JP2003007752A - ボールマウント装置 - Google Patents
ボールマウント装置Info
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- JP2003007752A JP2003007752A JP2001192602A JP2001192602A JP2003007752A JP 2003007752 A JP2003007752 A JP 2003007752A JP 2001192602 A JP2001192602 A JP 2001192602A JP 2001192602 A JP2001192602 A JP 2001192602A JP 2003007752 A JP2003007752 A JP 2003007752A
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- ball
- balls
- suction head
- suction
- supplying section
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ボール吸着ヘッドとボール供給部の隙間を流れ
る空気量を制御することにより、ボール供給部の外周部
付近でもボール吸着ミスが生じず、短時間で確実なボー
ル吸着を可能とするボールマウント装置を提供する。 【解決手段】ボールを吸着するための多数の吸着孔を備
えたボール吸着ヘッド２と、多数のボールを浮遊状態に
することのできるボール供給部４と、ボール吸着ヘッド
とボール供給部とを相対的に上下動させる移動手段とを
有し、ボール吸着ヘッドにてボール供給部のボールを吸
着し、ワークにボールをマウントするボールマウント装
置において、ボール吸着ヘッドがボール供給部のボール
を吸着する時に、ボールトレイを傾斜させ、ボール吸着
ヘッドとボール供給部の隙間から流入する空気流入量を
調整する手段としてのボールトレイ傾斜装置を備える。
る空気量を制御することにより、ボール供給部の外周部
付近でもボール吸着ミスが生じず、短時間で確実なボー
ル吸着を可能とするボールマウント装置を提供する。 【解決手段】ボールを吸着するための多数の吸着孔を備
えたボール吸着ヘッド２と、多数のボールを浮遊状態に
することのできるボール供給部４と、ボール吸着ヘッド
とボール供給部とを相対的に上下動させる移動手段とを
有し、ボール吸着ヘッドにてボール供給部のボールを吸
着し、ワークにボールをマウントするボールマウント装
置において、ボール吸着ヘッドがボール供給部のボール
を吸着する時に、ボールトレイを傾斜させ、ボール吸着
ヘッドとボール供給部の隙間から流入する空気流入量を
調整する手段としてのボールトレイ傾斜装置を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半田ボール等のボ
ールを基板等に搭載する半田ボールマウント装置の改良
に関するものであって、主としてボール吸着ヘッド（マ
ウントヘッド）へのボール供給時を主眼に開発されたボ
ールマウント装置である。
ールを基板等に搭載する半田ボールマウント装置の改良
に関するものであって、主としてボール吸着ヘッド（マ
ウントヘッド）へのボール供給時を主眼に開発されたボ
ールマウント装置である。
【０００２】
【従来の技術】半田ボールマウント装置において、ボー
ル吸着ヘッドがボールトレイ（ボール供給部）に接近
し、吸着動作に入るとボール吸着ヘッドは吸着孔より外
気の吸引を開始する。これにより、ボール吸着ヘッドと
ボールトレイの隙間から空気が入り込み、吸着孔に向か
って空気は流れる。通常半田ボールは、直径が７６０乃
至１００マイクロメートル程度で極めて軽いものである
ので、空気の流れに従ってボールトレイ中央部に集まっ
てしまう。
ル吸着ヘッドがボールトレイ（ボール供給部）に接近
し、吸着動作に入るとボール吸着ヘッドは吸着孔より外
気の吸引を開始する。これにより、ボール吸着ヘッドと
ボールトレイの隙間から空気が入り込み、吸着孔に向か
って空気は流れる。通常半田ボールは、直径が７６０乃
至１００マイクロメートル程度で極めて軽いものである
ので、空気の流れに従ってボールトレイ中央部に集まっ
てしまう。
【０００３】吸着動作継続に従って吸着孔には半田ボー
