と吸引ノズル１４
の最適間隔に調整する。
取り付けられている。尚、この回転支軸２３自体は回転
しない。ローラ２１は、吸引ノズル１４に固定軸２４に
より、高さ位置調整可能に装着されている。この高さ位
置の調整は、固定軸２４をローラ２１の回転支軸２３側
面に偏心させて装着し、回転支軸２３を偏心回動させる
ことでローラ２１の高さを調整するという方法を採用し
ている。この方法により不要な半田ボール２２除去のた
めの吸着ヘッド４のボール保持面１１と吸引ノズル１４
の最適間隔に調整する。
【００２１】次に、半田ボール搭載装置１の動作と共に
第１実施例のボール除去装置の動作について説明する。
先ず、Ｘ軸移動装置６が作動し、吸着ヘッド４はボール
供給装置３上方に移動する。次に、Ｚ軸移動装置７の作
動により、吸着ヘッド４は下降し、ボール供給装置３よ
り半田ボール２を吸着プレート１２に設けられた吸着孔
に吸着し、半田ボール２を吸着したら、再びＺ軸移動装
置７により上昇する。
第１実施例のボール除去装置の動作について説明する。
先ず、Ｘ軸移動装置６が作動し、吸着ヘッド４はボール
供給装置３上方に移動する。次に、Ｚ軸移動装置７の作
動により、吸着ヘッド４は下降し、ボール供給装置３よ
り半田ボール２を吸着プレート１２に設けられた吸着孔
に吸着し、半田ボール２を吸着したら、再びＺ軸移動装
置７により上昇する。
【００２２】上昇後、吸着ヘッド４は、Ｘ軸移動装置６
により、図１中右方への移動を開始し、ボール除去装置
５上方に至り、横移動を一旦停止する。ここでボール除
去装置５のエアーシリンダ１７が作動して、吸引ノズル
１４は、吸着ヘッド４のボール保持面１１に向かって上
昇し押し付けられる。
により、図１中右方への移動を開始し、ボール除去装置
５上方に至り、横移動を一旦停止する。ここでボール除
去装置５のエアーシリンダ１７が作動して、吸引ノズル
１４は、吸着ヘッド４のボール保持面１１に向かって上
昇し押し付けられる。
【００２３】押し付けられると、吸引ノズル１４の両側
には、吸引ノズル１４よりも上方へ突出したローラ２１
が装着されているため、該ローラ２１が、ボール保持面
１１に当接する。
には、吸引ノズル１４よりも上方へ突出したローラ２１
が装着されているため、該ローラ２１が、ボール保持面
１１に当接する。
【００２４】このときボール保持面１１が傾斜している
と、一方のローラ２１はボール保持面１１に当接する
が、他方のローラ２１は、ボール保持面１１と離れた状
態となっている。この状態で更にエアーシリンダ１７の
押し付けが継続すると、吸引ノズル１４は支点軸１９に
揺動可能、すなわち傾斜角度を変化できる状態で装着さ
れているため、揺動し、他方のローラ２１もボール保持
面１１に当接する。
と、一方のローラ２１はボール保持面１１に当接する
が、他方のローラ２１は、ボール保持面１１と離れた状
態となっている。この状態で更にエアーシリンダ１７の
押し付けが継続すると、吸引ノズル１４は支点軸１９に
揺動可能、すなわち傾斜角度を変化できる状態で装着さ
れているため、揺動し、他方のローラ２１もボール保持
面１１に当接する。
【００２５】この位置関係で、吸着ヘッド４がＸ軸移動
装置６により横移動すると、吸引ノズル１４はボール保
持面１１の傾きに倣うので、ボール保持面１１と吸引ノ
ズル１４は、何れの位置でも等間隔となり適正に不要な
半田ボール２２の除去が行われる。実施例では吸着ヘッ
ド４を横移動させているが、吸引ノズル１４が横移動す
るものであっても良い。
装置６により横移動すると、吸引ノズル１４はボール保
持面１１の傾きに倣うので、ボール保持面１１と吸引ノ
ズル１４は、何れの位置でも等間隔となり適正に不要な
半田ボール２２の除去が行われる。実施例では吸着ヘッ
ド４を横移動させているが、吸引ノズル１４が横移動す
るものであっても良い。
【００２６】不要なボールを除去した後、吸着ヘッド４
は、更に図中右方へ移動し、Ｘ−Ｙテーブル８のボール
搭載位置上方に移動する。次に、Ｚ軸移動装置７により
吸着ヘッド４を下降させてボール搭載動作を行うのであ
る。尚、上記動作説明におけるボール除去装置５は、ボ
ール搭載装置１がボール搭載前に動作する場合について
