JP2015184626A - 感光性樹脂組成物、それからなる感光性樹脂ペーストならびにそれらを硬化させて得られる硬化膜およびそれを有する電極回路 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の目的はさらなる低温のキュア条件によっても高い導電性を発現可能な感光性樹脂組成物を得ることである。
【解決手段】（Ａ）銀粒子、（Ｂ）不飽和結合含有重合性化合物、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）光重合開始剤および（Ｅ）イオン性液体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【選択図】なし

Description

本発明は導電パターンを形成するための感光性樹脂組成物に関する。

本発明における導電パターンとは、樹脂を含む有機成分と銀粒子を含む無機成分の両方を含有する導電パターンを指す。

従来、上述のような有機−無機複合導電パターンを形成するために、樹脂や接着剤の中に微粒子状の銀フレークや銅粉、あるいはカーボン粒子を大量に混合した、いわゆるポリマー型の導電ペーストが実用化されている。一般に、導電パターンの形成には、スクリーン印刷を用いる方法（例えば、特許文献１、２参照）と、光硬化型感光性導電ペーストを用いる方法（例えば、特許文献３参照）があるが、近年の微細化と低温化の流れを受け、５０μｍ以下のパターンを精度よく描画でき、且つ、低温で硬化可能な光硬化型感光性導電ペーストが求められている。光硬化型感光性導電ペーストを用いることで、数十μｍ程度のパターン形成が可能となる。そのような光硬化型感光性導電ペーストとして、導電性粒子、感光性成分、光重合開始剤、石油系溶媒を含み、前記石油系溶媒が、ペースト組成物中に、０．０１〜１．０質量％含まれる保存安定性の高い感光性導電ペースト（例えば、特許文献４参照）が挙げられるが、さらなる低温化が求められている。

特開平１−２５３１１１号公報 特開２００５−２６７８５９号公報 特開２００３−１６２９２１号公報 特開２０１３−１５７２５１号公報

本発明の目的は上述の問題を解決し、さらなる低温のキュア条件によっても高い導電性を発現可能な感光性樹脂組成物を得ることである。

（Ａ）銀粒子、（Ｂ）不飽和結合含有重合性化合物、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）光重合開始剤および（Ｅ）イオン性液体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

マイグレーション促進剤であるイオン性液体を入れ低温のキュア条件によっても高い導電性を発現可能な感光性樹脂組成物を得る。

本発明の比抵抗率の評価で用いたパターンの透光部Ａを有するフォトマスクを示す図である。

本発明は（Ａ）銀粒子、（Ｂ）不飽和結合含有重合性化合物、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）光重合開始剤および（Ｅ）イオン性液体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。また本発明は、上記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂ペーストである。また本発明は、上記感光性樹脂組成物または感光性樹脂ペーストを硬化させて得られる硬化膜である。また本発明は、上記硬化膜を有する電極回路である。

本発明の感光性樹脂組成物はペーストの形状で基板上に塗布し、必要に応じ乾燥させて溶媒を除去した後、露光、現像、８０℃以上３００℃以下の温度でのキュア工程を経ることで硬化されて硬化膜となり、基板上に所望の導電パターンを得ることができる。本発明のペーストを用いて得られた導電パターンは有機成分と無機成分の複合物となっており、銀粒子同士がキュア時の硬化収縮により互いに接触すること、かつ銀イオンのマイグレーションによる融解により導電性が発現する。

本発明の感光性樹脂組成物には（Ａ）銀粒子を含むことを特徴とする。

（Ａ）銀粒子の体積平均粒子径は０．３〜３．０μｍが好ましく、０．５〜２．０μｍがより好ましい。体積平均粒子径が０．３μｍ以上であると銀粒子同士の接触確率が向上し、作製される導電パターンの比抵抗値を低くすることができる。また露光時の紫外線が膜中をスムーズに透過することができ、微細パターニングが容易となる。また体積平均粒子径が３．０μｍ以下であれば、印刷後の導電パターンの表面平滑度、パターン精度、寸法精度が向上する。なお、体積平均粒子径は、コールターカウンター法、光子相関法およびレーザー回折法等により求めることができる。

（Ａ）銀粒子の添加量としては感光性樹脂組成物中の固形分全量に対し、６０〜９５質量％であることが好ましく、７５〜９０質量％であることがより好ましい。６０質量％以上とすることにより、特にキュア時の硬化収縮における導電性粒子同士の接触確率がより向上し、作製される導電パターンの比抵抗値を低くすることができる。また、９５質量％以下とすることにより、特に露光時の紫外線が膜中をよりスムーズに透過することができ、微細なパターニングが容易となる。

感光性樹脂組成物固形分とは、感光性組成物中の揮発成分を除いた不揮発成分のことである。感光性樹脂組成物固形分全重量中の各成分の重量割合は、以下の方法で求めることができる。

まずガスクロマトグラフ測定で、感光性樹脂組成物における揮発成分と不揮発成分の重量割合を求める。

また感光性樹脂組成物の不揮発成分を溶媒で溶かし、溶媒可溶成分（溶液）と溶媒不溶成分に分離する。次に溶媒可溶成分の溶けた溶液については溶媒を揮発させてから重量を測定し、溶媒不溶成分については、溶媒不溶成分に付着した溶媒を揮発させてから重量を測定する。これにより不揮発成分（固形分）について、溶媒可溶成分（溶液）中のものと溶媒不溶成分のものとの重量割合を求める。