ルが吸着され埋まってくるが、吸着孔が真円ではなく、
又、半田ボールも真球ではないなど互いの形状にばらつ
きがあり、半田ボールが吸着された吸着孔も両者の隙間
から空気が吸い込まれる。吸着孔の径は半田ボールの径
より小さいものであるが、ウエハ上に半田ボールをマウ
ントする場合には、吸着孔の数は、４０万個にも及ぶも
のであるため、空気の流れは消えず、半田ボールがボー
ルトレイ中央部に集まる現象を終了させるものではな
い。
ルが吸着され埋まってくるが、吸着孔が真円ではなく、
又、半田ボールも真球ではないなど互いの形状にばらつ
きがあり、半田ボールが吸着された吸着孔も両者の隙間
から空気が吸い込まれる。吸着孔の径は半田ボールの径
より小さいものであるが、ウエハ上に半田ボールをマウ
ントする場合には、吸着孔の数は、４０万個にも及ぶも
のであるため、空気の流れは消えず、半田ボールがボー
ルトレイ中央部に集まる現象を終了させるものではな
い。
【０００４】その結果、ボール吸着ヘッドへのボール吸
着ミスがボール吸着ヘッドの外周部付近（ボールトレイ
の外周部付近のボール吸着面）で生じやすく、又、完了
するまでの吸着時間が長くなることが判明した。
着ミスがボール吸着ヘッドの外周部付近（ボールトレイ
の外周部付近のボール吸着面）で生じやすく、又、完了
するまでの吸着時間が長くなることが判明した。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ボール吸着
ヘッドとボール供給部の隙間を流れる空気量を制御する
ことにより、ボールトレイ等のボール供給部の外周部付
近でもボール減少によるボール吸着ミスが生じず、短時
間で確実なボール吸着を可能とするボールマウント装置
の提供を目的とするものである。
ヘッドとボール供給部の隙間を流れる空気量を制御する
ことにより、ボールトレイ等のボール供給部の外周部付
近でもボール減少によるボール吸着ミスが生じず、短時
間で確実なボール吸着を可能とするボールマウント装置
の提供を目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、ボールを吸着するための多数の吸着孔を備
えたボール吸着ヘッドと、多数のボールを浮遊状態にす
ることのできるボール供給部と、ボール吸着ヘッドとボ
ール供給部とを相対的に上下動させる移動手段とを有
し、ボール吸着ヘッドにてボール供給部のボールを吸着
し、ワークにボールをマウントするボールマウント装置
において、ボール吸着ヘッドがボール供給部のボールを
吸着する時にボール吸着ヘッドとボール供給部の隙間か
ら流入する空気流入量を調整する空気流入調整手段を備
えたことを特徴とするボールマウント装置を提供する。
するために、ボールを吸着するための多数の吸着孔を備
えたボール吸着ヘッドと、多数のボールを浮遊状態にす
ることのできるボール供給部と、ボール吸着ヘッドとボ
ール供給部とを相対的に上下動させる移動手段とを有
し、ボール吸着ヘッドにてボール供給部のボールを吸着
し、ワークにボールをマウントするボールマウント装置
において、ボール吸着ヘッドがボール供給部のボールを
吸着する時にボール吸着ヘッドとボール供給部の隙間か
ら流入する空気流入量を調整する空気流入調整手段を備
えたことを特徴とするボールマウント装置を提供する。
【０００７】そして、第２の発明として、空気流入調整
手段が、上記ボール供給部に設けたボール供給部傾斜手
段であること、第３の発明として、空気流入調整手段
が、ボール供給部とボール吸着ヘッドのうち少なくとも
一方の外周部に設けた仕切板であること、第４の発明と
して、空気流入調整手段をボール吸引時に随時変化させ
る手段を備えたことをを特徴とするボールマウント装置
を提供するものである。
手段が、上記ボール供給部に設けたボール供給部傾斜手
段であること、第３の発明として、空気流入調整手段
が、ボール供給部とボール吸着ヘッドのうち少なくとも
一方の外周部に設けた仕切板であること、第４の発明と
して、空気流入調整手段をボール吸引時に随時変化させ
る手段を備えたことをを特徴とするボールマウント装置
を提供するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って、実施例と共
