JP2015170690A - Ledチップ圧着用熱伝導性複合シート及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】耐熱性樹脂フィルム層12の両面にそれぞれシリコーン層11が積層されてなるLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート10であって、該複合シート全体の厚みが100μm以下であり、かつ、シリコーン層11が、(A)式(I)で示されるオルガノポリシロキサン、R1 aSiO(4-a)/2(I)(R1は一価炭化水素基でかつ1分子中の少なくとも2個は脂肪族不飽和基。aは1.95〜2.05の正数)、(B)シリカ、亜鉛華、マグネシア、アルミナ、チタニアから選択される少なくとも1種の金属酸化物、(C−1)白金系触媒、(C−2)オルガノハイドロジェンポリシロキサンを含有するシリコーンゴム組成物の硬化物、である。
【選択図】図1
Description
即ち、特許文献6では、耐熱熱伝導性シリコーンゴム複合シートについて言及されているが、複合シートとしての全体の厚さが0.1〜100mmの範囲を想定している。本発明の実施例等で具体的に例示するが、微小チップ等を圧着させるためには、特に圧着精度が向上することから、複合シートとしての全体の厚さが0.1mm(=100μm)より薄い方が好ましいことが、本発明により明確にされたものである。
〔1〕
耐熱性樹脂フィルムの両面にそれぞれシリコーン層が積層されてなるLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートであって、該複合シート全体の厚みが100μm以下であり、かつ、シリコーン層が、
(A)下記平均組成式(I)で示される、平均重合度が100以上のオルガノポリシロキサン:100質量部、
R1 aSiO(4-a)/2 (I)
(式中、R1は同一又は異種の非置換又は置換一価炭化水素基であり、かつ1分子中の少なくとも2個は脂肪族不飽和基である。aは1.95〜2.05の正数である。)
(B)シリカ、亜鉛華、マグネシア、アルミナ、チタニアから選択される少なくとも1種の金属酸化物:10〜1,000質量部、
(C−1)白金系触媒:有効量、
(C−2)1分子中に少なくとも2個のケイ素原子に結合した水素原子を含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン:0.1〜20質量部
を含有するシリコーンゴム組成物の硬化物であることを特徴とするLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。
〔2〕
前記耐熱性樹脂フィルムが、芳香族ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体から選ばれる少なくとも1種からなり、厚さが50μm以下であることを特徴とする〔1〕記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。
〔3〕
耐熱性樹脂フィルムの厚さが5〜50μmであり、両面のシリコーン層の厚さがそれぞれ10〜40μmである〔1〕又は〔2〕記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。
〔4〕
耐熱性樹脂フィルムに、溶剤で希釈した〔1〕記載のシリコーンゴム組成物を、溶剤が揮発した時の厚さが各々10〜40μm、両面のシリコーン層の厚さの差が10μm以下になるようにコーティングすることを特徴とする〔1〕又は〔2〕記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。
〔5〕
前記シリコーンゴム組成物を希釈する溶媒がトルエン又はキシレンであり、その希釈量は、シリコーンゴム組成物を100質量部とした時に50〜500質量部である〔4〕記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。
〔6〕
シリコーンゴム組成物の溶媒希釈液の粘度が25℃において3〜30Pa・sである〔4〕又は〔5〕記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。
本発明のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートは、耐熱性樹脂フィルムの両面にシリコーン層が積層されてなる複合シートである。
積層するシリコーン層は、下記の(A),(B),(C)成分を必須の成分とするシリコーンゴム組成物の硬化物である。
(A)下記平均組成式(I)で示される、平均重合度が100以上のオルガノポリシロキサン、
R1 aSiO(4-a)/2 (I)
(式中、R1は同一又は異種の非置換又は置換一価炭化水素基であり、かつ1分子中の少なくとも2個は脂肪族不飽和基であり、aは1.95〜2.05の正数である。)
(B)ケイ素、亜鉛、マグネシウム、アルミニウム、チタンから選択される少なくとも1種の金属酸化物、
(C)硬化剤。