ここで溶媒可溶成分が溶けた溶液中の不揮発成分については、液体クロマトグラフィー法で各成分を分離して、各成分の重量割合を求めることができる。これにより感光性樹脂組成物固形分全重量中の各成分の重量割合を求めることができる。

なお液体クロマトグラフィー法で各成分を分離した後の各成分の同定は、赤外分光測定法、核磁気共鳴分析法、質量分析法、ガスクロマトグラフ／質量分析法などで行うことができる。

本発明の感光性樹脂組成物には（Ｂ）不飽和結合含有重合性化合物を含むことを特徴とする。活性な炭素−炭素不飽和二重結合を有するモノマー、オリゴマーを用いることができる。官能基として、ビニル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレート基、アクリルアミド基を有する単官能および多官能化合物が応用できる。具体的には、２−（２−エトキシエトキシ）エチルアクリレート、２−ヒドロキシ−３−アクリロイルオキシプロピルメタクリレート、ペンタエリストールトリアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、グリシジルメタクリレートなどが挙げられるが、熱分解性が良いものが特に好ましく、具体的には２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール−テトラメチレングリコール）モノ（メタ）アクリレート、ポリ（プロピレングリコール−テトラメチレングリコール）モノ（メタ）アクリレートなどのような、水酸基末端ポリアルキレングリコールモノ（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、オクトキシポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ラウロキシポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ステアロキシポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ステアロキシポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、アリロキシポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレートなどのような、アルキル基末端ポリアルキレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリテトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール−テトラメチレングリコール）ジ（メタ）アクリレート、ポリ（プロピレングリコール−テトラメチレングリコール）ジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコール−ポリエチレングリコール（メタ）アクリレートなどのポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。

本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂を含むことを特徴とする。（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂としては、酸性の官能基を有することが好ましい。これによりアルカリ可溶性をより高めることができる。分子内に官能基を有するポリマーの例としては、前述の（Ｂ）不飽和結合含有重合性化合物で挙げられた活性な炭素−炭素不飽和二重結合を有するモノマー、オリゴマーの具体例に官能基が付加したものの内、すくなくとも１種類を重合して得られたものなどを用いることができる。官能基としては、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびチオール基からなる群より選ばれる少なくとも一つの基であることが好ましく、カルボキシル基であることがより好ましい。カルボキシル基は、酸かい離度が高く、少量の官能基導入により、現像性調整が見られ、制御しやすい。カルボキシル基を導入するには、モノマーとして不飽和カルボン酸等の不飽和酸を用いることにより達成される。不飽和酸の具体的な例としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、酢酸ビニル、またはこれらの酸無水物等が挙げられる。

また本発明の（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂は、アクリル樹脂またはメタクリル樹脂であることが好ましく、アクリル酸アルキルまたはメタクリル酸アルキルであることがより好ましく、メタクリル酸メチルであることがさらに好ましい。これにより熱分解性がより良好な重合体を得ることができる。また、アクリル酸アルキル、メタクリル酸アルキルは、高速印刷に適している点からも好ましい。

このようにして得られた側鎖にカルボキシル基等の酸性基を有するポリマーもしくはオリゴマーの酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）は、４０〜２００であることが好ましく、５０〜１２０であることがより好ましい。酸価が４０以上であることにより、未露光部の現像液に対する溶解性が低下することがより起こりにくくなるため、現像液濃度を濃くしても露光部に剥がれが発生することがより起こりにくく、より高精細なパターンを得ることができる。また２００以下であることにより、現像許容幅をより広くすることができる。

本発明の感光性樹脂組成物には（Ｄ）光重合開始剤を含むことを特徴とする。（Ｄ）光重合開始剤とは紫外線などの短波長の光を吸収して分解し、ラジカルを生じる化合物や水素引き抜き反応を起こしてラジカルを生じる化合物のことをいう。具体例としては、１，２−オクタンジオン、１−［４−（フェニルチオ）−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド、エタノン、１−［９−エチル−６−２（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４，４′−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４′−ジクロロベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４′−メチルジフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、２，２′−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、ｐ−ｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジル、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、２−アミルアントラキノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン、４−アジドベンザルアセトフェノン、２，６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）シクロヘキサノン、６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）−４−メチルシクロヘキサノン、１−フェニル−１，２−ブタンジオン−２−（ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−プロパンジオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オキシム、１，３−ジフェニル−プロパントリオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−３−エトキシ−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オキシム、ミヒラーケトン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、Ｎ−フェニルチオアクリドン、４，４′−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、カンファーキノン、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、四臭化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾインおよびエオシン、メチレンブルーなどの光還元性色素とアスコルビン酸、トリエタノールアミンなどの還元剤の組み合わせなどが挙げられるが、特にこれらに限定されない。

