JP2015160268A

JP2015160268A - 矩形板状物の加工方法

Info

Publication number: JP2015160268A
Application number: JP2014035869A
Authority: JP
Inventors: 桂男梅田; Yoshio Umeda; 茂也栗村; Shigeya Kurimura
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2014-02-26
Filing date: 2014-02-26
Publication date: 2015-09-07

Abstract

【課題】矩形板状物の角部を除去するに当たり、より加工品質や生産性を向上しうる矩形板状物の加工方法を提供することである。【解決手段】矩形板状物の角部を除去する矩形板状物の加工方法であって、矩形板状物の除去すべき角部を露出した状態で矩形板状物を保持手段で保持する保持ステップと、該保持ステップを実施する前又は後に、スピンドルの先端に装着された切削ブレードの切り刃の側面に対して矩形板状物の切り落とすべき該角部を対面させる位置合わせステップと、該保持ステップ及び該位置合わせステップを実施した後、回転する該切削ブレードに対して該スピンドルの軸心方向に矩形板状物を相対的に接近移動させ、該切削ブレードの切り刃の側面で矩形板状物の該角部を除去する除去ステップと、を備えたことを特徴とする。【選択図】図８

Description

本発明は、板ガラス等の矩形板状物の角部を除去する矩形板状物の加工方法に関する。

例えば、板ガラス等から形成された液晶基板などの矩形板状物は、後工程で品種や縦横、表裏等の判別を可能とするための判別用目印として角部を切り落として使用されることがある。また、特開２００１−２１５３３８号公報には導光板の角部を切り落とし、発光ダイオードからの出射高をこの角部から導光板内に取り入れるようにした技術が開示されている。

従来、このような矩形板状物の角部の切り落としには、例えばスクライバやレーザー等を用いて溝を形成した後、ブレーキング装置や超音波装置等を用いて矩形板状物に外力を付与して角部を切り落とす等の加工方法が採用されていた。或いは、半導体ウエーハ等のウエーハをダイシングして個々のチップに分割する切削装置で矩形板状物の角部を切削して切り落とす試みもなされていた。

特開２００１−２１５３３８号公報

しかし、切削装置で切削して角部を切り落とす加工では欠けが発生しやすく、また、スクライバやレーザー等を用いて溝を形成した後、ブレーキング装置や超音波装置を用いて矩形板状物に外力を付与して角部を切り落とす方法では、加工に時間がかかる他に加工品質も満足のいくものではなく、更なる改善が要望されている。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、矩形板状物の角部を除去するに当たり、より加工品質や生産性を向上しうる矩形板状物の加工方法を提供することである。

本発明によると、矩形板状物の角部を除去する矩形板状物の加工方法であって、矩形板状物の除去すべき角部を露出した状態で矩形板状物を保持手段で保持する保持ステップと、該保持ステップを実施する前又は後に、スピンドルの先端に装着された切削ブレードの切り刃の側面に対して矩形板状物の切り落とすべき該角部を対面させる位置合わせステップと、該保持ステップ及び該位置合わせステップを実施した後、回転する該切削ブレードに対して該スピンドルの軸心方向に矩形板状物を相対的に接近移動させ、該切削ブレードの切り刃の側面で矩形板状物の該角部を除去する除去ステップと、を備えたことを特徴とする矩形板状物の加工方法が提供される。

本発明の加工方法では、高速回転する切削ブレードの切り刃の側面を矩形板状物の角部に押し付けることで、角部を切り刃の側面で研削して除去する。複数の装置を用いることなく角部を除去することができるため、生産性を向上することができる。

また、角部を切削ブレードの切り刃の押し付けで除去するため、溝からどのようにクラックが伸長するかが確実ではない従来の方法に比べて加工品質を向上することができる。

矩形板状物の斜視図である。矩形板状物の加工例を説明する平面図である。切削ブレードをスピンドルに装着する様子を示す分解斜視図である。切削ブレードをスピンドルに装着した状態の斜視図である。スピンドルに装着された第２実施形態の切削ブレードの正面図である。保持ステップを示す側面図である。位置合わせステップを示す平面図である。切削ステップを説明する側面図である。切削ステップを説明する平面図である。切削ステップ後の矩形板状物の平面図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、例えば液晶ディスプレイ装置の基板又は携帯電話装置のカバーとして使用される板ガラス等の矩形板状物１１の斜視図が示されている。矩形板状物１１は、４つの角部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを有している。

