JP5533043B2 - 感光性導電ペーストおよび導電パターンの製造方法 - Google Patents
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Description
基板上に感光性導電ペーストを乾燥厚みが12μmになるように塗布、乾燥し、一定のラインアンドスペース(L/S)で配列する直線群を1つのユニットとし、L/Sの値が異なる9種類のユニットを有する透光パターンを有するフォトマスクを介して露光、現像、キュアすることによって導電パターンを得た。各ユニットのL/Sの値は500/500、250/250、100/100、50/50、40/40、30/30、25/25、20/20、15/15とした(それぞれライン幅(μm)/間隔(μm)を表す)。光学顕微鏡を用いてパターンを観察し、パターン間に残渣がなく、かつパターン剥がれのない最小のL/Sの値を持つパターンを確認し、この最小のL/Sの値を現像可能なL/Sとした。
図1に示すパターンの透光部Aを有するフォトマスクを介して露光し、現像、キュアすることによって比抵抗率測定用導電性パターンを得た。導電性パターンのライン幅は0.400mm、ライン長さは80mmである。得られたパターンの端部を表面抵抗計でつなぎ、表面抵抗値を測定し、下記の計算式に当てはめて比抵抗率を算出した。なお膜厚の測定は触針式段差計“サーフコム1400”(商品名、(株)東京精密製)を用いて行った。膜厚の測定はランダムに3箇所の位置にて測り、その3点の平均値を膜厚とした。測長は1mm、走査速度は0.3mm/sとした。線幅はパターンを光学顕微鏡でランダムに3箇所の位置を観察し、画像データを解析して得られた3点の平均値を線幅とした。
実施例、比較例で用いた材料は以下の通りである。
N−n−ブトキシメチルアクリルアミド
BX−4000(商品名、株式会社三和ケミカル社製)
不飽和二重結合を有する感光性成分(B)
アクリルポリマーAP−003:メタクリル酸/メタクリル酸メチル/スチレン=40/30/30からなる共重合体のカルボキシル基に対して0.8当量のグリシジルメタクリレートを付加反応させたもの(重量平均分子量29000、酸価110)(東レ株式会社製)
不飽和二重結合を有する感光性成分(B)と反応する重合性基を有する脂環式化合物(C)
水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル
水添ビスフェノールAのEO付加物ジアクリレート
2−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸
ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレート
光重合開始剤(D)
IRGACURE 907(商品名、チバジャパン株式会社製)
IRGACURE OXE−01(商品名、チバジャパン株式会社製)
導電性フィラー(E)
表1に記載の材料、平均粒子径のものを用いた。なお、平均粒子径は以下の方法により求めた。
導電性フィラー(E)の平均粒子径は、HORIBA社製動的光散乱式粒度分布計により体積平均粒子径を測定した。
サンエイドSI−110(商品名、三新化学工業株式会社製)
溶剤:γ−ブチロラクトン(三菱ガス化学株式会社製)
実施例1
100mlクリーンボトルにアルカリ可溶性のアクリルポリマーAP−003(東レ株式会社製、A−1)を20g、N−n−ブトキシメチルアクリルアミドを12g、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテルを9g、光重合開始剤OXE−01(チバジャパン株式会社製)を4g、酸発生剤SI−110(三新化学工業株式会社製、E−1)を0.6g、γ−ブチロラクトン(三菱ガス化学株式会社製)を10gいれ、“あわとり練太郎”(商品名ARE−310、株式会社シンキー社製)で混合し、感光性樹脂溶液55.6g(固形分82.0重量%)を得た。得られた感光性樹脂溶液7.71gと平均粒子径2μmのAg粒子を42.29g混ぜ合わせ、3本ローラー“EXAKT M−50”(商品名、EXAKT社製)を用いて混練し、50gの感光性導電ペーストを得た。
表1に示す感光性導電ペーストを実施例1と同様の方法で製造し、評価結果を表2に示した。
表1に示す感光性導電ペーストを実施例1と同様の方法で製造し、評価結果を表2に示した。
Claims (9)
- アルコキシ基を有する化合物(A)、不飽和二重結合を有する感光性成分(B)、該不飽和二重結合を有する感光性成分(B)と反応する重合性基を有し、かつ水添ビスフェノール骨格を有する脂環式化合物(C)、光重合開始剤(D)、および導電性フィラー(E)を含むことを特徴とする感光性導電ペースト。
- 前記不飽和二重結合を有する感光性成分(B)と反応する重合性基を有する脂環式化合物(C)の重合性基がエポキシ基もしくは不飽和二重結合を有する光重合性基であることを特徴とする請求項1記載の感光性導電ペースト。
- 前記不飽和二重結合を有する感光性成分(B)と反応する重合性基を有する脂環式化合物(C)がシクロヘキサン骨格を有する請求項1又は2に記載の感光性導電ペースト。
- 前記不飽和二重結合を有する感光性成分(B)と反応する重合性基を有する脂環式化合物(C)の添加量が、不飽和二重結合を有する感光性成分(B)100重量部に対して15〜60重量部であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の感光性導電ペースト。
- 前記光重合開始剤(D)が分子内にベンゾイル骨格を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の感光性導電ペースト。
- 前記光重合開始剤(D)が1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、またはエタノン,1−[9−エチル−6−2(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)である請求項1〜5のいずれかに記載の感光性導電ペースト。
- さらに酸発生剤(F)を含有する請求項1〜6のいずれかに記載の感光性導電ペースト。
- 前記酸発生剤(F)がスルホニウム塩である請求項7に記載の感光性導電ペースト。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の感光性導電ペーストを基板上に塗布し、乾燥し、露光し、現像した後に150℃以上400℃以下の温度でキュアすることを特徴とする導電パターンの製造方法。
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