説明したが、ボール搭載後にボール保持面１１に保持さ
れたままとなっている搭載ミスボール（持ち帰り半田ボ
ール２）の除去に対しても用いることができるこは当然
である。
は、更に図中右方へ移動し、Ｘ−Ｙテーブル８のボール
搭載位置上方に移動する。次に、Ｚ軸移動装置７により
吸着ヘッド４を下降させてボール搭載動作を行うのであ
る。尚、上記動作説明におけるボール除去装置５は、ボ
ール搭載装置１がボール搭載前に動作する場合について
説明したが、ボール搭載後にボール保持面１１に保持さ
れたままとなっている搭載ミスボール（持ち帰り半田ボ
ール２）の除去に対しても用いることができるこは当然
である。
【００２７】次に、図５に示す半田ボール除去の第２実
施例ついて説明する。第２実施例の基本的構成は、第１
実施例と共通するが、第２実施例は、第１実施例とは逆
に、ボール除去装置５の吸引ノズル１４は傾斜角度変化
機能を有さず固定されており、吸着ヘッド４が傾斜角度
変化可能に支持されている点で異なる。
施例ついて説明する。第２実施例の基本的構成は、第１
実施例と共通するが、第２実施例は、第１実施例とは逆
に、ボール除去装置５の吸引ノズル１４は傾斜角度変化
機能を有さず固定されており、吸着ヘッド４が傾斜角度
変化可能に支持されている点で異なる。
【００２８】すなわち、Ｚ軸移動装置７に取り付けられ
た支持部材２７の下方部に球体軸受け２８を形成し、該
球体軸軸受け２８に継ぎ手２９の球体３０を摺動及び固
定自在に嵌合し、該継ぎ手２９に吸着ヘッド４が取り付
けられている。従って、球面軸受け２８の固定解除時に
吸着ヘッド４が傾斜角度変化可能となる。
た支持部材２７の下方部に球体軸受け２８を形成し、該
球体軸軸受け２８に継ぎ手２９の球体３０を摺動及び固
定自在に嵌合し、該継ぎ手２９に吸着ヘッド４が取り付
けられている。従って、球面軸受け２８の固定解除時に
吸着ヘッド４が傾斜角度変化可能となる。
【００２９】この第２実施例でのボール除去動作につい
て説明すれば、以下の通りである。吸着ヘッド４が、Ｘ
軸移動装置６により、図１中右方への移動を開始し、ボ
ール除去装置５上方に至り、横移動を一旦停止する。こ
こで吸着ヘッド４は、Ｚ軸移動装置７により、吸引ノズ
ル１４に向かって下降し、吸引ノズル１４に、吸着ヘッ
ド４のボール保持面１１を押し付ける。勿論、第１実施
例のように吸引ノズル１４が上昇して押し付ける方法で
も良い。このとき、吸引ノズル１４の両側には、吸引ノ
ズル１４よりも上方へ突出したローラ２１が装着されて
いるため、該ローラ２１が、ボール保持面１１に当接す
る。
て説明すれば、以下の通りである。吸着ヘッド４が、Ｘ
軸移動装置６により、図１中右方への移動を開始し、ボ
ール除去装置５上方に至り、横移動を一旦停止する。こ
こで吸着ヘッド４は、Ｚ軸移動装置７により、吸引ノズ
ル１４に向かって下降し、吸引ノズル１４に、吸着ヘッ
ド４のボール保持面１１を押し付ける。勿論、第１実施
例のように吸引ノズル１４が上昇して押し付ける方法で
も良い。このとき、吸引ノズル１４の両側には、吸引ノ
ズル１４よりも上方へ突出したローラ２１が装着されて
いるため、該ローラ２１が、ボール保持面１１に当接す
る。
【００３０】吸着ヘッド４のボール保持面１１が傾斜し
ていると、一方のローラ２１はボール保持面１１に当接
するが、他方のローラ２１は、ボール保持面１１と離れ
た状態となっている。この状態で更に押し付けを継続す
ると、吸着ヘッド４の球面軸受け２８は固定が解除さ
れ、揺動し、他方のローラ２１もボール保持面１１に当
接する。
ていると、一方のローラ２１はボール保持面１１に当接
するが、他方のローラ２１は、ボール保持面１１と離れ
た状態となっている。この状態で更に押し付けを継続す
ると、吸着ヘッド４の球面軸受け２８は固定が解除さ
れ、揺動し、他方のローラ２１もボール保持面１１に当
接する。
【００３１】この位置関係で、吸着ヘッド４がＸ軸移動
装置６により横移動すると、吸引ノズル１４に吸着ヘッ
ド４のボール保持面１１が倣って角度変化しながら移動
するので、ボール保持面１１と吸引ノズル１４は、何れ
の位置でも等間隔となり適正に不要な半田ボール２２の