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発
明が利用されるボールマウント装置の一例を示す側面図
であり、該ボールマウント装置は、ボールとして半田ボ
ールを、ワークとしてウエハを対象としている。よって
実施例では半田ボールマウント装置と称して説明する。
勿論、ボールが銅コアボールやその他の金属ボールであ
っても良いし、ワークが基板であっても良い。
に本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発
明が利用されるボールマウント装置の一例を示す側面図
であり、該ボールマウント装置は、ボールとして半田ボ
ールを、ワークとしてウエハを対象としている。よって
実施例では半田ボールマウント装置と称して説明する。
勿論、ボールが銅コアボールやその他の金属ボールであ
っても良いし、ワークが基板であっても良い。
【０００９】半田ボールマウント装置１は、ウエハに半
田ボールを搭載するボール吸着ヘッド２及びその駆動機
構３と、ボール供給装置４と、マウント位置ともなるワ
ーク駆動機構５と、ボール検査装置６とで構成される。
田ボールを搭載するボール吸着ヘッド２及びその駆動機
構３と、ボール供給装置４と、マウント位置ともなるワ
ーク駆動機構５と、ボール検査装置６とで構成される。
【００１０】ワーク駆動機構５には、マウントステージ
ともなるウエハステージ７が設けられており、ウエハス
テージ７を駆動させるＸ軸（図１中前後方向）とΘ軸
（回転方向）の２軸の駆動機構が設けられる。ワークで
あるウエハは、ワーク駆動機構５の上流側に存在するウ
エハ供給装置よりウエハステージ７に載置されてボール
マウント位置に搬送されてくる。
ともなるウエハステージ７が設けられており、ウエハス
テージ７を駆動させるＸ軸（図１中前後方向）とΘ軸
（回転方向）の２軸の駆動機構が設けられる。ワークで
あるウエハは、ワーク駆動機構５の上流側に存在するウ
エハ供給装置よりウエハステージ７に載置されてボール
マウント位置に搬送されてくる。
【００１１】マウントヘッドとなるボール吸着ヘッド２
には、下面に図示されていない多数の吸着孔を備えてお
り、図１に示されるように、ボール供給装置４とワーク
駆動機構５上のボールマウント位置との間を往復するＹ
軸と、Ｚ軸（昇降軸）の２軸の駆動機構３が設けられて
いる。図中８はＺ軸駆動モータであり、図中９はＹ軸駆
動モータである。ここでのＺ軸駆動機構がボール吸着ヘ
ッド２とボール供給部（具体的にはボールトレイ１１）
とを相対的に上下動させる移動手段となる。
には、下面に図示されていない多数の吸着孔を備えてお
り、図１に示されるように、ボール供給装置４とワーク
駆動機構５上のボールマウント位置との間を往復するＹ
軸と、Ｚ軸（昇降軸）の２軸の駆動機構３が設けられて
いる。図中８はＺ軸駆動モータであり、図中９はＹ軸駆
動モータである。ここでのＺ軸駆動機構がボール吸着ヘ
ッド２とボール供給部（具体的にはボールトレイ１１）
とを相対的に上下動させる移動手段となる。
【００１２】ボール供給装置４とボールマウント位置と
なるウエハステージ７の間にはボール検査装置６が設置
されている。ボール検査装置６は、ＣＣＤカメラ１０に
よりボール吸着ヘッド２の下面に吸着されたボールの画
像を取り込み、該取込画像にしきい値を設定してボール
を検出し、ミッシングボール、エクセスボール、位置ず
れボール等の吸着ミスと、搭載ミスであるリメインボー
ルを判定している。ＣＣＤカメラ１０に換えてエリアカ
メラを用いても良いこと勿論である。
なるウエハステージ７の間にはボール検査装置６が設置
されている。ボール検査装置６は、ＣＣＤカメラ１０に
よりボール吸着ヘッド２の下面に吸着されたボールの画
像を取り込み、該取込画像にしきい値を設定してボール
を検出し、ミッシングボール、エクセスボール、位置ず
れボール等の吸着ミスと、搭載ミスであるリメインボー
ルを判定している。ＣＣＤカメラ１０に換えてエリアカ
メラを用いても良いこと勿論である。
【００１３】図２は、傾斜機構付きボール供給装置を示
す側面図であり、ボール供給装置４は、ボール吸着ヘッ
ド２に半田ボールを供給するボールトレイ１１と、半田
ボールを跳躍させることによりボールトレイ１１上に浮
遊させる手段となる振動発生装置２０と空気流入調整手
段となるトレイ傾斜装置２１を有している。