本発明の感光性樹脂組成物は（Ｄ）光重合開始剤と共に増感剤を添加して感度を向上させたり、反応に有効な波長範囲を拡大したりすることができる。

増感剤の具体例としては、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，３−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）シクロペンタノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）シクロヘキサノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）−４−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、４，４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４−ビス（ジメチルアミノ）カルコン、４，４−ビス（ジエチルアミノ）カルコン、ｐ−ジメチルアミノシンナミリデンインダノン、ｐ−ジメチルアミノベンジリデンインダノン、２−（ｐ−ジメチルアミノフェニルビニレン）イソナフトチアゾール、１，３−ビス（４−ジメチルアミノフェニルビニレン）イソナフトチアゾール、１，３−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）アセトン、１，３−カルボニルビス（４−ジエチルアミノベンザル）アセトン、３，３−カルボニルビス（７−ジエチルアミノクマリン）、Ｎ−フェニル−Ｎ−エチルエタノールアミン、Ｎ−フェニルエタノールアミン、Ｎ−トリルジエタノールアミン、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソアミル、３−フェニル−５−ベンゾイルチオテトラゾール、１−フェニル−５−エトキシカルボニルチオテトラゾールなどが挙げられる。

本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｅ）イオン性液体を含むことを特徴とする。イオン性液体は、導体パターン作製後の、導体パターンのキュア時に、銀粒子のマイグレーションを促進させ、銀粒子同士の融解を促し、電導性を向上させる。

イオン性液体とは、カチオンおよびアニオンのみから構成される塩であるにもかかわらず常温で液体である一連の化合物をいう。

イオン性液体構成するカチオン成分は、置換されているかまたは非置換のイミダゾリウムイオン、置換されているかまたは非置換のアンモニウムイオン、置換されているかまたは非置換のピリジニウムイオン、置換されているかまたは非置換のピロリウムイオン、置換されているかまたは非置換のピラゾリウムイオン、置換されているかまたは非置換のピロリニウムイオン、置換されているかまたは非置換のピロリジニウムイオン、置換されているかまたは非置換のピペリジニウムイオンおよび置換されているかまたは非置換のトリアジニウムイオンからなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。

前記置換されているかまたは非置換のイミダゾリウムイオンの具体例としては、例えば、１−エチル−２，３−ジメチルイミダゾリウム、１−ブチル−２，３−ジメチルイミダゾリウム、１−ヘキシル−２，３−ジメチルイミダゾリウム、１，３−ジメチルイミダゾリウムイオン、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムイオン、１，３−ジエチルイミダゾリウムイオン、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムイオン、１−ヘキシル−３−メチルイミダゾリウムイオン、１−オクチル−３−メチルイミダゾリウムイオン、１−デシル−３−メチルイミダゾリウムイオン、１−テトラデシル−３−メチルイミダゾリウムイオン、１−ヘキサデシル−３−メチルイミダゾリウムイオン、１−オクタデシル−３−メチルイミダゾリウムイオン、１，２，３−トリメチルイミダゾリウムイオン、１，２−ジメチル−３−エチルイミダゾリウムイオン、１，２−ジメチル−３−プロピルイミダゾリウムイオン、１−ブチル−２，３−ジメチルイミダゾリウムイオン、等が挙げられる。しかし、これらに限定されるものではない。

前記置換されているかまたは非置換のアンモニウムイオンの具体例としては、例えば、トリメチルエチルアンモニウムイオン、トリメチルプロピルアンモニウムイオン、トリメチルヘキシルアンモニウムイオン、テトラペンチルアンモニウムイオン、Ｎ，Ｎ−ジエチル−Ｎ−メチル−Ｎ−（２−メトキシエチル）アンモニウムイオン等が挙げられる。しかし、これらに限定されるものではない。

前記置換されているかまたは非置換のピリジニウムイオンの具体例としては、例えば、Ｎ−メチルピリジニウムイオン、Ｎ−エチルピリジニウムイオン、Ｎ−プロピルピリジニウムイオン、Ｎ−ブチルピリジニウムイオン、Ｎ−ヘキシルピリジニウムイオン、１−エチル−２−メチルピリジニウムイオン、１−ブチル−３−メチルピリジニウムイオン、１−ブチル−４−メチルピリジニウムイオン、１−ヘキシル−４−メチルピリジニウムイオン、１−ヘキシル−３−メチルピリジニウムイオン、１−ブチル−２，４−ジメチルピリジニウムイオン等が挙げられる。しかし、これらに限定されるものではない。

前記置換されているかまたは非置換のピロリウムイオンの具体例としては、例えば、１，１−ジメチルピロリウムイオン、１−エチル−１−メチルピロリウムイオン、１−メチル−１−プロピルピロリウムイオン、１−ブチル−１−メチルピロリウムイオン等が挙げられる。しかし、これらに限定されるものではない。

前記置換されているかまたは非置換のピラゾリウムイオンの具体例としては、例えば、１，２−ジメチルピラゾリウムイオン、１−エチル−２−メチルピラゾリウムイオン、１−プロピル−２−メチルピラゾリウムイオン、１−ブチル−２−メチルピラゾリウムイオン等が挙げられる。しかし、これらに限定されるものではない。

前記置換されているかまたは非置換のピロリニウムイオンの具体例としては、例えば、１，２−ジメチルピロリニウムイオン、１−エチル−２−メチルピロリニウムイオン、１−プロピル−２−メチルピロリニウムイオン、１−ブチル−２−メチルピロリニウムイオン等が挙げられる。しかし、これらに限定されるものではない。

前記置換されているかまたは非置換のピロリジニウムイオンの具体例としては、例えば、１，１−ジメチルピロリジニウムイオン、１−エチル−１−メチルピロリジニウムイオン、１−メチル−１−プロピルピロリジニウムイオン、１−ブチル−１−メチルピロリジニウムイオン等が挙げられる。しかし、これらに限定されるものではない。

