JP6552250B2 - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Description
波長 :1064nm
平均出力 :0.2W
繰り返し周波数 :80kHz
集光スポット径 :φ1μm
加工送り速度 :100mm/s
13 分割予定ライン(ストリート)
15 デバイス
17 デバイス領域
18 研削ホイール
19 外周余剰領域
22 研削砥石
23 保護テープ
25 フレームユニット
27 基材
28 集光器(レーザーヘッド)
29 粘着層
30 切削ユニット
31 分離溝
32 切削ブレード
33 改質層
T ダイシングテープ(粘着テープ)
Claims (3)
- 交差して形成された複数の分割予定ラインによって区画された各領域にデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有し、外周縁に該表面から裏面に至る円弧状の面取り部を備えるウェーハの加工方法であって、
ウェーハの表面又は裏面の何れか一方と、該面取り部とに粘着テープを貼着する粘着テープ貼着ステップと、
該粘着テープ貼着ステップを実施した後、該粘着テープをチャックテーブルの保持面で保持し、レーザービーム又は切削ブレードを用いてウェーハを該外周余剰領域に沿って加工し、該デバイス領域と該面取り部とを分離する分離ステップと、
該分離ステップを実施した後、該粘着テープをチャックテーブルの保持面で吸引保持し、ウェーハの内部に集光点を位置付けてウェーハの露出した面からレーザービームを照射し、ウェーハの内部に該分割予定ラインに沿った改質層を形成する改質層形成ステップと、を備え、
該デバイス領域と該面取り部とを分離することで、該面取り部に貼着した該粘着テープが該チャックテーブルに吸引保持される際、該粘着テープに貼着された該面取り部が該保持面に向かって該粘着テープで外周方向に斜め下向きに引っ張られても、該デバイス領域に形成した該改質層から伸展する亀裂に影響を及ぼすことを抑制可能なことを特徴とするウェーハの加工方法。 - 該粘着テープ貼着ステップでは、環状フレームの開口を覆うように該粘着テープの外周部を環状フレームに貼着してフレームユニットを形成することを特徴とする請求項1記載のウェーハの加工方法。
- 該粘着テープ貼着ステップを実施する前に、ウェーハの裏面を研削砥石で研削してウェーハを薄化する研削ステップを更に備えたことを特徴とする請求項1又は2記載のウェーハの加工方法。
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- 2015-04-09 JP JP2015080298A patent/JP6552250B2/ja active Active
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