す側面図であり、ボール供給装置４は、ボール吸着ヘッ
ド２に半田ボールを供給するボールトレイ１１と、半田
ボールを跳躍させることによりボールトレイ１１上に浮
遊させる手段となる振動発生装置２０と空気流入調整手
段となるトレイ傾斜装置２１を有している。
【００１４】ボールトレイ１１は、ボール供給装置４の
底板１２に防振ゴム１３にて構成された支持体１４を設
け、該支持体１４の上部に下面パネル１５を通常は水平
状態を保てるよう載置保持し、下面パネル１５に立設し
た支柱１６上方に板バネ１７で上面パネル１８を弾性的
に保持し、該上面パネル１８上面側に装着されたもので
ある。
底板１２に防振ゴム１３にて構成された支持体１４を設
け、該支持体１４の上部に下面パネル１５を通常は水平
状態を保てるよう載置保持し、下面パネル１５に立設し
た支柱１６上方に板バネ１７で上面パネル１８を弾性的
に保持し、該上面パネル１８上面側に装着されたもので
ある。
【００１５】振動発生装置２０は、図２に示されるよう
に上面パネル１８の下面側に取り付けられ、上面パネル
１８の上面側に装着されたボールトレイ１１に振動を伝
達している。この振動により半田ボールをボールトレイ
１１の上方に跳ね上げ、上方からの観察では、半田ボー
ルはボールトレイ１１内を廻るように移動させている。
尚、本実施例で使用する半田ボールは直径２００マイク
ロメートル以下のものを予想している。勿論、これより
大きな半田ボールの場合でも効果は生じるが、上記大き
さの場合が特に大きな効果が発揮される。
に上面パネル１８の下面側に取り付けられ、上面パネル
１８の上面側に装着されたボールトレイ１１に振動を伝
達している。この振動により半田ボールをボールトレイ
１１の上方に跳ね上げ、上方からの観察では、半田ボー
ルはボールトレイ１１内を廻るように移動させている。
尚、本実施例で使用する半田ボールは直径２００マイク
ロメートル以下のものを予想している。勿論、これより
大きな半田ボールの場合でも効果は生じるが、上記大き
さの場合が特に大きな効果が発揮される。
【００１６】トレイ傾斜装置２１は、ボールトレイ１１
が装着された上面パネル１８の下面側に配置された４本
のエアシリンダ２２によりなる。エアシリンダ２２は、
図２に示される手前側左右の２本と、図示されていない
奥側左右２本が等間隔で配置されており、該エアシリン
ダ２２の何れか一つを作動させることにより、上面パネ
ル１８を介してボールトレイ１１を前後左右の一方側に
押し上げ、ボールトレイ１１を傾斜させ、ボール吸着ヘ
ッド２の吸着面との水平が崩れるようになっている。す
なわち、図２のトレイ傾斜装置２１において手前右側の
エアシリンダ２２を作動させると手前右側が最も高く上
昇し、奥の左側が最も低い状態に傾斜する。尚、図５は
上記傾斜状態を正対視したものである。
が装着された上面パネル１８の下面側に配置された４本
のエアシリンダ２２によりなる。エアシリンダ２２は、
図２に示される手前側左右の２本と、図示されていない
奥側左右２本が等間隔で配置されており、該エアシリン
ダ２２の何れか一つを作動させることにより、上面パネ
ル１８を介してボールトレイ１１を前後左右の一方側に
押し上げ、ボールトレイ１１を傾斜させ、ボール吸着ヘ
ッド２の吸着面との水平が崩れるようになっている。す
なわち、図２のトレイ傾斜装置２１において手前右側の
エアシリンダ２２を作動させると手前右側が最も高く上
昇し、奥の左側が最も低い状態に傾斜する。尚、図５は
上記傾斜状態を正対視したものである。
【００１７】図３は、ボール供給装置４の他実施例を示
す側面図であり、図２に示すボール供給装置４の場合、
半田ボールの跳躍により半田ボールがボール供給装置４
外に拡散して、装置が汚れたり、装置に半田ボールが入
り込んでトラブルの原因になることを防止せんとするも
のであり、ボールトレイ１１の周縁部にボール受け３０
を設置したものである。
す側面図であり、図２に示すボール供給装置４の場合、
半田ボールの跳躍により半田ボールがボール供給装置４
外に拡散して、装置が汚れたり、装置に半田ボールが入
り込んでトラブルの原因になることを防止せんとするも
のであり、ボールトレイ１１の周縁部にボール受け３０
を設置したものである。
【００１８】以下、図４及び図５に従って、作用につい
て説明する。図４はボールトレイ１１とボール吸着ヘッ