前記置換されているかまたは非置換のピペリジニウムイオンの具体例としては、例えば、１，１−ジメチルピペリジニウムイオン、１−エチル−１−メチルピペリジニウムイオン、１−メチル−１−プロピルピペリジニウムイオン、１−ブチル−１−メチルピペリジニウムイオン等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。

前記置換されているかまたは非置換のトリアジニウムイオンの具体例としては、例えば、１，３−ジエチル−５−メチルトリアジニウムイオン、１，３−ジエチル−５−ブチルトリアジニウムイオン、１，３−ジメチル−５−エチルトリアジニウムイオン、１，３、５−トリブチルトリアジニウムイオン等が挙げられる。しかし、これらに限定されるものではない。

これらの中でも、前記カチオン成分は、置換されているかまたは非置換のイミダゾリウムイオン、置換されているかまたは非置換のアンモニウムイオン、置換されているかまたは非置換のピリジニウムイオンおよび置換されているかまたは非置換のピロリジニウムイオンからなる群より選択される少なくとも１種であることがより好ましい。

イオン性液体を構成するアニオン成分の具体例としては、フッ化物イオン、塩化物イオン、臭化物イオン、ヨウ化物イオンなどのハロゲン化物イオン、硝酸イオン（ＮＯ_３ ⁻）、テトラフルオロホウ酸イオン（ＢＦ_４ ⁻）、ヘキサフルオロリン酸イオン（ＰＦ_６ ⁻）、（ＦＳＯ_２）_２Ｎ⁻、ＡｌＣｌ_３ ⁻、乳酸イオン、酢酸イオン（ＣＨ_３ＣＯＯ⁻）、トリフルオロ酢酸イオン（ＣＦ_３ＣＯＯ⁻）、メタンスルホン酸イオン（ＣＨ_３ＳＯ_３ ⁻）、トリフルオロメタンスルホン酸イオン（ＣＦ_３ＳＯ_３ ⁻）、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミドイオン（（ＣＦ_３ＳＯ_２）_２Ｎ⁻）、ビス（ペンタフルオロエチルスルホニル）イミドイオン（（Ｃ_２Ｆ_５ＳＯ_２）_２Ｎ⁻）、ＢＦ_３Ｃ_２Ｆ_５ ⁻、トリス（トリフルオロメタンスルホニル）炭素酸イオン（（ＣＦ_３ＳＯ_２）_３Ｃ⁻）、過塩素酸イオン（ＣｌＯ_４ ⁻）、ジシアンアミドイオン（（ＣＮ）_２Ｎ⁻）、有機硫酸イオン、有機スルホン酸イオン、Ｒ^１ＣＯＯ⁻、ＨＯＯＣＲ^１ＣＯＯ⁻、⁻ＯＯＣＲ^１ＣＯＯ⁻、ＮＨ_２ＣＨＲ^１ＣＯＯ⁻（この際、Ｒ^１は置換基であり、脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、エーテル基、エステル基、またはアシル基であり、前記の置換基はフッ素原子を含んでいてもよい。）などが挙げられる。

これらの中でも、前記アニオン成分は、ハロゲン化物イオン、テトラフルオロホウ酸イオン、ヘキサフルオロリン酸イオン、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミドイオン、トリフルオロメタンスルホン酸イオン、有機硫酸イオン、および有機スルホン酸イオンからなる群より選択される少なくとも１種であることがより好ましい。

上記のイオン性液体の具体例としては、例えば、以下に示す化合物が挙げられる。

１,３−ジメチルイミダゾリウムメタンスルホネート、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムブロマイド、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムメタンスルホネート、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムヘキサフルオロホスフェート、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム（Ｌ）−乳酸塩、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムトリフルオロメタンスルホネート、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド、１−アリル−３−エチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムトリフルオロメタンスルホネート、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム（Ｌ）−乳酸塩、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、１−ヘキシル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−ヘキシル−３−メチルイミダゾリウムブロマイド、１−ヘキシル−３−メチルイミダゾリウムアイオダイド、１−ヘキシル−３−メチルイミダゾリウムトリフルオロメタンスルホネート、１−ヘキシル−３−メチルイミダゾリウムヘキサフルオロホスフェート、１−ヘキシル−３−メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、１−オクチル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−オクチル−３−メチルイミダゾリウムヘキサフルオロホスフェート、１−オクチル−３−メチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、１−デシル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−ドデシル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−テトラデシル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−ヘキサデシル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−オクタデシル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−エチル−２，３−ジメチルイミダゾリウムクロライド、１−エチル−２，３−ジメチルイミダゾリウムブロマイド、１−ブチル−２，３−ジメチルイミダゾリウムブロマイド、１−ブチル−２，３−ジメチルイミダゾリウムクロライド、１−ブチル−２，３−ジメチルイミダゾリウムテトラフルオロボレート、１−ブチル−２，３−ジメチルイミダゾリウムトリフルオロメタンスルホネート、１−ヘキシル−２，３−ジメチルイミダゾリウムブロマイド、１−ヘキシル−２，３−ジメチルイミダゾリウムクロライド、１−ヘキシル−２，３−ジメチルイミダゾリウムトラフルオロボレート、１−ヘキシル−２，３−ジメチルイミダゾリウムトリフルオロメタンスルホネート１−エチルピリジニウムクロライド、１−エチルピリジニウムブロマイド、１−ブチルピリジニウムクロライド、１−ブチルピリジニウムブロマイド、１−ブチルピリジニウムヘキサフルオロホスフェート、１−ブチルピリジニウムテトラフルオロボレート、１−ブチルピリジニウムトリフルオロメタンスルホネート、１−ヘキシルピリジニウムクロライド、１−ヘキシルピリジニウムブロマイド、１−ヘキシルピリジニウムヘキサフルオロホスフェート、１−ヘキシルピリジニウムテトラフルオロボレート、１−ヘキシルピリジニウムトリフルオロメタンスルホネート１−ブチル−４−メチルピリジニウムテトラフルオロボレート、Ｎ，Ｎ−ジエチル−Ｎ−メチル−Ｎ−（２−メトキシエチル）アンモニウムテトラフルオロボレート、Ｎ，Ｎ−ジエチル−Ｎ−メチル−Ｎ−（２−メトキシエチル）アンモニウムテトラフルオロボレート、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムヘキサフルオロホスフェート１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムテトラクロロアルミネート、１−ヘキシルピリジニウムヘキサフルオロホスフェート、１−メチル−１−プロピルピロリジニウムビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド、１−メチル−１−プロピルピペリジニウムビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル−Ｎ−メチル−Ｎ−（２−メトキシエチル）アンモニウムビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル−Ｎ−メチル−Ｎ−（２−メトキシエチル）アンモニウムヘキサフルオロホスフェート、Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリメチル−Ｎ−プロピルアンモニウムビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド。