本実施形態の加工方法では、図２に示すように、矩形板状物１１の角部１１ａ，１１ｂ部分について加工予定ライン１３に沿って角部頂点から０．５ｍｍ切り落とす加工方法について説明する。他の角部１１ｃ，１１ｄについては切り落とし加工は実施しない。

図３を参照すると、切削ブレードをスピンドルに装着する様子を示す分解斜視図が示されている。切削装置の切削ユニット１０は、スピンドルハウジング１２中に収容され、その先端部１４ａがテーパー面に形成されたスピンドル１４を有している。スピンドル先端部（スピンドルテーパー部）１４の端面にはねじ１６が形成されている。

１８はマウントフランジであり、円筒状ボス部２０と、円筒状ボス部２０と一体的に形成された鍔部２２とから構成される。円筒状ボス部２０の外周には雄ねじ２４が形成されているとともに、その内周には雌ねじ２６が形成されている。マウントフランジ１８は更にテーパー状の係合穴２８を有している。

マウントフランジ１８の係合穴２８をスピンドルテーパー部１４ａに挿入し、ねじ３０をマウントフランジ１８の係合穴２８を通してねじ穴１６に係合して締め付けることにより、マウントフランジ１８はスピンドルテーパー部１４ａに装着される。

切削ブレード３２は全体が電鋳された切り刃から構成されるワッシャータイプの切削ブレードであり、切削ブレード３２をマウントフランジ１８のボス部２０に挿入し、その外側から押さえフランジ３４をボス部２０に挿入して、固定ナット３６をボス部２０の雄ねじ２４に螺合して締め付けることにより、切削ブレード３２がマウントフランジ１８と押さえフランジ３４とに挟持されてスピンドルテーパー部１４ａに装着される。図４は切削ブレード３２がスピンドル１４に装着された状態の斜視図を示している。

図５を参照すると、スピンドルに装着された第２実施形態の切削ブレード３２Ａの正面図が示されている。本実施形態の切削ブレード３２Ａは、図３に示した切削ブレード３２と同様に全体が電鋳された切り刃から構成されるワッシャータイプの切削ブレードであり、その外周部には外周縁から所定距離中心に向かう円周方向に所定間隔離間して形成された複数のスリット３８を有している。スリット３８を押さえフランジ３４に達するまで形成するようにしても良い。

本発明の加工方法では、切削ブレード３２，３２Ａの側面を矩形板状物１１の角部に押し付けて加工するため、第１実施形態の切削ブレード３２Ａに比較してスリット３８を有する第２実施形態の切削ブレード３２Ａの方がブレード３２Ａの側面や加工点に切削水が回り込みやすくなるため、加工熱が冷却されて加工品質を向上することができる。

次に、図６乃至図９を参照して、本発明実施形態に係る矩形板状物の加工方法について説明する。まず、図６に示すように、矩形板状物１１の角部１１ａ〜１１ｄが露出するサイズの保持面を有するチャックテーブル（保持手段）４０で矩形板状物１１を吸引保持する保持ステップを実施する。

代替実施形態として、矩形板状物１１より大きい保持面を有するチャックテーブルを使用して、保持面を覆うダイシングテープに矩形板状物１１より小さい支持部材を貼着し、この支持部材上に矩形板状物１１を貼り付け固定するようにしても良い。

保持ステップ実施後、図７に示すように、スピンドル１４の先端に装着された切削ブレード３２の切り刃の側面に対して矩形板状物１１の切り落とすべき角部１１ａを対面させる位置合わせステップを実施する。１４ｃはスピンドル１４の軸心である。