ド２の吸着面が水平である場合を示しており、ボール吸
着ヘッド２がボールトレイ１１に接近し、吸着動作に入
るとボール吸着ヘッド２は吸着孔より外気の吸引を開始
する。
て説明する。図４はボールトレイ１１とボール吸着ヘッ
ド２の吸着面が水平である場合を示しており、ボール吸
着ヘッド２がボールトレイ１１に接近し、吸着動作に入
るとボール吸着ヘッド２は吸着孔より外気の吸引を開始
する。
【００１９】これにより、ボール吸着ヘッド２とボール
トレイ１１の隙間から空気が入り込み、吸着孔に向かっ
て矢印Ａ，Ｂのように空気は流れる。ボール吸着ヘッド
２とボールトレイ１１とは水平であるため両者の隙間は
同等であり、流入する空気量も同等である。その結果、
跳躍半田ボールの密な部分Ｃは、ボール吸着ヘッド２の
中心の方へ集中し、吸着パターンの範囲Ｄの内側にしか
存在しなくなり、ボール吸着ヘッド２の外周吸着面に吸
着ミスが発生しやすくなる。
トレイ１１の隙間から空気が入り込み、吸着孔に向かっ
て矢印Ａ，Ｂのように空気は流れる。ボール吸着ヘッド
２とボールトレイ１１とは水平であるため両者の隙間は
同等であり、流入する空気量も同等である。その結果、
跳躍半田ボールの密な部分Ｃは、ボール吸着ヘッド２の
中心の方へ集中し、吸着パターンの範囲Ｄの内側にしか
存在しなくなり、ボール吸着ヘッド２の外周吸着面に吸
着ミスが発生しやすくなる。
【００２０】そこで、図中４及び図５中右側に存在する
エアシリンダ２２（同図には図示されていない）を作動
させ、ロッドを上昇させるとボールトレイ１１は、右肩
上がりに傾斜し、ボールトレイ１１とボール吸着ヘッド
２との隙間は、図５に示すように左側が広く、右側が狭
くなり、空気の流れも左側からの空気の流れＡの方が右
側からの空気の流れＢより大きな空気量となり、跳躍半
田ボールの密な部分Ｃは、ボール吸着パターンの範囲Ｄ
の右側より外側に至るまで移動することとなり、ボール
吸着ヘッド２の外周部分の吸着面中右側の範囲での吸着
を確実なものとすることができる。
エアシリンダ２２（同図には図示されていない）を作動
させ、ロッドを上昇させるとボールトレイ１１は、右肩
上がりに傾斜し、ボールトレイ１１とボール吸着ヘッド
２との隙間は、図５に示すように左側が広く、右側が狭
くなり、空気の流れも左側からの空気の流れＡの方が右
側からの空気の流れＢより大きな空気量となり、跳躍半
田ボールの密な部分Ｃは、ボール吸着パターンの範囲Ｄ
の右側より外側に至るまで移動することとなり、ボール
吸着ヘッド２の外周部分の吸着面中右側の範囲での吸着
を確実なものとすることができる。
【００２１】半田ボール吸着工程で４つのエアシリンダ
２２を順番に作動させることで、ボール吸着ヘッド２の
外周部分の吸着面の前後左右の範囲に跳躍ボールの密な
部分Ｄを形成し吸着を完了させるのである。吸着完了
後、ボール吸着ヘッド２は、ボール検査装置６を経て、
ウエハステージ７に向かい、ウエハへ半田ボールをマウ
ントするのである。
２２を順番に作動させることで、ボール吸着ヘッド２の
外周部分の吸着面の前後左右の範囲に跳躍ボールの密な
部分Ｄを形成し吸着を完了させるのである。吸着完了
後、ボール吸着ヘッド２は、ボール検査装置６を経て、
ウエハステージ７に向かい、ウエハへ半田ボールをマウ
ントするのである。
【００２２】本実施例は、ボール供給部であるボールト
レイ１１を傾斜させて空気流入量を調整するものである
が、空気流入調整手段としては、図６に示すようにボー
ルトレイ１１の外周部に仕切板２３を設け、該仕切板２
３を上下させるものや、図７に示すようにボール吸着ヘ
ッド２の外周に仕切板２４を設け、該仕切板２４を上下
させることにより空気流入量を調節するものであっても
よい。この場合の、仕仕切板２３，２４は複数の区分に
分割され、分割された個々の仕切板２３，２４は独立し
て駆動するよう構成されている。
レイ１１を傾斜させて空気流入量を調整するものである
が、空気流入調整手段としては、図６に示すようにボー
ルトレイ１１の外周部に仕切板２３を設け、該仕切板２
３を上下させるものや、図７に示すようにボール吸着ヘ
ッド２の外周に仕切板２４を設け、該仕切板２４を上下
させることにより空気流入量を調節するものであっても
よい。この場合の、仕仕切板２３，２４は複数の区分に
分割され、分割された個々の仕切板２３，２４は独立し