本発明におけるオルガノポリシロキサンとしては、平均重合度100以上のビニル基を2個以上有するジオルガノポリシロキサンが好ましく、平均組成式(I)において、R1は同一又は異種の非置換又は置換一価炭化水素基を表し、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基或いはこれらの水素原子が部分的に塩素原子、フッ素原子等で置換されたハロゲン化炭化水素基等が例示される。R1の0.001〜5モル%、特に0.01〜1モル%がアルケニル基であることが好ましい。
特にシリカは、他の合成ゴムに比べて非常に強度が弱いオルガノポリシロキサンに添加することによって、機械的強度を向上させることができる。シリカはBET法比表面積が50m2/g以上、特に100〜400m2/gであることが好ましい。煙霧質シリカ(乾式シリカ)、沈降シリカ(湿式シリカ)等が例示され、特に不純物の少ない煙霧質シリカ(乾式シリカ)が好ましい。また、シリカ表面をオルガノポリシロキサン、オルガノシラン、クロロシラン、アルコキシシラン等で疎水化処理を行なってもよい。市販品としては、アエロジル200、アエロジル300、アエロジルR972(いずれも日本アエロジル(株)製)等が例示される。
従って、シリコーンゴム組成物の有機溶媒希釈液の粘度は、回転粘度計で測定した25℃の粘度を3〜30Pa・sとすることが好ましい。
このように、シリコーンゴム組成物を塗工した後は、塗膜を乾燥し、100〜150℃で10〜30分間加熱硬化することにより、複合シートを得ることができる。
ジメチルシロキサン単位((CH3)2SiO2/2)99.675モル%、メチルビニルシロキサン単位((CH2=CH)(CH3)SiO2/2)0.30モル%、ジメチルビニルシロキシ単位((CH2=CH)(CH3)SiO1/2)0.025モル%からなり、平均重合度が約6,000であるオルガノポリシロキサン100質量部、BET比表面積200m2/gの乾式シリカ37質量部、分散剤としてケイ素原子に水酸基が結合した平均重合度が約10であるオルガノポリシロキサン7質量部を添加し、ニーダーにて混練りし、170℃にて2時間加熱処理をしてコンパウンドAを得た。
上記製造方法により得たコンパウンドAに加硫剤としてC−19A(白金系触媒)(信越化学工業(株)製)3.0質量部、耐熱助剤としてKE−P−12(酸化セリウム)(信越化学工業(株)製)2.0質量部を添加した組成物をトルエン200質量部に溶解させて組成物1Aを得た。また、コンパウンドAに加硫剤としてC−19B(オルガノハイドロジェンシロキサン)(信越化学工業(株)製)5.0質量部を添加した組成物をトルエン200質量部に溶解させて組成物1Bを得た。
得られた組成物1A及び1Bを等量ずつ加えて、均一に分散させて塗工液1を得た。塗工液1を基材として260mm幅のポリイミドフィルム(商品名カプトン100V、25μm厚(東レデュポン(株)製))の上にコンマコーター(前出)を用いて塗工した。ドライの塗膜厚が27μmになるようにギャップを調整し、最初に片面に線速0.2m/min.,加硫ラインの設定温度を最大130℃とした。続いて、塗工しなかった片面に、最初の片面と同条件で塗工して、全体の厚さが80μmの複合シリコーンシート1を得た。
コンパウンドA70質量部とコンパウンドB30質量部をブレンドさせたものを用いて、実施例1と同様の方法で塗工液2を得た。塗工液2を基材として260mm幅のポリイミドフィルム(商品名カプトン100V、25μm厚(東レデュポン(株)製))の上に実施例1と同様に塗工を行い、全体の厚さが80μmの複合シリコーンシート2を得た。
コンパウンドA50質量部とコンパウンドB50質量部をブレンドさせたものを用いて、実施例1と同様の方法で塗工液3を得た。塗工液3を基材として260mm幅のポリイミドフィルム(商品名カプトン100V、25μm厚(東レデュポン(株)製))の上に実施例1と同様に塗工を行い、全体の厚さが80μmの複合シリコーンシート3を得た。
コンパウンドA70質量部とコンパウンドB30質量部をブレンドさせたものを用いて、実施例2と同様の方法で塗工液2を得た。塗工液2を基材として260mm幅のポリイミドフィルム(商品名カプトン100V、25μm厚(東レデュポン(株)製))の上に塗膜の調整を行なった以外は実施例1と同様に塗工を行い、全体の厚さが60μmの複合シリコーンシート4を得た。
コンパウンドAに加硫剤C−23N(過酸化物系加硫剤)(信越化学工業(株)製)1.5質量部を添加した組成物をトルエン200質量部に溶解させて塗工液4を得た。塗工液4を基材として260mm幅のポリイミドフィルム(商品名カプトン100V、25μm厚(東レデュポン(株)製))の上に塗膜の調整を行なった以外は実施例1と同様に塗工を行い、全体の厚さが110μmの複合シリコーンシート5を得た。
コンパウンドBに加硫剤C−23N(過酸化物系加硫剤)(信越化学工業(株)製)1.5質量部を添加した組成物をトルエン50質量部に溶解させて塗工液5を得た。塗工液5を基材として260mm幅のポリイミドフィルム(商品名カプトン100V、25μm厚(東レデュポン(株)製))の上に比較例1と同様に塗工を行い、全体の厚さが110μmの複合シリコーンシート6を得た。
上記製造方法により得たコンパウンドBに加硫剤としてC−19A(白金系触媒)(信越化学工業(株)製)3.0質量部、耐熱助剤としてKE−P−12(酸化セリウム)(信越化学工業(株)製)2.0質量部を添加した組成物をトルエン50質量部に溶解させて組成物6Aを得た。また、コンパウンドBに加硫剤としてC−19B(オルガノハイドロジェンシロキサン)(信越化学工業(株)製)5.0質量部を添加した組成物をトルエン50質量部に溶解させて組成物6Bを得た。