（Ｅ）イオン性液体の添加量としては感光性樹脂組成物中の固形分全量に対し、０．０１〜２．０質量％であることが好ましく、０．１〜１．５質量％であることがより好ましい。０．０１質量％以上とすることで、マイグレーション促進の効果が得られ、２．０質量％以下とすることで、感光性樹脂組成物の貯蔵安定性を保てる。

本発明の感光性樹脂組成物には、カルボン酸またはその酸無水物が含まれていても良い。カルボン酸を有する化合物とは、具体的に酢酸、プロピオン酸、コハク酸、マレイン酸、フタル酸、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、４−メチルヘキサヒドロフタル酸、メチルビシクロ［２．２，１］ヘプタン−２，３−ジカルボン酸、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセリンビスアンヒドロトリメリテートモノアセテート、テトラプロペペニルコハク酸、オクテニルコハク酸、３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、１，３，３ａ，４，５，９ｂ−ヘキサヒドロ−５（テトラヒドロ−２，５−ジオキソ−３−フラニル）ナフト［１，２−ｃ］フラン−１，３−ジオン、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、シクロヘキサン−１，２，３，４−テトラカルボン酸、フローレンＧ−７００（共栄社化学社製）、フローレンＧ−９００（共栄社化学社製）、ＢＹＫ−Ｐ１０５（ビックケミー社製）、ＫＤ−４（クローダ社製）、ＫＤ−８（クローダ社製）、ＫＤ−９（クローダ社製）、ＫＤ−１２（クローダ社製）、ＫＤ−１５（クローダ社製）、ＪＰ−５７（クローダ社製）、ＰＡ−１１１（味の素ファインテクノ社製）などが挙げられる。また、酸無水物とはカルボン酸２分子が脱水縮合した化合物のことをいい、具体的には無水酢酸、無水プロピオン酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水フタル酸、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸、３，４，５，６−テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、４−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルビシクロ［２．２，１］ヘプタン−２，３−ジカルボン酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセリンビスアンヒドロトリメリテートモノアセテート、テトラプロペペニル無水コハク酸、オクテニルコハク酸無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸無水物、１，３，３ａ，４，５，９ｂ−ヘキサヒドロ−５（テトラヒドロ−２，５−ジオキソ−３−フラニル）ナフト［１，２−ｃ］フラン−１，３−ジオン、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−１，２，３，４−テトラカルボン酸３，４無水物などが挙げられる。

本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｅ）イオン性液体以外の溶剤を含有してもよい。溶剤としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルイミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、乳酸エチル、１−メトキシ−２−プロパノール、１−エトキシ−２−プロパノール、エチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジアセトンアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、２，２，４，−トリメチル−１，３−ペンタンジオールモノイソブチレートなどが挙げられる。好ましくは、沸点が１５０℃以上の溶媒である。沸点が１５０℃以上であると、溶媒の飛散が抑えられ、感光性導電ペーストの増粘を抑制することができる。溶剤は１種を単独で用いたり、２種以上を混合して用いたりすることができる。

本発明の感光性樹脂組成物は、その所望の特性を損なわない範囲であれば分子内に不飽和二重結合を有しない非感光性ポリマー、可塑剤、レベリング剤、界面活性剤、シランカップリング剤、消泡剤、顔料等の添加剤を配合することもできる。

非感光性ポリマーの具体例としてはエポキシ樹脂、ノボラック樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド前駆体、既閉環ポリイミドなどが挙げられる。可塑剤の具体例としてはジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコール、グリセリン等が挙げられる。レベリング剤の具体例としては特殊ビニル系重合物、特殊アクリル系重合物などが挙げられる。シランカップリング剤としては、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、などが挙げられる。

本発明の感光性樹脂組成物は分散機、混練機などを用いて作製される。これらの具体例としては三本ローラー、ボールミル、遊星式ボールミルなどが挙げられるが、これらに限定されない。また本発明の感光性樹脂ペーストは、本発明の感光性樹脂組成物からなる。