この位置合わせステップでは、スピンドル１４の軸心方向と、除去すべき角部１１ａの切り落とし予定ライン１３とが直交するようにチャックテーブル４０を回転する。ここで、切り刃の側面とはスピンドル１４の軸心１４ｃに対して直交する面をいうものと定義する。

尚、チャックテーブル４０に対して切削ブレード３２の切り刃の側面を所定位置に位置付ける位置合わせステップを先に実施した後、矩形板状物１１の角部１１ａを切削ブレード３２の切り刃の側面に対向させるようにチャックテーブル４０で矩形板状物１１を吸引保持する保持ステップを実施するようにしても良い。

保持ステップ及び位置合わせステップを実施した後、図８に示すように、切削ブレード３２を下降させて切削ブレード３２の側面が矩形板状物１１の角部１１ａに接触する高さに位置付けてから、矩形板状物１１をスピンドル１４の軸心１４ｃ方向に高速回転する切削ブレード３２の切り刃の側面に相対的に接近移動させ、切削ブレード３２の切り刃の側面で矩形板状物１１の角部を除去する除去ステップを実施する。

図８は除去ステップの側面図、図９は除去ステップの平面図をそれぞれ示している。尚、図９に示した平面図では、切削ブレード３２は矩形板状物１１から離れて図示されているが、これは図面の明瞭化のためであり、実際には、図８に示すように切削ブレード３２の切り刃の側面を矩形板状物１１の角部１１ａに当接させ、切削ユニット１０を矢印Ｙ１方向に徐々に移動することにより、矢印Ａ方向に高速回転する切削ブレード３２の切り刃の側面で矩形板状物１１の角部１１ａを切り落とし予定ライン１３まで削り取って除去する。従って、本実施形態の切削ステップでは、切削ブレード３２の切り刃の側面が研削と同様な機能を果たすことになる。

角部１１ａの切り落としが完了すると、チャックテーブル４０を９０°回転し、角部１１ｂを切削ブレード３２の切り刃の側面に対向させる。次いで、切削ブレード３２を矢印Ａ方向に高速回転させながら矢印Ｙ１方向に徐々に移動することにより、矩形板状物１１の角部１１ｂを切り落とし予定ライン１３まで切削ブレード３２の切り刃の側面で削り取る。

図１０を参照すると、加工終了後の矩形板状物１１の平面図が示されている。矩形板状物１１は、角部１１ａ，１１ｂが切り落とされた２つの切り落とし部１５を有している。

本実施形態の加工方法によると、複数の装置を用いることなく矩形板状物１１の角部１１ａ，１１ｂを高速回転する切削ブレード３２の切り刃の側面で除去することができるため、生産性を向上することができる。

矩形板状物１１の角部を切削ブレード３２，３２Ａの切り刃の側面で除去するため、溝からどのようにクラックが伸長するかが確かではない従来の加工方法に比べて加工品質を向上することができる。

１０切削ユニット
１１矩形板状物
１１ａ〜１１ｄ角部
１３切り落とし予定ライン
１４スピンドル
１４ａスピンドル先端部（スピンドルテーパー部）
１５切り落とし部
１８マウントフランジ
３２，３２Ａ切削ブレード
３４押さえフランジ
３６固定ナット
３８スリット
４０チャックテーブル（保持手段）

Claims

矩形板状物の角部を除去する矩形板状物の加工方法であって、
矩形板状物の除去すべき角部を露出した状態で矩形板状物を保持手段で保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施する前又は後に、スピンドルの先端に装着された切削ブレードの切り刃の側面に対して矩形板状物の切り落とすべき該角部を対面させる位置合わせステップと、
該保持ステップ及び該位置合わせステップを実施した後、回転する該切削ブレードに対して該スピンドルの軸心方向に矩形板状物を相対的に接近移動させ、該切削ブレードの切り刃の側面で矩形板状物の該角部を除去する除去ステップと、
を備えたことを特徴とする矩形板状物の加工方法。
該切削ブレードは、外周縁から中心に向かう複数のスリットを有している請求項１記載の矩形板状物の加工方法。