得られた組成物6A及び6Bを等量ずつ加えて、均一に分散させて塗工液6を得た。塗工液6を、基材として260mm幅のポリイミドフィルム(商品名カプトン100V、25μm厚(東レデュポン(株)製))の上に比較例1と同様に塗工を行い、全体の厚さが110μmの複合シリコーンシート7を得た。
PTFE(=ポリテトラフルオロエチレン)フィルム(商品名テフロン(登録商標)、80μm厚)を複合シリコーンシートの代わりに用いた。
耐熱熱伝導性複合シートとしての評価は以下の試験機を用いて行なった。
試験機A:大崎エンジニアリング(株)製の熱圧評価試験機。用いた加圧用の鋼製ヒートツールの圧着部形状は10mm×30mmであった。
試験機B:(株)大橋製作所製の本圧着装置CBM−16を用いた加圧用の鋼製ヒートツールの圧着部形状は1mm×40mmであった。
設定温度、圧着時間、圧着部にかかる圧力、圧着回数は、それぞれの試験ごとに設定した。
熱圧着用シートとして、効率よく熱を伝えることができるかどうかを判定する。試験機Aのヒートツールの設定温度を300℃、圧着時間を20秒間、圧着部にかかる圧力を4MPa、圧着回数1回とした。熱電対を用いてシートを通して伝わる温度を測定し、5秒後に200〜240℃の範囲に到達するものを○、前記範囲外のものを×とした。
熱圧着用シートとして、均一に圧力を伝えることができるかどうか、また繰返し使用の可否を判定する。試験機Bのヒートツールの設定温度を350℃、圧着時間を10秒間、圧着部にかかる圧力を4MPaとした。圧着回数は0回、1回、2回、3回とした。
上記シート圧着部を、感圧紙を下に置いて、シートの圧着痕が感圧紙に転写されるかどうかで、繰返し使用可能かどうかを判定する。試験機Aのヒートツールの設定温度を30℃、圧着時間を10秒間、圧着部にかかる圧力を3MPa、圧着回数を1回とした。
圧着痕が感圧紙に転写されていなければ○、転写されていれば×とした。
熱圧着用シートが繰返し使用可能かどうかの目安として、シートを繰返し圧着した後の厚さ変化を測定した。試験機Aのヒートツールの設定温度を300℃、圧着時間を10秒間、圧着部にかかる圧力を3MPa、圧着回数10回とした。
(厚さ変化の計算式)
(厚さ変化)(%)=[((初期厚さ)−(試験後の厚さ))/(初期厚さ)]×100
シートの下に未使用のガラスを置き、シート成分に由来する汚れがガラス表面に移行するかどうかを観察して、付着物の有無の判定とする。試験機Aのヒートツールの設定温度を300℃、圧着時間を10秒間、圧着部にかかる圧力を3MPaとした。圧着回数は1回、10回、30回とした。ガラス表面への移行が目視で確認できないものを○、部分的に汚れが観察されるものを△、圧着部全体に汚れが観察されるものを×とした。
また、(株)大橋製作所にて、LEDフリップチップ基板での圧着試験を実施し、チップ1個に目立った付着物が観察されなかったか、或いは小さな付着物があってもその割合が10%未満のものを○、小さな付着物が10%を超えたものを△、大きな付着物が観察されたものを×とした。
(株)大橋製作所にて、上記試験を行った際に、基板の圧着に不具合が生じなかったものを○、不具合が生じたものを×とした。本試験にて微小なチップ圧着の可否の判定とした。不具合の具体的事例としては、目標とする微小チップの圧着箇所において、圧着されるチップの平均位置を算出し、チップの大きさの10%以上位置がずれて圧着されなければ○、10%以上位置がずれていれば×とした。また、チップを圧着する基板に破損が生じる場合も×とした。
上記試験の結果を表1及び表2に記した。本発明に適していると判断されるものをOK、不適と判断されるものをNGとした。
11 シリコーン層
12 耐熱性樹脂フィルム層
20 LEDチップ基板小ユニット
21 LEDチップ基板
22 LEDチップ
H LEDチップの高さ
L LEDチップの1辺の長さ
23 異方性導電ペースト(ACP)
S LEDチップ同士の間隔
30 LEDチップ基板大ユニット
40 圧着装置の接合ステージ
50 ヒートツール
〔1〕
耐熱性樹脂フィルムの両面にそれぞれシリコーン層が積層されてなるLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートであって、該複合シート全体の厚みが100μm以下であり、かつ、シリコーン層が、
(A)下記平均組成式(I)で示される、平均重合度が100以上のオルガノポリシロキサン:100質量部、
R1 aSiO(4-a)/2 (I)
(式中、R1は同一又は異種の非置換又は置換一価炭化水素基であり、かつ1分子中の少なくとも2個は脂肪族不飽和基である。aは1.95〜2.05の正数である。)
(B)シリカ、亜鉛華、マグネシア、アルミナ、チタニアから選択される少なくとも1種の金属酸化物:10〜1,000質量部、
(C−1)白金系触媒:有効量、
(C−2)1分子中に少なくとも2個のケイ素原子に結合した水素原子を含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン:0.1〜20質量部