また本発明の硬化膜は、本発明の感光性樹脂組成物または本発明の感光性樹脂ペーストを硬化させることにより得られる。

硬化方法としては、オーブン、イナートオーブン、ホットプレート、赤外線などによる加熱乾燥や真空乾燥などが挙げられる。硬化温度は８０〜３００℃の範囲が好ましく、８０〜１５０℃であることがより好ましい。硬化温度を８０℃以上にすることで樹脂の体積収縮量を大きくでき、比抵抗率が小さくなる。また、銀イオンのマイグレーションによる溶融が期待できる。また３００℃以下とすることにより高い導電性を得ることができる。また１５０℃以下とすることにより、低温でありながら十分高い導電性を得ることができるため、耐熱性が低い基板上や、耐熱性の低い材料と併用して用いることができる。

また本発明の電極回路は、本発明の硬化膜を有することを特徴とする。電極回路としては、ＬＥＤの配線、各種電池周辺材料、センサー類の配線、半導体周辺材料、回路基板周辺材料、液晶等のディスプレイの配線、タッチパネルの配線、照明材料、光通信・光回路周辺材料、光記録周辺材料、磁気記録材料等に利用可能である。

次に本発明の感光性樹脂組成物を用いた導電パターンの製造方法について説明する。導電パターンを作製するためには本発明の感光性樹脂ペーストを基板上に塗布し、加熱して溶剤を揮発させて乾燥する。その後パターン形成用マスクを介し、露光し、現像工程を経ることで基板上に所望のパターンを形成する。そして８０℃以上３００℃以下の温度でキュアして導電パターンを作製する。これにより本発明の硬化膜を有する、本発明の電極回路を得ることができる。

本発明で用いる基板は、例えば、ＰＥＴフィルム、ポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム、アラミドフィルム、エポキシ樹脂基板、ポリエーテルイミド樹脂基板、ポリエーテルケトン樹脂基板、ポリサルフォン系樹脂基板、ガラス基板、シリコンウエハー、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板などが挙げられるが、これらに限定されない。

本発明の感光性樹脂ペーストを基板に塗布する方法としてはスピナーを用いた回転塗布、スプレー塗布、ロールコーティング、スクリーン印刷、ブレードコーター、ダイコーター、カレンダーコーター、メニスカスコーター、バーコーターなどの方法がある。また、塗布膜厚は、塗布手法、組成物の固形分濃度、粘度などによって異なるが、通常、乾燥後の膜厚が、０．１〜５０μｍの範囲内になるように塗布される。

次に基板上に塗布した塗布膜から溶剤を除去する。溶剤を除去する方法としては、オーブン、ホットプレート、赤外線などによる加熱乾燥や真空乾燥などが挙げられる。加熱乾燥は５０℃から１８０℃の範囲で１分から数時間行うのが好ましい。

溶剤除去後の塗布膜上に、フォトリソグラフィー法によりパターン加工を行う。露光に用いられる光源としては水銀灯のｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｇ線（４３６ｎｍ）を用いるのが好ましい。

露光後、現像液を用いて未露光部を除去することによって、所望のパターンが得られる。アルカリ現像を行う場合の現像液としては、水酸化テトラメチルアンモニウム、ジエタノールアミン、ジエチルアミノエタノール、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、トリエチルアミン、ジエチルアミン、メチルアミン、ジメチルアミン、酢酸ジメチルアミノエチル、ジメチルアミノエタノール、ジメチルアミノエチルメタクリレート、シクロヘキシルアミン、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミンなどの化合物の水溶液が好ましい。また場合によっては、これらの水溶液にＮ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトンなどの極性溶媒、メタノール、エタノール、イソプロパノールなどのアルコール類、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのエステル類、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソブチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類などを単独あるいは複数種添加したものを現像液として用いてもよい。また、これらのアルカリ水溶液に界面活性剤を添加したものを現像液として使用することもできる。

現像は、基板を静置または回転させながら上記の現像液を塗布膜面にスプレーする、基板を現像液中に浸漬する、あるいは浸漬しながら超音波をかけるなどの方法によって行うことができる。

現像後、水によるリンス処理を施してもよい。ここでもエタノール、イソプロピルアルコールなどのアルコール類、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのエステル類などを水に加えてリンス処理をしてもよい。

次に導電性を発現させるために膜をキュアする。キュアする方法としては、オーブン、イナートオーブン、ホットプレート、赤外線などによる加熱乾燥や真空乾燥などが挙げられる。キュア温度は８０〜３００℃の範囲が好ましく、より好ましくは８０〜１５０℃である。加熱温度を８０℃以上にすることで樹脂の体積収縮量を大きくでき、比抵抗率が小さくなる。また、銀イオンのマイグレーションによる溶融が期待できる。また、本発明の感光性樹脂ペーストは１５０℃以下の比較的低温のキュアで高い導電性を得ることができるため、耐熱性が低い基板上や、耐熱性の低い材料と併用して用いることができる。このようにキュア工程を経て導電パターンを作製することができる。