て駆動するよう構成されている。
【００２３】又、これらの空気流入調整手段は、ボール
吸引時に随時変化するものであるが、回転することによ
って流入量を調整してもよい。例えば、ボールトレイ１
１をある一定量傾斜させ、傾斜を保持した状態でボール
トレイ１１を回転させてもよいし、ボールトレイ１１の
外周に設けた仕切板２３が、ボールトレイ１１の外周を
回転するものでもよいし、ボール吸着ヘッド２の外周に
設けた仕切板２４が、ボール吸着ヘッド２の外周を回転
するものでもよい。
吸引時に随時変化するものであるが、回転することによ
って流入量を調整してもよい。例えば、ボールトレイ１
１をある一定量傾斜させ、傾斜を保持した状態でボール
トレイ１１を回転させてもよいし、ボールトレイ１１の
外周に設けた仕切板２３が、ボールトレイ１１の外周を
回転するものでもよいし、ボール吸着ヘッド２の外周に
設けた仕切板２４が、ボール吸着ヘッド２の外周を回転
するものでもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明は、ボール吸着ヘッドがボール供
給部のボールを吸着する時にボール吸着ヘッドとボール
供給部の隙間から流入する空気流入量を調整する空気流
入調整手段を備えたことを特徴とするボールマウント装
置であるため、ボール吸着ヘッドがボール供給部に近接
したボール吸着動作時に、吸着ヘッドとボール供給部と
の隙間の大きさを制御することにより、該隙間からの空
気の流入量を制御し、ボール供給部上のボール密度の高
い部分の位置を移動させることができるので、ボール吸
着ヘッドのボール吸着面外周部付近のボール吸着ミスを
防止することができるものとなった。よって、短時間で
確実なボール吸着を可能とするボールマウント装置とも
なった。
給部のボールを吸着する時にボール吸着ヘッドとボール
供給部の隙間から流入する空気流入量を調整する空気流
入調整手段を備えたことを特徴とするボールマウント装
置であるため、ボール吸着ヘッドがボール供給部に近接
したボール吸着動作時に、吸着ヘッドとボール供給部と
の隙間の大きさを制御することにより、該隙間からの空
気の流入量を制御し、ボール供給部上のボール密度の高
い部分の位置を移動させることができるので、ボール吸
着ヘッドのボール吸着面外周部付近のボール吸着ミスを
防止することができるものとなった。よって、短時間で
確実なボール吸着を可能とするボールマウント装置とも
なった。
【図１】本発明が利用されるボールマウント装置の一例
を示す側面図
を示す側面図
【図２】傾斜機構付きボール供給装置を示す側面図
【図３】ボール受けを有する傾斜機構付きボール供給装
置を示す側面図
置を示す側面図
【図４】水平状態の空気流入状況を示す説明図
【図５】傾斜状態の空気流入状況を示す説明図
【図６】ボールトレイに装備された可動仕切板を利用す
る場合の空気流入状況を示す説明図
る場合の空気流入状況を示す説明図
【図７】ボール吸着ヘッドに装備された可動仕切板を利
用する場合の空気流入状況を示す説明図
用する場合の空気流入状況を示す説明図
１．．．．．．半田ボールマウント装置
２．．．．．．．ボール吸着ヘッド
３．．．．．．．駆動機構
４．．．．．．．．ボール供給装置
５．．．．．．．．ワーク駆動機構
６．．．．．．．．ボール検査装置
７．．．．．．．．ウエハステージ
８．．．．．．．．Ｚ軸駆動モータ
９．．．．．．．．Ｙ軸駆動モータ
１０．．．．．．ＣＣＤカメラ
１１．．．．．．ボールトレイ
１２．．．．．．底板
１３．．．．．．防振ゴム
１４．．．．．．支持体
１５．．．．．．下面パネル
１６．．．．．．支柱
１７．．．．．．板バネ
１８．．．．．．上面パネル
２０．．．．．．振動発生装置
２１．．．．．．トレイ傾斜装置
２２．．．．．．エアシリンダ
２３，２４．仕切板
３０．．．．．．ボール受け
Ａ，Ｂ．．．．空気の流れ
Ｃ．．．．．．．．半田ボールの密な部分
Ｄ．．．．．．．．吸着パターンの範囲
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 山内 修
千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式
会社技術開発本部内
(72)発明者 新妻 和生