を含有するシリコーンゴム組成物の硬化物であることを特徴とするLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。
〔2〕
(B)成分において、シリカの添加量が(A)成分のオルガノポリシロキサン100質量部に対して5〜80質量部である〔1〕記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。
〔3〕
(B)成分が、シリカと、亜鉛華、マグネシア、アルミナ、チタニアから選択される少なくとも1種の金属酸化物との混合物である〔2〕記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。
〔4〕
前記耐熱性樹脂フィルムが、芳香族ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体から選ばれる少なくとも1種からなり、厚さが50μm以下であることを特徴とする〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。
〔5〕
耐熱性樹脂フィルムの厚さが5〜50μmであり、両面のシリコーン層の厚さがそれぞれ10〜40μmである〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。
〔6〕
耐熱性樹脂フィルムに、溶剤で希釈した〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載のシリコーンゴム組成物を、溶剤が揮発した時の厚さが各々10〜40μm、両面のシリコーン層の厚さの差が10μm以下になるようにコーティングすることを特徴とする〔1〕記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。
〔7〕
前記シリコーンゴム組成物を希釈する溶媒がトルエン又はキシレンであり、その希釈量は、シリコーンゴム組成物を100質量部とした時に50〜500質量部である〔6〕記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。
〔8〕
シリコーンゴム組成物の溶媒希釈液の粘度が25℃において3〜30Pa・sである〔6〕又は〔7〕記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。
Claims (6)
- 耐熱性樹脂フィルムの両面にそれぞれシリコーン層が積層されてなるLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートであって、該複合シート全体の厚みが100μm以下であり、かつ、シリコーン層が、
(A)下記平均組成式(I)で示される、平均重合度が100以上のオルガノポリシロキサン:100質量部、
R1 aSiO(4-a)/2 (I)
(式中、R1は同一又は異種の非置換又は置換一価炭化水素基であり、かつ1分子中の少なくとも2個は脂肪族不飽和基である。aは1.95〜2.05の正数である。)
(B)シリカ、亜鉛華、マグネシア、アルミナ、チタニアから選択される少なくとも1種の金属酸化物:10〜1,000質量部、
(C−1)白金系触媒:有効量、
(C−2)1分子中に少なくとも2個のケイ素原子に結合した水素原子を含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン:0.1〜20質量部
を含有するシリコーンゴム組成物の硬化物であることを特徴とするLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。 - 前記耐熱性樹脂フィルムが、芳香族ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体から選ばれる少なくとも1種からなり、厚さが50μm以下であることを特徴とする請求項1記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。
- 耐熱性樹脂フィルムの厚さが5〜50μmであり、両面のシリコーン層の厚さがそれぞれ10〜40μmである請求項1又は2記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シート。
- 耐熱性樹脂フィルムに、溶剤で希釈した請求項1記載のシリコーンゴム組成物を、溶剤が揮発した時の厚さが各々10〜40μm、両面のシリコーン層の厚さの差が10μm以下になるようにコーティングすることを特徴とする請求項1又は2記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。
- 前記シリコーンゴム組成物を希釈する溶媒がトルエン又はキシレンであり、その希釈量は、シリコーンゴム組成物を100質量部とした時に50〜500質量部である請求項4記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。
- シリコーンゴム組成物の溶媒希釈液の粘度が25℃において3〜30Pa・sである請求項4又は5記載のLEDチップ圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。
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