除去が行われる。実施例では吸着ヘッド４を横移動させ
ているが、吸引ノズル１４が横移動するものであっても
良い。尚、第２実施例でもボール供給動作及びボール搭
載動作は第１実施例と同様である。
装置６により横移動すると、吸引ノズル１４に吸着ヘッ
ド４のボール保持面１１が倣って角度変化しながら移動
するので、ボール保持面１１と吸引ノズル１４は、何れ
の位置でも等間隔となり適正に不要な半田ボール２２の
除去が行われる。実施例では吸着ヘッド４を横移動させ
ているが、吸引ノズル１４が横移動するものであっても
良い。尚、第２実施例でもボール供給動作及びボール搭
載動作は第１実施例と同様である。
【００３２】尚、第２実施例に示されたように、吸着ヘ
ッド４のＺ軸移動装置７（図１中上下方向への移動装
置）が、本発明におけるボール保持面１１と本発明にお
ける除去手段に相当する吸引ノズル１４を相対的に移動
させて接近隔離させる移動機構となる場合もある。勿
論、第１実施例に示されるように相対的に移動可能であ
れば良いので、エアシリンダ１７が吸引ノズル１４をボ
ール保持面１１に接近隔離させる移動機構となって、ボ
ール除去装置５が上昇移動するものであっても、両者が
移動するものであっても良い。
ッド４のＺ軸移動装置７（図１中上下方向への移動装
置）が、本発明におけるボール保持面１１と本発明にお
ける除去手段に相当する吸引ノズル１４を相対的に移動
させて接近隔離させる移動機構となる場合もある。勿
論、第１実施例に示されるように相対的に移動可能であ
れば良いので、エアシリンダ１７が吸引ノズル１４をボ
ール保持面１１に接近隔離させる移動機構となって、ボ
ール除去装置５が上昇移動するものであっても、両者が
移動するものであっても良い。
【００３３】以上、第１実施例及び第２実施例とも、ボ
ール除去装置５の例として、吸引して取り除く吸引ノズ
ル１４を２を用いる場合を示したが、本発明では、不要
な導電性ボールを取り除くボール除去装置として、不要
導電性ボールに噴射圧を作用させて取り除く噴射ノズル
を用いる場合や、不要な導電性ボールに直接作用させて
取り除く接触部材を用いる場合にも利用できるものであ
る。
ール除去装置５の例として、吸引して取り除く吸引ノズ
ル１４を２を用いる場合を示したが、本発明では、不要
な導電性ボールを取り除くボール除去装置として、不要
導電性ボールに噴射圧を作用させて取り除く噴射ノズル
を用いる場合や、不要な導電性ボールに直接作用させて
取り除く接触部材を用いる場合にも利用できるものであ
る。
【００３４】
【発明の効果】本発明は、除去手段を支持部材に傾斜変
化可能に支持させると共に、除去手段よりも上方へ突出
し、吸着ヘッドのボール保持面に当接する複数の当接部
材を除去手段に一体的に装着し、吸着ヘッドのボール保
持面と除去手段が接近した際に、当接部材をボール保持
面に当接させて、除去手段を該保持面の傾きに倣わせる
ことを特徴とする導電性ボールの除去装置としたので、
吸着ヘッドのボール保持面が、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ
軸方向又はこれらの複合方向に傾いていても、微妙な調
整を必要とせず、吸着ヘッドのボール保持面に対してボ
ール除去装置の除去手段を一定の間隔を保って移動させ
ることができ、ボール保持面の不要な導電性ボールを確
実に除去することのできるものとなった。
化可能に支持させると共に、除去手段よりも上方へ突出
し、吸着ヘッドのボール保持面に当接する複数の当接部
材を除去手段に一体的に装着し、吸着ヘッドのボール保
持面と除去手段が接近した際に、当接部材をボール保持
面に当接させて、除去手段を該保持面の傾きに倣わせる
ことを特徴とする導電性ボールの除去装置としたので、
吸着ヘッドのボール保持面が、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ
軸方向又はこれらの複合方向に傾いていても、微妙な調
整を必要とせず、吸着ヘッドのボール保持面に対してボ
ール除去装置の除去手段を一定の間隔を保って移動させ
ることができ、ボール保持面の不要な導電性ボールを確