石川県金沢市大豆田本町甲58 澁谷工業株
式会社内
Ｆターム(参考） 5E319 BB04 CD25
Claims (4)
- 【請求項１】ボールを吸着するための多数の吸着孔を備
えたボール吸着ヘッドと、多数のボールを浮遊状態にす
ることのできるボール供給部と、ボール吸着ヘッドとボ
ール供給部とを相対的に上下動させる移動手段とを有
し、ボール吸着ヘッドにてボール供給部のボールを吸着
し、ワークにボールをマウントするボールマウント装置
において、ボール吸着ヘッドがボール供給部のボールを
吸着する時にボール吸着ヘッドとボール供給部の隙間か
ら流入する空気流入量を調整する空気流入調整手段を備
えたことを特徴とするボールマウント装置。 - 【請求項２】空気流入調整手段が、上記ボール供給部に
設けたボール供給部傾斜手段であることを特徴とする請
求項１記載のボールマウント装置。 - 【請求項３】空気流入調整手段が、ボール供給部とボー
ル吸着ヘッドのうち少なくとも一方の外周部に設けた仕
切板である請求項１記載のボールマウント装置。 - 【請求項４】空気流入調整手段をボール吸引時に随時変
化させる手段を備えたことを特徴とする請求項１、請求
項２又は請求項３記載のボールマウント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001192602A JP2003007752A (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | ボールマウント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001192602A JP2003007752A (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | ボールマウント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003007752A true JP2003007752A (ja) | 2003-01-10 |
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ID=19031031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001192602A Pending JP2003007752A (ja) | 2001-06-26 | 2001-06-26 | ボールマウント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003007752A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107191466A (zh) * | 2017-06-27 | 2017-09-22 | 天津福臻工业装备有限公司 | 用于吸附固定件的万向吸盘装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0870174A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半田ボールの移載装置 |
| JPH10335338A (ja) * | 1997-06-03 | 1998-12-18 | Nippon Steel Corp | 微細ボール配列ヘッド及びそれを用いた微細ボール配列方法 |
| JPH1154517A (ja) * | 1996-09-13 | 1999-02-26 | Nippon Steel Corp | 微細ボールの配列装置及び方法 |
-
2001
- 2001-06-26 JP JP2001192602A patent/JP2003007752A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0870174A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半田ボールの移載装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
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