また、感光性樹脂ペーストの代わりに、感光性樹脂組成物で形成した感光性フィルムも使用することができる。感光性フィルムは、本発明の感光性樹脂ペーストを支持フィルム上に塗布、乾燥して作製される。使用する支持フィルムとしては、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリカーボネイトなどからなるものに転写が容易になるように離型処理したものなどが挙げられる。塗布は、アプリコーター、バーコーター、カーテンフローコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーターなどを用いるころができる。感光性フィルムは、感光性フィルムを使用しない時の感光性樹脂組成物を安定に保つためにシリコーンコーティングや焼付けした保護フィルムを貼着して用いることが好ましい。

以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。各実施例および比較例で用いた材料および評価方法は以下の通りである。

＜体積平均粒子径の測定＞
（Ａ）銀粒子の体積平均粒子径は、Ｍｉｃｒｏｔｒａｃ社製ＭＴ３０００で測定した。測定は試料１ｇ程度をとり、精製水中で１〜３分間４０Ｗの出力の超音波で分散させて行った。体積基準分布５０％体積粒径を体積平均粒子径とした。

＜感光性樹脂組成物の貯蔵安定性＞
得られた感光性樹脂ペーストについて、作製直後および作製してから７日経過後における２５℃、３ｒｐｍでの粘度を、Ｂｒｏｏｋｆｉｅｌｄ社製Ｖｉｓｃｏｍｅｔｅｒ ＤＶＩＩ＋ Ｐｒｏを用いて測定した。

「粘度変化率＝作製してから７日経過後の粘度／作製直後の粘度」として、粘度変化率を求めた。

＜パターニング性の評価＞
ＰＥＴフィルム上に、得られた感光性導電ペーストを乾燥厚みが１０μｍになるようにスクリーン印刷し、９０℃の乾燥オーブンで１０分間乾燥した。次に一定のラインアンドスペース（Ｌ／Ｓ）で配列する直線群を１つのユニットとし、Ｌ／Ｓの値が異なる５種類のユニットを有するフォトマスクを介して、２００ｍＪ／ｃｍ^２（波長３６５ｎｍ換算）にて露光した。露光後０．２５％Ｎａ_２ＣＯ_３溶液で５０秒浸漬現像を行い、超純水でリンス後、１４０℃で１時間キュアすることによって、導電パターンを得た。

各ユニットのＬ／Ｓの値は５０／５０、４０／４０、３０／３０、２５／２５、２０／２０とした（それぞれライン幅（μｍ）／間隔（μｍ）を表す）。パターンを、光学顕微鏡（ＮＩＫＯＮ社製ＯＰＴＩＰＨＯＴ３００）を用いて倍率２００倍にて観察し、パターン間に残渣がなく、かつパターン剥がれのない最小のＬ／Ｓの値を持つパターンを確認し、この最小のＬ／Ｓの値を現像可能なＬ／Ｓとした。

＜比抵抗率の評価＞
ＰＥＴフィルム上に、得られた感光性導電ペーストを乾燥厚みが１０μｍになるように塗布し、９０℃の乾燥オーブンで１０分間乾燥した。次に図１に示すパターンの透光部Ａを有するフォトマスクを介して、２００ｍＪ／ｃｍ^２（波長３６５ｎｍ換算）にて露光した。露光後０．２５％Ｎａ_２ＣＯ_３溶液で５０秒浸漬現像して、超純水でリンスした。このサンプルを５つ作製した。これら５つのサンプルをそれぞれ８０、９０、１００、１２０、１４０℃の各温度で、１時間乾燥オーブンにてキュアすることによって、５つの比抵抗率測定用導電性パターンを得た。

次に５つの比抵抗率測定用導電性パターンを用いて、線幅（ｍｍ）、表面抵抗値（Ω／□）、膜厚（μｍ）を測定した。

ここで図１に示すパターンの透光部Ａにおいては、導電性パターンの線幅は０．４００ｍｍ、ライン長さは８０．０ｍｍである。線幅については、得られた比抵抗率測定用導電性パターンを、光学顕微鏡（ＮＩＫＯＮ社製ＯＰＴＩＨＯＴ３００）を用いて倍率５０倍でランダムに３箇所観察し、画像データを解析して３箇所の平均値を求め、この値を線幅（ｍｍ）とした。なおライン長さについては、図１に示すパターンの透光部Ａの長さ（８０．０ｍｍ）を、そのまま後述の計算式に用いた。

また得られたパターンの端部を表面抵抗計（ＴＯＷＡＴＥＣＨ社製ＭＡＳ８３０Ｌ）につなぎ、表面抵抗値（Ω／□）を測定した。

さらに触針式段差計“サーフコム１４００”（商品名、（株）東京精密製）を用いて、膜厚を測定した。測定方法としては、得られた比抵抗率測定用導電性パターンにおいて、ランダムに３箇所の膜厚（μｍ）を測定し、その３箇所の平均値を求めて後述の計算式に用いる膜厚（μｍ）とした。測長は１ｍｍ、走査速度は０．３ｍｍ／ｓとした。

得られた線幅（ｍｍ）、表面抵抗値（Ω／□）、膜厚（μｍ）の値およびライン長さ（８０．０ｍｍ）を下式に代入し、比抵抗率を求めた。
比抵抗率＝表面抵抗値×膜厚×線幅／ライン長
比低効率が３．０×１０^−４以下となる温度が１００℃以下で○、１００℃を越す場合は×とした。