実に除去することのできるものとなった。
【００３５】請求項２の発明の効果ではあるが、吸着ヘ
ッドを傾斜角度変化可能に支持し、吸着ヘッドのボール
保持面と除去手段が接近した際に、当接部材をボール保
持面に当接させて、除去手段に該保持面を倣わせる導電
性ボール除去装置としたので、吸着ヘッドのボール保持
面に対してボール除去装置の除去手段が一定の間隔を保
って移動させることができ、ボール保持面の不要な導電
性ボールを確実に除去することのできるものとなった。
ッドを傾斜角度変化可能に支持し、吸着ヘッドのボール
保持面と除去手段が接近した際に、当接部材をボール保
持面に当接させて、除去手段に該保持面を倣わせる導電
性ボール除去装置としたので、吸着ヘッドのボール保持
面に対してボール除去装置の除去手段が一定の間隔を保
って移動させることができ、ボール保持面の不要な導電
性ボールを確実に除去することのできるものとなった。
【図１】本実施例に係る半田ボール搭載装置の全体を示
す概略説明図
す概略説明図
【図２】吸着ヘッド下面を示す底面説明図
【図３】ボール除去装置の第１実施例を示す側面説明図
【図４】同正面断面説明図
【図５】角度調整可能な吸着ヘッド利用の第２実施例を
示す概略説明図
示す概略説明図
１．．．．．．半田ボール搭載装置
２．．．．．．半田ボール
３．．．．．．ボール供給装置
４．．．．．．吸着ヘッド
５．．．．．．ボール除去装置
６．．．．．．Ｘ軸移動装置
７．．．．．．Ｚ軸移動装置
８．．．．．．Ｘ−Ｙテーブル
９．．．．．．Ｘ軸駆動テーブル
１０．．．．．Ｙ軸駆動テーブル
１１．．．．．ボール保持面
１２．．．．．吸着プレート
１３．．．．．フレーム
１４．．．．．吸引ノズル
１５．．．．．ホルダ
１６．．．．．固定ねじ
１７．．．．．エアーシリンダ
１８．．．．．ロッド
１９．．．．．支点軸
２０．．．．．ストッパーブロック
２１．．．．．ローラ
２２．．．．．不要半田ボール
２３．．．．．回転支軸
２４．．．．．固定軸
２５．．．．．吸引スリット
２６．．．．．空部
２７．．．．．支持部材
２８．．．．．球面軸受け
２９．．．．．継ぎ手
３０．．．．．球体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 石川 信二
千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式
会社技術開発本部内
(72)発明者 梶井 良久
石川県金沢市大豆田本町甲58 澁谷工業株
式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】複数の導電性ボールを吸着保持するボール
保持面を下面に有する吸着ヘッドの、該保持面上の不要
な導電性ボールに作用して取り除く除去手段と、該保持
面と除去手段を相対的に移動させて接近隔離させる移動
機構とを有する導電性ボール除去装置において、除去手
段を支持部材に傾斜角度変化可能に支持させると共に、
除去手段よりも上方へ突出し、吸着ヘッドのボール保持
面に当接する複数の当接部材を除去手段に一体的に装着
し、吸着ヘッドのボール保持面と除去手段が接近した際
に、当接部材をボール保持面に当接させて、除去手段を
該保持面の傾きに倣わせることを特徴とする導電性ボー
ルの除去装置。 - 【請求項２】複数の導電性ボールを吸着保持するボール
保持面を下面に有する吸着ヘッドの、該保持面上の不要
な導電性ボールに作用して取り除く除去手段と、該保持
面と除去手段を相対的に移動させて接近隔離させる移動
機構とを有する導電性ボール除去装置において、吸着ヘ
ッドを傾斜角度変化可能に支持させると共に、除去手段
よりも上方へ突出し、吸着ヘッドのボール保持面に当接
する複数の当接部材を除去手段に一体的に装着し、吸着
ヘッドのボール保持面と除去手段が接近した際に、当接
部材をボール保持面に当接させて、除去手段に該保持面
を倣わせることを特徴とする導電性ボールの除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002156214A JP3951117B2 (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | 導電性ボール搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002156214A JP3951117B2 (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | 導電性ボール搭載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003340570A true JP2003340570A (ja) | 2003-12-02 |
| JP3951117B2 JP3951117B2 (ja) | 2007-08-01 |
Family
ID=29772530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002156214A Expired - Fee Related JP3951117B2 (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | 導電性ボール搭載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3951117B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008203255A (ja) * | 2007-02-08 | 2008-09-04 | Ortho-Clinical Diagnostics Inc | 二次元サンプル・ハンドラー |
| JP2010167473A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Shoichi Kitano | ワイヤーアクチュエータ自動半田コテ |
| JP2010212659A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-09-24 | Hioki Ee Corp | 球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法、球状体搭載方法、球状体搭載済基板および電子部品搭載済基板 |
| JP2011077493A (ja) * | 2009-02-10 | 2011-04-14 | Hioki Ee Corp | 基板製造装置、基板製造方法、球状体搭載済基板および電子部品搭載済基板 |
-
2002
- 2002-05-29 JP JP2002156214A patent/JP3951117B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008203255A (ja) * | 2007-02-08 | 2008-09-04 | Ortho-Clinical Diagnostics Inc | 二次元サンプル・ハンドラー |
| JP2010167473A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Shoichi Kitano | ワイヤーアクチュエータ自動半田コテ |
| JP2010212659A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-09-24 | Hioki Ee Corp | 球状体吸着装置、球状体搭載装置、球状体吸着方法、球状体搭載方法、球状体搭載済基板および電子部品搭載済基板 |
| JP2011077493A (ja) * | 2009-02-10 | 2011-04-14 | Hioki Ee Corp | 基板製造装置、基板製造方法、球状体搭載済基板および電子部品搭載済基板 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3951117B2 (ja) | 2007-08-01 |
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