実施例、比較例で用いた材料は以下の通りである。

（Ａ）銀粒子
（ａ−１）ＳＰＮ１０ＪＳ（三井金属株式会社製、体積平均粒子径２．０μｍ）
（ａ−２）ＳＰＮ１０ＪＳ（三井金属株式会社製、体積平均粒子径０．６μｍ）
（Ｂ）不飽和結合含有重合性化合物
（ｂ−１）ライトアクリレートＢＰ−４ＥＡ（共栄社化学株式会社製）
（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂
（ｃ−１）エチルアクリレート（ＥＡ）／メタクリル酸２−エチルヘキシル（２−ＥＨＭＡ）／スチレン（Ｓｔ）／アクリル酸（ＡＡ）の共重合体（共重合比率：２０重量部／４０重量部／２０重量部／１５重量部）にグリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を５重量部付加反応させたもの
窒素雰囲気の反応容器中にジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート１５０ｇを仕込みオイルバスを用いて８０℃まで昇温した。これに、エチルアクリレート２０ｇ、メタクリル酸２−エチルヘキシル４０ｇ、スチレン２０ｇ、アクリル酸１５ｇ、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．８ｇおよびジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート１０ｇからなる混合物を１時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに６時間重合反応を行った。その後、ハイドロキノンモノメチルエーテル１ｇを添加して重合反応を停止した。引き続きグリシジルメタクリレート５ｇ、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド１ｇおよびジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート１０ｇからなる混合物を０．５時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに２時間付加反応を行った。得られた反応溶液をメタノールで精製することで未反応不純物を除去し、さらに２４時間真空乾燥することで感光性成分（ｃ−１）を得た。得られた（ｃ−１）の酸価は１０３ｍｇＫＯＨ／ｇであった。酸価はＪＩＳ Ｋ ００７０−１９９２で記載の方法により求めた。

（ｃ−２）エチレンオキサイド変性ビスフェノールＡジアクリレートＦＡ−３２４Ａ（製品名、日立化成工業株式会社製）／ＥＡ／ＡＡの共重合体（共重合比率：５０重量部／１０重量部／１５重量部）にグリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を５重量部付加反応させたもの
窒素雰囲気の反応容器中にジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート１５０ｇを仕込みオイルバスを用いて８０℃まで昇温した。これに、エチレンオキサイド変性ビスフェノールＡジアクリレートＦＡ−３２４Ａを５０ｇ、エチルアクリレート２０ｇ、アクリル酸１５ｇ、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．８ｇおよびジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート１０ｇからなる混合物を１時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに６時間重合反応を行った。その後、ハイドロキノンモノメチルエーテル１ｇを添加して重合反応を停止した。引き続きグリシジルメタクリレート５ｇ、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド１ｇおよびジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート１０ｇからなる混合物を０．５時間かけて滴下した。滴下終了後、さらに２時間付加反応を行った。得られた反応溶液をメタノールで精製することで未反応不純物を除去し、さらに２４時間真空乾燥することで感光性成分（ｃ−２）を得た。得られた（ｃ−２）の酸価は９６ｍｇＫＯＨ／ｇであった。酸価はＪＩＳ Ｋ ００７０−１９９２で記載の方法により求めた。

（Ｄ）光重合開始剤
（ｄ−１）ＩＲＧＡＣＵＲＥ ３６９（商品名、チバジャパン株式会社製）
（Ｅ）イオン性液体
（ｅ−１）１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムテトラフルオロボラート（和光純薬工業株式会社、融点−７１℃）
（ｅ−２）１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムヘキサフルオロホスフェート（和光純薬工業株式会社、融点７℃）
（ｅ−３）１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムトリフルオロメタンスルホナート（和光純薬工業株式会社、融点１６℃）
（Ｆ）イオン性液体以外の塩
（ｆ−１）塩化ナトリウム（アルドリッチ、融点８００℃）
実施例１〜７、比較例１〜３
表１のように配合した組成物にジエチレングリコールモノブチルエーテルを添加した。ジエチレングリコールモノブチルエーテルの添加量は、表１における（Ｅ）イオン性液体以外の添加物を固形分とし、固形分濃度が８５％となるように調整した。その後、混合物を、３本ローラー“ＥＸＡＫＴ Ｍ−５０”（商品名、ＥＸＡＫＴ社製）を用いて混練し、感光性樹脂ペーストを得た。得られた感光性樹脂ペーストを用いて、前記のように、各評価を行った。結果を表１に示す。比較例３で貯蔵安定性が悪い理由は、イオン性液体以外の塩は無機イオン塩で電荷偏りが大きいため、不飽和結合含有重合性化合物と反応してしまったためと考えられる。

Ａ：パターンの透光部

Claims (8)

1. （Ａ）銀粒子、（Ｂ）不飽和結合含有重合性化合物、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）光重合開始剤および（Ｅ）イオン性液体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
2. （Ｃ）アルカリ可溶性樹脂が、カルボキシル基を有することを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
3. （Ｃ）アルカリ可溶性樹脂が、アクリル樹脂またはメタクリル樹脂であることを特徴とする請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
4. （Ａ）銀粒子の体積平均粒子径が０．３〜３．０μｍであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
5. （Ｅ）イオン性液体が、感光性樹脂組成物固形分全量に対し、０．０１〜２．０質量％であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂ペースト。
7. 請求項１〜５のいずれかに記載の感光性樹脂組成物または請求項６に記載の感光性樹脂ペーストを硬化させて得られる硬化膜。
8. 請求項７に記載の硬化膜を有する電極回路。

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